一種電容式角位移傳感器的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開一種電容式角位移傳感器，包括電容式敏感件和信號處理電路，所述電容式敏感件包括定子和轉(zhuǎn)子，所述轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動引起與所述定子之間的電場有規(guī)律的變化，所述定子檢測所述電場的變化并轉(zhuǎn)化為周期的模擬信號輸出，信號處理電路用于采集所述模擬信號并輸出角位移數(shù)字量，所述電容式敏感件和所述信號處理電路連接。本實(shí)用新型提供一種抗干擾性好、結(jié)構(gòu)簡單、體積小的電容式角位移傳感器。
【專利說明】
一種電容式角位移傳感器
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及一種角位移傳感技術(shù)領(lǐng)域，更具體的說，涉及一種電容式角位移傳感器。
【背景技術(shù)】
[0002]角位移傳感器為傳感器的一種，是將旋轉(zhuǎn)角位置、角位移等物理量轉(zhuǎn)換為電信號的位移傳感器。是自動化領(lǐng)域中用來檢測角度、速度、長度、位移和加速度的傳感器。其應(yīng)用大到數(shù)控機(jī)床、機(jī)器人、包裝機(jī)械、印刷機(jī)械、電梯、工廠自動化相關(guān)設(shè)備的位置檢測、傳輸速度控制，小到磁盤、打印機(jī)等辦公自動化設(shè)備的旋轉(zhuǎn)量的測量和控制，已成為各個(gè)領(lǐng)域不可或缺的一部分。
[0003]目前，市面上已有多種旋轉(zhuǎn)角位移傳感器，按照檢測的原理可分為光學(xué)編碼器、磁性編碼器等。其中，光學(xué)旋轉(zhuǎn)編碼器應(yīng)用較多，磁性編碼器次之。
[0004]光學(xué)編碼器分為絕對編碼器和增量編碼器，輸出為二進(jìn)制的方波信號。增量式的編碼器應(yīng)用更普遍，原因是其結(jié)構(gòu)平整、造價(jià)低廉，但它具有以下缺點(diǎn):光學(xué)編碼器必須將光束集中在光盤上的特定點(diǎn)，因此這類編碼器對機(jī)械裝配和安裝誤差較為敏感。這類編碼器的結(jié)構(gòu)僅能夠提供有限的機(jī)械使用壽命。在惡劣環(huán)境下，如經(jīng)常受到機(jī)械沖擊、振動或處于高溫環(huán)境下等，編碼器內(nèi)的光電碼盤很容易受到外部因素的影響而損壞。
[0005]磁編碼器一般包括永磁材料和磁敏感元件，通過永磁材料元件轉(zhuǎn)動引起磁通強(qiáng)弱變化，變化的磁通經(jīng)過敏感元件后被轉(zhuǎn)換成為相應(yīng)的數(shù)字或脈沖信號。這類編碼器采用永磁材料作為核心部件因此比較耐用。由于采用磁性材料與敏感元件，因此極易受周圍電磁環(huán)境影響。
[0006]因此，提供一種抗干擾性好、結(jié)構(gòu)簡單、體積小的電容式角位移傳感器，成為本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的技術(shù)問題。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0007]本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種抗干擾性好、結(jié)構(gòu)簡單、體積小的電容式角位移傳感器。
[0008]本實(shí)用新型的目的是通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的:一種電容式角位移傳感器，包括:電容式敏感件，所述電容式敏感件包括定子、轉(zhuǎn)子，所述轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動引起與所述定子之間的電場有規(guī)律的變化，所述定子檢測所述電場的變化并轉(zhuǎn)化為周期的模擬信號輸出；信號處理電路，用于采集所述模擬信號并輸出角位移數(shù)字量;所述電容式敏感件和所述信號處理電路連接，所述電容式敏感件外套設(shè)有屏蔽環(huán)，所述屏蔽環(huán)用于屏蔽傳感器周圍的電場干擾源。
[0009]優(yōu)選的，所述定子包括一個(gè)或多個(gè)，所述定子包括電場接收裝置和電場發(fā)射裝置，所述電場發(fā)射裝置用于發(fā)射電場，所述電場發(fā)射裝置包括電場發(fā)射電路和金屬發(fā)射極板，所述金屬發(fā)射極板上包括至少一個(gè)發(fā)射通道，所述電場接收裝置用于接收電場，所述電場接收裝置包括電場接收電路和金屬接收極板。
