在片微波探針測試夾具的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及微波在片測試方法技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種在片微波探針測試夾具。
【背景技術(shù)】
[0002]在對半導體器件或芯片進行在片微波測試時，需要用到微波探針，由于微波測量非常敏感，扎針位置的重復性嚴重影響測量的精度。首先，在系統(tǒng)校準過程中，微波探針需要對校準件進行嚴格的對位，才能準確的去掉矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀、電纜和探針等引入的誤差，將校準的參考面移到指定的參考面。如果校準過程中探針對位出現(xiàn)偏差將會引入額外的誤差，導致后續(xù)的所有測量精度都會下降。在對被測件進行測量過程中，對被測件的扎針需要按照校準件一樣的對位標記，才能保證測量的參考面與校準系統(tǒng)時的測量參考面一致，從而避免探針扎針的不一致性導致額外的誤差引入。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]本實用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種在片微波探針測試夾具，通過測試夾具上的對位標記，在測試的過程中能夠保證被測件的參考面與校準件的測量參考面相一致，從而避免探針扎針的不一致性導致額外的誤差引入，提高了測量的精確度。
[0004]為解決上述技術(shù)問題，本實用新型所采取的技術(shù)方案是:一種在片微波探針測試夾具，其特征在于:包括第一測試PAD、第二測試PAD、第三測試PAD、第一對位標記、第二對位標記、第三對位標記和第四對位標記，所述第一測試PAD、第二測試PAD和第三測試PAD沿左右方向間隔設(shè)置，所述第一對位標記和第二對位標記位于第一測試PAD與第二測試PAD之間，所述第三對位標記和第四對位標記位于第二測試PAD與第三測試PAD之間，所述第一對位標記和第二對位標記構(gòu)成一組并沿前后方向設(shè)置，所述第三對位標記和第四對位標記構(gòu)成一組并沿前后方向設(shè)置，所述第一對位標記和第三對位標記在一條直線上，所述第二對位標記和第四對位標記在另一條直線上，所述第一對位標記和第二對位標記間的距離與第三對位標記和第四對位標記間的距離相等；第一對位標記、第二對位標記、第三對位標記和第四對位標記所在的兩條直線橫穿第一測試PAD、第二測試PAD和第三測試PAD。
[0005]采用上述技術(shù)方案所產(chǎn)生的有益效果在于:通過測試夾具上的對位標記，在測試的過程中能夠保證被測件的參考面與校準件的測量參考面相一致，從而避免探針扎針的不一致性導致額外的誤差引入，提高了測量的精確度。
【附圖說明】
[0006]圖1是本實用新型所述測試夾具的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0007]其中:1、第一測試PAD 2、第二測試PAD 3、第三測試PAD 4、第一對位標記5、第二對位標記6、第三對位標記7、第四對位標記。
【具體實施方式】
[0008]下面結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型的一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├绢I(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。
[0009]在下面的描述中闡述了很多具體細節(jié)以便于充分理解本實用新型，但是本實用新型還可以采用其他不同于在此描述的其它方式來實施，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在不違背本實用新型內(nèi)涵的情況下做類似推廣，因此本實用新型不受下面公開的具體實施例的限制。
