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      帶光源的芯片圖像獲取裝置的制造方法

      文檔序號(hào):10854379閱讀:660來(lái)源:國(guó)知局
      帶光源的芯片圖像獲取裝置的制造方法
      【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型提供一種帶光源的芯片圖像獲取裝置,包括軌道、芯片框架、傳感器及像機(jī),通過(guò)芯片框架來(lái)將芯片進(jìn)行移動(dòng)運(yùn)輸,在芯片框架移動(dòng)過(guò)程中可以通過(guò)傳感器來(lái)觸發(fā)像機(jī)對(duì)芯片框架上的芯片進(jìn)行拍照,以獲得芯片圖像,本實(shí)用新型通過(guò)獲取清洗的芯片圖像來(lái)實(shí)現(xiàn)芯片的檢測(cè),效率很高。
      【專(zhuān)利說(shuō)明】
      帶光源的芯片圖像獲取裝置
      技術(shù)領(lǐng)域
      [0001]本實(shí)用新型涉及芯片檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域,特別是涉及一種帶光源的芯片圖像獲取裝置。
      【背景技術(shù)】
      [0002]制約我國(guó)計(jì)算機(jī)發(fā)展和普及的關(guān)鍵技術(shù)之一是芯片,芯片的發(fā)展瓶頸是制造設(shè)備和生產(chǎn)工藝。龍芯能否普及在我國(guó)計(jì)算機(jī)上的重要因素之一就是我國(guó)芯片制造業(yè)必須掌握芯片的生產(chǎn)工藝。生產(chǎn)工藝涉及的技術(shù)很多,其中芯片制造過(guò)程中的外觀檢測(cè)是重要內(nèi)容之一。目前芯片制造過(guò)程的外觀檢測(cè)系統(tǒng)基本上是美國(guó)INTEL和AMD公司的標(biāo)準(zhǔn)和技術(shù)。我國(guó)目前還沒(méi)有一套此類(lèi)芯片外觀檢測(cè)系統(tǒng)。因此我國(guó)自行開(kāi)發(fā)芯片外觀檢測(cè)系統(tǒng)是對(duì)我國(guó)芯片制造是一項(xiàng)極其重要的項(xiàng)目和工程。
      [0003]在現(xiàn)有的芯片加工過(guò)程中,生產(chǎn)好的芯片需要進(jìn)行檢測(cè)以防止有缺陷的或者有瑕疵的芯片流入市場(chǎng),而這一工序目前主要是通過(guò)人工來(lái)進(jìn)行檢測(cè)的。這種通過(guò)經(jīng)驗(yàn)來(lái)進(jìn)行檢測(cè)的方式,有以下的不足:
      [0004]第一,人工檢測(cè)一個(gè)芯片正常需要4秒時(shí)間,效率不高;
      [0005]第二,由于人工長(zhǎng)時(shí)間低頭檢測(cè)芯片,導(dǎo)致頭腦發(fā)暈,眼睛疲勞,很容易造成質(zhì)量事故;
      [0006]第三,由于人工檢測(cè)工位辛苦,眼睛疲勞,很多員工在這個(gè)工位工作時(shí)間都不是很久,使得工位員工調(diào)換頻繁,導(dǎo)致品質(zhì)不能保證。
      【實(shí)用新型內(nèi)容】
      [0007]鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn),本實(shí)用新型的目的在于提供一種帶光源的芯片圖像獲取裝置,用于獲取芯片圖像來(lái)幫助實(shí)現(xiàn)芯片外觀的檢測(cè),從而解決現(xiàn)有技術(shù)中直接通過(guò)人工檢測(cè)芯片效果較低的問(wèn)題。
      [0008]為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的,本實(shí)用新型提供以下技術(shù)方案:
