表面檢測(cè)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ]本實(shí)用新型涉及一種表面檢測(cè)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]表面檢測(cè)，特別是表面微小缺陷檢測(cè)，一直以來都被物體表面的環(huán)境灰塵、毛絲等可去除異物所干擾。由于環(huán)境灰塵、毛絲等可去除異物在檢測(cè)圖像中的特征與表面微小缺陷(如凸凹坑點(diǎn)、劃傷、涂層脫落等)十分接近，幾乎無法正確區(qū)分。所以會(huì)造成檢測(cè)設(shè)備的準(zhǔn)確度不高，誤判較大，嚴(yán)重影響檢測(cè)設(shè)備的功效。
[0003]有鑒于上述的缺陷，本設(shè)計(jì)人，積極加以研究創(chuàng)新，以期創(chuàng)設(shè)表面檢測(cè)裝置，使其更具有產(chǎn)業(yè)上的利用價(jià)值。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型的目的是提供表面檢測(cè)裝置。
[0005]本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下:
[0006]表面檢測(cè)裝置，其特征在于，包括以下裝置:
[0007]—載臺(tái)，包含定位裝置，通過所述定位裝置固定待測(cè)物；
[0008]—光源系統(tǒng)，用于給所述待測(cè)物表面光源照明；
[0009]—檢測(cè)相機(jī)，用于采集光源系統(tǒng)照明下待測(cè)物的圖像；
[0010]一吹氣單元，用于對(duì)待測(cè)物表面吹氣去除異物；
[0011]—控制單元，用于處理檢測(cè)相機(jī)采集到的圖像，得到對(duì)應(yīng)的表面缺陷及區(qū)域。
[0012]進(jìn)一步的，所述吹氣單元為離子發(fā)生器，其將含正負(fù)離子的氣體以一定的壓力吹到待測(cè)物表面，以達(dá)到吹掉或移動(dòng)表面可去除的異物的目的。
[0013]進(jìn)一步的，所述定位裝置通過機(jī)構(gòu)加持固定、定位孔固定、靠邊固定以及真空吸附固定中的一種固定方式進(jìn)行定位。
[0014]進(jìn)一步的，所述光源系統(tǒng)包含一個(gè)或多個(gè)不同類型的光源。
[0015]進(jìn)一步的，所述載臺(tái)為固定載臺(tái)。
[0016]進(jìn)一步的，所述檢測(cè)相機(jī)為線掃描相機(jī)。
[0017]借由上述方案，本實(shí)用新型至少具有以下優(yōu)點(diǎn):
[0018]本實(shí)用新型減少了檢測(cè)經(jīng)驗(yàn)參數(shù)的調(diào)整，降低了照明方式的難度和缺陷檢測(cè)算法的復(fù)雜度，同時(shí)大大提高了檢測(cè)的準(zhǔn)確度。
[0019]上述說明僅是本實(shí)用新型技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本實(shí)用新型的技術(shù)手段，并可依照說明書的內(nèi)容予以實(shí)施，以下以本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例并配合附圖詳細(xì)說明如后。
【附圖說明】
[0020]圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)不意圖；
[0021]圖2是本實(shí)用新型的流程圖；
[0022]圖3是在相同照明條件下，拍攝的第一張圖像；
[0023]圖4是在相同照明條件下，拍攝的第二張圖像；
[0024]圖5是第一張與第二張的差異圖像。
【具體實(shí)施方式】
[0025]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實(shí)施例用于說明本實(shí)用新型，但不用來限制本實(shí)用新型的范圍。
[0026]參見圖1，為本實(shí)用新型檢測(cè)裝置，包括，一載臺(tái)I，包含定位裝置11，通過定位裝置11固定待測(cè)物2; —光源系統(tǒng)3，用于給所述待測(cè)物提供光源;一檢測(cè)相機(jī)6，用于采集光源系統(tǒng)照明下待測(cè)物的圖像;一吹氣單元4，用于對(duì)待測(cè)物表面吹氣去除異物;一控制單元5，用于處理檢測(cè)相機(jī)采集到的圖像，得到對(duì)應(yīng)的表面缺陷及區(qū)域。待測(cè)物2中，一般含有灰塵7、劃傷8、毛絲9、凸點(diǎn)10。吹氣單元4為離子發(fā)生器，其將含正負(fù)離子的氣體以一定的壓力吹到待測(cè)物表面，以達(dá)到吹掉或移動(dòng)表面可去除的異物的目的；定位裝置11通過機(jī)構(gòu)加持固定、定位孔固定、靠邊固定以及真空吸附固定中的一種固定方式進(jìn)行定位;光源系統(tǒng)包含一個(gè)或多個(gè)不同類型的光源。
[0027]本實(shí)用新型中，載臺(tái)I可以為平移載臺(tái)，檢測(cè)相機(jī)6為線掃描相機(jī)，拍照過程為平移載臺(tái)載著待測(cè)物2平移往復(fù)運(yùn)動(dòng)，線掃描相機(jī)在光源照明下拍攝多張待測(cè)物的圖像，同時(shí)吹氣單元4持續(xù)對(duì)待測(cè)物表面吹氣。
