表面特性檢查挑選裝置、表面特性檢查挑選系統(tǒng)以及表面特性檢查挑選方法
【專利摘要】提供一種表面特性檢查挑選裝置、表面特性檢查挑選系統(tǒng)以及表面特性檢查挑選方法，能夠高效地進行對實施表面處理后的彈簧狀構(gòu)件的表面特性進行評價并判斷好壞來挑選出良品和不良品的工序，從而較佳地應用于生產(chǎn)節(jié)拍時間短的彈簧狀構(gòu)件的檢查和挑選。表面特性檢查挑選裝置(1)是對進行表面處理后的彈簧狀構(gòu)件(M)的表面特性進行評價并判斷好壞來根據(jù)其判別結(jié)果挑選為良品和不良品后送出的裝置，具備表面特性檢查裝置(2)、測定彈簧狀構(gòu)件(M)的表面特性的測定構(gòu)件(40)以及將彈簧狀構(gòu)件(M)挑選為良品和不良品的挑選單元(50)。測定構(gòu)件(40)構(gòu)成為能夠使彈簧狀構(gòu)件(M)通過檢查檢測器23，根據(jù)在彈簧狀構(gòu)件(M)通過檢查檢測器(23)的期間從交流橋電路(20)輸出的輸出信號，由表面特性檢查裝置(2)對彈簧狀構(gòu)件(M)的表面特性進行評價并判斷好壞。
【專利說明】
表面特性檢查挑選裝置、表面特性檢查挑選系統(tǒng)以及表面特 性檢查挑選方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001] 本發(fā)明涉及一種檢查實施噴丸處理、熱處理、氮化處理等表面處理后的彈簧狀構(gòu) 件的表面處理狀態(tài)的好壞來挑選出良品和不良品的表面特性檢查挑選裝置、表面特性檢查 挑選系統(tǒng)以及表面特性檢查挑選方法。
【背景技術(shù)】
[0002] 在齒輪、軸、彈簧等鋼材料產(chǎn)品中，為了提高耐磨損性、提高疲勞強度等，而進行了 基于熱處理、氮化處理等的表面硬化、噴丸處理等表面處理。
[0003] 以往，通過抽樣的破壞性檢查對這些產(chǎn)品的表面處理后的殘留應力、硬度等表面 特性進行了評價。因此，存在無法對所有產(chǎn)品直接進行檢查這樣的問題、由于是破壞性檢查 因此檢查過的產(chǎn)品不能再使用這樣的問題等。
[0004]因此，開發(fā)能夠無損地檢查產(chǎn)品的表面特性的裝置的需求高漲。作為這樣的裝置， 例如在專利文獻1中公開了如下一種噴丸處理面的無損檢查裝置:針對配置于噴丸處理面 上方的具備線圈的檢查電路，在使頻率變化的同時輸入交流信號，利用檢查電路中的阻抗 的頻率響應特性來檢查檢查對象上的殘留應力的產(chǎn)生狀態(tài)。
[0005] 專利文獻1:日本特開2008-2973號公報

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006] 發(fā)明要解決的問題
[0007] 上述的技術(shù)是局部的測量，因此容易產(chǎn)生渦電流集中所導致的發(fā)熱的影響，如果 想要檢查表面處理部整體則需要非常多的時間。閥門彈簧等彈簧狀構(gòu)件與齒輪等大型的構(gòu) 件相比進行表面處理所需要的時間（生產(chǎn)節(jié)拍時間）短，因此存在導致表面特性的檢查、良 品和不良品的挑選所花費的時間更長、檢查/挑選工序成為整體工序的瓶頸這樣的問題。另 外，未提出在短時間內(nèi)高效地對好壞判斷之后的彈簧狀構(gòu)件進行挑選的具體結(jié)構(gòu)，存在挑 選作業(yè)也需要很多的時間從而無法進行高效的檢查、挑選的問題。
[0008] 因此，本發(fā)明的目的在于提供一種表面特性檢查挑選裝置、表面特性檢查挑選系 統(tǒng)以及表面特性檢查挑選方法，能夠高效地進行對實施噴丸處理、熱處理、氮化處理等表面 處理后的彈簧狀構(gòu)件的表面特性進行評價并判斷好壞來挑選出良品和不良品的工序，從而 較佳地應用于生產(chǎn)節(jié)拍時間短的彈簧狀構(gòu)件的檢查/挑選。
[0009] 用于解決問題的方案
[0010] 為了達到上述目的，在第1發(fā)明所記載的發(fā)明中，使用以下技術(shù)方案:一種表面特 性檢查挑選裝置，對由表面處理裝置實施表面處理后的彈簧狀構(gòu)件的表面特性進行評價， 挑選出良品和不良品，該表面特性檢查挑選裝置具備:表面特性檢查裝置，其具備:交流橋 電路;交流電源，其向所述交流橋電路供給交流電力；以及評價裝置，其根據(jù)來自所述交流 橋電路的輸出信號，對彈簧狀構(gòu)件的表面特性進行評價，其中，所述交流橋電路具有:可變 電阻，其構(gòu)成為在第一電阻與第二電阻之間分配比可變;檢查檢測器，其具備能夠激勵交流 磁的線圈，被形成為能夠以在彈簧狀構(gòu)件中激發(fā)出渦電流的方式配置該線圈；以及基準檢 測器，其檢測成為與來自所述檢查檢測器的輸出進行比較的基準的基準狀態(tài)，其中，所述第 一電阻、所述第二電阻、所述基準檢測器以及所述檢查檢測器構(gòu)成橋電路，所述評價裝置根 據(jù)在向所述交流橋電路供給交流電力、且由所述檢查檢測器檢測了所述彈簧狀構(gòu)件的電磁 特性、且由所述基準檢測器檢測了基準狀態(tài)的狀態(tài)下的來自所述交流橋電路的輸出信號， 對所述彈簧狀構(gòu)件的表面特性進行評價；引導構(gòu)件，其以使從所述表面處理裝置輸送的彈 簧狀構(gòu)件不停止地通過所述檢查檢測器的方式對彈簧狀構(gòu)件進行引導；以及挑選單元，其 將被所述檢查檢測器評價表面特性之后的彈簧狀構(gòu)件挑選為良品和不良品，其中，所述表 面特性檢查裝置根據(jù)在彈簧狀構(gòu)件通過所述檢查檢測器的期間從所述交流橋電路輸出的 輸出信號，對彈簧狀構(gòu)件的表面特性進行評價并判斷好壞。
[0011]根據(jù)第1發(fā)明所記載的發(fā)明，能夠通過檢查檢測器的線圈在彈簧狀構(gòu)件中激發(fā)渦 電流，根據(jù)從交流橋電路輸出的輸出信號來對彈簧狀構(gòu)件的表面特性進行評價。由此，能夠 通過簡單的電路結(jié)構(gòu)進行高精度的表面狀態(tài)的檢查。
[0012] 另外，使彈簧狀構(gòu)件不停止地通過檢查檢測器內(nèi)來由表面特性檢查裝置評價彈簧 狀構(gòu)件的表面特性并判斷好壞，因此能夠縮短評價彈簧狀構(gòu)件的表面特性并判斷好壞的時 間。由此，能夠與短的生產(chǎn)節(jié)拍時間對應地進行彈簧狀構(gòu)件的表面特性的評價、好壞的判 斷。而且，能夠通過挑選單元將彈簧狀構(gòu)件可靠地挑選為良品和不良品。
[0013] 此外，表面特性是指"從彈簧狀構(gòu)件的最外表面到內(nèi)表面的影響層為止的特性"。
[0014] 在第2發(fā)明所記載的發(fā)明中，使用以下技術(shù)方案，即，在第1發(fā)明所記載的表面特性 檢查挑選裝置中，還具備探測單元，該探測單元探測彈簧狀構(gòu)件被引導至所述檢查檢測器 這一情況，所述表面特性檢查裝置根據(jù)所述探測單元的探測信號，提取來自所述交流橋電 路的輸出信號。