[0010]優(yōu)選的，所述定子為一個(gè)，所述電場發(fā)射電路采用正交激勵(lì)，所述金屬發(fā)射極板采用扇形柵格的形式分成單元，將每個(gè)所述單元分為等份的四柵格，分別對應(yīng)于四相正交激勵(lì)的四路激勵(lì)，所述四柵格分別連接相位為0°，90°，180°，270°。
[0011]優(yōu)選的，所述金屬發(fā)射極板采用多個(gè)單元，所述單元的個(gè)數(shù)為2的η次方，η為大于零的整數(shù)，所述單元均勻的設(shè)置在金屬發(fā)射極板的表面。
[0012]優(yōu)選的，所述定子為兩個(gè)，所述電場接收裝置設(shè)置在一個(gè)定子上，所述電場發(fā)射裝置設(shè)置在另一個(gè)定子上，所述金屬發(fā)射極板包括兩個(gè)發(fā)射通道和中央圓環(huán)，所述兩發(fā)射通道以所述中央圓環(huán)為中心，均勻的分布在所述中央圓環(huán)的外側(cè)，所述轉(zhuǎn)子采用塑性材料，所述轉(zhuǎn)子邊緣設(shè)有多個(gè)均勻布置的凹槽。
[0013]優(yōu)選的，兩個(gè)所述金屬發(fā)射通道分別為第一發(fā)射通道和第二發(fā)射通道，所述第一發(fā)射通道包括2ml-l個(gè)單元，ml為大于零的整數(shù)，所述第二發(fā)射通道包括2m2個(gè)單元，m2為大于零的整數(shù)，所述兩發(fā)射通道的每個(gè)單元與所述中央圓環(huán)的中心對應(yīng)。
[0014]優(yōu)選的，所述的轉(zhuǎn)子采用塑性材料，所述轉(zhuǎn)子上附有金屬導(dǎo)電層，所述金屬導(dǎo)電層包括周期性圖案，所述轉(zhuǎn)子邊緣設(shè)有周期性的凹槽。
[0015]優(yōu)選的，所述電場接收電路與所述金屬接收極板連接，所述接收極板與所述發(fā)射極板兩個(gè)通道的中央圓環(huán)分別對應(yīng)，所述金屬接收極板對應(yīng)第一發(fā)射通道的形狀為網(wǎng)格狀，所述金屬接收極板對應(yīng)第二發(fā)射通道的形狀為蜂窩狀。
[0016]優(yōu)選的，所述的信號處理電路集成于信號處理電路板上，所述信號處理電路與所述電場接收裝置電連接。
[0017]優(yōu)選的，所述定子和轉(zhuǎn)子都為環(huán)形，所述定子和轉(zhuǎn)子之間設(shè)有間隙，所述定子和轉(zhuǎn)子外周套設(shè)有屏蔽環(huán)，所述屏蔽環(huán)用于屏蔽傳感器周圍的電場干擾源，所述定子和轉(zhuǎn)子以及屏蔽環(huán)收納與環(huán)形的屏蔽外殼內(nèi)。
[0018]本實(shí)用新型的有益效果為，通過轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動引起與定子之間有規(guī)律的電場變化，定子對調(diào)制后的電容進(jìn)行解調(diào)、檢測，最后通過信號處理電路使電容變化量與旋轉(zhuǎn)角度一一對應(yīng)，得到旋轉(zhuǎn)角度，采用電容檢測方式，通過對電容進(jìn)行周期性的調(diào)制與解調(diào)來獲取角位移信號，因?yàn)殡娙輽z測本身的特性，間距越小越容易檢測，因此電容式角位移傳感器體積很小、結(jié)構(gòu)簡單，同時(shí)，電容式敏感件外套設(shè)有屏蔽環(huán)用于屏蔽傳感器周圍的電場干擾源，因此該電容式角位移傳感器具有良好的抗電磁干擾性，同時(shí)本實(shí)用新型中傳感器材料沒有采用光刻盤等易于損壞的部件，因此具有良好的抗振、抗沖擊性。
[0019]—種電容式角位移傳感器檢測方法，其特征在于，包括如下步驟:
[0020]A將轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)軸安裝連接；
[0021]B將定子與信號處理電路連接，所述信號處理電路與上位機(jī)處理軟件連接；
[0022]C轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動、帶動轉(zhuǎn)子，引起定子之間電容量發(fā)射變化；
[0023]D電容式敏感件中的接受裝置將檢測到的電容量變化量轉(zhuǎn)變?yōu)橹芷谛盘栞敵觯?br>[0024]E電路處理電路對電容式敏感件所生成的信號進(jìn)行采集處理并輸出角位移數(shù)字量；
