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      一種微弱光電流的探測(cè)系統(tǒng)的制作方法

      文檔序號(hào):8731080閱讀:430來源:國知局
      一種微弱光電流的探測(cè)系統(tǒng)的制作方法
      【技術(shù)領(lǐng)域】
      [0001] 本實(shí)用新型涉及一種用于測(cè)量微弱光電流的探測(cè)系統(tǒng),用以提取噪聲信號(hào)中的微 弱電學(xué)信號(hào)。
      【背景技術(shù)】
      [0002] 當(dāng)光線入射到由貴金屬構(gòu)成的納米顆粒上時(shí),如果入射光子頻率與貴金屬納米顆 ?;蚪饘賺u傳導(dǎo)電子的整體振動(dòng)頻率相匹配時(shí),納米顆?;蚪饘賺u會(huì)對(duì)光子能量產(chǎn)生很強(qiáng) 的吸收作用,就會(huì)發(fā)生局域表面等離激元共振現(xiàn)象(LSPR)。
      [0003] 這種振動(dòng)在激發(fā)后會(huì)迅速衰減并同時(shí)產(chǎn)生熱電子,如果在這種金屬納米顆粒與它 周圍有的半導(dǎo)體材料存在歐姆接觸,并且這種半導(dǎo)體的能隙與納米顆粒共振峰相匹配,則 一部分熱電子就會(huì)越過金屬納米顆粒與半導(dǎo)體間的肖特基勢(shì)皇進(jìn)入到半導(dǎo)體中,從而產(chǎn)生 電流。根據(jù)修正福特理論有:
      [0004]
      【主權(quán)項(xiàng)】
      1. 一種微弱光電流的探測(cè)系統(tǒng),其特征在于,該探測(cè)系統(tǒng)包括用于光學(xué)成像的照明光 路,用于激發(fā)光電流的超連續(xù)譜激光系統(tǒng)激發(fā)光路,以及電學(xué)測(cè)量系統(tǒng);其中:所述照明光 路包括光源和科勒照明系統(tǒng),光源發(fā)出的光束經(jīng)科勒照明系統(tǒng)處理后得到均勻而明亮的照 明;所述超連續(xù)譜激光系統(tǒng)激發(fā)光路是由超連續(xù)譜激光系統(tǒng)發(fā)出激光,經(jīng)過斬波器后帶有 一定頻率,正入射到樣品表面;所述電學(xué)測(cè)量系統(tǒng)包括與樣品接觸的探針、樣品臺(tái)、鎖相放 大器和源表,其中鎖相放大器與源表通過導(dǎo)線與探針相連,提取出微弱的光電流信號(hào)。
      2. 如權(quán)利要求1所述的探測(cè)系統(tǒng),其特征在于,所述照明光路包括白光光源和科勒照 明系統(tǒng),其中科勒照明系統(tǒng)包括第一凸透鏡、第一光闌、第二光闌、第二凸透鏡、CMOS攝像 頭、第一半反半透鏡、第三凸透鏡、第二半反半透鏡和物鏡;所述白光光源發(fā)出的光束經(jīng)第 一凸透鏡聚焦后,通過第一光闌和第二光闌,再依次經(jīng)過第一半反半透鏡、第三凸透鏡和第 二半反半透鏡射入物鏡,最終聚焦到樣品表面,而樣品表面發(fā)生的反射光經(jīng)所述物鏡、第二 半反半透鏡、第三凸透鏡和第一半反半透鏡射入CMOS攝像頭。
      3. 如權(quán)利要求2所述的探測(cè)系統(tǒng),其特征在于,所述超連續(xù)譜激光系統(tǒng)激發(fā)光路包括 超連續(xù)譜激光系統(tǒng)、第一反射鏡、第二反射鏡、第一偏振片、1/4撥片、第二偏振片、第四凸透 鏡、斬波器、第五凸透鏡,以及與照明光路共用的第二半反半透鏡和物鏡;所述超連續(xù)譜激 光系統(tǒng)發(fā)出激光經(jīng)過第一反射鏡與第二反射鏡后使其在物鏡聚焦后與照明光路共軸;激光 通過第一偏振片初步變?yōu)榫€偏振光,之后由1/4撥片將線偏光變?yōu)閳A偏光,而圓偏光經(jīng)過 第二偏振片再次變?yōu)閲?yán)格的線偏光;接著激光通過第四凸透鏡使焦平面位于斬波器的葉片 上,形成帶有一定頻率的激光,再經(jīng)第五凸透鏡和第二半反半透鏡射入物鏡,聚焦于樣品表 面。
      4. 如權(quán)利要求3所述的探測(cè)系統(tǒng),其特征在于,所述電學(xué)測(cè)量系統(tǒng)包括探針、樣品臺(tái)、 鎖相放大器和源表,其中探針輕觸樣品臺(tái)上的樣品,鎖相放大器與源表通過導(dǎo)線與探針相 連,鎖相放大器又與斬波器相連。
      5. 如權(quán)利要求4所述的探測(cè)系統(tǒng),其特征在于,所述斬波器通過斬波器控制器與鎖相 放大器相連。
      6. 如權(quán)利要求4所述的探測(cè)系統(tǒng),其特征在于,所述探針為兩根,分別接觸樣品的兩個(gè) 電極,兩根探針均通過導(dǎo)線連接鎖相放大器和源表。
      【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種微弱光電流的探測(cè)系統(tǒng),包括用于光學(xué)成像的照明光路,用于激發(fā)光電流的超連續(xù)譜激光系統(tǒng)激發(fā)光路,以及由探針、斬波器、鎖相放大器、源表組成的電學(xué)測(cè)量系統(tǒng)。本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)了光激發(fā)貴金屬表面等離激元衰退后形成的微弱光電流的探測(cè),利用超連續(xù)譜激光系統(tǒng)能得到可見光到紅外范圍內(nèi)的多個(gè)波段的激光,而利用斬波器與鎖相放大器可以有效地屏蔽了噪聲信號(hào)。
      【IPC分類】G01N21-552
      【公開號(hào)】CN204439544
      【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520128061
      【發(fā)明人】方哲宇, 杜博文, 朱星, 祖帥
      【申請(qǐng)人】北京大學(xué)
      【公開日】2015年7月1日
      【申請(qǐng)日】2015年3月5日
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