[0015] 根據(jù)第2發(fā)明所記載的發(fā)明，能夠利用探測單元可靠地探測彈簧狀構(gòu)件通過引導 構(gòu)件被引導至檢查檢測器內(nèi)這一情況，以此為觸發(fā)進行彈簧狀構(gòu)件的表面特性的評價、好 壞的判斷。
[0016] 在第3發(fā)明所記載的發(fā)明中，使用以下技術(shù)方案，即，表面特性檢查挑選系統(tǒng)具備： 第1發(fā)明或第2發(fā)明所記載的表面特性檢查挑選裝置；以及輸送單元，其將由表面處理裝置 實施表面處理后的彈簧狀構(gòu)件輸送至表面特性檢查挑選裝置。
[0017]如第3發(fā)明所記載的發(fā)明那樣，通過將表面特性檢查挑選裝置與將由表面處理裝 置實施表面處理后的彈簧狀構(gòu)件輸送至表面特性檢查裝置的輸送單元結(jié)合，能夠構(gòu)建能夠 連續(xù)地進行彈簧狀構(gòu)件的輸送、評價、挑選、送出的表面特性檢查挑選系統(tǒng)。
[0018] 在第4發(fā)明所記載的發(fā)明中，使用以下技術(shù)方案，即，在第3發(fā)明所記載的表面特性 檢查挑選系統(tǒng)中，還具備：良品回收單元，其用于輸送被判斷為良品而挑選出的彈簧狀構(gòu) 件；以及不良品回收單元，其用于回收被判斷為不良品而挑選出的彈簧狀構(gòu)件。
[0019] 根據(jù)第4發(fā)明所記載的發(fā)明，能夠通過良品回收單元將良品迅速地輸送至下一工 序，并且能夠通過不良品回收單元僅挑選出不良品并回收，因此能夠高效地進行挑選作業(yè)。
[0020] 在第5發(fā)明所記載的發(fā)明中，使用以下技術(shù)方案，即，在第3發(fā)明所記載的表面特性 檢查挑選系統(tǒng)中，所述輸送單元具備:輸送帶；以及劃分構(gòu)件，其劃分所述輸送帶的載置彈 簧狀構(gòu)件的位置。
[0021]如第5發(fā)明所記載的發(fā)明那樣，通過劃分構(gòu)件對輸送單元的輸送帶進行劃分，能夠 在規(guī)定的定時逐個地可靠地輸送彈簧狀構(gòu)件。另外，不需要設置用于在將彈簧狀構(gòu)件配置 在表面特性檢查挑選裝置中之前儲存該彈簧狀構(gòu)件的構(gòu)件，能夠簡化裝置。
[0022]在第6發(fā)明所記載的發(fā)明中，使用以下技術(shù)方案，即，一種表面特性檢查挑選方法， 準備第1發(fā)明或第2發(fā)明所記載的表面特性檢查挑選裝置，通過所述引導構(gòu)件以使由所述表 面處理裝置實施表面處理后的彈簧狀構(gòu)件不停止地通過所述檢查檢測器的方式對彈簧狀 構(gòu)件進行引導，通過將基于彈簧狀構(gòu)件通過所述檢查檢測器的期間的輸出信號求出的代表 值與預先設定的閾值進行比較，來利用所述表面特性檢查裝置判斷好壞，根據(jù)所述表面特 性檢查裝置對好壞的判斷結(jié)果，將彈簧狀構(gòu)件挑選為良品和不良品。
[0023] 根據(jù)第6發(fā)明所記載的發(fā)明，利用表面特性檢查挑選裝置，使彈簧狀構(gòu)件不停止地 通過檢查檢測器內(nèi)，來由表面特性檢查裝置評價彈簧狀構(gòu)件的表面特性并判斷好壞，因此 能夠縮短評價彈簧狀構(gòu)件的表面特性并判斷好壞的時間。由此，能夠與短的生產(chǎn)節(jié)拍時間 對應地進行彈簧狀構(gòu)件Μ的表面特性的評價、好壞的判斷。而且，能夠通過挑選單元將彈簧 狀構(gòu)件可靠地挑選為良品和不良品。
[0024] 在第7發(fā)明所記載的發(fā)明中，使用以下技術(shù)方案，即，在第6發(fā)明所記載的表面特性 檢查挑選方法中，在彈簧狀構(gòu)件通過所述檢查檢測器的期間對來自所述交流橋電路的輸出 信號進行積分，由此計算所述代表值。
[0025] 如第7發(fā)明所記載的發(fā)明那樣，當使用輸出值的積分值來作為閾值和與閾值進行 比較的代表值時，能夠減小由彈簧狀構(gòu)件在檢查檢測器內(nèi)的通過狀態(tài)等引起的值的偏差， 因此能夠進行更準確的測定、好壞的判斷。
[0026] 在第8發(fā)明所記載的發(fā)明中，使用以下技術(shù)方案，即，在第6發(fā)明或第7發(fā)明所記載 的表面特性檢查挑選方法中，在將與要評價表面特性的彈簧狀構(gòu)件相同結(jié)構(gòu)的基準檢查體 配置在所述基準檢測器的狀態(tài)下進行所述判斷好壞的工序。
[0027] 根據(jù)第8發(fā)明所記載的發(fā)明，為了在基準檢測器中檢測基準狀態(tài)，而使用了與要評 價表面特性的彈簧狀構(gòu)件相同結(jié)構(gòu)的基準檢查體，因此即使由于溫度、濕度、磁等檢查環(huán)境 的變化而輸出值發(fā)生變動，其影響也與被檢查體相同。由此，能夠消除因溫度、濕度、磁等檢 查環(huán)境的變化而引起的輸出值的變動，從而能夠提高測定精度。在此，"相同結(jié)構(gòu)"是指材 質(zhì)、形狀相同，不論有無表面處理。
[0028] 在第9發(fā)明所記載的發(fā)明中，使用以下技術(shù)方案，即，在第6發(fā)明至第8發(fā)明中的任 一發(fā)明所記載的表面特性檢查挑選方法中，所述評價裝置還具備存儲單元，該存儲單元將 各彈簧狀構(gòu)件的識別信息與該彈簧狀構(gòu)件的表面特性的檢查數(shù)據(jù)相關(guān)聯(lián)地進行存儲。
[0029] 根據(jù)第9發(fā)明所記載的發(fā)明，能夠事先將批次、制造編號、歷史記錄等各被檢查體 的識別信息與測定值、好壞判斷結(jié)果、測定日期和時間、檢查狀態(tài)等檢查數(shù)據(jù)相關(guān)聯(lián)地進行 存儲，因此能夠使檢查出的彈簧狀構(gòu)件的表面處理的狀態(tài)成為在流通之后可追蹤的狀態(tài)， 能夠確保可溯源性。
【附圖說明】
[0030] 圖1是示意性地表示表面特性檢查挑選裝置和表面特性檢查挑選系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的說 明圖。圖1的(A)是局部透射側(cè)面說明圖，圖1的(B)是從輸送方向的上游側(cè)觀察測定構(gòu)件得 到的俯視說明圖。
[0031]圖2的(A)是表示表面特性檢查裝置的電路結(jié)構(gòu)的說明圖。圖2的(B)是表示配置在 測定構(gòu)件的表面特性檢查裝置的檢查檢測器的結(jié)構(gòu)的透視說明圖。
[0032]圖3是說明來自交流橋電路的輸出的等效電路圖。
[0033] 圖4是表示表面特性檢查方法的流程圖。
[0034] 圖5是示意性地表示在彈簧狀構(gòu)件通過檢查檢測器時的輸出值的變化的說明圖。
[0035] 圖6是對閾值的設定方法進行說明的說明圖。
[0036] 圖7是表示表面特性檢查挑選方法的流程圖。
