半導(dǎo)體設(shè)備用密封性能檢驗(yàn)機(jī)構(gòu)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體設(shè)備用密封性能檢驗(yàn)機(jī)構(gòu)，此機(jī)構(gòu)主要應(yīng)用于波紋管密封性能檢驗(yàn)的過程中，屬于半導(dǎo)體薄膜設(shè)備的應(yīng)用技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備中常用波紋管來實(shí)現(xiàn)某些部件的升降功能，同時(shí)實(shí)現(xiàn)大氣與真空環(huán)境的互換，所以必須保證波紋管的密封性能滿足設(shè)備的要求。另外，在波紋管安裝到設(shè)備之前，如果不進(jìn)行密封性能的檢測(cè)，增加了不確定因素可能會(huì)出現(xiàn)漏率不合格等現(xiàn)象，如此會(huì)增加設(shè)備檢漏時(shí)間及零部件的更換裝配時(shí)間。因而設(shè)計(jì)了此檢驗(yàn)工裝，減少了設(shè)備的檢漏時(shí)間及更換零部件的時(shí)間，同時(shí)提高設(shè)備的可靠性能。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實(shí)用新型以解決上述問題為目的，設(shè)計(jì)了一種波紋管密封性能檢驗(yàn)工裝結(jié)構(gòu)，有效的提高了檢漏的可靠性，減少了檢漏時(shí)間，同時(shí)排除了波紋管存在漏點(diǎn)的可能性。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用下述技術(shù)方案:半導(dǎo)體設(shè)備用密封性能檢驗(yàn)機(jī)構(gòu)，包括:上法蘭蓋板。所述上法蘭蓋板通過設(shè)有六角螺母的雙頭螺柱與底部盲板固定連接；所述上法蘭蓋板及底部盲板兩端的法蘭密封槽與雙頭螺柱連接處分別裝有密封圈；所述上法蘭蓋板與底部盲板同心，其上安裝波紋管。
[0005]使用時(shí)，在波紋管的法蘭孔位中分別穿入三個(gè)雙頭螺柱，用六角螺母固定使波紋管處于自然長(zhǎng)度狀態(tài)，將密封圈安裝在波紋管兩端的法蘭密封槽中，然后壓在底部盲板上，再將上述法蘭蓋板壓在波紋管的上法蘭上，最后在上法蘭蓋板的接口處連接檢漏儀進(jìn)行抽氣檢漏操作。
[0006]本實(shí)用新型的有益效果及特點(diǎn)在于:
[0007]1、結(jié)構(gòu)合理，通過螺母與雙頭螺柱保證了波紋管的自然長(zhǎng)度，避免了抽氣時(shí)波紋管的負(fù)壓收縮變形，對(duì)波紋管本身起到保護(hù)作用；
[0008]2、適用范圍廣泛，本設(shè)計(jì)不僅僅適用于焊接圓形法蘭的波紋管，還適用于焊接橢圓形、三角形等任意形狀法蘭的波紋管，具有通用性；
[0009]3、本機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)小巧簡(jiǎn)單，拆卸方便，提高了波紋管的檢漏效率。
【附圖說明】
[0010]圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011]圖2是圖1的A-A剖面視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0012]實(shí)施例
[0013]參照?qǐng)D1和圖2，半導(dǎo)體設(shè)備用密封性能檢驗(yàn)機(jī)構(gòu)，該機(jī)構(gòu)包括:上法蘭蓋板I。
[0014]所述上法蘭蓋板I通過設(shè)有六角螺母4的雙頭螺柱2與底部盲板5固定連接；
[0015]所述上法蘭蓋板I及底部盲板5兩端的法蘭密封槽與雙頭螺柱2連接處分別裝有密封圈6 ;
[0016]所述上法蘭蓋板與底部盲板5同心，其上安裝波紋管3 ;
