使用追蹤式激光干涉計的測量系統(tǒng)及其恢復(fù)方法
【專利摘要】本發(fā)明提供使用追蹤式激光干涉計的測量系統(tǒng)及其恢復(fù)方法。在使用利用追蹤式激光干涉計的測量系統(tǒng)來進行測量的情況下，向反光鏡照射激光，使追蹤式激光干涉計處于追蹤狀態(tài)，并且將移動體移動至期望的點，并且對在單個期望的位置處的移動體的位置數(shù)據(jù)和來自追蹤式激光干涉計的雙軸轉(zhuǎn)動部的轉(zhuǎn)動位置數(shù)據(jù)的組合進行存儲。在接收光判斷部判斷為光量存在異常的情況下，保持移動體和雙軸轉(zhuǎn)動部的位置，并且使移動體和雙軸轉(zhuǎn)動部移動至所存儲的各自的預(yù)定位置。在移動之后消除了所接收到的光量的異常的情況下，使追蹤式激光干涉計處于追蹤狀態(tài)，并且再次開始測量。
【專利說明】
使用追蹤式激光干涉計的測量系統(tǒng)及其恢復(fù)方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及一種使用追蹤式激光干涉計的測量系統(tǒng)和測量系統(tǒng)的恢復(fù)方法。特別地，本發(fā)明涉及即使在激光被遮斷并且追蹤不再可能的情況下，也能夠自動對追蹤進行重設(shè)并再次開始測量的使用追蹤式激光干涉計的測量系統(tǒng)和測量系統(tǒng)的恢復(fù)方法。
【背景技術(shù)】
[0002]日本專利2603429、美國專利6147748以及日本專利4776454描述了如下的追蹤式激光干涉計的示例:在追蹤移動體時，高精確度地測量該移動體的移位和位置。這些追蹤式激光干涉計在對測量裝置或機床進行校準(zhǔn)的情況下使用，并且向要校準(zhǔn)的裝置安裝反光鏡(遞歸反射器)作為測量體。
[0003]圖1示出追蹤式激光干涉計的典型結(jié)構(gòu)。追蹤式激光干涉計40配置有:固定至移動體(測量對象)22的反光鏡42;光學(xué)測量裝置70;雙軸轉(zhuǎn)動裝置80;以及雙軸轉(zhuǎn)動裝置80所用的控制裝置(以下稱為轉(zhuǎn)動機構(gòu)控制裝置)82。雙軸轉(zhuǎn)動裝置80包括具有相互正交的軸的雙軸轉(zhuǎn)動機構(gòu)，并且在各軸上具有角度檢測部(圖中未示出)。使用光纖62將激光74從激光光源60向光學(xué)測量裝置70引導(dǎo)。光學(xué)測量裝置70配置有用于測量從原點O到反光鏡42的距離L的激光干涉計(長度測量尺；以下簡單稱為激光干涉計)72和在反光鏡42的追蹤控制中所使用的追蹤用光學(xué)裝置76。
[0004]反光鏡42是使入射光和反射光的光軸平行并且使入射光和反射光的光軸相對于反光鏡42的中心呈點對稱的光學(xué)元件。因此，在入射光入射至遠離反光鏡42的反射中心的位置的情況下，反射光返回至相對于入射光偏移的位置。追蹤用光學(xué)裝置76包括用于監(jiān)測入射光和反射光之間的偏移量的光學(xué)位置檢測部78。追蹤用光學(xué)裝置76檢測偏移量并且將該偏移量發(fā)送到轉(zhuǎn)動機構(gòu)控制裝置82。
[0005]通過使用從追蹤用光學(xué)裝置76發(fā)送的信號(入射光和反射光之間的偏移量)和從雙軸轉(zhuǎn)動機構(gòu)的各轉(zhuǎn)動軸上的角度檢測部輸出的角度信號，轉(zhuǎn)動機構(gòu)控制裝置82控制雙軸轉(zhuǎn)動裝置80以使得該偏移量在預(yù)定范圍內(nèi)。