[0037] 圖8是表示挑選單元的變更例的說明圖。
[0038] 圖9是表示挑選單元的變更例的說明圖。
【具體實施方式】
[0039] 表面特性檢查挑選裝置1是如下一種裝置:通過噴丸裝置等表面處理裝置進行表 面處理，對由輸送單元輸送的彈簧狀構(gòu)件Μ的表面特性進行評價，判斷好壞，根據(jù)其判別結(jié) 果挑選為良品和不良品后送出。如圖1所示，表面特性檢查挑選裝置1具備后述的表面特性 檢查裝置2、對彈簧狀構(gòu)件Μ的表面特性進行測定的測定構(gòu)件40以及將彈簧狀構(gòu)件Μ挑選為 良品和不良品的挑選單元50。此外，在圖1中，為了說明而形成透視圖以易于理解彈簧狀構(gòu) 件Μ在檢查檢測器23的內(nèi)部通過的狀況，示意性地示出了表面特性檢查裝置2和控制裝置60 的連接狀態(tài)。
[0040] 在測定構(gòu)件40中具備:表面特性檢查裝置2所具備的檢查檢測器23;引導構(gòu)件41， 其將彈簧狀構(gòu)件Μ引導至檢查檢測器23;送出構(gòu)件42，其將從檢查檢測器23排出的彈簧狀構(gòu) 件引導至挑選單元50;以及探測單元43,其用于探測彈簧狀構(gòu)件Μ通過引導構(gòu)件41被引導至 檢查檢測器23內(nèi)這一情況。
[0041] 如圖2的(Β)所示，檢查檢測器23具備以覆蓋彈簧狀構(gòu)件Μ整體的方式形成的圓筒 狀的芯體23a以及被卷繞在芯體23a的外周面的線圈23b。芯體23a由非磁性材料、例如樹脂 構(gòu)成，被形成為彈簧狀構(gòu)件Μ能夠通過芯體23a的內(nèi)部。該線圈23b被相向地卷繞成包圍彈簧 狀構(gòu)件的表面特性檢查區(qū)域。在此，包圍彈簧狀構(gòu)件的表面特性檢查區(qū)域是指包含通過至 少包圍（以包在里面的方式圍繞)表面特性檢查區(qū)域的一部分來在表面特性檢查區(qū)域激發(fā) 渦電流的情形。另外，線圈23b的長度根據(jù)彈簧狀構(gòu)件Μ通過檢查檢測器23的速度以能夠適 當?shù)剡M行輸出值的提取的方式被適當?shù)卦O定。
[0042]檢查檢測器23構(gòu)成后述的圖2的(Α)所示的電路。檢查檢測器23的特征在于高精度 地捕捉渦電流的反應來評價表面特性，因此優(yōu)選以使渦電流在想要檢查表面特性的區(qū)域流 動的方式針對彈簧狀構(gòu)件Μ進行配置。
[0043]也就是說，優(yōu)選以線圈23b的卷繞方向為與想要使渦電流流動的方向相同的方向 的方式進行配置。最好以線圈23b的卷繞方向與彈簧狀構(gòu)件Μ的軸大致正交的方式配置線圈 23b。由此，沿彈簧狀構(gòu)件Μ的卷繞方向產(chǎn)生磁場環(huán)，因此能夠高效地激發(fā)禍電流，能夠一次 性檢查彈簧狀構(gòu)件Μ整體的表面特性。
[0044]如圖1的（Β)所示，引導構(gòu)件41以能夠?qū)⒕€圈狀部材Μ平滑地引導至檢查檢測器23 的方式與線圈狀部材Μ的形狀相匹配地被形成為具備與芯體23a的內(nèi)周面的一部分大致相 同的曲面形狀的形狀。在此，引導構(gòu)件41也能夠一體地形成為檢查檢測器23的一部分。 [0045]作為探測單元43,例如能夠使用激光式位置傳感器。探測單元43與后述的表面特 性檢查裝置2的判斷單元36連接，能夠發(fā)送探測出彈簧狀構(gòu)件Μ通過引導構(gòu)件41被引導至檢 查檢測器23內(nèi)這一情況的探測信號。
[0046]作為挑選單元50,在本實施方式中，使用了能夠通過噴射壓縮空氣來吹動彈簧狀 構(gòu)件Μ從而變更輸送方向的噴射噴嘴。
[0047]控制裝置60與表面特性檢查裝置2的判斷單元36連接，根據(jù)判斷單元36中的彈簧 狀構(gòu)件Μ的表面處理狀態(tài)的好壞的判斷結(jié)果來控制挑選單元50的動作。
[0048] 如圖1所示，表面特性檢查挑選裝置1能夠與輸送單元100、良品回收單元110、不良 品回收單元120等結(jié)合地構(gòu)成表面特性檢查挑選系統(tǒng)SYS，該輸送單元100將由噴丸裝置等 表面處理裝置處理后的彈簧狀構(gòu)件Μ向表面特性檢查挑選裝置1輸送，該良品回收單元110 回收被挑選單元50挑選為良品的彈簧狀構(gòu)件Μ，或?qū)⒈惶暨x單元50挑選為良品的彈簧狀構(gòu) 件Μ輸送至下一工序，該不良品回收單元120回收被挑選單元50挑選為不良品的彈簧狀構(gòu)件 Μ。在此，表面特性檢查挑選裝置1為了能夠使彈簧狀構(gòu)件Μ因自重在測定構(gòu)件40中按引導構(gòu) 件41、檢查檢測器23、送出構(gòu)件42的順序移動而從輸送方向朝向斜下方地傾斜配置。
[0049] 作為輸送單元100,能夠較佳地使用以下結(jié)構(gòu):設置輸送帶101以及劃分輸送帶101 的載置彈簧狀構(gòu)件Μ的位置的劃分構(gòu)件即多個銷102,將彈簧狀構(gòu)件Μ逐個地配置在相鄰的 銷102與銷102之間來進行輸送。由此，能夠在規(guī)定的定時逐個地可靠地輸送彈簧狀構(gòu)件Μ。 另外，不需要設置用于在將彈簧狀構(gòu)件Μ配置在表面特性檢查挑選裝置1中之前儲存該彈簧 狀構(gòu)件的構(gòu)件，能夠簡化裝置。在此，引導構(gòu)件41被配置在輸送帶101反轉(zhuǎn)的位置附近。
[0050] 良品回收單元110由回收良品的回收箱、帶式輸送機等構(gòu)成，被設置在送出構(gòu)件42 的延長方向的下方。不良品回收單元120由儲存不良品的儲存箱等構(gòu)成，被設置在送出構(gòu)件 42的比良品回收單元110更靠近自己的近側(cè)下方。
[0051 ]根據(jù)這樣的表面特性檢查挑選系統(tǒng)SYS，由于具備輸送單元100，因此能夠構(gòu)建為 能夠連續(xù)地進行彈簧狀構(gòu)件Μ的輸送、評價、挑選、送出的表面特性檢查挑選系統(tǒng)。另外，由 于能夠通過良品回收單元110回收良品或者將良品迅速地輸送至下一工序，并且能夠通過 不良品回收單元120僅挑選出不良品并回收，因此能夠高效地進行挑選作業(yè)。
[0052](表面特性檢查裝置）
[0053] 接著，對于表面特性檢查裝置2的詳細結(jié)構(gòu)進行說明。如圖2所示，本發(fā)明的實施方 式的表面特性檢查裝置2具備交流電源10、交流橋電路20以及評價裝置30。
[0054] 交流電源10構(gòu)成為能夠向交流橋電路20供給頻率可變的交流電力。
[0055] 交流橋電路20具備可變電阻21、被形成為能夠以在彈簧狀構(gòu)件Μ中激發(fā)渦電流的 方式配置線圈的檢查檢測器23、基準檢測器22,該基準檢測器22是與檢查檢測器23相同的 結(jié)構(gòu)，被形成為能夠配置與彈簧狀構(gòu)件Μ相同的結(jié)構(gòu)的基準檢查體S，檢測成為與來自檢查 檢測器23的輸出進行比較的基準的基準狀態(tài)。在此，"與彈簧狀構(gòu)件Μ相同的結(jié)構(gòu)"是指材 質(zhì)、形狀相同，不論有無表面處理。
