一種探針臺的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種探針臺，應(yīng)用于微電子技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]微電子技術(shù)是隨著集成電路，尤其是超大型規(guī)模集成電路而發(fā)展起來的一門新的技術(shù)。微電子技術(shù)包括系統(tǒng)電路設(shè)計、器件物理、工藝技術(shù)、材料制備、自動測試以及封裝、組裝等一系列專門的技術(shù)，微電子技術(shù)是微電子學(xué)中的各項工藝技術(shù)的總和。微電子技術(shù)中，半導(dǎo)體硅片在完成所有制程工藝后，需要針對硅片上的各種測試結(jié)構(gòu)進(jìn)行電性測試，SP晶片允收測試(WAT測試，Wafer Acceptance Test)。通過對WAT數(shù)據(jù)的分析，可以發(fā)現(xiàn)半導(dǎo)體制程工藝中的問題，幫助制程工藝進(jìn)行調(diào)整。
[0003]通常，在晶圓制程完成后，對晶圓進(jìn)行晶片允收測試。通過探針卡上的探針與晶圓芯片上的焊墊或凸塊直接接觸，引出芯片訊號，再配合周邊測試儀器與軟件控制達(dá)到自動化量測的目的。探針卡通常需要固定在探針臺上，探針卡的取放工作顯得非常重要。具體地，探針卡用于對晶圓進(jìn)行晶片允收測試，通常包括PCB基板、PCB線路和探針，所述PCB基板上設(shè)置有PCB線路和探針，所述探針和PCB線路連接且分別位于PCB基板的兩個面上，所述PCB基板上設(shè)置有固定孔，所述固定孔與探針臺上的固定件相對應(yīng)。在測試時，探針卡通過固定件固定放置在探針臺上，PCB線路面朝上，與周邊測試儀器連接，探針面朝下，與晶圓上的集成電路接觸連接，共同構(gòu)成晶片允收測試的電路。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)的探針臺向下凹陷，形成與探針卡相對應(yīng)的圓槽，即探針卡放置區(qū)域。為了方便取放探針卡，在圓槽邊緣上設(shè)置有凹槽，同時，在圓槽底部設(shè)置有凸起的固定點(diǎn)，用于固定探針卡。由于凹槽的深度與探針卡的厚度相同，同時探針卡表面沒有把手或其他著力點(diǎn)，使得探針卡的取放非常不方便，還容易將置于探針卡及探針臺之間的防漏電紙連帶取出，需要花費(fèi)大量時間和精力重新放置，也可能造成防漏電紙被撕壞，導(dǎo)致更多的顆粒污染。而且，在將探針卡通過固定點(diǎn)固定時，只能通過凹槽調(diào)節(jié)位置，非常不便。采用現(xiàn)有技術(shù)，在取放探針卡時需要花費(fèi)大量的時間和精力，工作效率低。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]本實(shí)用新型的目的是提供一種能夠快速、便捷取放探針卡的探針臺。
[0006]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案予以實(shí)現(xiàn):一種探針臺，包括探針臺主體和探針卡放置臺，其中，所述探針臺主體上開設(shè)有圓槽，所述探針卡放置臺設(shè)置在所述圓槽中，所述探針卡放置臺中央和圓槽底部中央均開設(shè)有貫穿孔，所述探針卡放置臺底部連接升降控制裝置。優(yōu)選的，所述升降控制裝置采用電氣控制裝置。
[0007]進(jìn)一步的，所述探針卡放置臺底部通過電氣控制桿與電氣控制裝置連接。
[0008]進(jìn)一步的，所述電氣控制桿貫穿所述圓槽底部的探針臺主體。
[0009]優(yōu)選的，所述探針卡放置臺的邊緣開設(shè)有開口向外的開口槽，所述開口槽貫穿探針卡放置臺。
[0010]進(jìn)一步的，所述開口槽為對稱設(shè)置的兩組。
[0011]優(yōu)選的，所述探針卡放置臺上設(shè)置有與探針卡對應(yīng)的固定件。
[0012]進(jìn)一步的，所述固定件采用凸起結(jié)構(gòu)，所述凸起結(jié)構(gòu)與探針卡上的固定孔相對應(yīng)。