[0006]安裝至包括具有相互正交的軸的雙軸轉(zhuǎn)動機構(gòu)(雙軸轉(zhuǎn)動部)的雙軸轉(zhuǎn)動裝置80的激光干涉計72使得從反光鏡42返回的光發(fā)生干涉;包括用于利用相位來檢測干涉光的強度變化的檢測部;并且將雙軸轉(zhuǎn)動機構(gòu)的轉(zhuǎn)動中心(交點)視為原點O，并且經(jīng)由轉(zhuǎn)動機構(gòu)控制裝置82來測量從原點O到反光鏡42的距離L。
[0007]利用該結(jié)構(gòu)，在追蹤式(追蹤)激光干涉計40的測量中，獲得雙軸轉(zhuǎn)動裝置80的角度信號、激光干涉計72所觀測到的距離數(shù)據(jù)(L)來作為測量值。通過使用這些測量值，可以使用追蹤式激光干涉計40作為三維坐標(biāo)測量裝置。
[0008]另外，通過使用多個追蹤式激光干涉計、僅使用激光干涉計72所觀測到的距離數(shù)據(jù)(L)，可以進行三邊長度測量，并且還可以計算三維坐標(biāo)值。
[0009]然而，在圖1所示的追蹤式激光干涉計40中，在激光74被追蹤式激光干涉計主體50和反光鏡42之間的障礙物等遮斷的情況下、或者在反光鏡42的表面被弄臟的情況下、或者由于其它原因，對反光鏡42的位置的追蹤可能變得不可能。在這種情況下，需要進行諸如作業(yè)者去往轉(zhuǎn)動機構(gòu)控制裝置82所處的位置并操作追蹤式激光干涉計主體50來使激光74出射至反光鏡42、或者使移動體22(包括反光鏡42)移向正照射的激光74等的作業(yè)，以再次開始測量。另外，由于測量中途停止，有必要再次進行測量。由于在該作業(yè)中涉及人，因此可能導(dǎo)致環(huán)境變化(諸如溫度等)。這不利于高精度的測量。
[0010]本
【申請人】注意到日本專利5244339提出照射扇狀激光以對反光鏡進行定位，而日本特開2010-190634提出掃描螺旋狀激光以對反光鏡進行定位。然而，兩者都需要額外的硬件。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0011]為了解決上述傳統(tǒng)問題而設(shè)計了本發(fā)明，并且針對使用激光干涉計來測量移位的追蹤式激光干涉計而言，即使在激光被遮斷以及追蹤變得不可能的情況下，也可以利用簡單方法來自動地對追蹤進行重設(shè)并且再次開始測量，而無需額外的硬件。
[0012]本發(fā)明提供一種使用追蹤式激光干涉計的測量系統(tǒng)，包括:工業(yè)機械，其包括:移動體，其被配置為相對于對象移動；以及移動部，其被配置為使所述移動體相對于所述對象移動，追蹤式激光干涉計，其包括:反光鏡，其安裝于所述移動體上;檢測部，其被配置為向所述反光鏡照射激光，并且還被配置為利用所述反光鏡在返回方向上所反射的激光的干涉來檢測移位;光學(xué)追蹤部，其具有被配置為檢測激光的光軸的位置偏移的光學(xué)位置檢測部；雙軸轉(zhuǎn)動部，其具有相互正交的軸并且被配置為改變所述激光的出射方向；以及角度檢測部，其設(shè)置于所述雙軸轉(zhuǎn)動部的各軸上，其中，所述追蹤式激光干涉計被配置為在所述移動部使所述移動體相對于所述對象移動的情況下，通過所述光學(xué)位置檢測部來檢測所述反光鏡在所述返回方向上所反射的激光的光軸的位置偏移，并且所述雙軸轉(zhuǎn)動部被控制成將激光的光軸的位置偏移限制在預(yù)定的范圍內(nèi)，接收光判斷部，其被配置為基于所述光學(xué)位置檢測部的接收光信號，來判斷從所述反光鏡反射的光量是否存在異常，以及存儲部，其被配置為在所述移動體被移動至多個位置的情況下，獲得并存儲各個位置處的所述工業(yè)機械的位置數(shù)據(jù)、從所述追蹤式激光干涉計到所述反光鏡的距離和當(dāng)時的雙軸角度位置數(shù)據(jù)。