[0056] 可變電阻21構(gòu)成為能夠?qū)㈦娮鑂a以分配比γ可變的方式分配成電阻R1與電阻R2。 電阻R1、電阻R2與基準檢測器22和檢查檢測器23-起構(gòu)成了橋電路。在本實施方式中，分配 電阻R1和電阻R2的點A以及基準檢測器22與檢查檢測器23之間的點B連接于評價裝置30的 交流電源10,電阻R1與基準檢測器22之間的點C以及電阻R2與檢查檢測器23之間的點D連接 于放大器31。另外，為了降低噪聲，基準檢測器22和檢查檢測器23側(cè)接地。
[0057]評價裝置30具備:放大器31，其將從交流橋電路20輸出的電壓信號進行放大;絕對 值電路32，其進行全波整流;低通濾波器(LPF) 33，其進行直流變換；相位比較器34，其將從 交流電源10供給的交流電壓與從放大器31輸出的電壓的相位進行比較;頻率調(diào)整器35,其 調(diào)整從交流電源10供給的交流電壓的頻率;判斷單元36,其進行使R1和R2的分配最優(yōu)化的 非平衡調(diào)整，并且根據(jù)來自LPF 33的輸出來判斷彈簧狀構(gòu)件Μ的表面狀態(tài)的好壞;顯示單元 37,其將判斷單元36的判斷結(jié)果進行顯示、警告；以及溫度測定單元38,其檢測評價位置的 溫度。另外，在判斷單元36內(nèi)部或未圖示的區(qū)域具備存儲單元。
[0058]放大器31連接于點C和點D，被輸入點C與點D之間的電位差。另外，依次將絕對值電 路32、LPF 33與判斷單元36連接。相位比較器34與交流電源10、放大器31以及判斷單元36連 接。頻率調(diào)整器35與交流電源10和放大器31連接。另外，判斷單元36構(gòu)成為能夠通過輸出控 制信號來變更交流橋電路20的點A的位置、即電阻R1與電阻R2的分配比γ，由此執(zhí)行后述的 可變電阻設定工序。
[0059]溫度測定單元38由非接觸式的紅外傳感器、熱電偶等構(gòu)成，將彈簧狀構(gòu)件Μ的表面 的溫度信號輸出到判斷單元36。判斷單元36在由溫度測定單元38檢測出的彈簧狀構(gòu)件Μ的 溫度在規(guī)定范圍內(nèi)的情況下，判斷彈簧狀構(gòu)件Μ的表面處理狀態(tài)的好壞，在由溫度測定單元 38檢測出的溫度在規(guī)定范圍外的情況下，不進行彈簧狀構(gòu)件Μ的表面處理狀態(tài)的好壞判斷。 由此，能夠在彈簧狀構(gòu)件Μ的溫度對檢查的精度造成影響那樣的情況下不進行彈簧狀構(gòu)件 的表面處理狀態(tài)的好壞判斷，因此能夠進行高精度的檢查。在此，還能夠采用如下結(jié)構(gòu):通 過熱電偶等測定評價位置Ts的溫度，以彈簧狀構(gòu)件Μ的表面的溫度為代表溫度來判斷是否 進行彈簧狀構(gòu)件Μ的表面處理狀態(tài)的好壞判斷。
[0060] 由交流電源10向線圈23b供給規(guī)定頻率的交流電力，當以線圈23b與彈簧狀構(gòu)件Μ 的檢查對象面相向的方式使彈簧狀構(gòu)件Μ通過檢查檢測器23時產(chǎn)生交流磁場，在彈簧狀構(gòu) 件Μ的表面激發(fā)出沿與交流磁場交叉的方向流動的渦電流。由于渦電流根據(jù)殘留應力層的 電磁特性而發(fā)生變化，因此從放大器31輸出的輸出波形（電壓波形）的相位和振幅(阻抗)根 據(jù)殘留應力層的特性(表面處理狀態(tài))而發(fā)生變化。能夠根據(jù)該輸出波形的變化檢測表面處 理層的電磁特性來進行檢查。
[0061] 如圖2的(Β)所示，還能夠設置以在檢查檢測器23的外部且環(huán)繞彈簧狀構(gòu)件Μ的方 式配置的磁屏蔽件23c。當使用磁屏蔽件23c時，能夠屏蔽外部磁力，因此能夠提高電磁特性 的檢測靈敏度，從而提高與表面處理狀態(tài)對應的電磁特性的檢測靈敏度，因此能夠更高精 度地評價彈簧狀構(gòu)件Μ的表面處理狀態(tài)。
[0062](來自交流橋電路的輸出）
[0063]接著，參照圖3的等效電路說明來自被調(diào)整為非平衡狀態(tài)的交流橋電路20的輸出。 使用于輸出基準輸出的基準檢查體S接近基準檢測器22,使要判斷表面處理狀態(tài)好壞的彈 簧狀構(gòu)件Μ接近檢查檢測器23。在此，基準檢查體S為與彈簧狀構(gòu)件Μ相同的結(jié)構(gòu)，優(yōu)選使用 未進行表面處理的未處理品。
[0064] 在將可變電阻Ra的分配比設為γ的情況下，電阻R1為RA/(l+y )，電阻R2為RAy/(l + γ)。將基準檢測器22的阻抗設為Rs+jcoLs，將檢查檢測器23的阻抗設為RT+jc〇LT。另外，將 點A的電位設為E，將在沒有使各檢查體(基準檢查體S、彈簧狀構(gòu)件M)接近基準檢測器22、檢 查檢測器23時的橋的各邊流動的勵磁電流分別設為i^is，由于使各檢查體接近基準檢測器 22、檢查檢測器23而磁量發(fā)生變化，將與其變化量相應地流動的電流分別設為?α、?β。此時 的基準檢測器22和檢查檢測器23的電位Ε1、Ε2以及激勵電流h、i 2用下面的式（1)~（4)表 不。
[0065] [式1]
[0066] El = (Rs+j^Ls)(ia+ii) (1)
[0067] [式2]
[0068] E2=(RT+j〇LT)(iP+i2) (2)
[0073]向放大器31輸出的電壓為El、E2之差，用下式表不。
[0074] [式5]
[0075] E2-E1 = [ {(Rx+j ω Lx)i0-(Rs+j ω Ls)i0} + { (RT+j ω Lx) i2-(Rs+j ω Ls) ii} ] (5)
[0076] 由式(3)~(5)導出下式。
[0077] [式6] 「00781
[0079] 將式(6)的右邊拆開為下面的成分A、B來考慮差電壓的各成分。
[0080] 成分 A:
[0081] (RT+jc〇LT)iP-(Rs+j〇Ls)ia
[0082] 成分 B:
[0084]成分A由各檢測器成分：（Rs+j ω Ls)、（RT+j ω Lt)、在各檢查體接近各檢測器時發(fā)生 變化的電流量:ia、?β構(gòu)成。ia、?β根據(jù)由各檢查體的磁導率、導電率等電磁特性引起的穿過 檢查體的磁量的不同而大小發(fā)生變化。因此，能夠通過改變從各檢測器產(chǎn)生的影響磁量的 勵磁電流ii、i2,來改變ia、i0的大小。另外，依據(jù)式(3)、式(4)，勵磁電流ii、i2根據(jù)可變電阻 的分配比γ的不同而改變，因此能夠通過調(diào)整可變電阻的分配比γ，來改變成分A的大小。 [0085] 成分B由各檢測器成分：（此+」《1^)、（辦+」《1^)、以可變電阻的分配比丫分配得到 的電阻的參數(shù)構(gòu)成。因此，與成分A同樣地能夠通過調(diào)整可變電阻的分配比γ來改變成分B 的大小。
