一種傳感器響應(yīng)測量裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種質(zhì)量流量控制器，尤其涉及一種傳感器響應(yīng)測量裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller,以下全部簡稱MFC)應(yīng)用于精密的測量和控制氣體的質(zhì)量流量。在一定范圍內(nèi)的氣壓和溫度的變化情況下，它的測量和控制精度不受影響。
[0003]如圖1所示，MFC由分流器、傳感器、電路板和調(diào)節(jié)閥四個部分組成，分流器、傳感器及電路板的測量部分組成了 MFC的流量測量單元。調(diào)節(jié)閥與電路板的控制部分組成了MFC的控制系統(tǒng)。
[0004]當(dāng)氣體進(jìn)入MFC時，氣流首先由傳感器和分流器一分為二:氣體的一部分流入傳感器，其質(zhì)量流量的大小由傳感器測量；氣體的其它部分流過分流器，其大小由分流器決定。分流器的規(guī)格與量程范圍的大小成比例。流經(jīng)傳感器的氣體會使傳感器電橋產(chǎn)生一個微小的電壓差，該電壓差通過電路板上的流量放大電路，最后顯示出氣體的真實流量。將真實的流量與設(shè)定(期望流量)進(jìn)行比較并調(diào)節(jié)閥的大小即達(dá)到了控制功能。
[0005]影響質(zhì)量流量控制器性能主要有三個要素:傳感器的溫漂、質(zhì)量流量控制器的PID調(diào)節(jié)和電磁閥性能。質(zhì)量流量控制器改進(jìn)系統(tǒng)主要針對這三個要素，強(qiáng)化MFC的工作性能，增強(qiáng)可靠性。
[0006]現(xiàn)有技術(shù)中對傳感器響應(yīng)時間測試的裝置和方法復(fù)雜且不夠精確。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本實用新型的目的是提供一種可以快速、精確的測量質(zhì)量流量控制器中傳感器的響應(yīng)時間的傳感器響應(yīng)測量裝置。
[0008]本實用新型的目的是通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)的:
[0009]本實用新型的傳感器響應(yīng)測量裝置，包括氣路反應(yīng)時間測定管路和傳感器響應(yīng)時間測定管路；
[0010]所述氣路反應(yīng)時間測定管路包括:在氣源后依次連接減壓器、被測樣機(jī)，所述被測樣機(jī)的出口與截止閥和壓力傳感器分別連接；
[0011]所述傳感器響應(yīng)時間測定管路包括:在氣源后依次連接減壓器、流量控制器，所述流量控制器的出口與所述截止閥和所述被測樣機(jī)分別連接，所述被測樣機(jī)的出口與所述壓力傳感器連接。
[0012]由上述本實用新型提供的技術(shù)方案可以看出，本實用新型實施例提供的傳感器響應(yīng)測量裝置，由于包括氣路反應(yīng)時間測定管路和傳感器響應(yīng)時間測定管路，通過管路切換可以快速、精確的測量質(zhì)量流量控制器中傳感器的響應(yīng)時間。
【附圖說明】
[0013]圖1為質(zhì)量流量控制器的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]圖2為本實用新型實施例中氣路反應(yīng)時間測定管路的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0015]圖3為本實用新型實施例中傳感器響應(yīng)時間測定管路的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]圖中:
[0017]1、氣源，2、減壓器，3、被測樣機(jī)，4、截止閥，5、壓力傳感器，6、流量控制器。
【具體實施方式】
[0018]下面將對本實用新型實施例作進(jìn)一步地詳細(xì)描述。
[0019]本實用新型的傳感器響應(yīng)測量裝置，其較佳的【具體實施方式】是:
[0020]包括氣路反應(yīng)時間測定管路和傳感器響應(yīng)時間測定管路；
[0021]所述氣路反應(yīng)時間測定管路包括:在氣源后依次連接減壓器、被測樣機(jī)，所述被測樣機(jī)的出口與截止閥和壓力傳感器分別連接；