[0013]在本示例中，所述工業(yè)機械的控制部和所述追蹤式激光干涉計的控制部能夠被配置為相互通信。
[0014]本發(fā)明還提供一種使用追蹤式激光干涉計的測量系統(tǒng)的恢復(fù)方法，其中，在使用上述的使用追蹤式激光干涉計的測量系統(tǒng)來進行測量的情況下，執(zhí)行以下步驟:向所述反光鏡照射激光，使所述追蹤式激光干涉計處于追蹤狀態(tài)，并且將所述移動體移動至期望的點，并且對在單個期望的位置處的所述移動體的位置數(shù)據(jù)和來自所述追蹤式激光干涉計的所述雙軸轉(zhuǎn)動部的轉(zhuǎn)動位置數(shù)據(jù)的組合進行存儲，以及在所述接收光判斷部判斷為所述光量存在異常的情況下，保持所述移動體和所述雙軸轉(zhuǎn)動部的位置，并且將所述移動體和所述雙軸轉(zhuǎn)動部移動至所存儲的各自的預(yù)定位置，然后在移動之后消除了所接收的光量的異常的情況下，使所述追蹤式激光干涉計處于追蹤狀態(tài)，并且再次開始測量。
[0015]本發(fā)明還提供一種使用追蹤式激光干涉計的測量系統(tǒng)的恢復(fù)方法，其中，在使用上述的追蹤式激光干涉計的測量系統(tǒng)來進行測量的情況下，執(zhí)行以下步驟:向所述反光鏡照射激光，使所述追蹤式激光干涉計處于追蹤狀態(tài)，并且將所述移動體移動至期望的點，并且對在多個期望的位置處的所述移動體的位置數(shù)據(jù)和來自所述追蹤式激光干涉計的所述雙軸轉(zhuǎn)動部的轉(zhuǎn)動位置數(shù)據(jù)的組合進行存儲，以及在所述接收光判斷部判斷為所述光量存在異常的情況下，保持所述移動體和所述雙軸轉(zhuǎn)動部的位置，并且使所述移動體和所述雙軸轉(zhuǎn)動部移動至所存儲的各自的預(yù)定位置，然后在移動之后所接收的光量仍然存在異常的情況下，保持所述移動體和所述雙軸轉(zhuǎn)動部，然后將所述移動體和所述雙軸轉(zhuǎn)動部移動至隨后的預(yù)定位置，并且重復(fù)移動直到消除了所接收的光量的異常的預(yù)定位置為止，以及在移動之后消除了所接收的光量的異常的情況下，使所述追蹤式激光干涉計處于追蹤狀態(tài)，并且再次開始測量。
[0016]根據(jù)本發(fā)明，例如，即使在由于來自追蹤式激光干涉計的激光被遮斷而導(dǎo)致追蹤不再可能的情況下，也可以利用簡單的方法來自動地對追蹤進行重設(shè)并且可以再次開始測量，而無需額外的硬件。因此，可以使追蹤恢復(fù)任務(wù)自動化，消除人為干涉，因此使環(huán)境變化小，使得進行更高精度及穩(wěn)定的測量。
【附圖說明】
[0017]在以下的詳細說明中，通過本發(fā)明的典型實施例的非限制性示例的方式參考所述的多個附圖來進一步說明本發(fā)明，其中在附圖的幾個視圖中，相同的附圖標(biāo)記表示相似的部件，并且其中:
[0018]圖1是示出傳統(tǒng)的追蹤式激光干涉計的典型結(jié)構(gòu)的框圖；
[0019]圖2是示出根據(jù)本發(fā)明的使用追蹤式激光干涉計的測量系統(tǒng)的實施例的結(jié)構(gòu)的框圖；
[0020]圖3是示出根據(jù)本發(fā)明的恢復(fù)方法的第一實施例的處理流程的流程圖；
