一種光刻膠前烘缺陷檢測修復(fù)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種光刻膠前烘缺陷檢測修復(fù)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]液晶顯示器的陣列基板以及彩膜基板的生產(chǎn)工藝過程往往關(guān)系著整個顯示裝置的良率，在陣列基板以及彩膜基板的生產(chǎn)工藝中，光刻工藝是非常重要的，光刻膠涂布工藝過程中包括有前烘、曝光、后烘和顯影處理幾個步驟，前烘之后會產(chǎn)生一定的缺陷品，缺陷品進入下道工序繼續(xù)加工的話，加工還是不良品，浪費了資源。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]本實用新型的目的在于提供一種可檢測出光刻膠前烘后缺陷并進行修復(fù)的光刻膠前烘缺陷檢測修復(fù)裝置。
[0004]為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案:
[0005]—種光刻膠前烘缺陷檢測修復(fù)裝置，包括底板、上料傳送帶、掃描工位、修復(fù)工位、下料道和控制系統(tǒng)，所述上料傳送帶設(shè)置在底板上，上料傳送帶末端設(shè)置有擋板和側(cè)推板，所述掃描工位和修復(fù)工位設(shè)置于底板上且位于側(cè)推板前進的方向上，所述掃描工位位于修復(fù)工位前側(cè)，所述掃描工位和修復(fù)工位均包括有固定定位板和活動定位板，所述掃描工位上方設(shè)置有可移動掃描裝置，所述修復(fù)工位上方設(shè)置有可移動修復(fù)裝置，所述掃描裝置和移動修復(fù)裝置與控制系統(tǒng)電連，所述下料道設(shè)置在掃描工位后方，所述側(cè)推板和活動定位板均連接有驅(qū)動部件。
[0006]特別地，所述掃描裝置和可移動修復(fù)裝置通過活動絲桿與固定于底板上的支架連接。
[0007]特別地，所述掃描裝置上設(shè)置有鈉燈，掃描裝置的掃描部位設(shè)置有顯微鏡。
[0008]特別地，所述活動定位板為L型折彎板。
[0009]特別地，所述驅(qū)動部件為驅(qū)動氣缸或驅(qū)動油缸。
[0010]本實用新型的有益效果為:與現(xiàn)有技術(shù)相比所述光刻膠前烘缺陷檢測修復(fù)裝置將涂有光刻膠的基板放置在上料傳送帶上，通過傳送帶和側(cè)推板，先送到掃描工位上，通過掃描裝置對光刻膠進行掃描，并將圖像信息傳送個控制系統(tǒng)，控制系統(tǒng)收到信息后會與合格品的圖像信息進行比較，得出缺陷點的位置信息，側(cè)推板再將基板送到修復(fù)工位上，控制系統(tǒng)控制修復(fù)裝置對光刻膠進行修復(fù)，修復(fù)完成后通過下料道送入下一道工序內(nèi)。
【附圖說明】
[0011]圖1為本實用新型提供的光刻膠前烘缺陷檢測修復(fù)裝置的側(cè)視圖；
[0012]圖2為本實用新型提供的光刻膠前烘缺陷檢測修復(fù)裝置的部分俯視圖。
[0013]圖中:1、底板；2、上料傳送帶；21、擋板；3、側(cè)推板；4、固定定位板；5、活動定位板；6、下料道；7、掃描裝置；71、鈉燈；72、顯微鏡；8、修復(fù)裝置；9、支架；91、活動絲桿；10、驅(qū)動氣缸；11、涂有光刻膠的基板；12、控制系統(tǒng)。
【具體實施方式】
[0014]下面結(jié)合附圖并通過【具體實施方式】來進一步說明本實用新型的技術(shù)方案。
[0015]請參閱圖1、圖2，所述光刻膠前烘缺陷檢測修復(fù)裝置括底板1、上料傳送帶2，掃描工位，修復(fù)工位、下料道6和控制系統(tǒng)12，所述上料傳送帶2設(shè)置在底板I上，上料傳送帶2末端設(shè)置有擋板21和側(cè)推板3，所述側(cè)推板3連接有驅(qū)動氣缸10，所述掃描工位和修復(fù)工位設(shè)置有底板I上位于側(cè)推板3前進的方向上，所述掃描工位位于修復(fù)工位前側(cè)，所述掃描工位和修復(fù)工位均包括有固定定位板4和活動定位板5，所述活動定位板5為L型折彎板，所述L型折彎板一側(cè)連接有驅(qū)動氣缸10，所述底板I上設(shè)置有支架9，所述支架9位于掃描工位和修復(fù)工位上方，所述支架9上通過活動絲桿91連接有掃描裝置7和修復(fù)裝置8，所述掃描裝置7在掃描工位上方移動，所述掃描裝置7上設(shè)置有鈉燈74，掃描裝置7的掃描部位上還設(shè)置有顯微鏡72，所述修復(fù)裝置8在修復(fù)工位上方移動，所述掃描裝置7和修復(fù)裝置8與控制系統(tǒng)12電連，所述下料道6設(shè)置在掃描工位后方。