      [0009]—種帶光源的芯片圖像獲取裝置,至少包括軌道和適于在軌道上移動(dòng)的芯片框架,軌道包括兩根呈平行設(shè)置的鋼軌,在兩根鋼軌正對(duì)的面上各開(kāi)設(shè)有一導(dǎo)槽,所述芯片框架的兩側(cè)邊分別嵌設(shè)在兩根鋼軌的導(dǎo)槽內(nèi)來(lái)實(shí)現(xiàn)在軌道上的移動(dòng),在導(dǎo)槽內(nèi)設(shè)置有一傳送帶,通過(guò)在鋼軌上設(shè)置一電機(jī)來(lái)驅(qū)動(dòng)傳送帶循環(huán)運(yùn)動(dòng),在芯片框架的兩側(cè)邊上分別固定連接有若干導(dǎo)輪,且該導(dǎo)輪的輪面與導(dǎo)槽內(nèi)的傳送帶接觸,該導(dǎo)輪和傳送帶由橡膠制成,且在嵌設(shè)在導(dǎo)槽內(nèi)的芯片框架兩側(cè)邊的底部還設(shè)有若干滑輪,且滑輪的輪面與導(dǎo)槽接觸,在芯片框架的端面所在的上方設(shè)置有若干供放置芯片的安裝位,在安裝位底部設(shè)置有貫穿芯片框架底部的隔柵,在芯片框架的端面所在的底部上還設(shè)有與安裝位數(shù)量相同的光源,且光源與隔柵接觸,此外,在芯片框架的端面上還開(kāi)設(shè)有若干通孔,在通孔下方安裝一適于經(jīng)由通孔來(lái)發(fā)送觸發(fā)信號(hào)的傳感器,在與安裝位正對(duì)的軌道上方設(shè)置有像機(jī),像機(jī)通過(guò)傳感器的發(fā)送的觸發(fā)信號(hào)來(lái)對(duì)放置在安裝位上的芯片進(jìn)行拍照,獲得得到芯片圖像并予以輸出。
      [0010]優(yōu)選地,所述安裝位在芯片框架上成陣列的排列設(shè)置。
      [0011 ]優(yōu)選地,所述安裝位包括兩列,每列安裝位的數(shù)量為5-7個(gè)。
      [0012]優(yōu)選地,所述通孔開(kāi)設(shè)在兩列安裝位之間,且安裝位的數(shù)量與每列安裝位的數(shù)量相同。
      [0013]如上所述,本實(shí)用新型具有以下有益效果:在實(shí)際的應(yīng)用中,可以在與安裝位正對(duì)的軌道上方設(shè)置圖像獲取裝置,來(lái)對(duì)安裝位上的芯片進(jìn)行拍照,從而獲取圖像并通過(guò)圖像處理來(lái)判斷芯片的合格檢測(cè),相比現(xiàn)有技術(shù)中采用人工的檢測(cè)的方式,效率顯得更高。
      【附圖說(shuō)明】
      [0014]圖1顯示為一種帶光源的芯片載運(yùn)裝置的原理圖。
      [0015]元件標(biāo)號(hào)說(shuō)明
      [0016]I鋼軌
      [0017]11導(dǎo)槽
      [0018]2芯片框架
      [0019]21安裝位
      [0020]22隔柵[0021 ]23通孔
      [0022]3導(dǎo)輪
      [0023]4滑輪
      [0024]5傳送帶
      [0025]6電機(jī)
      [0026]7光源
      [0027]8傳感器
      [0028]81光電信號(hào)發(fā)射器
      [0029]82光電信號(hào)接收器
      [0030]9像機(jī)
      【具體實(shí)施方式】
      [0031]以下由特定的具體實(shí)施例說(shuō)明本實(shí)用新型的實(shí)施方式,熟悉此技術(shù)的人士可由本說(shuō)明書(shū)所揭露的內(nèi)容輕易地了解本實(shí)用新型的其他優(yōu)點(diǎn)及功效。