[0025]F上位機(jī)軟件完成電容式敏感件定子與轉(zhuǎn)子之間誤差檢測、分析與補(bǔ)償。
[0026]本實(shí)用新型采用這種角位移傳感檢測方法的有益效果為:通過轉(zhuǎn)子有規(guī)律的轉(zhuǎn)動引起與定子之間的電容量變化，定子對調(diào)制后的電容進(jìn)行解調(diào)、檢測，最后通過信號處理電路使電容變化量與旋轉(zhuǎn)角度一一對應(yīng)，得到旋轉(zhuǎn)角度，在傳感器安裝好以后，上位機(jī)軟件與電容式敏感件和信號處理電路配合使用，完成電容式敏感件定子與轉(zhuǎn)子之間的誤差檢車、分析和補(bǔ)償，這樣完善電容式敏感件大的安裝公差，同時(shí)保證電容角位移傳感器的精度。
【附圖說明】
[0027]圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例1的結(jié)構(gòu)不意圖；
[0028]圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例2的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0029]圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例的發(fā)射極板單個(gè)單元示意圖；
[0030]圖4是本實(shí)用新型實(shí)施例的發(fā)射極板不意圖。
[0031]其中:1、定子，11、金屬發(fā)射極板，12、單元，2、轉(zhuǎn)子，21、金屬接收極板，3、屏蔽環(huán)，
4、屏蔽外殼。
【具體實(shí)施方式】
[0032]在本實(shí)用新型的描述中，需要理解的是，術(shù)語“第一”、“第二”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性或者隱含指明所指示的技術(shù)特征的數(shù)量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隱含地包括一個(gè)或者更多個(gè)該特征。在本實(shí)用新型的描述中，除非另有說明，“多個(gè)”的含義是兩個(gè)或兩個(gè)以上。另外，術(shù)語“包括”及其任何變形，意圖在于覆蓋不排他的包含。
[0033]在本實(shí)用新型的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接;可以是機(jī)械連接，也可以是電連接;可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通。對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語在本實(shí)用新型中的具體含義。
[0034]下面結(jié)合附圖和較佳的實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。
[0035]實(shí)施例1
[0036]如圖1所示，本實(shí)施例公開一種電容式角位移傳感器，包括電容式敏感件，電容式敏感件包括定子1、轉(zhuǎn)子2，定子I和轉(zhuǎn)子3都為環(huán)形，定子I和轉(zhuǎn)子2之間設(shè)有間隙，定子I和轉(zhuǎn)子2外周套設(shè)有屏蔽環(huán)3，定子I和轉(zhuǎn)子2以及屏蔽環(huán)3收納于環(huán)形的屏蔽外殼4內(nèi)，電容式敏感件與信號處理電路連接，屏蔽環(huán)3和屏蔽外殼4用于屏蔽傳感器周圍的電場干擾源，因此該電容式角位移傳感器能有效提高抗電磁干擾性。
[0037]其中，轉(zhuǎn)子2和定子I同軸、同心且平行安裝，保證彼此互不摩擦，且間隙盡量小，因?yàn)槎ㄗ覫和轉(zhuǎn)子2之間為非接觸式傳感器，因此更加方便的應(yīng)用于控制系統(tǒng)中。
[0038]其中，電容式敏感件中，轉(zhuǎn)子2轉(zhuǎn)動引起與定子I之間有規(guī)律的電場變化，定子I對調(diào)制后的電容進(jìn)行解調(diào)、檢測，最后通過信號處理電路使電容變化量與旋轉(zhuǎn)角度一一對應(yīng)，得到旋轉(zhuǎn)角度，采用電容檢測方式，通過對電容進(jìn)行周期性的調(diào)制與解調(diào)來獲取角位移信號。