[0016]所述光刻膠前烘缺陷檢測修復(fù)裝置，使用時將涂有光刻膠的基板11，放到上料傳送帶2上上料，涂有光刻膠的基板11被擋板21擋下，驅(qū)動氣缸10帶動側(cè)推板3向前運動，此時掃描工位的活動定位板5伸出，將涂有光刻膠的基板11推到掃描工位上，掃描裝置7對涂有光刻膠的基板11進行掃描，掃描完成后，將掃描得到的圖像信息發(fā)給控制系統(tǒng)12，同時描工位的活動定位板5收縮，側(cè)推板3繼續(xù)推著涂有光刻膠的基板11前進，此時修復(fù)工位的活動定位板5伸出，控制系統(tǒng)I將收集到的圖像信息與合格的涂有光刻膠的基板11的圖像信息進行比較，找出需要修復(fù)的位置信息，傳輸給修復(fù)裝置8，修復(fù)裝置8運到需要修復(fù)的位置上進行修復(fù)，修復(fù)完成后，修復(fù)工位的活動定位板5收縮，側(cè)推板3繼續(xù)推著涂有光刻膠的基板11前進，進入下料道6，進入下一道工序。
[0017]所述驅(qū)動氣缸10可由驅(qū)動油缸代替。
[0018]以上僅以實施例對本實用新型進行了說明，但本實用新型并不限于上述尺寸和外觀例證，更不應(yīng)構(gòu)成本實用新型的任何限制。只要對本實用新型所做的任何改進或者變型均屬于本實用新型權(quán)利要求主張的保護范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種光刻膠前烘缺陷檢測修復(fù)裝置，其特征在于:包括底板、上料傳送帶、掃描工位、修復(fù)工位、下料道和控制系統(tǒng)，所述上料傳送帶設(shè)置在底板上，上料傳送帶末端設(shè)置有擋板和側(cè)推板，所述掃描工位和修復(fù)工位設(shè)置于底板上且位于側(cè)推板前進的方向上，所述掃描工位位于修復(fù)工位前側(cè)，所述掃描工位和修復(fù)工位均包括有固定定位板和活動定位板，所述掃描工位上方設(shè)置有可移動掃描裝置，所述修復(fù)工位上方設(shè)置有可移動修復(fù)裝置，所述掃描裝置和移動修復(fù)裝置與控制系統(tǒng)電連，所述下料道設(shè)置在掃描工位后方，所述側(cè)推板和活動定位板均連接有驅(qū)動部件。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述光刻膠前烘缺陷檢測修復(fù)裝置，其特征在于:所述掃描裝置和可移動修復(fù)裝置通過活動絲桿與固定于底板上的安裝支架連接。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述光刻膠前烘缺陷檢測修復(fù)裝置，其特征在于:所述掃描裝置上設(shè)置有鈉燈，掃描裝置的掃描部位上還設(shè)置有顯微鏡。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述光刻膠前烘缺陷檢測修復(fù)裝置，其特征在于:所述活動定位板為L型折彎板。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述光刻膠前烘缺陷檢測修復(fù)裝置，其特征在于:所述驅(qū)動部件為驅(qū)動氣缸或驅(qū)動油缸。
【專利摘要】本實用新型公開了一種光刻膠前烘缺陷檢測修復(fù)裝置，包括底板、上料傳送帶，掃描工位，修復(fù)工位、下料道和控制系統(tǒng)，所述上料傳送帶設(shè)置在底板上，上料傳送帶末端設(shè)置有擋板和側(cè)推板，所述掃描工位和修復(fù)工位設(shè)置有底板上位于側(cè)推板前進的方向上，所述掃描工位位于修復(fù)工位前側(cè)，所述掃描工位和修復(fù)工位均包括有固定定位板和活動定位板，所述掃描工位上方設(shè)置有可移動掃描裝置，所述修復(fù)工位上方設(shè)置有可移動修復(fù)裝置，所述掃描裝置和移動修復(fù)裝置與控制系統(tǒng)電連，所述下料道設(shè)置在掃描工位后方，所述側(cè)推板和活動定位板均連接有驅(qū)動部件，所述光刻膠前烘缺陷檢測修復(fù)裝置可自動檢測前烘后光刻膠缺陷，并進行修復(fù)，提高了產(chǎn)品的良品率。
【IPC分類】G01N21/88
【公開號】CN204882390
【申請?zhí)枴緾N201520532756
【發(fā)明人】呂耀安
【申請人】無錫宏納科技有限公司
【公開日】2015年12月16日
【申請日】2015年7月21日