激光入射角調(diào)試及角漂監(jiān)測(cè)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種激光入射角調(diào)試及角漂監(jiān)測(cè)裝置，屬于光學(xué)元件檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]在精密光學(xué)工程方面，某些領(lǐng)域需要準(zhǔn)確測(cè)量激光與光學(xué)元件作用時(shí)的相對(duì)夾角。例如高功率激光器中晶體匹配角測(cè)試，精度要求高達(dá)1yrad量級(jí)；在其他一些對(duì)光學(xué)元件指標(biāo)有嚴(yán)格要求的工程裝置中，對(duì)激光入射角的準(zhǔn)確測(cè)量還必須要涵蓋于光學(xué)元件的生產(chǎn)、加工、鍍膜中。現(xiàn)階段，一些高精度激光準(zhǔn)直儀能夠?qū)崿F(xiàn)5 μ rad的角度偏差測(cè)量，但激光準(zhǔn)直儀采用直接測(cè)量的方式，容易被高能量激光損壞，同時(shí)直接測(cè)量晶體類元件時(shí)，可能出現(xiàn)色差現(xiàn)象，會(huì)大幅降低測(cè)量精度。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]為解決以上技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供一種高精度的激光入射角調(diào)試及角漂監(jiān)測(cè)裝置，能夠?qū)す馊肷浣沁M(jìn)行測(cè)量和調(diào)試，并實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)角漂。
[0004]其技術(shù)方案如下:
[0005]—種激光入射角調(diào)試及角漂監(jiān)測(cè)裝置，包括元件光機(jī)座和向該元件光機(jī)座發(fā)射激光光束的激光器，所述元件光機(jī)座用于調(diào)節(jié)被測(cè)光學(xué)元件的偏擺與俯仰，其要點(diǎn)在于:所述元件光機(jī)座一側(cè)設(shè)有第一激光自準(zhǔn)直儀，另一側(cè)設(shè)有劈板標(biāo)準(zhǔn)鏡，所述第一激光自準(zhǔn)直儀與元件光機(jī)座之間設(shè)有第一反射鏡；
[0006]所述劈板標(biāo)準(zhǔn)鏡遠(yuǎn)離元件光機(jī)座的一側(cè)設(shè)有第二激光自準(zhǔn)直儀，該劈板標(biāo)準(zhǔn)鏡與元件光機(jī)座之間設(shè)有分光反射鏡，所述分光反射鏡位于激光器的入射光路中，該分光反射鏡上方設(shè)有第二反射鏡。
[0007]采用以上結(jié)構(gòu)，可以利用第一激光自準(zhǔn)直儀實(shí)現(xiàn)對(duì)被測(cè)光學(xué)元件與劈板標(biāo)準(zhǔn)鏡間的夾角，即激光入射角的準(zhǔn)直和測(cè)量，并能夠通過元件光機(jī)座調(diào)節(jié)該夾角，利用第二激光自準(zhǔn)直儀實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)激光角漂，測(cè)量過程中，激光光束經(jīng)反射鏡后入射到相應(yīng)的激光自準(zhǔn)直儀上，避免直接測(cè)量導(dǎo)致設(shè)備及元件損壞，同時(shí)，采用分光反射鏡解決了可能出現(xiàn)的色差問題，大大提高的測(cè)量精度。
[0008]優(yōu)選地，所述劈板標(biāo)準(zhǔn)鏡的劈角大于1°，以進(jìn)一步改善色差現(xiàn)象。
[0009]為進(jìn)一步提高測(cè)量精度，所述分光反射鏡前后表面之間的夾角小于2"。
[0010]為便于調(diào)整光學(xué)元件位姿，以調(diào)節(jié)激光入射角并適時(shí)修正角漂，所述元件光機(jī)座優(yōu)選為六維調(diào)整架。
[0011]有益效果:
[0012]采用以上技術(shù)方案的激光入射角調(diào)試及角漂監(jiān)測(cè)裝置，其測(cè)量精度高，適用于1500"范圍內(nèi)激光入射角的測(cè)量和調(diào)試工作，同時(shí)能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)激光角漂，當(dāng)角漂值過大時(shí)，可以根據(jù)使用需求進(jìn)行角度修正。
【附圖說明】
[0013]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]圖中，1、元件光機(jī)座，2、激光器，3、第一激光自準(zhǔn)直儀，4、劈板標(biāo)準(zhǔn)鏡，5、第一反射鏡，6、第二激光自準(zhǔn)直儀，7、分光反射鏡，8第二反射鏡，9、被測(cè)光學(xué)元件，10、入射激光，11、
出射激光。
【具體實(shí)施方式】
[0015]以下結(jié)合實(shí)施例和附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。
[0016]如圖1所示的一種激光入射角調(diào)試及角漂監(jiān)測(cè)裝置，包括用于安裝被測(cè)光學(xué)元件9的元件光機(jī)座1，該元件光機(jī)座I優(yōu)選采用六維調(diào)整架，在元件光機(jī)座I的前后兩側(cè)個(gè)設(shè)有一個(gè)激光自準(zhǔn)直儀，即第一激光自準(zhǔn)直儀3和第二激光自準(zhǔn)直儀6。
[0017]在元件光機(jī)座I與第二激光自準(zhǔn)直儀6之間設(shè)有劈板標(biāo)準(zhǔn)鏡4，該劈板標(biāo)準(zhǔn)鏡4的劈角大于1°，在劈板標(biāo)準(zhǔn)鏡4與元件光機(jī)座I之間架設(shè)有分光反射鏡7，該分光反射鏡7前后表面之間的夾角小于2"。
