表面檢查裝置的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種表面檢查裝置，具備：光源，發(fā)出檢查用的光；能夠旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)筒體，具備內(nèi)側(cè)筒狀構(gòu)件、以覆蓋內(nèi)側(cè)筒狀構(gòu)件的方式配置的外側(cè)筒狀構(gòu)件、以及在內(nèi)側(cè)筒狀構(gòu)件與外側(cè)筒狀構(gòu)件之間沿著同心圓上筒狀地配置的多個(gè)光纖，該旋轉(zhuǎn)筒體具有將來自光源的光從基端部向前端部引導(dǎo)的光路空間；第一反射鏡，配置于旋轉(zhuǎn)筒體的前端部，使來自光源的光照射到被檢查體表面，并且使來自被檢查體的反射光入射到光纖前端的受光部；以及第二反射鏡，設(shè)置于供來自光源的光通過的光路上，使來自光源的光通過，并且使經(jīng)由光纖被傳輸?shù)叫D(zhuǎn)筒體的基端部的反射光以導(dǎo)向光電轉(zhuǎn)換單元的方式反射。
【專利說明】
表面檢查裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及一種適宜于對(duì)在圓筒體、金屬體上穿通的孔以及為了組裝、連結(jié)而在機(jī)械裝置類的殼體等金屬體上穿通的螺紋孔等的內(nèi)部壁面進(jìn)行檢查的表面檢查裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]作為檢查在金屬體上穿通的孔的內(nèi)部壁面的傷痕、裂紋、附著物的有無等的技術(shù)，如下技術(shù)被廣泛悉知:對(duì)孔的內(nèi)周壁面投射光，將由此反射來的光從光信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)，并解析該信號(hào)從而辨別出孔的內(nèi)周壁面是否處于正常的狀態(tài)、檢查完工狀態(tài)等，另外，該技術(shù)已被實(shí)用化。
[0003]基于該光的檢查根據(jù)被檢查體而在方法、裝置上存在不同，但是在原理上，將來自光源的光投射到成為被檢查體的對(duì)象的孔的內(nèi)周壁面，將由此反射來的反射光向孔外取出，將該取出的反射光通過光電轉(zhuǎn)換器等變成電信號(hào)，進(jìn)一步地解析該信號(hào)從而辨別是否是正常情況、是否是存在傷痕等異常情況，并辨別是否正常地進(jìn)行了孔的加工或者螺紋的形成。
[0004]在該情況下，關(guān)于上述電信號(hào)的分析、并基于分析的結(jié)果的判斷，根據(jù)其檢查的目的等相互不同，但是，通過向孔的內(nèi)周壁面投射光，捕捉從表面反射而來的反射光并分析其變化，由此來辨別孔內(nèi)周壁面的正常、異常的方法基本上通用。
[0005]但是，利用該光的檢查方法，在成為被檢查體的孔的口徑為數(shù)毫米單位的、例如像用于汽車發(fā)動(dòng)機(jī)室的組裝的螺紋孔那樣極其小徑的情況下，進(jìn)而在連續(xù)且短時(shí)間地檢查多數(shù)的螺紋孔的情況下，未必能容易進(jìn)行，保證精度且穩(wěn)定地檢查伴隨有技術(shù)上的困難。
[0006]以往，作為利用該種光來進(jìn)行孔的內(nèi)周壁面的檢查的表面檢查裝置，已知有例如日本特開昭55 — 2021號(hào)公報(bào)以及日本專利第3887482號(hào)公報(bào)記載的方法、裝置。
