智能控制式擴(kuò)展光源干涉儀系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種改進(jìn)型的擴(kuò)展光源的干涉系統(tǒng)，屬于干涉儀領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]干涉現(xiàn)象是光的波動(dòng)性的最嚴(yán)格、最有效的證明，這個(gè)現(xiàn)象是由于兩束或多束光的重疊，使能量體密度在空間上規(guī)則分布的結(jié)果。光干涉測量方法作為檢測高精密光學(xué)元件和系統(tǒng)的最傳統(tǒng)、有效手段之一，已大量的應(yīng)用于科學(xué)研究與工業(yè)生產(chǎn)之中。在實(shí)際使用過程中，現(xiàn)階段干涉儀大多采用激光器作為照明光源，而激光器具有極強(qiáng)的時(shí)間和空間相干性，因此，在干涉檢測過程中，并不需要考慮干涉腔長的限制，就可以使干涉條紋具有良好的對比度，并且隨著電子與計(jì)算機(jī)技術(shù)的發(fā)展，產(chǎn)生的位相干涉檢測技術(shù)，使測量極限由傳統(tǒng)的λ/10提高了一個(gè)數(shù)量級以上，且具有很高的重復(fù)性。然而，正是由于激光具有的高度相干性，它雖然降低了干涉儀的使用難度，但由于光學(xué)干涉的極端靈敏性，在光學(xué)元件加工過程中產(chǎn)生的微觀坑點(diǎn)等缺陷與元件表面污染所產(chǎn)生的散射光會(huì)發(fā)生相干疊加，在干涉圖中會(huì)出現(xiàn)許多牛眼環(huán)或靶心等相干噪聲，它們在一定程度上改變了干涉圖的空間結(jié)構(gòu)，從而引起了被測面面型或波前形狀的測量誤差。
[0003]自從Fizeau在1862年提出并應(yīng)用Fizean干涉儀以來，它就在光學(xué)測量領(lǐng)域占據(jù)了重要的地位，尤其在70年代后，激光被廣泛用做為干涉測試的光源，從此以后，F(xiàn)izean型干涉儀更有了長足的迅猛發(fā)展，而且因?yàn)樗哂袇⒖脊馀c測試光共光路的光路結(jié)構(gòu)，使其對環(huán)境的干擾不敏感，因此，它在光學(xué)干涉檢測中的應(yīng)用長盛不衰。然而Fizean干涉儀在控制空間相干長度和抑制相干噪聲方面還存在很多可以改進(jìn)的地方。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，解決好現(xiàn)有技術(shù)的問題，彌補(bǔ)現(xiàn)有目前市場上現(xiàn)有產(chǎn)品的不足。
[0005]本實(shí)用新型提供了一種智能控制式擴(kuò)展光源干涉儀系統(tǒng)，干涉系統(tǒng)主要包括激光光源、小孔光闌、擴(kuò)束鏡、聚焦系統(tǒng)、偏振片、毛玻璃、分束器、準(zhǔn)直透鏡以及成像透鏡，按照激光光源的激光方向依次設(shè)置激光光源、小孔光闌、擴(kuò)束鏡、聚焦系統(tǒng)、偏振片、毛玻璃、分束器和準(zhǔn)直透鏡。
[0006]優(yōu)選的，上述成像透鏡對應(yīng)于分束器設(shè)置，準(zhǔn)直透鏡后側(cè)依次擺設(shè)參考鏡和待測
Ho
[0007]優(yōu)選的，上述成像透鏡還連接有一 CXD。
[0008]優(yōu)選的，上述毛玻璃為旋轉(zhuǎn)毛玻璃，連接有一電機(jī)。
[0009]優(yōu)選的，上述激光光源設(shè)置在一位移臺(tái)上。
[0010]優(yōu)選的，上述干涉儀系統(tǒng)還包括計(jì)算機(jī)，所述計(jì)算機(jī)分別與激光光源、偏振片、CCD和位移臺(tái)連接。
[0011]本實(shí)用新型提供的智能控制式擴(kuò)展光源干涉儀系統(tǒng)對傳統(tǒng)的擴(kuò)展光源干涉儀進(jìn)行了改進(jìn)，設(shè)置了可移動(dòng)的位移臺(tái)和計(jì)算機(jī)，實(shí)現(xiàn)了光源可調(diào)節(jié)以及計(jì)算機(jī)控制，大大提高了測試的精度，做到電腦的精確控制。
【附圖說明】
[0012]圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
[0013]附圖標(biāo)記:1_激光光源；2_小孔光闌；3_擴(kuò)束鏡；4_聚焦透鏡；5_偏振片；6_毛玻璃-J-分束器；8_準(zhǔn)直透鏡；9_參考鏡；10_待測鏡；11_成像透鏡；12-CCD ;13_計(jì)算機(jī)；14-位移臺(tái)。
【具體實(shí)施方式】
[0014]為了便于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員理解和實(shí)施本實(shí)用新型，下面結(jié)合附圖及【具體實(shí)施方式】對本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。
