一種移載機(jī)自動(dòng)感測(cè)裝置的制造方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型為有關(guān)一種移載機(jī)自動(dòng)感測(cè)裝置，主要結(jié)構(gòu)包括一晶圓容置體、一活動(dòng)設(shè)置于該晶圓容置體一側(cè)的啟閉機(jī)構(gòu)、至少一設(shè)于該啟閉機(jī)構(gòu)上供感測(cè)該啟閉機(jī)構(gòu)的角度的感測(cè)裝置、及一信息連結(jié)該感測(cè)裝置的資料處理裝置，且該感測(cè)裝置的角度感測(cè)范圍為-15度至15度之間，又該感測(cè)裝置為機(jī)械式角度傳感器、電子式角度傳感器、光學(xué)式角度傳感器或液壓式角度傳感器其中之一者，可借由感測(cè)裝置達(dá)到感測(cè)門(mén)板開(kāi)合角度的實(shí)用進(jìn)步性。
【專(zhuān)利說(shuō)明】
一種移載機(jī)自動(dòng)感測(cè)裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型為提供一種移載機(jī)自動(dòng)感測(cè)裝置，尤指一種可感測(cè)門(mén)板開(kāi)閉機(jī)構(gòu)的開(kāi)合角度的移載機(jī)自動(dòng)感測(cè)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]按，晶舟盒為運(yùn)送晶圓極為重要的載具，由于晶圓須在無(wú)塵及無(wú)污染的條件下進(jìn)行運(yùn)送，因此門(mén)板的密合極為重要，晶舟盒移載機(jī)由開(kāi)閉機(jī)構(gòu)做開(kāi)門(mén)或關(guān)門(mén)動(dòng)作，習(xí)用門(mén)板由于無(wú)法偵測(cè)其閉合的角度，導(dǎo)致門(mén)板蓋合不完全，而讓晶圓遭受污染，亦或晶舟盒移載機(jī)的開(kāi)關(guān)門(mén)機(jī)構(gòu)在運(yùn)送過(guò)程中發(fā)生門(mén)板松脫情事卻不自知，而造成產(chǎn)品損傷，所以需確認(rèn)開(kāi)閉機(jī)構(gòu)的動(dòng)作是否確實(shí)。
[0003]是以，要如何解決上述習(xí)用的問(wèn)題與缺失，即為本實(shí)用新型的
【申請(qǐng)人】與從事此行業(yè)的相關(guān)廠(chǎng)商所亟欲研究改善的方向所在者。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]故，本實(shí)用新型的
【申請(qǐng)人】有鑒于上述缺失，乃搜集相關(guān)資料，經(jīng)由多方評(píng)估及考量，并以從事于此行業(yè)累積的多年經(jīng)驗(yàn)，經(jīng)由不斷試作及修改，始設(shè)計(jì)出此種可感測(cè)門(mén)板開(kāi)閉機(jī)構(gòu)的開(kāi)合角度的移載機(jī)自動(dòng)感測(cè)裝置的實(shí)用新型專(zhuān)利者。
[0005]本實(shí)用新型的主要目的在于:為針對(duì)習(xí)用晶舟盒移載機(jī)所存在的無(wú)法感測(cè)門(mén)板開(kāi)關(guān)門(mén)機(jī)構(gòu)的開(kāi)關(guān)角度的問(wèn)題點(diǎn)加以突破，達(dá)到感測(cè)門(mén)板開(kāi)關(guān)門(mén)機(jī)構(gòu)的開(kāi)關(guān)角度的實(shí)用進(jìn)步性。
[0006]為達(dá)上述目的，本實(shí)用新型的解決方案是:
[0007]—種移載機(jī)自動(dòng)感測(cè)裝置，包含:
[0008]—晶圓容置體；
[0009]—活動(dòng)設(shè)置于該晶圓容置體一側(cè)的啟閉機(jī)構(gòu)；
[0010]至少一設(shè)于該啟閉機(jī)構(gòu)上的感測(cè)裝置，供感測(cè)該啟閉機(jī)構(gòu)的角度。
[0011]進(jìn)一步，該感測(cè)裝置的角度感測(cè)范圍為-15度至15度之間。
[0012]進(jìn)一步，更包含一信息連結(jié)該感測(cè)裝置的資料處理裝置。
[0013]進(jìn)一步，該感測(cè)裝置為機(jī)械式角度傳感器。
[0014]進(jìn)一步，該感測(cè)裝置為電子式角度傳感器。
[0015]進(jìn)一步，該感測(cè)裝置為光學(xué)式角度傳感器。
[0016]進(jìn)一步，該感測(cè)裝置為液壓式角度傳感器。
[0017]借由上述構(gòu)件組構(gòu)時(shí)，可借由資料處理裝置記錄并偵測(cè)感測(cè)裝置的所有數(shù)據(jù)變化，且感測(cè)裝置的靈敏度可達(dá)到0.1度，而偵測(cè)范圍由15度至負(fù)15度之間，因此，當(dāng)晶圓容置體的啟閉機(jī)構(gòu)做開(kāi)關(guān)門(mén)動(dòng)作時(shí)，可以借由感測(cè)裝置連結(jié)資料處理裝置得知啟閉機(jī)構(gòu)的開(kāi)合角度，以避免因蓋合不全而使晶圓遭受污染的情形發(fā)生。
【附圖說(shuō)明】
[0018]圖1為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的實(shí)施示意圖；
