準單色擴展光源相干調(diào)節(jié)式干涉系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種了利用液晶空間光調(diào)制器(空間光調(diào)制器)和旋轉(zhuǎn)毛玻璃構(gòu)成擴展光源的干涉儀，屬于干涉儀領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]干涉現(xiàn)象是光的波動性的最嚴格、最有效的證明，這個現(xiàn)象是由于兩束或多束光的重疊，使能量體密度在空間上規(guī)則分布的結(jié)果。光干涉測量方法作為檢測高精密光學(xué)元件和系統(tǒng)的最傳統(tǒng)、有效手段之一，已大量的應(yīng)用于科學(xué)研究與工業(yè)生產(chǎn)之中。在實際使用過程中，現(xiàn)階段干涉儀大多采用激光器作為照明光源，而激光器具有極強的時間和空間相干性，因此，在干涉檢測過程中，并不需要考慮干涉腔長的限制，就可以使干涉條紋具有良好的對比度，并且隨著電子與計算機技術(shù)的發(fā)展，產(chǎn)生的位相干涉檢測技術(shù)，使測量極限由傳統(tǒng)的λ/10提高了一個數(shù)量級以上，且具有很高的重復(fù)性。然而，正是由于激光具有的高度相干性，它雖然降低了干涉儀的使用難度，但由于光學(xué)干涉的極端靈敏性，在光學(xué)元件加工過程中產(chǎn)生的微觀坑點等缺陷與元件表面污染所產(chǎn)生的散射光會發(fā)生相干疊加，在干涉圖中會出現(xiàn)許多牛眼環(huán)或靶心等相干噪聲，它們在一定程度上改變了干涉圖的空間結(jié)構(gòu)，從而引起了被測面面型或波前形狀的測量誤差。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，解決好現(xiàn)有技術(shù)的問題，彌補現(xiàn)有目前市場上現(xiàn)有產(chǎn)品的不足。
[0004]本實用新型提供了一種準單色擴展光源相干調(diào)節(jié)式干涉系統(tǒng)，主要包括激光器、擴束鏡、空間光調(diào)制器、偏振片、第一透鏡、第二透鏡、毛玻璃、第三透鏡、分光鏡、平面反射鏡和準直鏡構(gòu)成，所述偏振片設(shè)置在空間光調(diào)制器的后側(cè)，所述擴束鏡設(shè)置在激光器和空間光調(diào)制器之間。
[0005]優(yōu)選的，上述第一透鏡和第二透鏡之間設(shè)置由小孔光闌。
[0006]優(yōu)選的，按照激光光線的方向依次設(shè)置激光器、擴束鏡、空間光調(diào)制器、第一透鏡、第二透鏡、毛玻璃、第三透鏡和分光鏡，待測鏡設(shè)置在分光鏡的后側(cè)。
[0007]優(yōu)選的，上述毛玻璃為旋轉(zhuǎn)毛玻璃，配設(shè)連接有一馬達。
[0008]優(yōu)選的，上述干涉系統(tǒng)還包括(XD，所述(XD設(shè)置在準直鏡后側(cè)。
[0009]本實用新型提供的準單色擴展光源相干調(diào)節(jié)式干涉系統(tǒng)實現(xiàn)了準單色擴展光源的空間相干長度調(diào)節(jié)，從而可以獲得對比度最佳的被測面干涉條紋。
【附圖說明】
[0010]圖1為本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011]附圖標記:1_激光器；2_擴束鏡；3_空間光調(diào)制器；4_偏振片；5-第一透鏡；6-小孔光闌；7_第二透鏡；8_毛玻璃；9_第三透鏡；10_分光鏡；11_待測鏡；12_平面反射鏡； 13-準直鏡；14-CCD ; 15-馬達。
【具體實施方式】
[0012]為了便于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員理解和實施本實用新型，下面結(jié)合附圖及【具體實施方式】對本實用新型作進一步的詳細描述。
[0013]如圖1所示，本實用新型提供的準單色擴展光源相干調(diào)節(jié)式干涉系統(tǒng)，主要包括激光器1、擴束鏡2、空間光調(diào)制器3、偏振片4、第一透鏡5、第二透鏡7、毛玻璃8、第三透鏡9、分光鏡10、平面反射鏡12和準直鏡13構(gòu)成，偏振片4設(shè)置在空間光調(diào)制器3的后側(cè)，擴束鏡2設(shè)置在激光器1和空間光調(diào)制器3之間。其中，平面反射鏡12和準直鏡13的法線方向與激光器1的出射激光方向互相垂直，分別設(shè)置在分光鏡10的兩側(cè)。