[0086]由交流電源10向檢查檢測器23的線圈23b供給規(guī)定頻率的交流電力，當彈簧狀構(gòu) 件Μ通過線圈23b內(nèi)時，在彈簧狀構(gòu)件Μ的表面激發(fā)出沿與交流磁場交叉的方向流動的渦電 流。由于渦電流根據(jù)殘留應力層的電磁特性發(fā)生變化，因此從放大器31輸出的輸出波形（電 壓波形）的相位和振幅(阻抗)根據(jù)殘留應力層的特性(表面處理狀態(tài))而發(fā)生變化。能夠根 據(jù)該輸出波形的變化來檢測殘留應力層的電磁特性從而進行表面處理狀態(tài)的檢查。
[0087]從橋的放大器31輸出的信號是提取基準檢測器22和檢查檢測器23的電壓波形的 差面積而得到的信號，由于形成為使檢測器中流動的電流(勵磁電流）固定的電路結(jié)構(gòu)，因 此能夠?qū)⒈惶崛〕龅碾妷盒盘栒J作電力信號。另外，向檢測器供給的電力始終是固定的，從 而向彈簧狀構(gòu)件Μ供給的磁能也能夠設為固定。
[0088](表面特性檢查方法）
[0089] 接著，參照圖4說明利用表面特性檢查裝置2進行的彈簧狀構(gòu)件Μ的表面特性檢查 方法。
[0090] 首先，在準備工序S1中，準備表面特性檢查裝置2以及基準檢查體S。
[0091] 接著，進行可變電阻設定工序S2。在可變電阻設定工序S2中，首先，從交流電源10 向交流橋電路20供給交流電力。在該狀態(tài)下，調(diào)整可變電阻21的分配比γ以使表面特性檢 查裝置2對檢查體的檢測靈敏度變高。即，以不使檢查體接近檢查檢測器23且交流橋電路20 的輸出信號變小的方式調(diào)整可變電阻21的分配比γ。通過像這樣事先設定可變電阻21，能 夠使接近檢查檢測器23的彈簧狀構(gòu)件Μ的表面處理狀態(tài)不良的情況和表面處理狀態(tài)良好的 情況下的輸出信號的差異大，從而提高檢測精度。
[0092]具體地說，通過示波器等具有波形顯示功能的顯示裝置(例如是判斷單元36所具 備的）監(jiān)視來自交流橋電路20的輸出信號的電壓振幅、或者來自LPF33的電壓輸出，以使輸 出變小的方式調(diào)整分配比γ。優(yōu)選的是，以使輸出取得最小值或極小值(局部平衡點）的方 式對可變電阻21的分配比γ進行調(diào)整、設定。
[0093] 進行可變電阻21的分配比γ的調(diào)整，以通過使差電壓(Ε2-Ε1)變小來使與表面狀 態(tài)的差異相應的輸出差增大從而提高檢查精度。如上所述，通過調(diào)整分配比γ來改變成分 Α、Β，因此能夠根據(jù)基準檢測器22、檢查檢測器23的阻抗(Rs+j ω Ls)、（RT+j ω LT)調(diào)整可變電 阻21的分配比γ，使作為來自交流橋電路20的輸出的差電壓(E2-E1)變小。由此能夠減少基 準檢測器22與檢查檢測器23之間的特性差異，從而盡可能大地提取彈簧狀構(gòu)件Μ原本的特 性，因此能夠提高檢查精度。
[0094]在頻率設定工序S3中，在使基準檢查體S接近檢查檢測器23的狀態(tài)下，從交流電源 1 〇向交流橋電路20供給交流電力，由頻率調(diào)整器35改變向交流橋電路20供給的交流電力的 頻率，來監(jiān)視來自交流橋電路20的電壓振幅輸出或來自LPF 33的電壓輸出。
[0095]頻率調(diào)整器35向交流電源10輸出控制信號以成為在頻率調(diào)整器35中設定的初始 頻率f 1，頻率f 1時的來自放大器31的輸出電壓ΕΠ 被輸入并存儲到頻率調(diào)整器35中。接著， 向交流電源10輸出控制信號以成為比頻率Π 高規(guī)定的值、例如高100Hz的頻率f2,頻率f2時 的來自放大器31的輸出電壓Ef 2被輸入并存儲到頻率調(diào)整器35中。
[0096]接著，進行ΕΠ 與Ef2的比較，如果Ef2>Efl，則輸出控制信號以成為比頻率f2高規(guī) 定的值的頻率f 3，頻率f 3時的來自放大器31的輸出電壓Ef 3被輸入并存儲到頻率調(diào)整器35。 然后，進行Ef2與Ef3的比較。反復進行該處理，將Efn+l〈Efn時的頻率fn、即輸出最大的頻率 fn設定為在閾值設定工序S4和交流供給工序S5中使用的頻率。由此，能夠通過一次的操作 來與表面處理狀態(tài)、形狀等不同且阻抗不同的彈簧狀構(gòu)件Μ相對應地設定使來自交流橋電 路20的輸出大的頻率。最佳的頻率是根據(jù)彈簧狀構(gòu)件Μ的材料、形狀、表面處理狀態(tài)而變化 的，但是在事先知道該變化的情況下，不需要進行頻率的設定。由此，能夠使輸出靈敏地對 應表面處理狀態(tài)的變化，從而提高檢查的靈敏度。
[0097] 在此，頻率設定工序S3也能夠在可變電阻設定工序S2之前實施。
[0098] 在閾值設定工序S4中，設定用于判斷彈簧狀構(gòu)件Μ的表面狀態(tài)的好壞的閾值。在 此，對于為了在彈簧狀構(gòu)件Μ的檢查中使用而預先設定的閾值的設定方法進行說明。
[0099]在閾值設定工序S4中，使基準檢查體S接近基準檢測器22,從交流電源10向交流橋 電路20供給在頻率設定工序S3中設定的頻率的交流電力，使基準檢查體S在檢查檢測器23 內(nèi)通過。此時，期望基準檢查體S的通過速度與實際檢查時的通過速度相一致、例如將基準 檢查體S置于引導構(gòu)件41中并利用自重在檢查檢測器23內(nèi)移動。從交流橋電路20輸出的電 壓輸出被放大器31放大，在絕對值電路32中進行全波整流，并在LPF 33中進行直流變換，被 輸出到判斷單元36。
[0100] 圖5中示意性地示出在彈簧狀構(gòu)件Μ通過檢查檢測器23時的來自交流橋電路20的 輸出值的變化。以規(guī)定的采樣間隔提取來自交流橋電路20的輸出值并進行存儲。采樣間隔 是考慮彈簧狀構(gòu)件Μ的通過時間而確定的。例如設定在通過時能夠測量10點以上的間隔。在 此，示出在彈簧狀構(gòu)件Μ的通過時間、即測定時間為1秒、采樣間隔為0.1秒時進行輸出值的 提取的情況。在此，彈簧狀構(gòu)件Μ處于檢查檢測器23內(nèi)的區(qū)域越大，輸出越是上升，因此在測 定時間的中央部，輸出值最大。
[0101] 按采樣間隔對所存儲的輸出值進行時間積分，計算輸出的積分值Σ，并事先存儲 到判斷單元36中。在此，由于采樣間隔為0.1秒，因此當將各采樣時間的輸出值設為Ε(1)、Ε (2) · · · Ε(9)時，計算為
[0102] Σ=Ε(1)Χ0·1+Ε(2)Χ0·1+· · · Ε(9)Χ0·1。
[0103] 將未處理的彈簧狀構(gòu)件以及表面狀態(tài)良好的表面處理后的彈簧狀構(gòu)件各準備十 個~幾十個左右，獲取積分值的分布數(shù)據(jù)。