[0007]然而，日本特開昭55 — 2021號(hào)公報(bào)以及日本專利第3887482號(hào)公報(bào)記載的表面檢查裝置存在如下問題:在成為被檢查體的孔徑變小的情況下，例如在像接受固定用(對(duì)應(yīng)日語(yǔ):止吣付時(shí))的螺絲的螺紋孔那樣成為數(shù)_孔徑的小孔的情況下，不能在筒體與螺紋孔內(nèi)壁面之間確保足夠的間隙，不能插入筒體、進(jìn)而不能在插入狀態(tài)下旋轉(zhuǎn)。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0008]因此，本實(shí)用新型消除以往技術(shù)的上述問題點(diǎn)，本實(shí)用新型的目的是提供一種能夠連續(xù)且迅速地檢查螺紋孔等數(shù)毫米單位的小徑的孔的內(nèi)部表面的狀態(tài)的表面檢查裝置。
[0009]本實(shí)用新型的另一目的是提供一種能夠?qū)崿F(xiàn)簡(jiǎn)單的構(gòu)成且低成本的表面檢查裝置。
[0010]根據(jù)本實(shí)用新型，表面檢查裝置具備:光源，發(fā)出檢查用的光；能夠旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)筒體，具備內(nèi)側(cè)筒狀構(gòu)件、以覆蓋內(nèi)側(cè)筒狀構(gòu)件的方式配置的外側(cè)筒狀構(gòu)件、以及在內(nèi)側(cè)筒狀構(gòu)件與外側(cè)筒狀構(gòu)件之間沿著同心圓上筒狀地配置的多個(gè)光纖，該旋轉(zhuǎn)筒體具有將來自光源的光從基端部向前端部引導(dǎo)的光路空間；第一反射鏡，配置于旋轉(zhuǎn)筒體的前端部，使來自光源的光照射到被檢查體表面，并且使來自被檢查體的反射光入射到光纖前端的受光部；以及第二反射鏡，設(shè)置于供來自光源的光通過的光路上，使來自光源的光通過，并且使經(jīng)由光纖被傳輸?shù)叫D(zhuǎn)筒體的基端部的反射光以導(dǎo)向光電轉(zhuǎn)換單元的方式反射。
[0011]根據(jù)這樣的構(gòu)成，來自光源的光從第二反射鏡通過，并從光路空間通過并被導(dǎo)向在旋轉(zhuǎn)筒體的前端部配置的第一反射鏡，被該第一反射鏡反射從而被照射到被檢查體表面。來自被檢查體的反射光被第一反射鏡反射并入射到在旋轉(zhuǎn)筒體的內(nèi)側(cè)筒狀構(gòu)件與外側(cè)筒狀構(gòu)件之間沿著同心圓上筒狀地配置的多個(gè)光纖中，從這些光纖通過并在旋轉(zhuǎn)筒體的基端部被導(dǎo)向第二反射鏡，被該第二反射鏡反射從而入射到光電轉(zhuǎn)換單元中。根據(jù)本實(shí)用新型，在內(nèi)側(cè)筒狀構(gòu)件內(nèi)形成有光路空間，并且使用在內(nèi)側(cè)筒狀構(gòu)件與外側(cè)筒狀構(gòu)件之間沿著同心圓上筒狀地配置有多個(gè)光纖的旋轉(zhuǎn)筒體，由此，能夠使插入到被檢查體內(nèi)的旋轉(zhuǎn)筒體較細(xì)，能夠?qū)崿F(xiàn)連續(xù)且迅速地檢查螺紋孔等數(shù)毫米單位的小徑的孔的內(nèi)部表面的狀態(tài)，另外，能夠?qū)崿F(xiàn)簡(jiǎn)單的構(gòu)成以及低成本。
[0012]優(yōu)選地，在第二反射鏡的中心部具有用于使來自光源的光通過的開孔部。由此，能夠不影響入射光的通過而使反射光反射到光電轉(zhuǎn)換單元。另外，優(yōu)選地，開孔部的周面構(gòu)成為與來自所述光源的光的照射方向平行。
[0013]優(yōu)選地，光電轉(zhuǎn)換單元具備將光轉(zhuǎn)換成電信號(hào)的光電二極管。由此，能夠?qū)崿F(xiàn)低成本化。
[0014]優(yōu)選地，多個(gè)光纖固定于內(nèi)側(cè)筒狀構(gòu)件的外周面與外側(cè)筒狀構(gòu)件的內(nèi)周面之間，并與內(nèi)側(cè)筒狀構(gòu)件以及外側(cè)筒狀構(gòu)件一體化。由此，能夠?qū)⒉迦氲奖粰z查體的、由內(nèi)側(cè)筒狀構(gòu)件以及外側(cè)筒狀構(gòu)件構(gòu)成的旋轉(zhuǎn)筒體設(shè)成最小徑的筒體，并且，能夠容易并穩(wěn)定地配置光纖。另外，能夠增強(qiáng)旋轉(zhuǎn)筒體自身的強(qiáng)度，能夠防止在高速旋轉(zhuǎn)時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)。