[0021 ]圖4是示出第一實施例的正面圖；
[0022]圖5是示出根據(jù)本發(fā)明的恢復(fù)方法的第二實施例的處理流程的流程圖；以及
[0023]圖6是示出第二實施例的正面圖。
【具體實施方式】
[0024]這里所示的細節(jié)是舉例，并且僅用于例示性地論述本發(fā)明的實施例的目的，并且是為了提供被認為是本發(fā)明的原理和概念方面的最有用和最容易理解的說明而呈現(xiàn)的。在這方面，沒有嘗試以比本發(fā)明的基本理解所需的細節(jié)更詳細的方式示出本發(fā)明的結(jié)構(gòu)細節(jié)，其中利用附圖所進行的說明使得在實踐中如何能夠?qū)崿F(xiàn)本發(fā)明的各種形式對于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言是明顯的。
[0025]以下，參考附圖來詳細說明本發(fā)明的實施例。并且，本發(fā)明不限于在以下實施例和示例中所說明的內(nèi)容。以下實施例和示例的構(gòu)成要素還可以包括本領(lǐng)域技術(shù)人員容易想到的內(nèi)容、實質(zhì)上相同的內(nèi)容、以及包含等效范圍的內(nèi)容。此外，以下實施例和示例所公開的構(gòu)成要素還可以適當(dāng)結(jié)合、或者適當(dāng)?shù)倪x擇性應(yīng)用。
[0026]圖2中示出用于實現(xiàn)本發(fā)明的使用追蹤式激光干涉計的測量系統(tǒng)的實施例。
[0027I本實施例主要包括:諸如三維坐標(biāo)測量裝置或機床等的工業(yè)機械或機械20、追蹤式激光干涉計40和個人計算機(PC)90。
[0028]工業(yè)機械20包括:移動體22，其中，該移動體22相對于載置于載置臺12上的對象(測量對象或加工對象HO移動，并且該移動體22安裝了用以測量該對象10的測量觸頭(該測量觸頭還可以是用于對對象進行加工的加工工具)24;移動機構(gòu)(移動部)26，其中，該移動機構(gòu)26通過使移動體22移動或者使載置臺12移動來使移動體22相對于對象10移動;移動機構(gòu)26所用的控制裝置(以下稱為移動機構(gòu)控制裝置或控制部)28;以及用于將指令值和位置數(shù)據(jù)輸出至外部的通信裝置(還稱為通信部)30。
[0029]追蹤式激光干涉計40包括:安裝于移動體22上的反光鏡42;追蹤式激光干涉計主體50;轉(zhuǎn)動機構(gòu)控制裝置(轉(zhuǎn)動機構(gòu)控制部)82;以及監(jiān)測部86。
[0030]追蹤式激光干涉計主體50包括激光干涉計(長度測量尺)72、追蹤用光學(xué)裝置(還稱為光學(xué)追蹤部)76、雙向轉(zhuǎn)動裝置80、以及角度檢測部(未畫出)。還設(shè)置有轉(zhuǎn)動機構(gòu)控制裝置82、接收光判斷部84、監(jiān)測部86以及通信裝置88。激光干涉計72向反光鏡42照射來自激光光源60、經(jīng)由光纖62而被引導(dǎo)的激光74，并且使用該反光鏡42在返回方向上所反射的激光74的光學(xué)干涉來檢測從原點O到反光鏡42的距離L。追蹤用光學(xué)裝置76包括用于檢測激光74的光軸的位置偏移的光學(xué)位置檢測部78。雙向轉(zhuǎn)動裝置80包括具有相互正交的軸并且能夠改變激光干涉計72的出射方向的雙向轉(zhuǎn)動機構(gòu)。