[0010]如圖1所示，本實用新型公開了一種在片微波探針測試夾具，包括第一測試PAD1、第二測試PAD2、第三測試PAD3、第一對位標記4、第二對位標記5、第三對位標記6和第四對位標記7。所述第一測試PAD1、第二測試PAD2和第三測試PAD3沿左右方向間隔設(shè)置，所述第一對位標記4和第二對位標記5位于第一測試PADl與第二測試PAD2之間，所述第三對位標記6和第四對位標記7位于第二測試PAD2與第三測試PAD3之間，所述第一對位標記4和第二對位標記5構(gòu)成一組并沿前后方向設(shè)置，所述第三對位標記6和第四對位標記7構(gòu)成一組并沿前后方向設(shè)置；
[0011]所述第一對位標記4和第三對位標記6在一條直線上，所述第二對位標記5和第四對位標記7在另一條直線上，所述第一對位標記4和第二對位標記5間的距離與第三對位標記6和第四對位標記7間的距離相等；第一對位標記4、第二對位標記5、第三對位標記6和第四對位標記7所在的兩條直線橫穿第一測試PAD1、第二測試PAD2和第三測試PAD3。
[0012]所述測試夾具的使用方法如下:
[0013]I)開始測試時，首先將GSG結(jié)構(gòu)的微波探針的三個針分別與第一測試PAD1、第二測試PAD2以及第三測試PAD3相接觸，微波探針與測試PAD的接觸點在通過第一對位標記4和第三對位標記6的直線上；進一步的，第一測試PAD1、第二測試PAD2以及第三測試PAD3的面積大于或等于微波探針針尖的寬度，以保證探針針尖的全部與測試PAD相接觸；
[0014]2)然后通過按壓GSG結(jié)構(gòu)的微波探針的三個針，使其在測試PAD的表面滑動；
[0015]3)三個微波探針滑動的終點為通過第二對位標記5和第四對位標7的直線，完成扎針，然后進行校準或測試。
[0016]需要說明的是:在開始測試前，所述測試夾具已經(jīng)在制備被測試件的同時制備在被測試件的每個被測試端口旁，被測試的信號端口與第二測試PAD2相連接，被測試的地端口分別與第一測試PADl和第三測試PAD3相連；GSG結(jié)構(gòu)的微波探針的兩個Ground針分別與第一測試PADl和第三測試PAD3相接觸，Single針與第二測試PAD2相接觸；為了進一步提高測量的精確度，Single微波探針的接觸點還需要盡量位于第二測試PAD2左右方向的中間。
[0017]所述測試方法使用上述測試夾具，通過測試夾具上的對位標記，在測試的過程中能夠保證被測件的參考面與校準件時的測量參考面相一致，從而避免探針扎針的不一致性導致額外的誤差引入，提高了測量的精確度。
【主權(quán)項】
1.一種在片微波探針測試夾具，其特征在于:包括第一測試PAD(l)、第二測試PAD(2)、第三測試PAD (3 )、第一對位標記(4 )、第二對位標記(5 )、第三對位標記(6 )和第四對位標記(7)，所述第一測試PAD (1)、第二測試PAD (2)和第三測試PAD (3)沿左右方向間隔設(shè)置，所述第一對位標記(4)和第二對位標記(5)位于第一測試PAD (I)與第二測試PAD (2)之間，所述第三對位標記(6)和第四對位標記(7)位于第二測試PAD (2)與第三測試PAD (3)之間，所述第一對位標記(4)和第二對位標記(5)構(gòu)成一組并沿前后方向設(shè)置，所述第三對位標記(6)和第四對位標記(7)構(gòu)成一組并沿前后方向設(shè)置，所述第一對位標記(4)和第三對位標記(6)在一條直線上，所述第二對位標記(5)和第四對位標記(7)在另一條直線上，所述第一對位標記(4)和第二對位標記(5)間的距離與第三對位標記(6)和第四對位標記(7)間的距離相等；第一對位標記(4)、第二對位標記(5)、第三對位標記(6)和第四對位標記(7)所在的兩條直線橫穿第一測試PAD (1)、第二測試PAD (2)和第三測試PAD (3)。
【專利摘要】本實用新型公開了一種在片微波探針測試夾具，涉及微波在片測試方法技術(shù)領(lǐng)域。所述測試夾具包括第一測試PAD、第二測試PAD、第三測試PAD、第一對位標記、第二對位標記、第三對位標記和第四對位標記。通過測試夾具上的對位標記，在測試的過程中能夠保證被測件的參考面與校準件的測量參考面相一致，從而避免探針扎針的不一致性導致額外的誤差引入，提高了測量的精確度。
【IPC分類】G01R1/04
【公開號】CN204666669
【申請?zhí)枴緾N201520406028
【發(fā)明人】胡志富, 劉亞男, 杜光偉, 李靜強, 何美林, 馮彬, 彭志農(nóng), 曹健
【申請人】中國電子科技集團公司第十三研究所
【公開日】2015年9月23日
【申請日】2015年6月12日