一種柔性探針的制作方法
【專利摘要】本實用新型提供的一種柔性探針，探針包括支撐臂、柔性接觸探針及柔性連接點，柔性連接可固定連接或可拆卸，柔性接觸探針為二維或三維結(jié)構(gòu)；柔性接觸探針為煙斗狀或湯匙狀且其空間體積為1μm3～0.1m3。本實用新型提供的探針帶有可固定、可拆卸的柔性接觸點，便于更換受損的探針；采用二維或三維結(jié)構(gòu)的煙斗狀或湯匙狀結(jié)構(gòu)，替換現(xiàn)有技術(shù)中的一維點接觸結(jié)構(gòu)的探針，能避免在芯片測試過程中損傷芯片表面金屬層及損毀電器件；該探針與芯片電極接觸面大，能在大電流器件測試過程中使電流分布更均勻，避免一維點狀探針尖端帶電打火燒毀器件，顯著提高了電器件芯片級測試過程的安全性。
【專利說明】
一種柔性探針
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實用新型涉及一種探針，具體講，涉及一種柔性探針。
【背景技術(shù)】
[0002]電器件封裝前均要求進行芯片級檢測，其檢測方法是利用探針在超凈環(huán)境中對芯片進行性能檢測，檢測內(nèi)容包括正反向準(zhǔn)靜態(tài)特性檢測和動態(tài)特性檢測等。
[0003]現(xiàn)有的檢測探針為一維點狀結(jié)構(gòu)，該探針在接觸芯片表面金屬層時為非柔性接觸，檢測過程中極易造成芯片表面金屬層損傷，使金屬電極損毀，導(dǎo)致芯片在檢測過程中被損壞，帶來嚴(yán)重的經(jīng)濟損失。此外，現(xiàn)有技術(shù)采用的點接觸結(jié)構(gòu)探針，接觸點較小，檢測過程中易導(dǎo)致正向電流分布不均勻或反向電場聚集等問題，影響檢測結(jié)果甚至損壞芯片，造成電器件的損毀。
[0004]因此，需要提供一種針對上述現(xiàn)有技術(shù)不足的改進技術(shù)方案。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本實用新型的目的是克服上述現(xiàn)有探針檢測技術(shù)中易損毀芯片造成電器件的損毀，同時導(dǎo)致正向電流分布不均勻及反向電場聚集等方面的問題，提出一種二維或三維結(jié)構(gòu)柔性探針，該探針使用過程中能避免損壞芯片和電器件，且安全性能極高
[0006]為實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用以下技術(shù)方案:
[0007]—種柔性探針，所述探針包括支撐臂、柔性接觸探針及連接支撐臂與柔性接觸探針的柔性連接點，所述柔性連接包括固定或可拆卸，所述柔性接觸探針為二維或三維結(jié)構(gòu)。
[0008]進一步的，所述柔性接觸探針為煙斗狀或湯匙狀，所述煙斗狀或湯匙狀的柔性探針空間體積為Iym3?0.1m3。
[0009]進一步的，所述支撐臂為金屬材料，所述金屬材料為銅、鋁、銀、金。
[00?0]進一步的，所述支撐臂為長方體結(jié)構(gòu)，其中，長、寬、高的值為Iym?100cm。
[0011]進一步的，所述支撐臂為圓柱體結(jié)構(gòu)，其中，所述圓柱體的長度和半徑的取值為1μm ?10cm0
[0012]進一步的，所述柔性連接包括螺紋、卡槽或彈簧。
[0013]進一步的，所述柔性接觸探針是由圓柱體或長方體加工制備;所述柔性接觸探針為金屬材料，所述金屬材料為銅、招、銀、金。
[0014]與最接近的現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型提供的技術(shù)方案具有如下優(yōu)異效果:
[0015]1、本實用新型提供的探針帶有可固定、可拆卸的柔性接觸點，便于更換受損的探針。
[0016]2、本實用新型提供的探針采用二維或三維結(jié)構(gòu)的煙斗狀或湯匙狀結(jié)構(gòu)，替換現(xiàn)有技術(shù)中的一維點接觸結(jié)構(gòu)的探針，能避免在芯片檢測過程中損傷芯片表面金屬層及損毀電器件。
[0017]3、本實用新型提供的探針與芯片電極接觸面大，能在大電流器件檢測過程中使電流分布更均勻，避免一維點狀探針尖端帶電打火燒毀器件，顯著提高了電器件芯片級檢測過程的安全性。
【附圖說明】
[0018]為了更清楚地說明本實用新型中的技術(shù)方案，下面將對實施例中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0019]圖1現(xiàn)有技術(shù)所用一維點狀探針結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖2本實用新型煙斗狀柔性探針三維結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021 ]圖3本實用新型湯匙狀柔性探針二維結(jié)構(gòu)示意圖。
[0022]圖中:11、支撐臂；12、柔性連接點；13、柔性接觸探針。
【具體實施方式】