【附圖說明】
[0015]圖1是對(duì)本實(shí)用新型的一實(shí)施方式中的表面檢查裝置的構(gòu)成示意地進(jìn)行表示的剖視圖。
[0016]圖2是對(duì)圖1示出的表面檢查裝置的構(gòu)成進(jìn)行示意地表示的基端部的局部放大剖視圖。
[0017]圖3是對(duì)圖1示出的表面檢查裝置的構(gòu)成進(jìn)行示意地表示的前端部的局部放大剖視圖。
[0018]圖4是對(duì)圖1示出的表面檢查裝置的構(gòu)成進(jìn)行示意地表示的主要部分側(cè)視圖。
[0019]圖5是對(duì)圖1示出的表面檢查裝置的第二反射鏡以及鏡架的構(gòu)成進(jìn)行示意地表示的立體圖。
【具體實(shí)施方式】
[0020]以下，參照附圖對(duì)本實(shí)用新型涉及的表面檢查裝置的實(shí)施方式進(jìn)行說明。
[0021]圖1表示本實(shí)用新型的一實(shí)施方式中的表面檢查裝置100的截面，圖2是表面檢查裝置100的基端部的局部放大剖視圖，圖3是表面檢查裝置100的前端部的局部放大剖視圖，圖4表示從表面檢查裝置100的側(cè)面觀察到的狀態(tài)。圖5表示第二反射鏡40以及鏡架42的構(gòu)成。
[0022]如圖1?圖5所示，表面檢查裝置100具備光源10、旋轉(zhuǎn)筒體20、第一反射鏡30、第二反射鏡40、光電轉(zhuǎn)換單元50、處理部60、顯示部70以及旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)馬達(dá)80。
[0023]光源10發(fā)出檢查用的光，該光源10例如由具備激光振蕩器的激光指標(biāo)器構(gòu)成。另夕卜，作為光源10，也能夠使用發(fā)光二極管(LED)等。在使用LED的情況下，能夠以相對(duì)較低的成本實(shí)現(xiàn)。
[0024]旋轉(zhuǎn)筒體20由內(nèi)側(cè)筒狀構(gòu)件21、外側(cè)筒狀構(gòu)件22、以及多個(gè)光纖23構(gòu)成。該旋轉(zhuǎn)筒體20的前端部20b的直徑形成得比基端部20a的直徑小。內(nèi)側(cè)筒狀構(gòu)件21由具有所需要的長(zhǎng)度的金屬制的管材料形成。內(nèi)側(cè)筒狀構(gòu)件21的內(nèi)部構(gòu)成為將來自光源10的光從基端部向前端部引導(dǎo)的光路空間。外側(cè)筒狀構(gòu)件22由具有所需要的長(zhǎng)度的金屬制的管材料形成，該外側(cè)筒狀構(gòu)件22配置成隔著空隙覆蓋內(nèi)側(cè)筒狀構(gòu)件21的外周，并構(gòu)成為能夠與內(nèi)側(cè)筒狀構(gòu)件21共同旋轉(zhuǎn)。另外，在外側(cè)筒狀構(gòu)件22的前端部的側(cè)壁設(shè)有用于供檢查用的光通過的貫通窗24。該外側(cè)筒狀構(gòu)件22的基端部作為中空軸而被緊固于旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)馬達(dá)80，并構(gòu)成為高速地旋轉(zhuǎn)。
[0025]多個(gè)光纖23在內(nèi)側(cè)筒狀構(gòu)件21與外側(cè)筒狀構(gòu)件22之間的空隙沿著同心圓上密集地配置成筒狀，并且，該多個(gè)光纖23構(gòu)成為通過遍及旋轉(zhuǎn)筒體20的大致全長(zhǎng)地配置而作為整體呈圓筒形狀，且各光纖23的基端部在內(nèi)側(cè)筒狀構(gòu)件21的基端部環(huán)狀地排列。另一方面，各光纖23的前端部構(gòu)成為，在將旋轉(zhuǎn)筒體20的前端部?jī)?nèi)周面切除并擴(kuò)徑而形成的鏡收納空間排列成相同的環(huán)狀。另外，優(yōu)選的是使多個(gè)光纖23在內(nèi)側(cè)筒狀構(gòu)件21的外周面與外側(cè)筒狀構(gòu)件22的內(nèi)周面之間緊貼并固定，從而與該內(nèi)側(cè)筒狀構(gòu)件21以及外側(cè)筒狀構(gòu)件22—體化。
