一種邊界定位精準的電位計基片的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種邊界定位精準的電位計基片,屬于角度感應(yīng)器件。基片上具有一體成型的分區(qū)一、分區(qū)二、分區(qū)三、分區(qū)四和分區(qū)五,金屬導電膜涂敷在各個分區(qū)表面,合金導電層涂敷在金屬導電膜的表面。優(yōu)點是結(jié)構(gòu)新穎,其各分區(qū)表面導電層由涂敷的金屬導電膜和合金導電層雙層結(jié)構(gòu)組成,通過金屬導電膜保證分區(qū)邊緣精密,合金導電層保證電位計基片表面光滑、不氧化;與電刷滑動無跳點、斷點,表面摩擦力極低,抗干擾能力強,角度分區(qū)精準,易于加工和調(diào)試,提高了產(chǎn)品的可靠性。
【專利說明】
一種邊界定位精準的電位計基片
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實用新型涉及一種角度感應(yīng)器件,可以將角度信號轉(zhuǎn)換為電脈沖信號,按角度分區(qū)輸出,具體是指一種具有分區(qū)結(jié)構(gòu)布局的電位計。
【背景技術(shù)】
[0002]電位計用于將角度信號轉(zhuǎn)換為電脈沖信號輸出,具有性能穩(wěn)定、結(jié)構(gòu)簡單、成本較低的特點,在工業(yè)和國防軍工領(lǐng)域大量使用。一種陀螺產(chǎn)品中使用的電位計基片為整體式,傳感器基片片表面采用磨床精磨的方法處理電位計基片片表面的平整度,傳感器基片分區(qū)為車床加工方式,采用銑刀劃槽分區(qū)。該電位基片存在的問題是:電位計基片表面粗糙,摩擦阻力大,或經(jīng)過長期存放后,易產(chǎn)生輕微氧化斑點、表面變粗糙,在表面摩擦中阻力變大、產(chǎn)生跳點和斷點,導致電位計失效,失去角度轉(zhuǎn)換功能,可靠性變差。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0003]本實用新型提供一種邊界定位精準的電位計基片,以解決目前存在的表面粗糙,摩擦阻力大,易產(chǎn)生輕微氧化斑點、導致電位計失效,失去角度轉(zhuǎn)換功能,可靠性變差的問題。
[0004]本實用新型采取的技術(shù)方案是,基片上具有一體成型的分區(qū)一、分區(qū)二、分區(qū)三、分區(qū)四和分區(qū)五,金屬導電膜涂敷在各個分區(qū)表面,合金導電層涂敷在金屬導電膜的表面。
[0005]本實用新型的優(yōu)點是結(jié)構(gòu)新穎,其各分區(qū)表面導電層由涂敷的金屬導電膜和合金導電層雙層結(jié)構(gòu)組成,通過金屬導電膜保證分區(qū)邊緣精密,合金導電層保證電位計基片表面光滑、不氧化;與電刷滑動無跳點、斷點,表面摩擦力極低,抗干擾能力強,角度分區(qū)精準,易于加工和調(diào)試,提高了產(chǎn)品的可靠性。
【附圖說明】
[000?]圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)不意圖;
[0007]圖2是圖1的爆炸圖。
【具體實施方式】
[0008]基片I上具有一體成型的分區(qū)一101、分區(qū)二 102、分區(qū)三103、分區(qū)四104和分區(qū)五105,金屬導電膜2涂敷在各個分區(qū)表面,合金導電層3涂敷在金屬導電膜2的表面。
[0009]本實用新型基片和上面的分區(qū)是通過集成電路加工工藝一次成型,分別在分區(qū)上涂敷金屬導電膜和合金導電層。
【主權(quán)項】
1.一種邊界定位精準的電位計基片,其特征在于:基片上具有一體成型的分區(qū)一、分區(qū)二、分區(qū)三、分區(qū)四和分區(qū)五,金屬導電膜涂敷在各個分區(qū)表面,合金導電層涂敷在金屬導電膜的表面。
【文檔編號】G01B7/30GK205537498SQ201620234186
【公開日】2016年8月31日
【申請日】2016年3月24日
【發(fā)明人】李雁萍, 張樹行
【申請人】吉林華禹半導體有限公司