[0023]下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型的一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。
[0024]如圖2和圖3所示，本實用新型提供的一種柔性探針，探針包括支撐臂11、柔性接觸探針13及連接支撐臂11與柔性接觸探針13的柔性連接點12，柔性連接可固定連接或可拆卸，柔性接觸探針13為二維或三維結(jié)構(gòu);柔性接觸探針13為煙斗狀或湯匙狀，煙斗狀或湯匙狀的柔性探針空間體積為Iym3?0.1m3。
[0025]支撐臂11為金屬材料，所述金屬材料為銅、鋁、銀、金。所述支撐臂11為長方體結(jié)構(gòu)或圓柱體結(jié)構(gòu)，其中，為長方體結(jié)構(gòu)時，長、寬、高的值為Iym?100cm;為圓柱體結(jié)構(gòu)時，圓柱體的長度和半徑的取值為Iym?100cm。柔性連接點12的固定連接方式為螺紋、卡槽或彈簧。柔性接觸探針13是由圓柱體或長方體加工制備，柔性接觸探針13為金屬材料，所述金屬材料為銅、招、銀、金。
[0026]此外，在一個具體實施例中，一種柔性探針，包括支撐臂11、柔性連接點12、柔性接觸探針13，柔性連接可固定連接、可拆卸，柔性接觸探針13為煙斗狀，為三維結(jié)構(gòu)。所述支撐臂11為金屬材料招制成;支撐臂11為長方體結(jié)構(gòu)，長、寬、高的值為4cm、10mm和300um。柔性連接點12的固定方式為螺紋固定。煙斗狀柔性接觸探針13的材料為金屬材料銅，是由長度為2cm，半徑為60μπι的圓柱體加工而成，因此其空間體積為5.35 X 10—5 cm3。
[0027]優(yōu)選的，一種柔性探針，包括支撐臂11、柔性連接點12、柔性接觸探針13，柔性連接可固定連接、可拆卸，柔性接觸探針13為煙斗狀，為三維結(jié)構(gòu)。所述支撐臂11為金屬材料銀制成;支撐臂11為圓柱體結(jié)構(gòu)，圓柱體的長度為15cm，半徑為500μπι。柔性連接點12的固定方式為卡槽固定。煙斗狀柔性接觸探針13的材料為金屬材料鋁，是由長、寬、高的值為3cm、200mm和260um的長方體加工而成，因此其空間體積為8.15 X 10—5 cm3。
[0028]優(yōu)選的，在一個具體實施例中，一種柔性探針，包括支撐臂11、柔性連接點12、柔性接觸探針13，柔性連接可固定連接、可拆卸，柔性接觸探針13為湯匙狀，為二維結(jié)構(gòu)。所述支撐臂11為金屬材料銅制成;支撐臂11為圓柱體結(jié)構(gòu)，圓柱體的長度為6cm，半徑為200μπι。柔性連接點12的固定方式為卡槽固定。湯匙狀柔性接觸探針13的材料為金屬材料銅，是由長度為lcm，半徑為50μηι的圓柱體加工而成，因此其空間體積為7.85 X 10—5 cm3。
[0029]優(yōu)選的，在一個具體實施例中，一種柔性探針，包括支撐臂11、柔性連接點12、柔性接觸探針13，柔性連接可固定連接、可拆卸，柔性接觸探針13為湯匙狀，為二維結(jié)構(gòu)。所述支撐臂11為金屬材料銅制成;支撐臂11為長方體結(jié)構(gòu)，長、寬、高的值為6011、691111]1和260111]1。柔性連接點12的固定方式為彈簧固定。所述煙斗狀柔性接觸探針13的材料為金屬材料鋁，是由長度為lcm，半徑為80μηι的圓柱體加工而成，因此其空間體積約為4.65 X 10—5 cm3。
[0030]以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進等，均在本實用新型待批權(quán)利要求保護范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種柔性探針，其特征在于，所述探針包括支撐臂、柔性接觸探針及連接所述支撐臂與柔性接觸探針的柔性連接點，所述柔性連接包括固定或可拆卸，所述柔性接觸探針為二維或三維結(jié)構(gòu)。2.如權(quán)利要求1所述的一種柔性探針，其特征在于，所述柔性接觸探針為湯匙狀。3.如權(quán)利要求2所述的一種柔性探針，其特征在于，所述湯匙狀的柔性探針空間體積為Ium3?0.Im304.如權(quán)利要求1所述的一種柔性探針，其特征在于，所述支撐臂為長、寬、高的值為Ιμπι?I OOcm的長方體D5.如權(quán)利要求1所述的一種柔性探針，其特征在于，所述支撐臂為長度和半徑的取值1μm?I OOcm的圓柱體。6.如權(quán)利要求1所述的一種柔性探針，其特征在于，所述柔性連接包括螺紋、卡槽或彈善 O7.如權(quán)利要求1所述的一種柔性探針，其特征在于，所述柔性接觸探針是由圓柱體或長方體加工制備。
【文檔編號】G01R31/28GK205539079SQ201620067570
【公開日】2016年8月31日
【申請日】2016年1月22日
【發(fā)明人】楊霏, 鄭柳, 李玲, 王方方, 李永平, 劉瑞, 朱韞暉, 張文婷, 查祎英, 吳昊
【申請人】國網(wǎng)智能電網(wǎng)研究院, 國家電網(wǎng)公司