[0026]第一反射鏡30在旋轉(zhuǎn)筒體20的前端部的光路上以規(guī)定角度(例如45度)傾斜而配置，該第一反射鏡30使從光源10通過內(nèi)側(cè)筒狀構(gòu)件21的內(nèi)部的光路空間而入射的入射光照射到被檢查體P的內(nèi)表面，并且使來自被檢查體P的內(nèi)表面的反射光入射到光纖23的前端的受光部23b ο該第一反射鏡30構(gòu)成為與旋轉(zhuǎn)筒體20—起旋轉(zhuǎn)。
[0027]第二反射鏡40設(shè)置于供來自光源10的光L通過的光路上，該第二反射鏡40使來自光源10的光L通過并導(dǎo)向內(nèi)側(cè)筒狀構(gòu)件21的內(nèi)部的光路空間，并且使經(jīng)由光纖23向旋轉(zhuǎn)筒體20的基端部20a傳輸?shù)姆瓷涔庖詫?dǎo)向光電轉(zhuǎn)換單元50的方式反射。該第二反射鏡40在中央部設(shè)有貫通孔41，該第二反射鏡40通過鏡架42在光路上以規(guī)定角度(例如45度)傾斜而配置，該第二反射鏡40構(gòu)成為使反射光R沿與軸向大致垂直方向反射。另外，貫通孔41的周面構(gòu)成為與來自光源10的光L的照射方向平行。由此，光L能夠沒有阻礙地通過。
[0028]光電轉(zhuǎn)換單元50將光信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)。作為光電轉(zhuǎn)換單元50，例如，將光電二極管作為受光元件而使用。光電二極管在入射的光量與輸出的電流的關(guān)系中，線性良好且廉價(jià)。在光電轉(zhuǎn)換單元50中，在接收到的光信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)后，輸出到處理部60。
[0029]處理部60將來自光電轉(zhuǎn)換單元50的信號(hào)轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)，使這些光量數(shù)據(jù)和形狀數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)圖像顯示，并且根據(jù)測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行圖像處理，基于計(jì)算出的閾值，對(duì)傷痕/缺陷部分進(jìn)行分離檢測(cè)，并按照預(yù)先設(shè)定的判斷基準(zhǔn)，自動(dòng)地判斷合格品和不合格品。
[0030]顯示部70能夠用圖像和/或文字顯示檢測(cè)結(jié)果。在此，在高速旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)筒體20自然存在旋轉(zhuǎn)不均，平均一次旋轉(zhuǎn)的數(shù)據(jù)量不一定與每次旋轉(zhuǎn)相同。因此，優(yōu)選構(gòu)成為:設(shè)有用于檢測(cè)旋轉(zhuǎn)次數(shù)或者旋轉(zhuǎn)速度的旋轉(zhuǎn)檢測(cè)單元81，以來自該旋轉(zhuǎn)檢測(cè)單元81的檢測(cè)信號(hào)為基礎(chǔ)，求出平均一次旋轉(zhuǎn)的平均數(shù)據(jù)量，對(duì)由此而得到的數(shù)據(jù)進(jìn)行增補(bǔ)，并作為方形的圖像數(shù)據(jù)而進(jìn)行顯示?；谠陲@示部70上顯示的圖像，能夠確認(rèn)傷痕/缺陷部分的形狀。另外，在顯示部70能夠顯示檢測(cè)出的缺陷的數(shù)量、位置、大小。