[0013]優(yōu)選的，所述探針卡放置臺的直徑等于探針卡的直徑。
[0014]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型將現(xiàn)有的探針臺分離為探針卡放置臺和探針臺主體，探針卡放置臺在升降控制裝置的作用下，在探針臺主體內(nèi)部進(jìn)行升降運(yùn)動，升起后可進(jìn)行取放探針卡操作，使探針卡具有更大的接觸空間，方便快捷地取放探針卡，下降后將放置好的探針卡固定在探針卡放置臺上表面和圓槽內(nèi)，便于對探針卡進(jìn)行正常的測試。因此，本實(shí)用新型節(jié)省了取放探針卡的時間和精力，具有快速、便捷取放探針卡，提高工作效率的有?效果。
【附圖說明】
[0015]圖1是本實(shí)用新型一實(shí)施例中探針臺的俯視示意圖；
[0016]圖2是本實(shí)用新型一實(shí)施例中探針臺的主視示意圖；
[0017]圖3是本實(shí)用新型一實(shí)施例中探針臺的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0018]圖中所示:10、探針臺主體；20、探針卡放置臺；21、固定件；22、開口槽；30、貫穿孔。
【具體實(shí)施方式】
[0019]下面結(jié)合附圖對本實(shí)用新型作詳細(xì)描述:
[0020]如圖1至圖3所示，本實(shí)用新型的探針臺，包括探針臺主體10和探針卡放置臺20，其中，所述探針臺主體10上開設(shè)有圓槽，所述探針卡放置臺20設(shè)置在所述圓槽中，所述探針卡放置臺20中央和圓槽底部中央均開設(shè)有貫穿孔30，所述探針卡放置臺20底部連接升降控制裝置。
[0021]本實(shí)用新型的探針臺將現(xiàn)有的探針臺分離為探針卡放置臺20和探針臺主體10，探針卡放置臺20在升降控制裝置的作用下，在探針臺主體10內(nèi)部進(jìn)行升降運(yùn)動，升起后可進(jìn)行取放探針卡操作，使探針卡具有更大的接觸空間，方便快捷地取放探針卡，下降后將放置好的探針卡固定在探針卡放置臺20上表面和圓槽內(nèi)，便于對探針卡進(jìn)行正常的測試。所述探針卡放置臺20和探針臺主體10中央均開設(shè)有貫穿孔30，放置晶圓的裝置可以通過貫穿孔30到達(dá)探針卡探針的位置，使探針和晶圓接觸連接測試。
[0022]采用上述技術(shù)，所述探針卡放置臺20放置在所述圓槽底部且與圓槽內(nèi)壁共同容置探針卡，通過探針臺主體10支撐探針卡放置臺20，保證探針臺主體10和探針卡放置臺20相對位置穩(wěn)定。
[0023]較佳的，所述升降控制裝置采用電氣控制裝置。所述探針卡放置臺20底部通過電氣控制桿與電氣控制裝置連接。所述電氣控制桿貫穿所述圓槽底部的探針臺主體10。
[0024]采用上述技術(shù)，通過電氣控制裝置控制探針臺主體10的移動和探針卡放置臺20的升降，結(jié)構(gòu)簡單，節(jié)省空間，同時控制精度高，運(yùn)動平穩(wěn)。通過電氣控制桿一端連接電氣控制裝置的氣缸，另一端貫穿探針臺主體10底部后連接探針卡放置臺20，運(yùn)動平穩(wěn)安全，精確控制。
[0025]較佳的，所述探針卡放置臺20的邊緣開設(shè)有開口向外的開口槽22，所述開口槽22貫穿探針卡放置臺20。所述開口槽22為對稱設(shè)置的兩組。
[0026]采用上述技術(shù)，在探針卡放置臺20的邊緣開設(shè)有開口向外的開口槽22，可以通過開口槽22接觸探針卡的下表面，增加探針卡的接觸部位和接觸面積，便于取放操作。
[0027]較佳的，所述探針卡放置臺20上設(shè)置有與探針卡對應(yīng)的固定件21。所述固定件21采用凸起結(jié)構(gòu)，所述凸起結(jié)構(gòu)與探針卡上的固定孔相對應(yīng)。
[0028]采用上述技術(shù)，通過凸起結(jié)構(gòu)插入探針卡的固定孔，將探針卡固定在探針卡放置臺20上。
[0029]參照圖1至圖3所示，下面將詳細(xì)說明本實(shí)用新型的工作過程:
[0030]開始時，本實(shí)用新型的探針卡放置臺20位于探針臺主體10內(nèi)部，初始高度為H。，此時探針卡放置臺20上表面距離探針臺主體10上表面的高度為探針卡的厚度，即探針卡放置臺20的上表面和探針臺主體10的圓槽內(nèi)壁形成的槽形空間剛好容納探針卡。
[0031]然后，在升降控制裝置的作用下，將探針卡放置臺20上升至高度H1，將探針卡移動到探針卡放置臺20位置，對準(zhǔn)探針卡放置臺20上的固定件21放下，使探針卡固定在探針卡放置臺20上。放置操作完成后，將探針卡放置臺20下降至高度H。，使探針卡落入探針卡放置臺20的上表面和探針臺主體10的圓槽內(nèi)，探針卡的放置過程完成。
[0032]同樣的，在升降控制裝置的作用下，將探針卡放置臺20上升至高度H1，取下探針卡后，進(jìn)行更換新的探針卡，探針卡的取換過程完成。
[0033]在探針卡固定放置好后，移動探針臺主體10，使探針卡的下表面的探針與待測試晶圓接觸連接，探針卡上表面的PCB線路與周邊測試儀器連接，即可實(shí)現(xiàn)對待測試晶圓的晶片允收測試。
【主權(quán)項】
1.一種探針臺，其特征在于，包括探針臺主體和探針卡放置臺，其中，所述探針臺主體上開設(shè)有圓槽，所述探針卡放置臺設(shè)置在所述圓槽中，所述探針卡放置臺中央和圓槽底部中央均開設(shè)有貫穿孔，所述探針卡放置臺底部連接升降控制裝置。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針臺，其特征在于，所述升降控制裝置采用電氣控制裝置。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的探針臺，其特征在于，所述探針卡放置臺底部通過電氣控制桿與電氣控制裝置連接。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的探針臺，其特征在于，所述電氣控制桿貫穿所述圓槽底部的探針臺主體。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針臺，其特征在于，所述探針卡放置臺的邊緣開設(shè)有開口向外的開口槽，所述開口槽貫穿探針卡放置臺。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的探針臺，其特征在于，所述開口槽為對稱設(shè)置的兩組。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針臺，其特征在于，所述探針卡放置臺上設(shè)置有與探針卡對應(yīng)的固定件。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的探針臺，其特征在于，所述固定件采用凸起結(jié)構(gòu)，所述凸起結(jié)構(gòu)與探針卡上的固定孔相對應(yīng)。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針臺，其特征在于，所述探針卡放置臺的直徑等于探針卡的直徑。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種探針臺，包括探針臺主體和探針卡放置臺，其中，所述探針臺主體上開設(shè)有圓槽，所述探針卡放置臺設(shè)置在所述圓槽中，所述探針卡放置臺中央和圓槽底部中央均開設(shè)有貫穿孔，所述探針卡放置臺底部連接升降控制裝置。本實(shí)用新型的探針卡放置臺在升降控制裝置的作用下，在探針臺主體內(nèi)部進(jìn)行升降運(yùn)動，升起后可進(jìn)行取放探針卡操作，使探針卡具有更大的接觸空間，方便快捷地取放探針卡，下降后將放置好的探針卡固定在探針卡放置臺上表面和圓槽內(nèi)，便于對探針卡進(jìn)行正常的測試。本實(shí)用新型節(jié)省了取放探針卡的時間和精力，具有快速、便捷取放探針卡的有益效果。
【IPC分類】G01R31/26, G01R1/04
【公開號】CN205067532
【申請?zhí)枴緾N201520828827
【發(fā)明人】謝翠萍, 莫保章
【申請人】上海華力微電子有限公司
【公開日】2016年3月2日
【申請日】2015年10月23日