角度檢測部設(shè)置于雙向轉(zhuǎn)動機構(gòu)的各轉(zhuǎn)動軸。在通過移動機構(gòu)26使移動體22相對于對象10移動的情況下，轉(zhuǎn)動機構(gòu)控制裝置82使用光學(xué)位置檢測部78來檢測由安裝于移動體22的反光鏡42在返回方向上反射的激光的光軸的位置偏移，并且控制雙向轉(zhuǎn)動機構(gòu)以使得將激光的光軸的位置偏移限制在預(yù)定的范圍內(nèi)。例如，安裝于轉(zhuǎn)動機構(gòu)控制裝置82內(nèi)的接收光判斷部84基于來自光學(xué)位置檢測部78的接收光信號，來判斷從反光鏡42反射的光量是否存在異常。監(jiān)測部86顯示判斷結(jié)果。通信裝置88將指令值和位置數(shù)據(jù)輸出至外部。
[0031 ]例如，通過設(shè)置光電二極管ro來配置激光干涉計72。
[0032]例如，通過設(shè)置四元分割光電二極管PD或者二維位置感知檢測部(PSD)來配置光學(xué)位置檢測部78，并且，該光學(xué)位置檢測部78不僅能夠輸出光學(xué)位置，還能夠輸出接收的總光量。
[0033]PC 90包括用于存儲從工業(yè)機械20的移動機構(gòu)控制裝置28輸出的移動體22的位置數(shù)據(jù)以及從轉(zhuǎn)動機構(gòu)控制裝置82輸出的轉(zhuǎn)動機構(gòu)的位置數(shù)據(jù)的存儲部92。
[0034]測量系統(tǒng)使工業(yè)機械20的移動體22移動至多個位置，并且在各個位置處，測量系統(tǒng)持有工業(yè)機械20的位置數(shù)據(jù)、從追蹤式激光干涉計40的原點O到反光鏡42的距離L、以及當(dāng)時的雙軸角度位置數(shù)據(jù)，并且使用該數(shù)據(jù)進行測量。
[0035]在本實施例中，由PC90接收來自移動機構(gòu)控制裝置28和轉(zhuǎn)動機構(gòu)控制裝置82的通信，處理指令值和位置數(shù)據(jù)，并且進行測量。此外，在移動機構(gòu)控制裝置28和轉(zhuǎn)動機構(gòu)控制裝置82中之一是具有信號處理功能的控制裝置的情況下，移動機構(gòu)控制裝置28和轉(zhuǎn)動機構(gòu)控制裝置82可以直接連接來進行通信，并且可以實現(xiàn)相同的效果。
[0036]只要通信方法能夠進行雙向通信，可以使用諸如RS232C、RS422或USBLAN等的有線通信方法、或者諸如無線LAN或WiFi等的無線通信方法。
[0037]以下，參考圖3來說明圖2示出的測量系統(tǒng)的恢復(fù)動作的第一實施例。
[0038]首先，在步驟100中，向反光鏡42照射激光74，并且追蹤式激光干涉計40處于追蹤狀態(tài)。
[0039]接著，在步驟110中，移動移動體22，并且如圖4所示在期望的一點處收集數(shù)據(jù)。將當(dāng)時的來自工業(yè)機械20的位置數(shù)據(jù)和來自追蹤式激光干涉計40的雙向轉(zhuǎn)動裝置80的轉(zhuǎn)動位置數(shù)據(jù)的組合作為恢復(fù)點I存儲在PC 90的存儲部92中。該恢復(fù)點I設(shè)定在移動體22的可移動范圍內(nèi)不存在障礙物的位置處。
[0040]接著，進入步驟120，使移動體22移動至預(yù)定的測量位置并進行測量。此時，在步驟130中，通過接收光判斷部84判斷所接收到的光量是否存在異常。在所接收到的光量不存在異常的情況下，在步驟140中進行測量。在不存在異常的情況下，進行這些動作直到在步驟150中判斷為測量完成為止，并且在測量完成的情況下在步驟190中停止處理。