      [0032]請(qǐng)參閱圖1。須知,本說(shuō)明書(shū)所附圖式所繪示的結(jié)構(gòu)、比例、大小等,均僅用以配合說(shuō)明書(shū)所揭示的內(nèi)容,以供熟悉此技術(shù)的人士了解與閱讀,并非用以限定本實(shí)用新型可實(shí)施的限定條件,故不具技術(shù)上的實(shí)質(zhì)意義,任何結(jié)構(gòu)的修飾、比例關(guān)系的改變或大小的調(diào)整,在不影響本實(shí)用新型所能產(chǎn)生的功效及所能達(dá)成的目的下,均應(yīng)仍落在本實(shí)用新型所揭示的技術(shù)內(nèi)容得能涵蓋的范圍內(nèi)。同時(shí),本說(shuō)明書(shū)中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中間”及“一”等的用語(yǔ),亦僅為便于敘述的明了,而非用以限定本實(shí)用新型可實(shí)施的范圍,其相對(duì)關(guān)系的改變或調(diào)整,在無(wú)實(shí)質(zhì)變更技術(shù)內(nèi)容下,當(dāng)亦視為本實(shí)用新型可實(shí)施的范疇。
      [0033]請(qǐng)參閱圖1,為一種帶光源的芯片圖像獲取裝置的原理圖,如圖所示,該芯片圖像獲取裝置包括軌道和適于在軌道上移動(dòng)的芯片框架2,軌道包括兩根呈平行設(shè)置的鋼軌I,在兩根鋼軌I正對(duì)的面上各開(kāi)設(shè)有一導(dǎo)槽11,所述芯片框架2的兩側(cè)邊分別嵌設(shè)在兩根鋼軌I的導(dǎo)槽11內(nèi)來(lái)實(shí)現(xiàn)在軌道上的移動(dòng),在導(dǎo)槽11內(nèi)設(shè)置有一傳送帶5,通過(guò)在鋼軌上設(shè)置一電機(jī)6來(lái)驅(qū)動(dòng)傳送帶5循環(huán)運(yùn)動(dòng),在芯片框架2的兩側(cè)邊上分別固定連接有若干導(dǎo)輪3,且該導(dǎo)輪3的輪面與導(dǎo)槽11內(nèi)的傳送帶5接觸,該導(dǎo)輪3和傳送帶5由橡膠制成,且在嵌設(shè)在導(dǎo)槽11內(nèi)的芯片框架2兩側(cè)邊的底部還設(shè)有若干滑輪4,且滑輪4的輪面與導(dǎo)槽11接觸,在芯片框架2的端面所在的上方設(shè)置有若干供放置芯片的安裝位21,在安裝位21底部設(shè)置有貫穿芯片框架2底部的隔柵22,在芯片框架2的端面所在的底部上還設(shè)有與安裝位21數(shù)量相同的光源7,且光源7與隔柵22接觸,此外,在芯片框架2的端面上還開(kāi)設(shè)有若干通孔23,在通孔23下方安裝一適于經(jīng)由通孔23來(lái)發(fā)送觸發(fā)信號(hào)的傳感器8,在與安裝位21正對(duì)的軌道上方設(shè)置有像機(jī)9,像機(jī)9通過(guò)傳感器8的發(fā)送的觸發(fā)信號(hào)來(lái)對(duì)放置在安裝位21上的芯片進(jìn)行拍照,獲得得到芯片圖像并予以輸出。通過(guò)上述結(jié)構(gòu),可以在實(shí)際使用中獲得更加清晰的芯片圖像。
      [0034]通過(guò)上述方案,可以使得芯片框架能夠在軌道上自由移動(dòng),并只需要一個(gè)電機(jī)6SP可完成芯片框架的驅(qū)動(dòng),不需要大型的傳輸材料,可以節(jié)約設(shè)備的成本,此外,芯片在運(yùn)動(dòng)過(guò)程中即可完成芯片圖像的獲取,不需要停留,效率極高。
      [0035]在具體實(shí)施中,若干安裝位21在芯片框架2上成陣列的排列設(shè)置。一般地,在芯片框架2上包括兩列安裝位21,每列安裝位21的數(shù)量為5-7個(gè)。其中,通孔23的數(shù)量與每列安裝位21的數(shù)量相同,對(duì)應(yīng)地,像機(jī)可以包括兩個(gè)像機(jī),在芯片框架2經(jīng)過(guò)傳感器時(shí),經(jīng)由通孔來(lái)觸發(fā)像機(jī)對(duì)安裝位上的芯片拍照,保證了檢測(cè)的高效性。一般地,該傳感器8可以是光電傳感器,包括光電信號(hào)發(fā)射器81和光電信號(hào)接收器82,光電信號(hào)發(fā)射器81與通孔23對(duì)應(yīng)的安裝在軌道下方,光電信號(hào)接收器與通孔23對(duì)應(yīng)的安裝在軌道上方,適于接收光電信號(hào)并向像機(jī)發(fā)送觸發(fā)信號(hào)。