[0015]為了驗(yàn)證擴(kuò)展光源干涉儀在控制空間相干長度和抑制相干噪聲方面的作用，并提出實(shí)現(xiàn)上述目的的擴(kuò)展光源分別形式，本實(shí)用新型對傳統(tǒng)干涉儀的光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行設(shè)計(jì)優(yōu)化，分析系統(tǒng)中各光學(xué)元件像差所產(chǎn)生的干涉條紋畸變以及它所導(dǎo)致的干涉儀空間相干性的變化，為擴(kuò)展光源干涉儀的光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)提出優(yōu)化準(zhǔn)則。如圖1所示，本實(shí)用新型提供的智能控制式擴(kuò)展光源干涉儀系統(tǒng)，主要包括激光光源1、小孔光闌2、擴(kuò)束鏡3、聚焦系統(tǒng)4、偏振片5、毛玻璃6、分束器7、準(zhǔn)直透鏡8以及成像透鏡11，按照激光光源I的激光方向依次設(shè)置激光光源1、小孔光闌2、擴(kuò)束鏡3、聚焦系統(tǒng)4、偏振片5、毛玻璃6、分束器7和準(zhǔn)直透鏡8，成像透鏡11對應(yīng)于分束器7設(shè)置，準(zhǔn)直透鏡8后側(cè)依次擺設(shè)參考鏡9和待測鏡10。成像透鏡11還連接有一 (XD12。毛玻璃5為旋轉(zhuǎn)毛玻璃，連接有一電機(jī)。激光光源I設(shè)置在一位移臺(tái)14上。干涉儀系統(tǒng)還包括計(jì)算機(jī)13，計(jì)算機(jī)13分別與激光光源1、偏振片5、(XD12和位移臺(tái)14連接。
[0016]在設(shè)計(jì)本實(shí)用新型時(shí)，其準(zhǔn)直系統(tǒng)、成像系統(tǒng)的視場角較小，故只需對其中心視場的各種像差進(jìn)行校正即可達(dá)到比較好的使用效果。而在本實(shí)用新型中，因?yàn)槠涔庠淳哂幸欢ǖ慕菍挾?，故還需校正最大光源尺寸處視場的系統(tǒng)各項(xiàng)像差。
[0017]以上所述之【具體實(shí)施方式】為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施方式，并非以此限定本實(shí)用新型的具體實(shí)施范圍，本實(shí)用新型的范圍包括并不限于本【具體實(shí)施方式】，凡依照本實(shí)用新型之形狀、結(jié)構(gòu)所作的等效變化均在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種智能控制式擴(kuò)展光源干涉儀系統(tǒng)，其特征在于:所述干涉系統(tǒng)主要包括激光光源(I)、小孔光闌(2)、擴(kuò)束鏡(3)、聚焦系統(tǒng)(4)、偏振片(5)、毛玻璃(6)、分束器(7)、準(zhǔn)直透鏡(8)以及成像透鏡(11)，按照激光光源(I)的激光方向依次設(shè)置激光光源(1)、小孔光闌(2)、擴(kuò)束鏡(3)、聚焦系統(tǒng)(4)、偏振片(5)、毛玻璃(6)、分束器(7)和準(zhǔn)直透鏡(8)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的智能控制式擴(kuò)展光源干涉儀系統(tǒng)，其特征在于:所述成像透鏡(11)對應(yīng)于分束器(7)設(shè)置，準(zhǔn)直透鏡⑶后側(cè)依次擺設(shè)參考鏡(9)和待測鏡(10)。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的智能控制式擴(kuò)展光源干涉儀系統(tǒng)，其特征在于:所述成像透鏡(11)還連接有一 (XD(12)。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的智能控制式擴(kuò)展光源干涉儀系統(tǒng)，其特征在于:所述毛玻璃(5)為旋轉(zhuǎn)毛玻璃，連接有一電機(jī)。5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的智能控制式擴(kuò)展光源干涉儀系統(tǒng)，其特征在于:所述激光光源(I)設(shè)置在一位移臺(tái)(14)上。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的智能控制式擴(kuò)展光源干涉儀系統(tǒng)，其特征在于:所述干涉儀系統(tǒng)還包括計(jì)算機(jī)(13)，所述計(jì)算機(jī)(13)分別與激光光源(1)、偏振片(5)、CCD(12)和位移臺(tái)(14)連接。
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種智能控制式擴(kuò)展光源干涉儀系統(tǒng)，主要包括激光光源(1)、小孔光闌(2)、擴(kuò)束鏡(3)、聚焦系統(tǒng)(4)、偏振片(5)、毛玻璃(6)、分束器(7)、準(zhǔn)直透鏡(8)以及成像透鏡(11)，按照激光光源(1)的激光方向依次設(shè)置激光光源(1)、小孔光闌(2)、擴(kuò)束鏡(3)、聚焦系統(tǒng)(4)、偏振片(5)、毛玻璃(6)、分束器(7)和準(zhǔn)直透鏡(8)。本實(shí)用新型提供的智能控制式擴(kuò)展光源干涉儀系統(tǒng)對傳統(tǒng)的擴(kuò)展光源干涉儀進(jìn)行了改進(jìn)，設(shè)置了可移動(dòng)的位移臺(tái)和計(jì)算機(jī)，實(shí)現(xiàn)了光源可調(diào)節(jié)以及計(jì)算機(jī)控制，大大提高了測試的精度，做到電腦的精確控制。
【IPC分類】G01J9/02
【公開號(hào)】CN204831570
【申請?zhí)枴緾N201520276833
【發(fā)明人】林永東
【申請人】林永東
【公開日】2015年12月2日
【申請日】2015年4月28日