[0028]本實(shí)用新型中，載臺(tái)I可以為為固定載臺(tái)，相機(jī)為線掃描相機(jī)，拍照過程為相機(jī)相對(duì)固定載臺(tái)固定高度做往復(fù)運(yùn)動(dòng)，線掃描相機(jī)在光源照明下拍攝多張待測(cè)物的圖像，同時(shí)吹氣單元4持續(xù)對(duì)待測(cè)物表面吹氣。
[0029]參見圖2，為本實(shí)用新型檢測(cè)方法流程圖，
[0030]外觀檢測(cè)方法，包含以下步驟:
[0031]S1:將被測(cè)物置于載臺(tái)并定位；
[0032]S2:打開光源和相機(jī)，以一種或多種照明方式，拍攝多張圖像，同時(shí)吹氣單元對(duì)被測(cè)物表面吹氣；
[0033]S3:計(jì)算控制單元處理各照明方式下的圖像，得到對(duì)應(yīng)的表面缺陷及區(qū)域；
[0034]S4:計(jì)算控制單元對(duì)相同照明條件下的多張圖像進(jìn)行差異比較，得到差異區(qū)域的信息；
[0035]S5:計(jì)算控制單元將差異區(qū)域內(nèi)的缺陷去掉，剩下的缺陷就是真正的缺陷。
[0036]步驟圖像的S4中差異是指對(duì)應(yīng)位置的圖像間的灰階或色彩差異。
[0037]步驟S4中圖像的差異區(qū)域是指圖像差異區(qū)域的中心及其周邊指定寬度范圍以內(nèi)。
[0038]如圖3和圖4，分別為是在相同照明條件下，拍攝的第一張圖像和相同照明條件下，拍攝的第二張圖像;通過控制裝置的檢測(cè)后，在圖5中灰塵7和凸點(diǎn)10被檢測(cè)出來。
[0039]以上所述僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，并不用于限制本實(shí)用新型，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實(shí)用新型技術(shù)原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和變型，這些改進(jìn)和變型也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.表面檢測(cè)裝置，其特征在于，包括以下裝置: 一載臺(tái)，包含定位裝置，通過所述定位裝置固定待測(cè)物； 一光源系統(tǒng)，用于給所述待測(cè)物表面光源照明； 一檢測(cè)相機(jī)，用于采集光源系統(tǒng)照明下待測(cè)物的圖像； 一吹氣單元，用于對(duì)待測(cè)物表面吹氣去除異物； 一控制單元，用于處理檢測(cè)相機(jī)采集到的圖像，得到對(duì)應(yīng)的表面缺陷及區(qū)域。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面檢測(cè)裝置，其特征在于:所述吹氣單元為離子發(fā)生器，其將含正負(fù)離子的氣體以一定的壓力吹到待測(cè)物表面，以達(dá)到吹掉或移動(dòng)表面可去除的異物的目的。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面檢測(cè)裝置，其特征在于:所述定位裝置通過機(jī)構(gòu)加持固定、定位孔固定、靠邊固定以及真空吸附固定中的一種固定方式進(jìn)行定位。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種表面檢測(cè)裝置，其特征在于:所述光源系統(tǒng)包含一個(gè)或多個(gè)不同類型的光源。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種表面檢測(cè)裝置，其特征在于:所述載臺(tái)為固定載臺(tái)。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種表面檢測(cè)裝置，其特征在于:所述檢測(cè)相機(jī)為線掃描相機(jī)。
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及表面檢測(cè)裝置，包括以下裝置：一載臺(tái)，包含定位裝置，通過所述定位裝置固定待測(cè)物；一光源系統(tǒng)，用于給所述待測(cè)物提供光源；一檢測(cè)相機(jī)，用于采集光源系統(tǒng)照明下待測(cè)物的圖像；一吹氣單元，用于對(duì)待測(cè)物表面吹氣去除異物；一控制單元，用于處理檢測(cè)相機(jī)采集到的圖像，得到對(duì)應(yīng)的表面缺陷及區(qū)域。本實(shí)用新型減少了檢測(cè)經(jīng)驗(yàn)參數(shù)的調(diào)整，降低了照明方式的難度和缺陷檢測(cè)算法的復(fù)雜度，同時(shí)大大提高了檢測(cè)的準(zhǔn)確度。
【IPC分類】G01N21/95
【公開號(hào)】CN205317687
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520996591
【發(fā)明人】張智海, 易永祥
【申請(qǐng)人】蘇州威盛視信息科技有限公司
【公開日】2016年6月15日
【申請(qǐng)日】2015年12月3日