      [0036]在實(shí)際的應(yīng)用中,可以將獲取得到的芯片圖像發(fā)送至檢測(cè)系統(tǒng)中來(lái)判斷芯片是否合格,相比現(xiàn)有技術(shù)中采用人工的檢測(cè)的方式,效率顯得更高。所以,本實(shí)用新型有效克服了現(xiàn)有技術(shù)中的種種缺點(diǎn)而具高度產(chǎn)業(yè)利用價(jià)值。
      [0037]上述實(shí)施例僅例示性說(shuō)明本實(shí)用新型的原理及其功效,而非用于限制本實(shí)用新型。任何熟悉此技術(shù)的人士皆可在不違背本實(shí)用新型的精神及范疇下,對(duì)上述實(shí)施例進(jìn)行修飾或改變。因此,舉凡所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)者在未脫離本實(shí)用新型所揭示的精神與技術(shù)思想下所完成的一切等效修飾或改變,仍應(yīng)由本實(shí)用新型的權(quán)利要求所涵蓋。
      【主權(quán)項(xiàng)】
      1.一種帶光源的芯片圖像獲取裝置,其特征在于:至少包括軌道和適于在軌道上移動(dòng)的芯片框架,軌道包括兩根呈平行設(shè)置的鋼軌,在兩根鋼軌正對(duì)的面上各開(kāi)設(shè)有一導(dǎo)槽,所述芯片框架的兩側(cè)邊分別嵌設(shè)在兩根鋼軌的導(dǎo)槽內(nèi)來(lái)實(shí)現(xiàn)在軌道上的移動(dòng),在導(dǎo)槽內(nèi)設(shè)置有一傳送帶,通過(guò)在鋼軌上設(shè)置一電機(jī)來(lái)驅(qū)動(dòng)傳送帶循環(huán)運(yùn)動(dòng),在芯片框架的兩側(cè)邊上分別固定連接有若干導(dǎo)輪,且該導(dǎo)輪的輪面與導(dǎo)槽內(nèi)的傳送帶接觸,該導(dǎo)輪和傳送帶由橡膠制成,且在嵌設(shè)在導(dǎo)槽內(nèi)的芯片框架兩側(cè)邊的底部還設(shè)有若干滑輪,且滑輪的輪面與導(dǎo)槽接觸,在芯片框架的端面所在的上方設(shè)置有若干供放置芯片的安裝位,在安裝位底部設(shè)置有貫穿芯片框架底部的隔柵,在芯片框架的端面所在的底部上還設(shè)有與安裝位數(shù)量相同的光源,且光源與隔柵接觸,此外,在芯片框架的端面上還開(kāi)設(shè)有若干通孔,在通孔下方安裝一適于經(jīng)由通孔來(lái)發(fā)送觸發(fā)信號(hào)的傳感器,在與安裝位正對(duì)的軌道上方設(shè)置有像機(jī),像機(jī)通過(guò)傳感器的發(fā)送的觸發(fā)信號(hào)來(lái)對(duì)放置在安裝位上的芯片進(jìn)行拍照,獲得得到芯片圖像并予以輸出。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶光源的芯片圖像獲取裝置,其特征在于:所述安裝位在芯片框架上成陣列的排列設(shè)置。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的帶光源的芯片圖像獲取裝置,其特征在于:所述安裝位包括兩列,每列安裝位的數(shù)量為5-7個(gè)。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的帶光源的芯片圖像獲取裝置,其特征在于:所述通孔開(kāi)設(shè)在兩列安裝位之間,且安裝位的數(shù)量與每列安裝位的數(shù)量相同。
      【文檔編號(hào)】G01N21/892GK205538727SQ201521029531
      【公開(kāi)日】2016年8月31日
      【申請(qǐng)日】2015年12月14日
      【發(fā)明人】李志遠(yuǎn), 耿世慧, 李熙春
      【申請(qǐng)人】重慶遠(yuǎn)創(chuàng)光電科技有限公司
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