[0104] 根據(jù)使未處理的彈簧狀構(gòu)件Μ通過檢查檢測器23時的輸出信號的積分值Σ Α以及 使表面狀態(tài)良好的表面處理后的彈簧狀構(gòu)件Μ通過檢查檢測器23時的輸出信號的積分值Σ Β，考慮到各個輸出信號的偏差而通過下式求出并設定閾值Xthi。圖7中示意性地示出未處 理的彈簧狀構(gòu)件的輸出信號的積分值ΣΑ以及表面處理后的彈簧狀構(gòu)件的輸出信號的積分 值ΣΒ的分布。
[0105] (式 7)
[0106] Ethi = ( EAav · 〇B+EBav · 〇A)/(〇A+〇B)
[0107] Σ Aav為積分值Σ A的平均值，Σ Bav為積分值Σ B的平均值，〇A為積分值Σ A的標準 偏差，σΒ為積分值Σ B的標準偏差。
[0108] 由此，能夠通過較少的測定數(shù)設定高精度的適當?shù)拈撝?。將該閾值?thi設定為閾 值并事先存儲到判斷單元36。在此，閾值Σ thi與積分值Σ A的最大值Σ Amax和積分值Σ B的 最小值Σ Bmin之間具有如下的關(guān)系。
[0109] EAmax< Ethi< EBmin
[0110]此外，在上述關(guān)系不成立的情況下，也能夠考慮積分值σ A和積分值Σ B的偏差、是 否存在大幅地偏離于分布的特異性的測定值等，來設定適當?shù)拈撝郸?thi。例如存在測定多 個相同的彈簧狀構(gòu)件的未處理狀態(tài)、表面處理狀態(tài)并使用這些再次計算閾值Σ thi等方法。
[0111] 在交流供給工序S5中，從交流電源10向交流橋電路20供給在頻率設定工序S3中設 定的頻率的交流電力。在此，基準檢查體S接近檢查檢測器23。
[0112] 接著，在配置工序S6中，使要判斷表面處理狀態(tài)的好壞的彈簧狀構(gòu)件Μ通過檢查檢 測器23，在彈簧狀構(gòu)件Μ中激發(fā)出渦電流。此時，從交流橋電路20輸出電壓輸出信號，輸出信 號被放大器31放大，在絕對值電路32中進行全波整流，在LPF 33中進行直流變換。
[0113] 溫度測定單元38在彈簧狀構(gòu)件Μ通過檢查檢測器23之前、或者在彈簧狀構(gòu)件Μ通過 時測定彈簧狀構(gòu)件Μ的表面的溫度，并將彈簧狀構(gòu)件Μ的表面的溫度信號輸出到判斷單元 36 〇
[0114] 在檢查狀態(tài)判斷工序S7中，由相位比較器34將從交流電源10供給的交流電力的波 形與從交流橋電路20輸出的交流電壓波形進行比較，檢測它們的相位差。通過監(jiān)視該相位 差，能夠判斷檢查狀態(tài)是否良好(例如，檢查檢測器23與彈簧狀構(gòu)件Μ之間沒有位置偏移）。 即使來自交流橋電路20的輸出相同，但在相位差大幅變化的情況下，檢查狀態(tài)發(fā)生變化，能 夠判斷為有可能沒有適當?shù)剡M行檢查。另外，在由溫度測定單元38檢測出的彈簧狀構(gòu)件Μ的 溫度在規(guī)定范圍內(nèi)的情況下，判斷單元36判斷彈簧狀構(gòu)件Μ的表面處理狀態(tài)的好壞，在由溫 度測定單元38檢測出的溫度在規(guī)定范圍外的情況下，不進行彈簧狀構(gòu)件Μ的表面處理狀態(tài) 的好壞判斷。在此，規(guī)定的溫度范圍是彈簧狀構(gòu)件Μ的溫度變化對檢查沒有實質(zhì)影響的溫度 范圍，例如能夠設定為〇°C~60°C。在彈簧狀構(gòu)件Μ的表面的溫度在規(guī)定的溫度范圍外的情 況下，能夠進行以下等處理:進行待機直至彈簧狀構(gòu)件Μ處于規(guī)定的溫度范圍內(nèi)為止、對彈 簧狀構(gòu)件Μ吹送空氣、不進行彈簧狀構(gòu)件Μ的檢查而移動到其它的處理線。
[0115] 在好壞判斷工序S8中，在LPF 33中進行直流變換后的信號被輸入到判斷單元36， 判斷單元36根據(jù)被輸入的信號判斷彈簧狀構(gòu)件Μ的表面狀態(tài)的好壞。也就是說，本工序是根 據(jù)從交流橋電路20輸出的輸出信號來對彈簧狀構(gòu)件的表面特性進行評價的評價工序。判斷 單元36的判斷結(jié)果被輸出到表面特性檢查挑選裝置1的控制裝置60。另外，還能夠通過顯示 單元37進行顯示，并在表面狀態(tài)不良的情況下進行警告。
[0116] 通過基于來自LPF 33的輸出值求出輸出特性的代表值(在本實施方式中，為后述 的積分值Σ8)并與在閾值設定工序S4中設定的閾值進行比較，來進行彈簧狀構(gòu)件Μ的表面 處理狀態(tài)的好壞的判斷。判斷單元36在代表值超過閾值的情況下，判斷為表面狀態(tài)良好，在 代表值為閾值以下的情況下，判斷為表面狀態(tài)不良。
[0117] 測定值、好壞判斷結(jié)果、測定日期和時間、檢查狀態(tài)(溫度、濕度、后述的差電壓ΔΕ 等)等檢查數(shù)據(jù)與批次、制造編號、歷史記錄等各彈簧狀構(gòu)件Μ的識別信息相關(guān)聯(lián)地被存儲 到評價裝置30的判斷單元36、或未圖示的存儲單元中，能夠根據(jù)需要調(diào)用。即，也可以對彈 簧狀構(gòu)件直接或間接地賦予與各個測定數(shù)據(jù)對應的標識顯示。例如可以將與測定數(shù)據(jù)對應 的條形碼、產(chǎn)品管理編號直接地顯示在彈簧狀構(gòu)件上、或間接地顯示在彈簧狀構(gòu)件上。這 樣，通過將測定數(shù)據(jù)與條形碼、產(chǎn)品管理編號等標識顯示對應起來，能夠使由表面特性檢查 裝置2檢查出的彈簧狀構(gòu)件的表面處理的狀態(tài)成為在流通之后可追蹤的狀態(tài)，從而能夠確 保可溯源性。
[0118] 通過以上的工序，能夠簡單且高精度地檢查彈簧狀構(gòu)件Μ的表面處理狀態(tài)的好壞。 為了連續(xù)地進行彈簧狀構(gòu)件Μ的檢查，重復進行配置工序S6、檢查狀態(tài)判斷工序S7、好壞判 斷工序S8。在變更彈簧狀構(gòu)件Μ的種類、表面處理的種類等的情況下，再次實施可變電阻設 定工序S2、頻率設定工序S3、閾值設定工序S4。
[0119] 檢查檢測器23通過捕捉在彈簧狀構(gòu)件Μ的表面流動的渦電流的變化，來間接地捕 捉表面電阻變化。在此，在作為表面處理進行了噴丸處理的情況下，作為渦電流的流量發(fā)生 變化的因素，列舉因噴丸引起的應變、組織的細化、位錯，但它們在測定環(huán)境的溫度變化(〇 °C~40°C)程度下是大致固定的。檢查檢測器23所檢測的磁變化是由于渦電流的退磁場的 變化所引起的，由于渦電流發(fā)生變化的因素不容易受到測定環(huán)境的溫度變化的影響，因此 能夠減小溫度變化對檢查精度的影響。
[0120] 為了在基準檢測器22中檢測基準狀態(tài)，使用了與彈簧狀構(gòu)件Μ相同結(jié)構(gòu)的基準檢 查體S，因此即使由于溫度、濕度、磁等檢查環(huán)境的變化而輸出值發(fā)生變動，其影響也與彈簧 狀構(gòu)件Μ相同。由此，能夠消除因溫度、濕度、磁等檢查環(huán)境的變化引起的輸出值的變動，從 而能夠提高測定精度。特別地，當使用未進行表面處理的未處理品作為基準檢查體S時，能 夠使基于與彈簧狀構(gòu)件Μ之間的表面狀態(tài)的差的輸出增大，因此能夠進一步提高測定精度， 并且易于設定閾值，較為理想。
