基于硅差壓壓力傳感器的校準(zhǔn)裝置的制造方法
【專利摘要】一種基于硅差壓壓力傳感器的校準(zhǔn)裝置，屬于壓力變送器校準(zhǔn)裝置領(lǐng)域。包括工控機，其特征在于：工控機的輸入端設(shè)置數(shù)據(jù)采集工裝，工控機的輸出端連接檢測烘箱的溫度控制工裝，工控機的通訊端通過通訊處理工裝連接特征化電路板，被校差壓變送器設(shè)置在檢測烘箱內(nèi)，被校差壓變送器分別連接數(shù)據(jù)采集工裝和特征化電路板。通過工控機控制和顯示整個校準(zhǔn)過程，通過采集各個溫度點下的差壓變送器的溫度，差壓，靜壓信號，通過內(nèi)置補償算法，計算出標(biāo)定系數(shù)，下載到變送器，完成校準(zhǔn)。本實用新型使用方便，校準(zhǔn)效率高。
【專利說明】
基于硅差壓壓力傳感器的校準(zhǔn)裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實用新型屬于壓力變送器校準(zhǔn)裝置領(lǐng)域，具體說是一種基于硅差壓壓力傳感器的校準(zhǔn)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]傳統(tǒng)的差壓變送器內(nèi)部只有一個感受差壓的傳感器，而在測量過程中溫度和靜壓的變化對差壓信號帶的影響。這種新型的擴散硅差壓壓力變送器是在一個硅片上通過各種工藝做出差壓，靜壓和溫度3個傳感器，能同時感受差壓，靜壓和溫度3個輸入量，可以通過采集同一個硅片上的溫度和靜壓信號補償差壓信號，達到高精度，高穩(wěn)定的要求。為了達到以上目的，必須提供一套補償裝置對該變送器進行校準(zhǔn)。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]根據(jù)以上現(xiàn)有技術(shù)中的不足，為了彌補現(xiàn)有設(shè)備的缺陷，提供一種使用方便、校準(zhǔn)效率高的基于硅差壓壓力傳感器的校準(zhǔn)裝置。
[0004]本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:基于硅差壓壓力傳感器的校準(zhǔn)裝置，包括工控機，其特征在于:工控機的輸入端設(shè)置數(shù)據(jù)采集工裝，工控機的輸出端連接檢測烘箱的溫度控制工裝，工控機的通訊端通過通訊處理工裝連接特征化電路板，被校差壓變送器設(shè)置在檢測烘箱內(nèi)，被校差壓變送器分別連接數(shù)據(jù)采集工裝和特征化電路板。
[0005]通信處理工裝采用RS485通信，可以通過主線路板組網(wǎng)批量化補償，也可以單獨補償一只變送器。
[0006]其中優(yōu)選方案是:
[0007]所述的數(shù)據(jù)采集工裝包括高精度電壓/電流采集裝置，芯片采用24bit高精度ADC。高達128倍的可編程放大電路。5ppm/°C的基準(zhǔn)電壓電路，整個采集電路有效精度可以達到20bit以上。
[0008]所述的檢測烘箱設(shè)置有功率控制器、電加熱器和溫度檢測器，功率控制器的輸出端連接電加熱器，溫度檢測器和功率控制器連接工控機。溫度控制工裝，可以控制和檢測高低溫烘箱的溫度，經(jīng)過參數(shù)設(shè)置，烘箱內(nèi)的溫度，可以穩(wěn)定到+-0.3 °C。
[0009]所述的特征化電路板包括差壓變送器接口、存儲器和通訊端口接口。特征化電路板，可以放到傳感器內(nèi)部，可以記錄每只傳感器的溫度，壓力，靜壓補償數(shù)據(jù)，可以與上端顯示變送電路分離，增加可替換性，方便客戶使用。