[0014]第一透鏡5和第二透鏡7之間設(shè)置由小孔光闌6。按照激光光線的方向依次設(shè)置激光器1、擴束鏡2、空間光調(diào)制器3、第一透鏡5、第二透鏡7、毛玻璃8、第三透鏡9和分光鏡10，待測鏡11設(shè)置在分光鏡10的后側(cè)。毛玻璃8為旋轉(zhuǎn)毛玻璃，配設(shè)連接有一馬達15。
[0015]此外干涉系統(tǒng)還包括(XD14，(XD14設(shè)置在準直鏡13后側(cè)。
[0016]本實用新型利用液晶空間光調(diào)制器3和旋轉(zhuǎn)毛玻璃8構(gòu)成擴展光源的干涉系統(tǒng)，系統(tǒng)構(gòu)成如圖1所示。激光器1出射線偏振光，經(jīng)擴束鏡2后照射于空間光調(diào)制器3上。加載著菲涅爾波帶板圖樣的空間光調(diào)制器3和其后的偏振片4將激光光束進行調(diào)制，經(jīng)透鏡組(第一透鏡5和第二透鏡7)成像在旋轉(zhuǎn)毛玻璃8上，被照明的毛玻璃8即成為了可調(diào)擴展光源激光器。
[0017]改變空間調(diào)制器3上的波帶板半徑會使干涉儀的空間相干性發(fā)生變化，當波帶板半徑為1_時，出現(xiàn)第一個相干度極大值。
[0018]本實用新型提供的準單色擴展光源相干調(diào)節(jié)式干涉系統(tǒng)實現(xiàn)了準單色擴展光源的空間相干長度調(diào)節(jié)，從而可以獲得對比度最佳的被測面干涉條紋。
[0019]以上所述之【具體實施方式】為本實用新型的較佳實施方式，并非以此限定本實用新型的具體實施范圍，本實用新型的范圍包括并不限于本【具體實施方式】，凡依照本實用新型之形狀、結(jié)構(gòu)所作的等效變化均在本實用新型的保護范圍內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種準單色擴展光源相干調(diào)節(jié)式干涉系統(tǒng)，其特征在于:所述干涉系統(tǒng)主要包括激光器(1)、擴束鏡(2)、空間光調(diào)制器(3)、偏振片(4)、第一透鏡(5)、第二透鏡(7)、毛玻璃(8)、第三透鏡(9)、分光鏡(10)、平面反射鏡(12)和準直鏡(13)構(gòu)成，所述偏振片(4)設(shè)置在空間光調(diào)制器⑶的后側(cè)，所述擴束鏡⑵設(shè)置在激光器⑴和空間光調(diào)制器⑶之間，按照激光光線的方向依次設(shè)置激光器(1)、擴束鏡(2)、空間光調(diào)制器(3)、第一透鏡(5)、第二透鏡(7)、毛玻璃(8)、第三透鏡(9)和分光鏡(10)，待測鏡(11)設(shè)置在分光鏡(10)的后側(cè)，平面反射鏡(12)和準直鏡(13)的法線方向與激光器(1)的出射激光方向互相垂直，分別設(shè)置在分光鏡(10)的兩側(cè)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的準單色擴展光源相干調(diào)節(jié)式干涉系統(tǒng)，其特征在于:所述第一透鏡(5)和第二透鏡(7)之間設(shè)置由小孔光闌(6)。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的準單色擴展光源相干調(diào)節(jié)式干涉系統(tǒng)，其特征在于:所述毛玻璃(8)為旋轉(zhuǎn)毛玻璃，配設(shè)連接有一馬達(15)。4.根據(jù)權(quán)利要求1-3之一所述的準單色擴展光源相干調(diào)節(jié)式干涉系統(tǒng)，其特征在于:所述干涉系統(tǒng)還包括CCD(14)，所述CCD(14)設(shè)置在準直鏡(13)后側(cè)。
【專利摘要】本實用新型涉及一種準單色擴展光源相干調(diào)節(jié)式干涉系統(tǒng)，主要包括激光器(1)、擴束鏡(2)、空間光調(diào)制器(3)、偏振片(4)、第一透鏡(5)、第二透鏡(7)、毛玻璃(8)、第三透鏡(9)、分光鏡(10)、平面反射鏡(12)和準直鏡(13)構(gòu)成，所述偏振片(4)設(shè)置在空間光調(diào)制器(3)的后側(cè)，所述擴束鏡(2)設(shè)置在激光器(1)和空間光調(diào)制器(3)之間。本實用新型提供的準單色擴展光源相干調(diào)節(jié)式干涉系統(tǒng)實現(xiàn)了準單色擴展光源的空間相干長度調(diào)節(jié)，從而可以獲得對比度最佳的被測面干涉條紋。
【IPC分類】G01B9/02
【公開號】CN205066682
【申請?zhí)枴緾N201520276427
【發(fā)明人】林永東
【申請人】林永東
【公開日】2016年3月2日
【申請日】2015年4月28日