[0041]另一方面，在步驟130中判斷為所接收到的光量存在異常的情況下，處理進入步驟160，并且保持移動體22和追蹤式激光干涉計主體50的位置。
[0042]接著，在步驟170中，將移動體22移動至步驟110中所測量出的恢復(fù)點I，并且還使追蹤式激光干涉計主體50移動至恢復(fù)點I的轉(zhuǎn)動位置數(shù)據(jù)中的位置。
[0043]接著，處理進入步驟180，并且判斷是否消除了所接收到的光量中的異常。在消除了所接收到的光量的異常的情況下，系統(tǒng)進入使得能夠追蹤的狀態(tài)，并且處理返回至步驟120，然后再次開始測量。
[0044]以下，參考圖5來說明恢復(fù)動作的第二實施例。
[0045]在與第一實施例相同的步驟100中，向反光鏡42照射激光74，并且追蹤式激光干涉計40處于追蹤狀態(tài)。
[0046]接著，處理進入步驟112，并且如圖6所示，使移動體22移動至多個期望的點，并且將該多個期望的點的移動體22的位置數(shù)據(jù)和來自追蹤式激光干涉計40的雙軸轉(zhuǎn)動裝置80的轉(zhuǎn)動位置數(shù)據(jù)的組合作為多個恢復(fù)點I……N(在本示例中，N = 2)存儲在PC 90的存儲部92中。該恢復(fù)點I和2設(shè)定在移動體22的可移動范圍內(nèi)不存在障礙物的位置處。
[0047]接著，在步驟120中，將移動體22移動至預(yù)定的測量位置，并且在接收到的光量不存在異常的情況下，在步驟140中進行測量，并且處理重復(fù)直到在步驟150中測量完成為止，然后在步驟160中停止。
[0048]另一方面，在步驟130中判斷為所接收到的光量存在異常的情況下，處理進入步驟160，并且保持移動體22和追蹤式激光干涉計主體50的位置。
[0049]接著，在步驟170中，將移動體22和雙軸轉(zhuǎn)動裝置80移動至所存儲的恢復(fù)點I，并且在步驟180中消除了所接收到的光量的異常的情況下，處理返回至步驟120，并再次開始測量。
[0050]另一方面，即使在使移動體22和雙軸轉(zhuǎn)動裝置80移動至恢復(fù)點I的情況下，在步驟180中判斷為所接收到的光量仍存在異常時，在步驟190中保持該狀態(tài)，并且在步驟200中使移動體22和雙軸轉(zhuǎn)動裝置80移動至隨后的恢復(fù)點2，并且重復(fù)上述處理直到在步驟210中消除了所接收到的光量的異常為止。
[0051]在以這種方式消除了所接收到的光量的異常并且系統(tǒng)進入至能夠追蹤的狀態(tài)的情況下，處理返回至步驟120，并且再次開始測量。
[0052]工業(yè)機械20不限于三維坐標(biāo)測量裝置，并且可以是諸如其它測量裝置或者機床等的任意的工業(yè)機械。
[0053]注意，已提供的上述示例僅用于說明的目的，并且決沒有被構(gòu)造成對本發(fā)明的限制。盡管已參考典型實施例說明了本發(fā)明，但應(yīng)當(dāng)理解，這里已使用的詞語是用于描述和說明的詞語，而不是用于進行限制的詞語。在沒有背離本發(fā)明的各方面的精神和范圍的情況下，可以在如當(dāng)前陳述和修改的權(quán)利要求書的界限內(nèi)進行改變。盡管這里已參考特定結(jié)構(gòu)、材料和實施例說明了本發(fā)明，但本發(fā)明并不意圖局限于這里所公開的細節(jié);相反，本發(fā)明擴展至諸如處于所附權(quán)利要求書的范圍內(nèi)等的在功能上等同的所有結(jié)構(gòu)、方法和用途。
