一種檢測基板玻璃成型設(shè)備內(nèi)部空間微粉塵濃度的裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及基板玻璃加工領(lǐng)域，具體涉及一種檢測基板玻璃成型設(shè)備內(nèi)部空間微粉塵濃度的裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]光電平板顯示器件用基板玻璃是平板顯示器件中的重要組成部分，平板顯示器件的其余各部分均需附著在基板玻璃上。平板顯示器件隨著尺寸的不斷增大以及顯示質(zhì)量的不斷提升，在生產(chǎn)及使用中，對于基板玻璃的表面光潔度要求也越來越高。
[0003]在溢流下拉法生產(chǎn)過程中，熔融玻璃經(jīng)過處理，引流至溢流磚上，熔融玻璃翻越溢流磚兩邊的堰，沿溢流磚的楔形外表面向下流動，并在底部匯合，然后繼續(xù)向下流動并向下拉伸，得到平面基板玻璃。由于在此過程中，接觸過溢流磚表面的玻璃被埋入玻璃板內(nèi)部，玻璃板的外表面除空氣外，未接觸任何其他物質(zhì)，因此采用溢流下拉法生產(chǎn)平面基板玻璃，可以保證得到的玻璃外表面質(zhì)量良好。
[0004]馬弗爐是熔融拉制工藝制造平板玻璃的成型設(shè)備，后續(xù)玻璃的冷卻及硬化需要在馬弗爐內(nèi)部完成，在這一過程中，如果馬弗爐的內(nèi)部空間氣氛中含有較多的微粉塵，就會粘結(jié)在熱態(tài)玻璃的表面形成產(chǎn)品缺陷，造成產(chǎn)品表面光潔度不合格，而且該缺陷無法在后工序中通過清洗等方法去除掉。因此，馬弗爐內(nèi)部空間氣氛中的微粉塵濃度需要進(jìn)行在線連續(xù)檢測，以便生產(chǎn)人員能夠隨時掌握情況，當(dāng)微粉塵濃度達(dá)到一定的值后，及時采取清理措施。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]本實(shí)用新型的目的在于針對上述現(xiàn)有技術(shù)中的缺陷，提供一種結(jié)構(gòu)簡單，能夠有效可靠的測出基板玻璃成型設(shè)備內(nèi)部空間微粉塵濃度的檢測裝置。
[0006]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案為:包括安裝在基板玻璃成型設(shè)備箱體兩側(cè)的激光發(fā)生器和激光接收裝置，激光接收裝置外接信號處理器；激光發(fā)生器發(fā)射的光束穿過箱體內(nèi)的空氣進(jìn)入激光接收裝置，激光接收裝置將激光光線的強(qiáng)度轉(zhuǎn)化為檢測信號傳輸至信號處理器，信號處理器將檢測信號轉(zhuǎn)化為檢測值進(jìn)行顯示。
[0007]所述的激光接收裝置為CXD鏡頭。
[0008]所述激光發(fā)生器安裝在用于調(diào)整光束方向的線性平臺上。
[0009]所述的激光發(fā)生器發(fā)射的光束為細(xì)長型或圓形。
[0010]所述的光束為細(xì)長型時的長寬比為(I?1000):1 ;所述的光束為圓形時的直徑為0.01 ?1000mm。
[0011 ] 所述的激光發(fā)生器和激光接收裝置外部設(shè)置冷卻套。
[0012]所述的信號處理器至少包括一個窄帶通濾波器。
[0013]所述的信號處理器以空氣中的微粉塵濃度值為0.01mg/m3為檢測基準(zhǔn)，檢測上限為 100mg/m3。
[0014]所述的激光接收裝置檢測范圍為0.01mg/m3?100mg/m 3;激光光路距離成型設(shè)備內(nèi)部基板玻璃表面的垂直距離為O?1000mm。
[0015]所述的信號處理器將檢測值在現(xiàn)場顯示儀表進(jìn)行顯示或傳送至計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)進(jìn)行集中顯示并記錄。
[0016]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有如下有益效果:激光發(fā)生器發(fā)射的光束穿過基板玻璃成型設(shè)備箱體內(nèi)的空氣進(jìn)入激光接收裝置，激光接收裝置將激光光線的強(qiáng)度轉(zhuǎn)化為檢測信號傳輸至信號處理器，信號處理器將檢測信號轉(zhuǎn)化為檢測值進(jìn)行顯示。當(dāng)箱體內(nèi)空氣中的微粉塵濃度較大時，激光在傳輸過程中會受到較大衰減；當(dāng)箱體內(nèi)空氣中的微粉塵濃度較小時，激光在傳輸過程中衰減量較小。因此激光接收裝置接收到的激光強(qiáng)度與微粉塵濃度成反比例關(guān)系，激光接收裝置由激光強(qiáng)度轉(zhuǎn)化出的信號值間接反映了光路上的微粉塵的濃度。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單，能夠有效可靠的測出基板玻璃成型設(shè)備內(nèi)部空間的微粉塵濃度。本實(shí)用新型同時適用于制造和處理諸如有源電子器件、光伏器件以及生物序列器件之類的其他需要表面非常平坦的大材料板。