[0017]所述雙頭螺柱2至少設(shè)3個(gè)。
[0018]使用前先對(duì)所有零部件進(jìn)行擦拭或清洗，以確保密封效果。
[0019]使用時(shí)，在波紋管3的法蘭孔位中分別穿入三個(gè)雙頭螺柱2，用六角螺母4固定使波紋管3處于自然長(zhǎng)度狀態(tài)，避免了抽氣時(shí)波紋管的負(fù)壓收縮變形，對(duì)波紋管本身起到保護(hù)作用，再將密封圈6安裝在波紋管3兩端的法蘭密封槽中，然后壓在底部盲板5上，再將上法蘭蓋板I壓在波紋管3的上法蘭上，最后在上法蘭蓋板I的接口處連接檢漏儀7進(jìn)行抽氣檢漏操作，記錄檢漏儀檢測(cè)的波紋管的真空度結(jié)果，最后判定波紋管的密封性能是否合格。本設(shè)計(jì)適用于焊接圓形、橢圓形、三角形等任意形狀法蘭的波紋管，具有通用性。此工裝結(jié)構(gòu)有效的提高了檢漏的可靠性，減少了檢漏時(shí)間，同時(shí)排除了波紋管存在漏點(diǎn)的可能性，從更深層意義上來說提高了設(shè)備的總產(chǎn)能。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.半導(dǎo)體設(shè)備用密封性能檢驗(yàn)機(jī)構(gòu)，它包括上法蘭蓋板，其特征在于:所述上法蘭蓋板通過設(shè)有六角螺母的雙頭螺柱與底部盲板固定連接；所述上法蘭蓋板及底部盲板兩端的法蘭密封槽與雙頭螺柱連接處分別裝有密封圈；所述上法蘭蓋板與底部盲板同心，其上安裝波紋管。2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體設(shè)備用密封性能檢驗(yàn)機(jī)構(gòu)，其特征在于:雙頭螺柱至少設(shè)3個(gè)。3.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體設(shè)備用密封性能檢驗(yàn)機(jī)構(gòu)，其特征在于它的具體結(jié)構(gòu):在波紋管的法蘭孔位中分別穿入三個(gè)雙頭螺柱，用六角螺母固定使波紋管處于自然長(zhǎng)度狀態(tài)，再將密封圈安裝在波紋管兩端的法蘭密封槽中，然后壓在底部盲板上，再將上法蘭蓋板壓在波紋管的上法蘭上，最后在上法蘭蓋板的接口處連接檢漏儀進(jìn)行抽氣檢漏操作，記錄檢漏儀檢測(cè)的波紋管的真空度結(jié)果，最后判定波紋管的密封性能是否合格，本設(shè)計(jì)適用于焊接圓形、橢圓形或三角形法蘭的波紋管。
【專利摘要】半導(dǎo)體設(shè)備用密封性能檢驗(yàn)機(jī)構(gòu)，它主要包括上法蘭蓋板、雙頭螺柱、底部盲板及密封圈等。使用時(shí)，在波紋管的法蘭孔位中分別穿入雙頭螺柱，用六角螺母固定使波紋管處于自然長(zhǎng)度狀態(tài)，避免了抽氣時(shí)波紋管的負(fù)壓收縮變形，對(duì)波紋管本身起到保護(hù)作用，再將密封圈安裝在波紋管兩端的法蘭密封槽中，然后壓在底部盲板上，再將上法蘭蓋板壓在波紋管的上法蘭上，最后在上法蘭蓋板的接口處連接檢漏儀進(jìn)行抽氣檢漏操作，記錄檢漏儀檢測(cè)的波紋管的真空度結(jié)果，最后判定波紋管的密封性能是否合格。本機(jī)構(gòu)適用于焊接圓形、橢圓形、三角形等任意形狀法蘭的波紋管，具有通用性。有效的提高了檢漏的可靠性，減少了檢漏時(shí)間，同時(shí)排除了波紋管存在漏點(diǎn)的可能性，從更深層意義上來說提高了設(shè)備的總產(chǎn)能。
【IPC分類】G01M3/02
【公開號(hào)】CN204924574
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520646968
【發(fā)明人】方仕彩, 國(guó)建花, 吳鳳麗, 廉杰, 杜廣宇
【申請(qǐng)人】沈陽(yáng)拓荊科技有限公司
【公開日】2015年12月30日
【申請(qǐng)日】2015年8月25日