[0054]本發(fā)明不限于上述實施例，并且可以在沒有背離本發(fā)明的范圍的情況下進行各種改變和修改。
[0055]相關(guān)申請的交叉引用
[0056]本申請要求2015年4月21日提交的日本申請2015-086838的優(yōu)先權(quán)，在此通過引用明確包含其全部內(nèi)容。
【主權(quán)項】
1.一種使用追蹤式激光干涉計的測量系統(tǒng)，包括: 工業(yè)機械，其包括: 移動體，其被配置為相對于對象移動；以及 移動部，其被配置為使所述移動體相對于所述對象移動， 追蹤式激光干涉計，其包括: 反光鏡，其安裝于所述移動體上； 檢測部，其被配置為向所述反光鏡照射激光，并且還被配置為利用所述反光鏡在返回方向上所反射的激光的干涉來檢測移位； 光學(xué)追蹤部，其具有被配置為檢測激光的光軸的位置偏移的光學(xué)位置檢測部； 雙軸轉(zhuǎn)動部，其具有相互正交的軸并且被配置為改變所述激光的出射方向；以及角度檢測部，其設(shè)置于所述雙軸轉(zhuǎn)動部的各軸上，其中，所述追蹤式激光干涉計被配置為在所述移動部使所述移動體相對于所述對象移動的情況下，通過所述光學(xué)位置檢測部來檢測所述反光鏡在所述返回方向上所反射的激光的光軸的位置偏移，并且所述雙軸轉(zhuǎn)動部被控制成將激光的光軸的位置偏移限制在預(yù)定的范圍內(nèi)， 接收光判斷部，其被配置為基于所述光學(xué)位置檢測部的接收光信號，來判斷從所述反光鏡反射的光量是否存在異常，以及 存儲部，其被配置為在所述移動體被移動至多個位置的情況下，獲得并存儲各個位置處的所述工業(yè)機械的位置數(shù)據(jù)、從所述追蹤式激光干涉計到所述反光鏡的距離和當(dāng)時的雙軸角度位置數(shù)據(jù)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的使用追蹤式激光干涉計的測量系統(tǒng)，其中，所述工業(yè)機械的控制部和所述追蹤式激光干涉計的控制部能夠被配置為相互通信。3.—種使用追蹤式激光干涉計的測量系統(tǒng)的恢復(fù)方法，其中，在使用根據(jù)權(quán)利要求1所述的使用追蹤式激光干涉計的測量系統(tǒng)來進行測量的情況下，執(zhí)行以下步驟: 向所述反光鏡照射激光，使所述追蹤式激光干涉計處于追蹤狀態(tài)，并且將所述移動體移動至期望的點，并且對在單個期望的位置處的所述移動體的位置數(shù)據(jù)和來自所述追蹤式激光干涉計的所述雙軸轉(zhuǎn)動部的轉(zhuǎn)動位置數(shù)據(jù)的組合進行存儲，以及 在所述接收光判斷部判斷為所述光量存在異常的情況下，保持所述移動體和所述雙軸轉(zhuǎn)動部的位置，并且將所述移動體和所述雙軸轉(zhuǎn)動部移動至所存儲的各自的預(yù)定位置，然后在移動之后消除了所接收的光量的異常的情況下，使所述追蹤式激光干涉計處于追蹤狀態(tài)，并且再次開始測量。4.