[0017]進(jìn)一步的，本實(shí)用新型激光發(fā)生器安裝在用于調(diào)整光束方向的線性平臺上，線性平臺能在多個方向上調(diào)整光束角度，從而使光束準(zhǔn)確照射至激光接收裝置。
[0018]進(jìn)一步的，本實(shí)用新型激光發(fā)生器和激光接收裝置外部設(shè)置冷卻套，冷卻套能夠防止激光發(fā)生器和激光接收裝置在高溫環(huán)境下發(fā)生故障或損壞。
[0019]進(jìn)一步的，本實(shí)用新型的信號處理器至少包括一個窄帶通濾波器，減少了來自反射光束的背景照明引起的噪聲，從而改善激光接收裝置的測量質(zhì)量。
【附圖說明】
[0020]圖1本實(shí)用新型的整體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021]附圖中:1_箱體；2_激光發(fā)生器；3_C⑶鏡頭；4_信號處理器；5_基板玻璃。
【具體實(shí)施方式】
[0022]下面結(jié)合附圖對本實(shí)用新型做進(jìn)一步的詳細(xì)說明。
[0023]參見圖1，本實(shí)用新型的整體結(jié)構(gòu)包括安裝在基板玻璃成型設(shè)備箱體I兩側(cè)的激光發(fā)生器2和CXD鏡頭3，激光發(fā)生器2和CXD鏡頭3外部設(shè)置冷卻套。激光發(fā)生器2安裝在用于調(diào)整光束方向的線性平臺上，CXD鏡頭3外接信號處理器4。激光發(fā)生器2發(fā)射的光束為細(xì)長型或圓形，光束為細(xì)長型時的長寬比為(I?1000):1，光束為圓形時的直徑為0.01?1000mm。激光發(fā)生器2發(fā)射的光束穿過箱體I內(nèi)的空氣進(jìn)入CXD鏡頭3，CXD鏡頭3將激光光線的強(qiáng)度轉(zhuǎn)化為檢測信號傳輸至信號處理器4，信號處理器4將檢測信號轉(zhuǎn)化為檢測值進(jìn)行顯示。信號處理器4至少包括一個窄帶通濾波器，信號處理器4以空氣中的微粉塵濃度值為0.01mg/m3為檢測基準(zhǔn)，檢測上限為100mg/m 3。激光接收裝置檢測范圍為0.01mg/m3?100mg/m3;激光光路距離成型設(shè)備內(nèi)部基板玻璃5表面的垂直距離為O?100mmo信號處理器4將檢測值在現(xiàn)場顯示儀表進(jìn)行顯示或傳送至計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)進(jìn)行集中顯示并記錄。
[0024]本實(shí)用新型的工作原理為:激光發(fā)生器2發(fā)射的激光穿過箱體I內(nèi)的空氣進(jìn)入CCD鏡頭3，如圖中箭頭實(shí)線，CCD鏡頭3將激光光線的強(qiáng)度轉(zhuǎn)化為檢測信號，信號處理器4將檢測信號轉(zhuǎn)化為檢測值進(jìn)行顯示。當(dāng)基板玻璃成型設(shè)備箱體I內(nèi)空氣中微粉塵濃度較大時，激光在傳輸過程中會受到較大衰減；當(dāng)基板玻璃成型設(shè)備箱體I內(nèi)空氣中微粉塵濃度較小時，激光在傳輸過程中衰減量較小。因此CCD鏡頭3接收到的激光的強(qiáng)度與微粉塵濃度成反比例關(guān)系，CCD鏡頭3由接收到的激光強(qiáng)度轉(zhuǎn)化出的信號值間接反映了光路上的微粉塵的濃度。
[0025]本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)簡單，能夠有效可靠的測出基板玻璃成型設(shè)備內(nèi)部空間的微粉塵濃度，該裝置還包括被配置成接收關(guān)于光源入射強(qiáng)度信息的數(shù)據(jù)采集設(shè)備，以及被配置成將入射強(qiáng)度與箱體內(nèi)部空間氣氛中粉塵濃度相關(guān)聯(lián)的數(shù)據(jù)分析設(shè)備。本實(shí)用新型同時適用于制造和處理諸如有源電子器件、光伏器件以及生物序列器件之類的其他需要表面非常平坦的大材料板。