[0121] 在不實施檢查狀態(tài)判斷工序S7的情況下，表面特性檢查裝置2能夠省略相位比較 器34。例如能夠設為進行以下等處理的結(jié)構(gòu):通過激光位移計等位置檢測單元進行檢查檢 測器23與彈簧狀構(gòu)件Μ的位置關(guān)系的檢測，通過光電傳感器(激光器)等判定檢查檢測器23 的軸與彈簧狀構(gòu)件Μ的軸之間的偏移是否在規(guī)定的范圍內(nèi)。另外，相位比較器34、頻率調(diào)整 器35或顯示單元37還能夠以內(nèi)置于判斷單元36中等方式一體地設置。
[0122] 在測定彈簧狀構(gòu)件Μ時的來自交流橋電路20的輸出足夠大的情況下，也能夠省略 可變電阻設定工序S2、頻率設定工序S3。在省略頻率設定工序S3的情況下，表面特性檢查裝 置2能夠省略頻率調(diào)整器35。
[0123] (表面特性檢查挑選方法）
[0124] 接著，參照圖7說明使用表面特性檢查挑選裝置1將彈簧狀構(gòu)件Μ挑選為良品和不 良品的表面特性檢查挑選方法。
[0125] 首先，在步驟S11中，由輸送帶101輸送過來的彈簧狀構(gòu)件Μ被引導構(gòu)件41引導至檢 查檢測器23。此時，探測單元43探測彈簧狀構(gòu)件Μ通過引導構(gòu)件41被引導至檢查檢測器23這 一情況。
[0126] 當由探測單元43探測出彈簧狀構(gòu)件Μ被引導至檢查檢測器23時，以探測單元43發(fā) 送的探測信號為觸發(fā)來進行彈簧狀構(gòu)件Μ的表面特性的評價。
[0127] 首先，在接下來的步驟S12中，以規(guī)定的采樣間隔提取來自檢查檢測器23的輸出值 并存儲。在此，示出在彈簧狀構(gòu)件Μ的通過時間、即測定時間為1秒時以0.1秒為間隔進行采 樣的情況(圖5)。
[0128] 在接下來的步驟S13中，與閾值設定工序S4同樣地，對所存儲的輸出值進行時間積 分，計算輸出的積分值Σ s。
[0129] 在接下來的步驟S14中，將該積分值Σ8與在閾值設定工序S4中設定的閾值進行比 較，判斷彈簧狀構(gòu)件Μ的好壞(好壞判斷工序S8)。
[0130] 在接下來的步驟S15中，將彈簧狀構(gòu)件Μ挑選為良品和不良品。當在步驟S14中判斷 為彈簧狀構(gòu)件Μ是良品時，挑選單元50不進行動作，彈簧狀構(gòu)件Μ被在送出構(gòu)件42的延長線 上的下方配置的良品回收單元110回收、或被輸送至下一工序。
[0131] 當在步驟S14中判斷為彈簧狀構(gòu)件Μ是不良品時，由判斷單元36將判斷結(jié)果輸入至 控制裝置60?？刂蒲b置60使挑選單元50進行動作，對通過了送出構(gòu)件42的彈簧狀構(gòu)件Μ噴射 壓縮空氣來變更彈簧狀構(gòu)件Μ的輸送方向，將彈簧狀構(gòu)件Μ送至不良品回收單元120。
[0132] 通過連續(xù)地進行上述操作，能夠連續(xù)地對彈簧狀構(gòu)件Μ的表面特性進行評價，判斷 好壞，從而將彈簧狀構(gòu)件Μ挑選為良品和不良品。
[0133] 根據(jù)表面特性檢查挑選裝置1，使彈簧狀構(gòu)件Μ在檢查檢測器23內(nèi)不停止地通過， 由表面特性檢查裝置2評價彈簧狀構(gòu)件Μ的表面特性并判斷好壞，因此能夠縮短評價彈簧狀 構(gòu)件Μ的表面特性并判斷好壞的時間。由此，能夠與較短的生產(chǎn)節(jié)拍時間對應地進行彈簧狀 構(gòu)件Μ的表面特性的評價、好壞的判斷。然后，能夠通過挑選單元50將彈簧狀構(gòu)件Μ可靠地挑 選為良品和不良品。
[0134] (變更例）
[0135] 作為挑選單元50,使用噴射壓縮空氣的噴嘴，但是并不限定于此。例如，能夠如圖8 所示那樣采用具備形成有彈簧狀構(gòu)件Μ可通過的孔部51a的挑選構(gòu)件51以及使該挑選構(gòu)件 51移動的移動單元(未圖示）的結(jié)構(gòu)。挑選構(gòu)件51在送出構(gòu)件42的下游且以彈簧狀構(gòu)件Μ可 通過孔部51a的狀態(tài)被配置（圖8的(Α))。在判斷單元36將彈簧狀構(gòu)件Μ判斷為良品的情況 下，挑選構(gòu)件51在其位置處保持不動，彈簧狀構(gòu)件Μ通過孔部51a而被良品回收單元110回 收、或被輸送至下一工序。當彈簧狀構(gòu)件Μ被判斷為不良品時，如圖8的(B)所示那樣，挑選構(gòu) 件51通過移動單元移動至彈簧狀構(gòu)件Μ無法通過孔部51a的位置。由此，彈簧狀構(gòu)件Μ碰撞挑 選構(gòu)件51而被送至不良品回收單元120。
[0136] 另外，如圖9所示，也能夠采用將送出構(gòu)件42分為兩支并在分支點設置挑選構(gòu)件52 的結(jié)構(gòu)。圖9是從上方觀察測定構(gòu)件40的俯視圖。圖9的(Α)中示出彈簧狀構(gòu)件Μ被判斷為良 品的情況下的挑選單元52的狀態(tài)，圖9的(Β)中示出彈簧狀構(gòu)件Μ被判斷為不良品的情況下 的挑選單元52的狀態(tài)。由此，能夠根據(jù)好壞的判斷結(jié)果，利用挑選單元52切換將彈簧狀構(gòu)件 Μ送出的方向，從而將彈簧狀構(gòu)件Μ挑選為良品和不良品。
[0137] 也能夠采用以下結(jié)構(gòu):準備多個檢查檢測器23,通過多個或進行了分支的引導單 元從輸送單元100將多個彈簧狀構(gòu)件Μ并行地引導，進行檢查。在此，評價裝置30能夠共用一 個評價裝置30。
[0138] 在本實施方式中，測定構(gòu)件40示出了彈簧狀構(gòu)件Μ由于自重而移動的結(jié)構(gòu)，但是并 不限定于此，也能夠采用引導構(gòu)件41、送出構(gòu)件42具備帶式輸送機等輸送機構(gòu)的結(jié)構(gòu)等。
[0139] 在本實施方式中，示出了在探測單元43探測出彈簧狀構(gòu)件Μ時開始提取輸出值的 結(jié)構(gòu)，但是也能夠采用始終監(jiān)視輸出值并在檢測出輸出值上升時開始提取輸出值的結(jié)構(gòu)。
[0140] 在本實施方式中，作為閾值（Σ thi )和與閾值（Σ thi )進行比較的代表值，使用了 輸出值的積分值（Σ8)，但是也能夠使用輸出值的峰值(最大值）。此外，在使用了輸出值的 積分值作為閾值和與閾值進行比較的代表值的情況下，能夠減小因彈簧狀構(gòu)件Μ在檢查檢 測器23內(nèi)的通過狀態(tài)等引起的值的偏差，因此能夠進行更準確的測定、好壞的判斷。
[0141] 控制裝置60可以不與判斷單元36分開地設置，也能夠一體地構(gòu)成。
[0142] [實施方式的效果]
[0143] 根據(jù)本發(fā)明的表面特性檢查挑選裝置1以及表面特性檢查方法，能夠通過檢查檢 測器23的線圈23b在彈簧狀構(gòu)件Μ中激發(fā)渦電流，根據(jù)從交流橋電路20輸出的輸出信號對彈 簧狀構(gòu)件Μ的表面特性進行評價。由此，能夠通過簡單的電路結(jié)構(gòu)來進行高精度的表面狀態(tài) 的檢查。