[0018]在第一激光自準(zhǔn)直儀3和被測(cè)光學(xué)元件9之間設(shè)有第一反射鏡5，同時(shí)，在分光反射鏡7上方相應(yīng)設(shè)有第二反射鏡8。
[0019]將被測(cè)光學(xué)元件9放置到元件光機(jī)座I上后，觀測(cè)第一激光自準(zhǔn)直儀3，調(diào)節(jié)元件光機(jī)座I，使光學(xué)元件9和劈板標(biāo)準(zhǔn)鏡4的迎光面平行。
[0020]移開分光反射鏡7，調(diào)節(jié)第二激光自準(zhǔn)直儀6，使被測(cè)光學(xué)元件9反射回的光束入射于第二激光自準(zhǔn)直儀6中心。
[0021]加入分光反射鏡7和第二反射鏡8，打開激光器2，入射激光10部分經(jīng)分光反射鏡7后入射至第二反射鏡8，再反射回分光反射鏡7，經(jīng)劈板標(biāo)準(zhǔn)鏡4入射至第二激光自準(zhǔn)直儀6，另一部分入射激光10經(jīng)分光反射鏡7和被測(cè)光學(xué)元件9后，進(jìn)而通過第一反射鏡5形成出射激光11。
[0022]再次調(diào)節(jié)第二激光自準(zhǔn)直儀6，使被測(cè)光學(xué)元件9、第二反射鏡8反射的測(cè)量激光入射于該第二激光自準(zhǔn)直儀6中心，完成整套系統(tǒng)的光路準(zhǔn)直。
[0023]調(diào)節(jié)元件光機(jī)座I角度，觀測(cè)第一激光自準(zhǔn)直儀3，即可調(diào)節(jié)被測(cè)光學(xué)元件9和劈板標(biāo)準(zhǔn)鏡4之間的夾角，該夾角即為激光與被測(cè)元件9間的夾角(入射角)，第二激光自準(zhǔn)直儀6對(duì)激光漂移狀況進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。
[0024]最后需要說明的是，上述描述僅僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員在本實(shí)用新型的啟示下，在不違背本實(shí)用新型宗旨及權(quán)利要求的前提下，可以做出多種類似的表示，這樣的變換均落入本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種激光入射角調(diào)試及角漂監(jiān)測(cè)裝置，包括元件光機(jī)座(I)和向該元件光機(jī)座(I)發(fā)射激光光束的激光器(2)，所述元件光機(jī)座(I)用于調(diào)節(jié)被測(cè)光學(xué)元件的偏擺與俯仰，其特征在于:所述元件光機(jī)座(I) 一側(cè)設(shè)有第一激光自準(zhǔn)直儀(3)，另一側(cè)設(shè)有劈板標(biāo)準(zhǔn)鏡(4)，所述第一激光自準(zhǔn)直儀(3)與元件光機(jī)座(I)之間設(shè)有第一反射鏡(5)； 所述劈板標(biāo)準(zhǔn)鏡(4)遠(yuǎn)離元件光機(jī)座(I)的一側(cè)設(shè)有第二激光自準(zhǔn)直儀￠)，該劈板標(biāo)準(zhǔn)鏡(4)與元件光機(jī)座(I)之間設(shè)有分光反射鏡(7)，所述分光反射鏡(7)位于激光器(2)的入射光路中，該分光反射鏡(7)上方設(shè)有第二反射鏡(8)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光入射角調(diào)試及角漂監(jiān)測(cè)裝置，其特征在于:所述劈板標(biāo)準(zhǔn)鏡(4)的劈角大于1°。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的激光入射角調(diào)試及角漂監(jiān)測(cè)裝置，其特征在于:所述分光反射鏡(7)前后表面之間的夾角小于2"。4.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的激光入射角調(diào)試及角漂監(jiān)測(cè)裝置，其特征在于:所述元件光機(jī)座(I)為六維調(diào)整架。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一激光入射角調(diào)試及角漂監(jiān)測(cè)裝置，包括元件光機(jī)座和向該元件光機(jī)座發(fā)射激光光束的激光器，所述元件光機(jī)座用于調(diào)節(jié)被測(cè)光學(xué)元件的偏擺與俯仰，所述元件光機(jī)座一側(cè)設(shè)有第一激光自準(zhǔn)直儀，另一側(cè)設(shè)有劈板標(biāo)準(zhǔn)鏡，所述第一激光自準(zhǔn)直儀與元件光機(jī)座之間設(shè)有第一反射鏡；所述劈板標(biāo)準(zhǔn)鏡遠(yuǎn)離元件光機(jī)座的一側(cè)設(shè)有第二激光自準(zhǔn)直儀，該劈板標(biāo)準(zhǔn)鏡與元件光機(jī)座之間設(shè)有分光反射鏡，所述分光反射鏡位于激光器的入射光路中，該分光反射鏡上方設(shè)有第二反射鏡。本實(shí)用新型其測(cè)量精度高，適用于1500″范圍內(nèi)激光入射角的測(cè)量和調(diào)試工作，同時(shí)能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)激光角漂，當(dāng)角漂值過大時(shí)，可以根據(jù)使用需求進(jìn)行角度修正。
【IPC分類】G01M11/00
【公開號(hào)】CN204924614
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520628622
【發(fā)明人】徐旭, 獨(dú)偉鋒, 葉朗, 熊召, 袁曉東, 劉長(zhǎng)春, 陳清海
【申請(qǐng)人】中國工程物理研究院激光聚變研究中心
【公開日】2015年12月30日
【申請(qǐng)日】2015年8月20日