[0039]其中，定子I包括一個(gè)定子I包括一個(gè)或多個(gè)，定子I包括電場接收裝置和電場發(fā)射裝置，電場接收裝置用于接收電場，電場發(fā)射裝置用于發(fā)射電場。電場發(fā)射裝置包括電場發(fā)射電路和金屬發(fā)射極板，金屬發(fā)射極板上包括至少一個(gè)發(fā)射通道，本實(shí)施例中優(yōu)選的方案為一個(gè)定子的電容式角位移傳感器。
[0040]進(jìn)一步的，定子I為一個(gè)，電場接收裝置和電場發(fā)射裝置都設(shè)置在定子上，電場發(fā)射裝置包括電場發(fā)射電路和金屬發(fā)射極板U，電場發(fā)射電路采用正交激勵(lì)，金屬發(fā)射極板11扇形柵格的形式，將每個(gè)單元12分為等份的四柵格，分別對應(yīng)于四相正交激勵(lì)的四路激勵(lì)，四柵格分別連接相位為0°，90°，180°，270°的正弦激勵(lì)電路，分別形成第一柵格、第二柵格、第三柵格以及第四柵格，由于四個(gè)柵格，0°與180°，90°與270°所施加激勵(lì)相位正好相反，因此將四個(gè)柵格與接收極板形成的電容并聯(lián)時(shí)，第一柵格與第三柵格相對，且相互之間電容信號進(jìn)行差分運(yùn)算;第二柵格與第四柵格相對，且相互之間電容信號進(jìn)行差分運(yùn)算。因此，傳感器受共模干擾影響較小，比如溫度特性好，噪聲小，分辨率高。
[0041]四柵格也可以采用方波信號也可以采用正弦信號，本實(shí)用新型中優(yōu)選的方案為方波信號，本領(lǐng)域技術(shù)員人不付出創(chuàng)造性勞動的情況下，不能認(rèn)為四柵格產(chǎn)生的信號僅為正弦信號或方波信號。
[0042]如圖2所示，發(fā)射極板包括單個(gè)單元12，單個(gè)單元12包括四個(gè)柵格;當(dāng)然，也可以設(shè)置兩個(gè)或三個(gè)柵格，或其它個(gè)數(shù)。
[0043]如圖3所示，發(fā)射極板包括多個(gè)單元12，單元12均勻的設(shè)置在環(huán)形金屬發(fā)射極板11的表面，單元12的數(shù)量優(yōu)選的為2的η次方，η為大于零的整數(shù)，由于發(fā)射極采用了多個(gè)單元，且均勻分布。因此，可以有效的防止轉(zhuǎn)子與定子由于傾斜所導(dǎo)致的電容量變化。使得傳感器被測系統(tǒng)與轉(zhuǎn)軸之間的傾斜安裝誤差減小，抗振動性能好。
[0044]進(jìn)一步的，電場接收裝置包括:電場接收電路、金屬接收極板U。兩者可單獨(dú)制作，再連接，也可一同制作在印制板上，同時(shí)電場接收裝置設(shè)置有同步檢測技術(shù)。
[0045]其中，轉(zhuǎn)子2采用塑性材料，轉(zhuǎn)子用于與定子形成電場，轉(zhuǎn)子2上附有金屬導(dǎo)電層，金屬導(dǎo)電層包括周期性圖案，轉(zhuǎn)子2中與周期性導(dǎo)電圖案的邊緣均為光滑的正弦包絡(luò)，附有該特性的轉(zhuǎn)子對電場進(jìn)行調(diào)制，使得電場接收裝置產(chǎn)生周期性的正弦信號。當(dāng)然轉(zhuǎn)子2還可以有另一種形式，轉(zhuǎn)子的表面不設(shè)金屬導(dǎo)電層，只是在外型上采用周期性的邊緣。轉(zhuǎn)子采用這兩者形式既可以應(yīng)用在實(shí)施例1中也可以應(yīng)用在實(shí)施例2中。
[0046]實(shí)施例2
[0047]如圖3、4所示，與實(shí)施例1相比，實(shí)施例2中定子的數(shù)量為兩個(gè)，電場接收裝置設(shè)置在一個(gè)定子I上，電場發(fā)射裝置設(shè)置在另一個(gè)定子I上，金屬發(fā)射極板11包括兩個(gè)發(fā)射通道和中央圓環(huán)，兩發(fā)射通道以所述中央圓環(huán)為中心，均勻的分布在中央圓環(huán)的外側(cè)，金屬發(fā)射極板包括第一發(fā)射通道和第二發(fā)射通道，第一發(fā)射通道包括2ml-l個(gè)單元，ml為大于零的整數(shù)，第二發(fā)射通道包括2m2個(gè)單元，m2也為大于零的整數(shù)，兩發(fā)射通道的每個(gè)單元與所述中央圓環(huán)的中心對應(yīng)。由于單數(shù)單元與多數(shù)單元都與中心圓環(huán)有對應(yīng)角度，因此可以通過第一發(fā)射通道每個(gè)單元之間和第二發(fā)射通道每個(gè)單元之間獨(dú)特的對應(yīng)關(guān)系來確定絕對的角位置。采用絕對的角位置確定方式，實(shí)現(xiàn)了絕對角度的測量。可以更精確的測量旋轉(zhuǎn)角度。同時(shí)因?yàn)榻^對位置輸出超過360°旋轉(zhuǎn)范圍，可以提高旋轉(zhuǎn)角度測量，使得動態(tài)測量范圍更廣。