[0031]旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)馬達(dá)80例如使用中空馬達(dá)。旋轉(zhuǎn)筒體20的基端部20a緊固于中空馬達(dá)的中空部，并能夠高速地旋轉(zhuǎn)。另外，在旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)馬達(dá)80設(shè)有旋轉(zhuǎn)檢測(cè)單元81。構(gòu)成為來自旋轉(zhuǎn)檢測(cè)單元81的檢測(cè)信號(hào)被輸入到處理部60，并基于此來控制旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)馬達(dá)80的旋轉(zhuǎn)。
[0032]本實(shí)施方式的表面檢查裝置100具備能夠在垂直方向(上下方向)上移動(dòng)的支承單元(沒有圖示)。通過具備這樣的支承單元，由此，表面檢查裝置100在對(duì)被檢查體P的內(nèi)表面進(jìn)行檢查時(shí)，能夠使旋轉(zhuǎn)筒體20旋轉(zhuǎn)且在軸向上移動(dòng)。
[0033]在使用該表面檢查裝置100對(duì)被檢查體的內(nèi)表面進(jìn)行檢查時(shí)，首先，預(yù)先使旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)馬達(dá)80動(dòng)作，使旋轉(zhuǎn)筒體20以及第一反射鏡30保持為高速旋轉(zhuǎn)狀態(tài)。在該狀態(tài)下，使旋轉(zhuǎn)筒體20的前端部20b下降進(jìn)入到被檢查體P的內(nèi)部。在該下降時(shí)，從光源10出射檢查用的光。從光源10出射的光從第二反射鏡40通過并從旋轉(zhuǎn)筒體20的內(nèi)部的光路空間通過，到達(dá)其前端配置的第一反射鏡30，上述光被反射并通過貫通孔24被照射到被檢查體P的內(nèi)周壁面。
[0034]從被檢查體P的內(nèi)周壁面反射的反射光在被第一反射鏡30反射后，入射到與第一反射鏡30的收納空間對(duì)置的光纖23的前端的受光部23b。入射的光從光纖23通過并從其基端部23a入射到第二反射鏡40，被該第二反射鏡40反射而入射到光電轉(zhuǎn)換單元50。在光電轉(zhuǎn)換單元50中，光信號(hào)被轉(zhuǎn)換成電信號(hào)。得到的電信號(hào)被處理部60處理后，輸入到顯示部70。在顯示部70中，顯示檢測(cè)出的缺陷的數(shù)量、位置以及大小等。上述的動(dòng)作在表面檢查裝置100沿軸向移動(dòng)時(shí)連續(xù)地被進(jìn)行，由此，遍及被檢查體P的內(nèi)表面整體地進(jìn)行掃描以及檢查。
[0035]如以上詳細(xì)地說明所示，根據(jù)本實(shí)施方式，表面檢查裝置100在內(nèi)側(cè)筒狀構(gòu)件21內(nèi)形成有光路空間，并且使用在內(nèi)側(cè)筒狀構(gòu)件21與外側(cè)筒狀構(gòu)件22之間沿著同心圓上筒狀地配置有多個(gè)光纖23的旋轉(zhuǎn)筒體20，由此，能夠使插入到被檢查體P的旋轉(zhuǎn)筒體20較細(xì)，能夠?qū)崿F(xiàn)連續(xù)且迅速地檢查螺紋孔等數(shù)毫米單位的小徑的孔的內(nèi)部表面的狀態(tài)，另外，能夠?qū)崿F(xiàn)簡(jiǎn)單的構(gòu)成以及低成本。
[0036]根據(jù)本實(shí)施方式，另外，在第二反射鏡40的中心部設(shè)有用于使來自光源10的光通過的開孔部41。由此，能夠不影響入射光的通過而使反射光反射并入射到光電轉(zhuǎn)換單元50。
[0037]進(jìn)一步，光電轉(zhuǎn)換單元50由將光轉(zhuǎn)換成電信號(hào)的光電二極管構(gòu)成，從而能夠?qū)崿F(xiàn)低成本化。