[0010]本實用新型基于硅差壓壓力傳感器的校準(zhǔn)裝置所具有的有益效果是:通過工控機控制和顯示整個校準(zhǔn)過程，通過采集各個溫度點下的差壓變送器的溫度，差壓，靜壓信號，通過內(nèi)置補償算法，計算出標(biāo)定系數(shù)，下載到變送器，完成校準(zhǔn)。本實用新型使用方便，校準(zhǔn)效率高。
【附圖說明】
[0011]圖1本實用新型的原理方框圖；
【具體實施方式】
[0012]下面結(jié)合附圖對本實用新型的實施例做進一步描述:
[0013]實施例1:
[0014]如圖1所示，基于硅差壓壓力傳感器的校準(zhǔn)裝置，工控機的輸入端設(shè)置數(shù)據(jù)采集工裝，工控機的輸出端連接檢測烘箱的溫度控制工裝，工控機的通訊端通過通訊處理工裝連接特征化電路板，被校差壓變送器設(shè)置在檢測烘箱內(nèi)，被校差壓變送器分別連接數(shù)據(jù)采集工裝和特征化電路板。
[0015]數(shù)據(jù)采集工裝包括高精度電壓/電流采集裝置，芯片采用24bit高精度ADC。
[0016]數(shù)據(jù)采集工裝為高精度數(shù)字萬用表。
[0017]檢測烘箱設(shè)置有功率控制器、電加熱器和溫度檢測器，功率控制器的輸出端連接電加熱器，溫度檢測器和功率控制器連接工控機。
[0018]特征化電路板包括差壓變送器接口、存儲器和通訊端口接口。
[0019]工作原理和使用過程:
[0020]工控機通過溫度控制工裝，控制檢測烘箱溫度。溫度穩(wěn)定后，保持恒定溫度一小時以上，讓差壓變送器達到熱平衡。通過數(shù)據(jù)采集工裝采集變送器輸出信號，同時通過通信電路采集變送器內(nèi)部溫度，差壓，靜壓信號，保存到特征化電路板。經(jīng)過幾個溫度點測試后，通過對采集的數(shù)據(jù)進行運算處理，生成溫度系數(shù)，完成后，對合格的產(chǎn)品進行記錄。紅色表示溫度補償不合格的產(chǎn)品。合格產(chǎn)品，通過通信處理工裝下載數(shù)據(jù)到特征化電路板，完成整個校準(zhǔn)過程。
【主權(quán)項】
1.基于硅差壓壓力傳感器的校準(zhǔn)裝置，包括工控機，其特征在于:工控機的輸入端設(shè)置數(shù)據(jù)采集工裝，工控機的輸出端連接檢測烘箱的溫度控制工裝，工控機的通訊端通過通訊處理工裝連接特征化電路板，被校差壓變送器設(shè)置在檢測烘箱內(nèi)，被校差壓變送器分別連接數(shù)據(jù)采集工裝和特征化電路板。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于硅差壓壓力傳感器的校準(zhǔn)裝置，其特征在于:所述的數(shù)據(jù)采集工裝包括高精度電壓/電流采集裝置，芯片采用24bit高精度ADC。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于硅差壓壓力傳感器的校準(zhǔn)裝置，其特征在于:所述的檢測烘箱設(shè)置有功率控制器、電加熱器和溫度檢測器，功率控制器的輸出端連接電加熱器，溫度檢測器和功率控制器連接工控機。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于硅差壓壓力傳感器的校準(zhǔn)裝置，其特征在于:所述的特征化電路板包括差壓變送器接口、存儲器和通訊端口接口。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于硅差壓壓力傳感器的校準(zhǔn)裝置，其特征在于:所述的數(shù)據(jù)采集工裝為高精度數(shù)字萬用表。
【文檔編號】G01L27/00GK205483399SQ201521141800
【公開日】2016年8月17日
【申請日】2015年12月31日
【發(fā)明人】高亮
【申請人】山東佰測儀表有限公司