[0022]所述傳感器響應(yīng)時間測定管路包括:在氣源后依次連接減壓器、流量控制器，所述流量控制器的出口與所述截止閥和所述被測樣機(jī)分別連接，所述被測樣機(jī)的出口與所述壓力傳感器連接。
[0023]所述被測樣機(jī)、截止閥和壓力傳感器與電源和示波器連接。
[0024]傳感器作為整個系統(tǒng)的核心部件更是重中之重，所以對傳感器的測試就變得很重要。本實用新型的傳感器響應(yīng)測試裝置，可以快速測量質(zhì)量流量控制器中傳感器的響應(yīng)時間。
[0025]具體實施例:
[0026]如圖2所示，在氣源后接上減壓器，然后將被測樣機(jī)接入氣路中。接下來用三通將截止閥閥和壓力傳感器分別接在被測樣機(jī)后。這里要求氣路足夠短。
[0027]這里將被測樣機(jī)通電，并將流量檢測信號接在示波器上。同理將截止閥通電，并將截止閥供電電源接在示波器上，將壓力傳感器通電并將檢測信號接在示波器上。
[0028]測試時，將被測樣機(jī)設(shè)定到指定流量并通氣，這時截止閥不通，氣體從壓力傳感器流過。
[0029]當(dāng)將截止閥打開的瞬間，氣體大多數(shù)從截止閥流出，壓力傳感器信號驟變，即可從示波器中壓力傳感器信號響應(yīng)讀取氣路反應(yīng)時間A。
[0030]接下來將氣路改變:
[0031]如圖3所示，將原被測樣機(jī)位置換為流量控制器來控制流量。將被測樣機(jī)放在壓力傳感器前面。將被測樣機(jī)閥置全開。
[0032]測試時，設(shè)定流量控制器為指定流量并通氣，這時截止閥不通，氣體從壓力傳感器流過。當(dāng)將截止閥打開的瞬間，氣體大多數(shù)從截止閥流出，被測樣機(jī)的流量檢測信號和壓力傳感器信號驟變，即可從示波器中被測樣機(jī)的流量檢測信號中讀取響應(yīng)時間B。
[0033]時間B減時間A即為被測樣機(jī)的傳感器響應(yīng)時間。
[0034]以上所述，僅為本實用新型較佳的【具體實施方式】，但本實用新型的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實用新型披露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本實用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本實用新型的保護(hù)范圍應(yīng)該以權(quán)利要求書的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。
【主權(quán)項】
1.一種傳感器響應(yīng)測量裝置，其特征在于，包括氣路反應(yīng)時間測定管路和傳感器響應(yīng)時間測定管路； 所述氣路反應(yīng)時間測定管路包括:在氣源后依次連接減壓器、被測樣機(jī)，所述被測樣機(jī)的出口與截止閥和壓力傳感器分別連接； 所述傳感器響應(yīng)時間測定管路包括:在氣源后依次連接減壓器、流量控制器，所述流量控制器的出口與所述截止閥和所述被測樣機(jī)分別連接，所述被測樣機(jī)的出口與所述壓力傳感器連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器響應(yīng)測量裝置，其特征在于，所述被測樣機(jī)、截止閥和壓力傳感器與電源和示波器連接。
【專利摘要】本實用新型公開了一種傳感器響應(yīng)測量裝置，包括氣路反應(yīng)時間測定管路和傳感器響應(yīng)時間測定管路；氣路反應(yīng)時間測定管路包括：在氣源后依次連接減壓器、被測樣機(jī)，被測樣機(jī)的出口與截止閥和壓力傳感器分別連接；傳感器響應(yīng)時間測定管路包括：在氣源后依次連接減壓器、流量控制器，流量控制器的出口與截止閥和被測樣機(jī)分別連接，被測樣機(jī)的出口與壓力傳感器連接?？梢钥焖贉y量質(zhì)量流量控制器中傳感器的響應(yīng)時間。
【IPC分類】G01F25-00
【公開號】CN204269202
【申請?zhí)枴緾N201420738482
【發(fā)明人】吳薇, 蔣興東, 李甲
【申請人】北京七星弗洛爾電子設(shè)備制造有限公司
【公開日】2015年4月15日
【申請日】2014年11月28日