[0048]其中，接收裝置包括電場接收電路、金屬接收極板21，電場接收電路與金屬接收極板21連接，金屬接收極板21與金屬發(fā)射極板11中央圓環(huán)對應(yīng)，金屬接收極板21對應(yīng)第一發(fā)射通道的形狀為網(wǎng)格狀，金屬接收極板21對應(yīng)第一發(fā)射通道的形狀為蜂窩狀。
[0049]其中，轉(zhuǎn)子采用塑性材料制成，該轉(zhuǎn)子邊緣為周期性的凹槽。
[0050]本實(shí)施例通過轉(zhuǎn)子2有規(guī)律的轉(zhuǎn)動引起與定子I之間的電場變化，定子I對調(diào)制后的電容進(jìn)行解調(diào)、檢測，最后通過信號處理電路使電容變化量與旋轉(zhuǎn)角度一一對應(yīng)，得到旋轉(zhuǎn)角度，采用電容檢測方式，通過對電容進(jìn)行周期性的調(diào)制與解調(diào)來獲取角位移信號，因?yàn)殡娙輽z測本身的特性，間距越小越容易檢測，因此電容式角位移傳感器體積很小、結(jié)構(gòu)簡單，同時(shí)，電容式敏感件外套設(shè)有屏蔽環(huán)用于屏蔽傳感器周圍的電場干擾源，因此該電容式角位移傳感器具有良好的抗電磁干擾性，同時(shí)本實(shí)用新型中傳感器材料沒有采用光刻盤等易于損壞的部件，因此具有良好的抗振、抗沖擊性。
[0051]本實(shí)施例的電容式角位移傳感器的其它設(shè)置及技術(shù)效果與實(shí)施例一相同，這里不再一一說明。
[0052]實(shí)施例3
[0053]一種使用實(shí)施例1或?qū)嵤├?中電容式角位移傳感器的檢測方法，結(jié)合圖1至圖4，包括如下步驟:
[0054]A將轉(zhuǎn)子2與轉(zhuǎn)軸安裝連接；
[0055]B將定子I與信號處理電路連接，所述信號處理電路與上位機(jī)連接；
[0056]C轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動、帶動轉(zhuǎn)子2，引起定子I之間電場變化；
[0057]D電容式敏感件中的接收裝置將檢測到的電場變化轉(zhuǎn)變?yōu)橹芷谛盘栞敵觯?br>[0058]E電路處理電路對電容式敏感件所生成的信號進(jìn)行采集處理并輸出角位移數(shù)字量；
[0059]F上位機(jī)軟件完成電容式敏感件定子與轉(zhuǎn)子之間誤差檢測、分析與補(bǔ)償。
[0060]本實(shí)施例通過轉(zhuǎn)子2的轉(zhuǎn)動引起與定子I之間有規(guī)律的電場變化，定子I對調(diào)制后的電容進(jìn)行解調(diào)、檢測，最后通過信號處理電路使電容變化量與旋轉(zhuǎn)角度一一對應(yīng)，得到旋轉(zhuǎn)角度，在傳感器安裝好以后，上位機(jī)軟件與電容式敏感件和信號處理電路配合使用，完成電容式敏感件定子I與轉(zhuǎn)子2之間的誤差檢測、分析和補(bǔ)償，這樣完善電容式敏感件大的安裝公差，同時(shí)保證電容角位移傳感器的精度。
[0061]以上內(nèi)容是結(jié)合具體的優(yōu)選實(shí)施方式對本實(shí)用新型所作的進(jìn)一步詳細(xì)說明，不能認(rèn)定本實(shí)用新型的具體實(shí)施只局限于這些說明。對于本實(shí)用新型所屬技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實(shí)用新型構(gòu)思的前提下，還可以做出若干簡單推演或替換，都應(yīng)當(dāng)視為屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種電容式角位移傳感器，其特征在于，包括: 電容式敏感件，所述電容式敏感件包括定子、轉(zhuǎn)子，所述轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動引起與所述定子之間的電場有規(guī)律的變化，所述定子檢測所述電場的變化并轉(zhuǎn)化為周期的模擬信號輸出； 信號處理電路，用于采集所述模擬信號并輸出角位移數(shù)字量； 所述電容式敏感件和所述信號處理電路連接，所述電容式敏感件外套設(shè)有屏蔽環(huán)，所述屏蔽環(huán)用于屏蔽傳感器周圍的電場干擾源。