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種檢測基板玻璃成型設(shè)備內(nèi)部空間微粉塵濃度的裝置，其特征在于:包括安裝在基板玻璃成型設(shè)備箱體(I)兩側(cè)的激光發(fā)生器(2)和激光接收裝置，激光接收裝置外接信號處理器(4);激光發(fā)生器(2)發(fā)射的光束穿過箱體(I)內(nèi)的空氣進(jìn)入激光接收裝置，激光接收裝置將激光光線的強(qiáng)度轉(zhuǎn)化為檢測信號傳輸至信號處理器(4)，信號處理器(4)將檢測信號轉(zhuǎn)化為檢測值進(jìn)行顯示。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測基板玻璃成型設(shè)備內(nèi)部空間微粉塵濃度的裝置，其特征在于:所述的激光接收裝置為CCD鏡頭(3)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測基板玻璃成型設(shè)備內(nèi)部空間微粉塵濃度的裝置，其特征在于:所述激光發(fā)生器(2)安裝在用于調(diào)整光束方向的線性平臺上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的檢測基板玻璃成型設(shè)備內(nèi)部空間微粉塵濃度的裝置，其特征在于:所述的激光發(fā)生器(2)發(fā)射的光束為細(xì)長型或圓形。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的檢測基板玻璃成型設(shè)備內(nèi)部空間微粉塵濃度的裝置，其特征在于:所述的光束為細(xì)長型時的長寬比為(I?1000):1 ;所述的光束為圓形時的直徑為0.01 ?1000mm。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測基板玻璃成型設(shè)備內(nèi)部空間微粉塵濃度的裝置，其特征在于:所述的激光發(fā)生器(2)和激光接收裝置外部設(shè)置冷卻套。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測基板玻璃成型設(shè)備內(nèi)部空間微粉塵濃度的裝置，其特征在于:所述的信號處理器(4)至少包括一個窄帶通濾波器。
8.根據(jù)權(quán)利要求1或7所述的檢測基板玻璃成型設(shè)備內(nèi)部空間微粉塵濃度的裝置，其特征在于:所述的信號處理器(4)以空氣中的微粉塵濃度值為0.01mg/m3為檢測基準(zhǔn)，檢測上限為100mg/m3。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測基板玻璃成型設(shè)備內(nèi)部空間微粉塵濃度的裝置，其特征在于:所述的激光接收裝置檢測范圍為0.01mg/m3?100mg/m3;激光光路距離成型設(shè)備內(nèi)部基板玻璃(5)表面的垂直距離為O?1000mm。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測基板玻璃成型設(shè)備內(nèi)部空間微粉塵濃度的裝置，其特征在于:所述的信號處理器(4)將檢測值在現(xiàn)場顯示儀表進(jìn)行顯示或傳送至計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)進(jìn)行集中顯示并記錄。
【專利摘要】一種檢測基板玻璃成型設(shè)備內(nèi)部空間微粉塵濃度的裝置，包括安裝在基板玻璃成型設(shè)備箱體兩側(cè)的激光發(fā)生器和激光接收裝置，激光接收裝置外接信號處理器；激光發(fā)生器發(fā)射的光束穿過箱體內(nèi)的空氣進(jìn)入激光接收裝置，激光接收裝置將激光光線的強(qiáng)度轉(zhuǎn)化為檢測信號傳輸至信號處理器，信號處理器將檢測信號轉(zhuǎn)化為檢測值進(jìn)行顯示。本實(shí)用新型當(dāng)箱體內(nèi)空氣中的微粉塵濃度較大時，激光在傳輸過程中會受到較大衰減；當(dāng)箱體內(nèi)空氣中的微粉塵濃度較小時，激光在傳輸過程中衰減量較小，因此激光接收裝置由激光強(qiáng)度轉(zhuǎn)化出的信號值間接反映了光路上的微粉塵的濃度。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單，能夠有效可靠的測出基板玻璃成型設(shè)備內(nèi)部空間的微粉塵濃度。
【IPC分類】G01N15-06
【公開號】CN204359650
【申請?zhí)枴緾N201420850900
【發(fā)明人】劉建斌
【申請人】彩虹顯示器件股份有限公司
【公開日】2015年5月27日
【申請日】2014年12月27日