[0144] 根據(jù)表面特性檢查挑選裝置1，使彈簧狀構(gòu)件Μ在檢查檢測器23內(nèi)不停止地通過， 由表面特性檢查裝置2評價彈簧狀構(gòu)件Μ的表面特性并判斷好壞，因此能夠縮短評價彈簧狀 構(gòu)件Μ的表面特性并判斷好壞的時間。由此，能夠與較短的生產(chǎn)節(jié)拍時間對應地進行彈簧狀 構(gòu)件Μ的表面特性的評價、好壞的判斷。然后，能夠利用挑選單元50將彈簧狀構(gòu)件Μ可靠地挑 選為良品和不良品。
[0145] 另外，根據(jù)本發(fā)明的表面特性檢查挑選系統(tǒng)SYS，由于具備輸送單元100,因此能夠 構(gòu)建為能夠連續(xù)地進行彈簧狀構(gòu)件Μ的輸送、評價、挑選、送出的表面特性檢查挑選系統(tǒng)。另 外，能夠由良品回收單元110迅速地回收良品或者將良品輸送至下一工序，并且能夠由不良 品回收單元120僅挑選出不良品并回收，因此能夠高效地進行挑選作業(yè)。
[0146] 附圖標記說明
[0147] 1:表面特性檢查挑選裝置;2:表面特性檢查裝置；10:交流電源;20:交流橋電路； 21:可變電阻；22:基準檢測器;23:檢查檢測器;23a:芯體;23b:線圈；30:評價裝置;31:放大 器;32:絕對值電路;33: LPF; 34:相位比較器;35:頻率調(diào)整器;36:判斷單元;37:顯示單元； 38:溫度測定單元;40:測定構(gòu)件;41:引導構(gòu)件;42:送出構(gòu)件;43:探測單元;50:挑選單元； 60:控制裝置；100:輸送單元；101:輸送帶；102:銷；110:良品回收單元；120:不良品回收單 元;Μ:彈簧狀構(gòu)件;S:基準檢查體;SYS:表面特性檢查挑選系統(tǒng)。
【主權(quán)項】
1. 一種表面特性檢查挑選裝置，對由表面處理裝置實施表面處理后的彈簧狀構(gòu)件的表 面特性進行評價，挑選出良品和不良品，該表面特性檢查挑選裝置的特征在于，具備： 表面特性檢查裝置，其具備:交流橋電路;交流電源，其向所述交流橋電路供給交流電 力；以及評價裝置，其根據(jù)來自所述交流橋電路的輸出信號，對彈簧狀構(gòu)件的表面特性進行 評價，其中，所述交流橋電路具有:可變電阻，其構(gòu)成為在第一電阻與第二電阻之間分配比 可變;檢查檢測器，其具備能夠激勵交流磁的線圈，被形成為能夠以在彈簧狀構(gòu)件中激發(fā)出 渦電流的方式配置該線圈；以及基準檢測器，其檢測成為與來自所述檢查檢測器的輸出進 行比較的基準的基準狀態(tài)，其中，所述第一電阻、所述第二電阻、所述基準檢測器以及所述 檢查檢測器構(gòu)成橋電路，所述評價裝置根據(jù)在向所述交流橋電路供給交流電力、且由所述 檢查檢測器檢測了所述彈簧狀構(gòu)件的電磁特性、且由所述基準檢測器檢測了基準狀態(tài)的狀 態(tài)下的來自所述交流橋電路的輸出信號，對所述彈簧狀構(gòu)件的表面特性進行評價； 引導構(gòu)件，其以使從所述表面處理裝置輸送的彈簧狀構(gòu)件不停止地通過所述檢查檢測 器的方式對彈簧狀構(gòu)件進行引導；以及 挑選單元，其將被所述檢查檢測器評價表面特性之后的彈簧狀構(gòu)件挑選為良品和不良 品， 其中，所述表面特性檢查裝置根據(jù)在彈簧狀構(gòu)件通過所述檢查檢測器的期間從所述交 流橋電路輸出的輸出信號，對彈簧狀構(gòu)件的表面特性進行評價并判斷好壞。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面特性檢查挑選裝置，其特征在于， 還具備探測單元，該探測單元探測彈簧狀構(gòu)件被引導至所述檢查檢測器這一情況，所 述表面特性檢查裝置根據(jù)所述探測單元的探測信號，提取來自所述交流橋電路的輸出信 號。3. -種表面特性檢查挑選系統(tǒng)，具備： 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的表面特性檢查挑選裝置；以及 輸送單元，其將由表面處理裝置實施表面處理后的彈簧狀構(gòu)件輸送至表面特性檢查裝 置。4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的表面特性檢查挑選系統(tǒng)，其特征在于，還具備： 良品回收單元，其用于回收或輸送被判斷為良品而挑選出的彈簧狀構(gòu)件；以及 不良品回收單元，其用于回收被判斷為不良品而挑選出的彈簧狀構(gòu)件。5. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的表面特性檢查挑選系統(tǒng)，其特征在于， 所述輸送單元具備:輸送帶；以及劃分構(gòu)件，其劃分所述輸送帶的載置彈簧狀構(gòu)件的位 置。6. -種表面特性檢查挑選方法，其特征在于， 準備根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的表面特性檢查挑選裝置， 通過所述引導構(gòu)件以使由所述表面處理裝置實施表面處理后的彈簧狀構(gòu)件不停止地 通過所述檢查檢測器的方式對彈簧狀構(gòu)件進行引導， 通過將基于彈簧狀構(gòu)件通過所述檢查檢測器的期間的輸出信號求出的代表值與預先 設定的閾值進行比較，來利用所述表面特性檢查裝置判斷好壞， 根據(jù)所述表面特性檢查裝置對好壞的判斷結(jié)果，將彈簧狀構(gòu)件挑選為良品和不良品。7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的表面特性檢查挑選方法，其特征在于， 在彈簧狀構(gòu)件通過所述檢查檢測器的期間對來自所述交流橋電路的輸出信號進行積 分，由此計算所述代表值。8. 根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的表面特性檢查挑選方法，其特征在于， 在將與要評價表面特性的彈簧狀構(gòu)件相同結(jié)構(gòu)的基準檢查體配置在所述基準檢測器 的狀態(tài)下進行所述判斷好壞的工序。9. 根據(jù)權(quán)利要求6至8中的任一項所述的表面特性檢查挑選方法，其特征在于， 所述評價裝置還具備存儲單元，該存儲單元將各彈簧狀構(gòu)件的識別信息與該彈簧狀構(gòu) 件的表面特性的檢查數(shù)據(jù)相關(guān)聯(lián)地進行存儲。
【文檔編號】G01N27/72GK106030300SQ201480076045
【公開日】2016年10月12日
【申請日】2014年10月8日
【發(fā)明人】牧野良保
【申請人】新東工業(yè)株式會社