[0038]更進(jìn)一步，另外，將多個(gè)光纖23固定于內(nèi)側(cè)筒狀構(gòu)件21的外周面與外側(cè)筒狀構(gòu)件22的內(nèi)周面之間并與內(nèi)側(cè)筒狀構(gòu)件21以及外側(cè)筒狀構(gòu)件22—體化，由此，能夠?qū)⒉迦氲奖粰z查體的旋轉(zhuǎn)筒體20設(shè)為最小徑的筒體，能夠容易且穩(wěn)定地配置光纖23。另外，能夠增強(qiáng)旋轉(zhuǎn)筒體20自身的強(qiáng)度，能夠防止在高速旋轉(zhuǎn)時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)。
[0039]另外，在上述的實(shí)施方式的表面檢查裝置100中，說明了第二反射鏡40使用平板狀反射鏡的例子，但是，本實(shí)用新型并不限定于此。例如，還可以使用棱鏡等。
[0040]另外，在上述的實(shí)施方式的表面檢查裝置100中，說明了旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)馬達(dá)80使用中空馬達(dá)的例子，但是，本實(shí)用新型并不限定于此。
[0041]以上敘述的實(shí)施方式全部例示地表示本實(shí)用新型而并沒有限定地表示，本實(shí)用新型能夠以其他各種各樣的變形方式以及變更方式來實(shí)施。因此，本實(shí)用新型的范圍僅通過實(shí)用新案注冊(cè)請(qǐng)求的范圍以及其均等范圍來規(guī)定。
[0042]本實(shí)用新型以汽車、電氣部件為代表，在所有產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域中，能夠利用于高速且高精度地對(duì)在圓筒體、金屬體上穿通的孔以及螺紋孔等的內(nèi)部壁面的傷痕、裂紋以及附著物的有無等進(jìn)行檢查的目的。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種表面檢查裝置，其特征在于，具備: 光源，發(fā)出檢查用的光； 能夠旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)筒體，具備內(nèi)側(cè)筒狀構(gòu)件、以覆蓋所述內(nèi)側(cè)筒狀構(gòu)件的方式配置的外側(cè)筒狀構(gòu)件、以及在所述內(nèi)側(cè)筒狀構(gòu)件與所述外側(cè)筒狀構(gòu)件之間沿著同心圓上筒狀地配置的多個(gè)光纖，該旋轉(zhuǎn)筒體具有將來自所述光源的光從基端部向前端部引導(dǎo)的光路空間； 第一反射鏡，配置于所述旋轉(zhuǎn)筒體的所述前端部，使來自所述光源的光照射到被檢查體表面，并且使來自該被檢查體的反射光入射到所述光纖前端的受光部；以及 第二反射鏡，設(shè)置于供來自所述光源的光通過的光路上，使來自所述光源的光通過，并且使經(jīng)由所述光纖被傳輸?shù)剿鲂D(zhuǎn)筒體的基端部的所述反射光以導(dǎo)向光電轉(zhuǎn)換單元的方式反射。2.如權(quán)利要求1所述的表面檢查裝置，其特征在于， 在所述第二反射鏡的中心部具有用于使來自所述光源的光通過的開孔部。3.如權(quán)利要求2所述的表面檢查裝置，其特征在于， 所述開孔部的周面構(gòu)成為與來自所述光源的光的照射方向平行。4.如權(quán)利要求1或2所述的表面檢查裝置，其特征在于， 所述光電轉(zhuǎn)換單元具備將光轉(zhuǎn)換成電信號(hào)的光電二極管。5.如權(quán)利要求1或2所述的表面檢查裝置，其特征在于， 所述多個(gè)光纖固定于所述內(nèi)側(cè)筒狀構(gòu)件的外周面與所述外側(cè)筒狀構(gòu)件的內(nèi)周面之間，并與該內(nèi)側(cè)筒狀構(gòu)件以及該外側(cè)筒狀構(gòu)件一體化。
【文檔編號(hào)】G01N21/88GK205538712SQ201620113889
【公開日】2016年8月31日
【申請(qǐng)日】2016年2月4日
【發(fā)明人】江崎泰史
【申請(qǐng)人】希格瑪株式會(huì)社