一種使用追蹤式激光干涉計的測量系統(tǒng)的恢復(fù)方法，其中，在使用根據(jù)權(quán)利要求2所述的使用追蹤式激光干涉計的測量系統(tǒng)來進行測量的情況下，執(zhí)行以下步驟: 向所述反光鏡照射激光，使所述追蹤式激光干涉計處于追蹤狀態(tài)，并且將所述移動體移動至期望的點，并且對在單個期望的位置處的所述移動體的位置數(shù)據(jù)和來自所述追蹤式激光干涉計的所述雙軸轉(zhuǎn)動部的轉(zhuǎn)動位置數(shù)據(jù)的組合進行存儲，以及 在所述接收光判斷部判斷為所述光量存在異常的情況下，保持所述移動體和所述雙軸轉(zhuǎn)動部的位置，并且將所述移動體和所述雙軸轉(zhuǎn)動部移動至所存儲的各自的預(yù)定位置，然后在移動之后消除了所接收的光量的異常的情況下，使所述追蹤式激光干涉計處于追蹤狀態(tài)，并且再次開始測量。5.—種使用追蹤式激光干涉計的測量系統(tǒng)的恢復(fù)方法，其中，在使用根據(jù)權(quán)利要求1所述的追蹤式激光干涉計的測量系統(tǒng)來進行測量的情況下，執(zhí)行以下步驟: 向所述反光鏡照射激光，使所述追蹤式激光干涉計處于追蹤狀態(tài)，并且將所述移動體移動至期望的點，并且對在多個期望的位置處的所述移動體的位置數(shù)據(jù)和來自所述追蹤式激光干涉計的所述雙軸轉(zhuǎn)動部的轉(zhuǎn)動位置數(shù)據(jù)的組合進行存儲，以及 在所述接收光判斷部判斷為所述光量存在異常的情況下，保持所述移動體和所述雙軸轉(zhuǎn)動部的位置，并且使所述移動體和所述雙軸轉(zhuǎn)動部移動至所存儲的各自的預(yù)定位置，然后在移動之后所接收的光量仍然存在異常的情況下，保持所述移動體和所述雙軸轉(zhuǎn)動部，然后將所述移動體和所述雙軸轉(zhuǎn)動部移動至隨后的預(yù)定位置，并且重復(fù)移動直到消除了所接收的光量的異常的預(yù)定位置為止，以及 在移動之后消除了所接收的光量的異常的情況下，使所述追蹤式激光干涉計處于追蹤狀態(tài)，并且再次開始測量。6.—種使用追蹤式激光干涉計的測量系統(tǒng)的恢復(fù)方法，其中，在使用根據(jù)權(quán)利要求2所述的追蹤式激光干涉計的測量系統(tǒng)來進行測量的情況下，執(zhí)行以下步驟: 向所述反光鏡照射激光，使所述追蹤式激光干涉計處于追蹤狀態(tài)，并且將所述移動體移動至期望的點，并且對在多個期望的位置處的所述移動體的位置數(shù)據(jù)和來自所述追蹤式激光干涉計的所述雙軸轉(zhuǎn)動部的轉(zhuǎn)動位置數(shù)據(jù)的組合進行存儲，以及 在所述接收光判斷部判斷為所述光量存在異常的情況下，保持所述移動體和所述雙軸轉(zhuǎn)動部的位置，并且使所述移動體和所述雙軸轉(zhuǎn)動部移動至所存儲的各自的預(yù)定位置，然后在移動之后所接收的光量仍然存在異常的情況下，保持所述移動體和所述雙軸轉(zhuǎn)動部，然后將所述移動體和所述雙軸轉(zhuǎn)動部移動至隨后的預(yù)定位置，并且重復(fù)移動直到消除了所接收的光量的異常的預(yù)定位置為止，以及 在移動之后消除了所接收的光量的異常的情況下，使所述追蹤式激光干涉計處于追蹤狀態(tài)，并且再次開始測量。
【文檔編號】G01B11/04GK106066156SQ201610248412
【公開日】2016年11月2日
【申請日】2016年4月20日 公開號201610248412.6, CN 106066156 A, CN 106066156A, CN 201610248412, CN-A-106066156, CN106066156 A, CN106066156A, CN201610248412, CN201610248412.6
【發(fā)明人】武富尚之
【申請人】株式會社三豐