[0019]圖2為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的側(cè)面示意圖；
[0020]圖3為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的動(dòng)作示意圖。
[0021]【符號(hào)說(shuō)明】
[0022]晶圓容置體I啟閉機(jī)構(gòu) 2
[0023]感測(cè)裝置 3資料處理裝置4。
【具體實(shí)施方式】
[0024]為達(dá)成上述目的及功效，本實(shí)用新型所采用的技術(shù)手段及構(gòu)造，茲繪圖就本實(shí)用新型較佳實(shí)施例詳加說(shuō)明其特征與功能如下，俾利完全了解。
[0025]請(qǐng)參閱圖1及圖2所示，為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的實(shí)施示意圖及側(cè)面示意圖，由圖中可清楚看出本實(shí)用新型包括:
[0026]一晶圓容置體I;
[0027 ] 一活動(dòng)設(shè)置于該晶圓容置體I 一側(cè)的啟閉機(jī)構(gòu)2;
[0028]至少一設(shè)于該啟閉機(jī)構(gòu)2上的感測(cè)裝置3，供感測(cè)該啟閉機(jī)構(gòu)2的角度，且該感測(cè)裝置3為機(jī)械式角度傳感器、電子式角度傳感器、光學(xué)式角度傳感器或液壓式角度傳感器其中之一者;
[0029]一信息連結(jié)該感測(cè)裝置3的資料處理裝置4。
[0030]上述該感測(cè)裝置3的角度感測(cè)范圍為-15度至15度之間。
[0031]借由上述的說(shuō)明，已可了解本技術(shù)的結(jié)構(gòu)，而依據(jù)這個(gè)結(jié)構(gòu)的對(duì)應(yīng)配合，更達(dá)到可感測(cè)門(mén)板開(kāi)關(guān)門(mén)機(jī)構(gòu)的開(kāi)合角度的優(yōu)勢(shì)，而詳細(xì)的解說(shuō)將于下述說(shuō)明。
[0032]請(qǐng)同時(shí)配合參閱圖1至圖3所示，為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的實(shí)施示意圖、側(cè)面示意圖及動(dòng)作示意圖，借由上述構(gòu)件組構(gòu)時(shí)，可由圖中清楚看出，感測(cè)裝置3裝設(shè)于晶圓容置體I的啟閉機(jī)構(gòu)2上，且信息連結(jié)一資料處理裝置4，因此可借由資料處理裝置4記錄并偵測(cè)感測(cè)裝置3的所有數(shù)據(jù)變化，且感測(cè)裝置3的靈敏度可達(dá)到0.1度，而偵測(cè)范圍由15度至負(fù)15度之間，因此，當(dāng)晶圓容置體I的啟閉機(jī)構(gòu)2做開(kāi)關(guān)門(mén)動(dòng)作時(shí)，可以借由感測(cè)裝置3連結(jié)資料處理裝置4得知啟閉機(jī)構(gòu)2的開(kāi)合角度，以避免因蓋合不全而使晶圓遭受污染的情形發(fā)生。
[0033]惟，以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，非因此即局限本實(shí)用新型的專(zhuān)利范圍，故舉凡運(yùn)用本實(shí)用新型說(shuō)明書(shū)及圖式內(nèi)容所為的簡(jiǎn)易修飾及等效結(jié)構(gòu)變化，均應(yīng)同理包含于本實(shí)用新型的專(zhuān)利范圍內(nèi)，合予陳明。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種移載機(jī)自動(dòng)感測(cè)裝置，其特征在于，包含: 一晶圓容置體； 一活動(dòng)設(shè)置于該晶圓容置體一側(cè)的啟閉機(jī)構(gòu)； 至少一供感測(cè)該啟閉機(jī)構(gòu)的角度的感測(cè)裝置，設(shè)于該啟閉機(jī)構(gòu)上。2.如權(quán)利要求1所述的一種移載機(jī)自動(dòng)感測(cè)裝置，其特征在于:該感測(cè)裝置的角度感測(cè)范圍為-15度至15度之間。3.如權(quán)利要求1所述的一種移載機(jī)自動(dòng)感測(cè)裝置，其特征在于:更包含一信息連結(jié)該感測(cè)裝置的資料處理裝置。4.如權(quán)利要求1所述的一種移載機(jī)自動(dòng)感測(cè)裝置，其特征在于:該感測(cè)裝置為機(jī)械式角度傳感器。5.如權(quán)利要求1所述的一種移載機(jī)自動(dòng)感測(cè)裝置，其特征在于:該感測(cè)裝置為電子式角度傳感器。6.如權(quán)利要求1所述的一種移載機(jī)自動(dòng)感測(cè)裝置，其特征在于:該感測(cè)裝置為光學(xué)式角度傳感器。7.如權(quán)利要求1所述的一種移載機(jī)自動(dòng)感測(cè)裝置，其特征在于:該感測(cè)裝置為液壓式角度傳感器。
【文檔編號(hào)】G01B21/22GK205482895SQ201620103835
【公開(kāi)日】2016年8月17日
【申請(qǐng)日】2016年2月2日
【發(fā)明人】小松省二
【申請(qǐng)人】樂(lè)華科技股份有限公司