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電容式角位移傳感器，其特征在于，所述定子包括電場接收裝置和電場發(fā)射裝置，所述電場發(fā)射裝置用于發(fā)射電場，所述電場發(fā)射裝置包括電場發(fā)射電路和金屬發(fā)射極板，所述金屬發(fā)射極板上包括至少一個(gè)發(fā)射通道，所述電場接收裝置用于接收電場，所述電場接收裝置包括電場接收電路和金屬接收極板。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種電容式角位移傳感器，其特征在于，所述定子為一個(gè)，所述電場發(fā)射電路采用正交激勵(lì)，所述金屬發(fā)射極板采用扇形柵格的形式分成單元，將每個(gè)所述單元分為等份的四柵格，分別對應(yīng)于四相正交激勵(lì)的四路激勵(lì)，所述四柵格分別連接相位為O。，90。，180。,270° ο4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種電容式角位移傳感器，其特征在于，所述金屬發(fā)射極板采用多個(gè)單元，所述單元的個(gè)數(shù)為2的η次方，η為大于零的整數(shù)，所述單元均勻的設(shè)置在金屬發(fā)射極板的表面。5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種電容式角位移傳感器，其特征在于，所述定子為兩個(gè)，所述電場接收裝置設(shè)置在一個(gè)定子上，所述電場發(fā)射裝置設(shè)置在另一個(gè)定子上，所述金屬發(fā)射極板包括兩個(gè)發(fā)射通道和中央圓環(huán)，所述兩發(fā)射通道以所述中央圓環(huán)為中心，均勻的分布在所述中央圓環(huán)的外側(cè)，所述轉(zhuǎn)子采用塑性材料，所述轉(zhuǎn)子邊緣設(shè)有多個(gè)均勻布置的凹槽。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種電容式角位移傳感器，其特征在于，兩個(gè)所述金屬發(fā)射通道分別為第一發(fā)射通道和第二發(fā)射通道，所述第一發(fā)射通道包括2ml-l個(gè)單元，ml為大于零的整數(shù)，所述第二發(fā)射通道包括2m2個(gè)單元，m2為大于零的整數(shù)，所述兩發(fā)射通道的每個(gè)單元與所述中央圓環(huán)的中心對應(yīng)。7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種電容式角位移傳感器，其特征在于，所述的轉(zhuǎn)子采用塑性材料，所述轉(zhuǎn)子上至少包括設(shè)有周期性圖案的金屬導(dǎo)電層和邊緣設(shè)有周期性的凹槽的其中一種。8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種電容式角位移傳感器，其特征在于，所述電場接收電路與所述金屬接收極板連接，所述接收極板與所述發(fā)射極板兩個(gè)通道的中央圓環(huán)分別對應(yīng)，所述金屬接收極板對應(yīng)第一發(fā)射通道的形狀為網(wǎng)格狀，所述金屬接收極板對應(yīng)第二發(fā)射通道的形狀為蜂窩狀。9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種電容式角位移傳感器，其特征在于，所述的信號處理電路集成于信號處理電路板上，所述信號處理電路與所述電場接收裝置電連接。10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電容式角位移傳感器，其特征在于，所述定子和轉(zhuǎn)子都為環(huán)形，所述定子和轉(zhuǎn)子之間設(shè)有間隙，所述定子和轉(zhuǎn)子外周套設(shè)有屏蔽環(huán)，所述屏蔽環(huán)用于屏蔽傳感器周圍的電場干擾源，所述定子和轉(zhuǎn)子以及屏蔽環(huán)收納與環(huán)形的屏蔽外殼內(nèi)。
【文檔編號】G01B7/30GK205482784SQ201521125911
【公開日】2016年8月17日
【申請日】2015年12月29日
【發(fā)明人】崔星
【申請人】崔星