用于擴散爐整段測溫的多點熱電偶結(jié)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種用于擴散爐整段測溫的多點熱電偶結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)包括保護套管和一根多孔絕緣芯棒，多孔絕緣芯棒裝在保護套管內(nèi)，多孔絕緣芯棒包括N個測溫點，N為正整數(shù)，每一個測溫點上設置有一對熱電偶，不同測溫點上設置的熱電偶相互獨立，熱電偶的輸出端經(jīng)卡套接頭與接插件相連。本實用新型采用該結(jié)構(gòu)具有多個測溫點，能夠準確檢測擴散爐內(nèi)的整段實際溫度，爐溫均勻性能得到可靠的保證，避免爐內(nèi)硅片因擴散溫度不一致而導致報廢，造成不必要的經(jīng)濟損失。
【專利說明】
用于擴散爐整段測溫的多點熱電偶結(jié)構(gòu)
技術(shù)領域
[0001]本實用新型涉及一種熱電偶，特別是涉及一種用于擴散爐整段測溫的多點熱電偶結(jié)構(gòu)?！颈尘凹夹g(shù)】
[0002]擴散爐主要應用于半導體行業(yè)，特別是太陽能光伏行業(yè)，在高溫條件下對半導體晶圓進行摻雜，即將磷、硼等元素擴散入硅片，從而改變和控制半導體內(nèi)雜質(zhì)的類型、濃度和分布情況，以建立不同的電特性區(qū)域。擴散時的溫度是此工藝非常重要的參數(shù)，由于擴散爐長度較長，整段擴散爐的爐溫均勻性至關重要。
[0003]現(xiàn)有常規(guī)熱電偶因其結(jié)構(gòu)所限，不能完全真實的檢測擴散爐的整段實際溫度，因此本領域技術(shù)人員致力于開發(fā)一種專用于擴散爐整段測溫的多點熱電偶結(jié)構(gòu)?！緦嵱眯滦蛢?nèi)容】
[0004]本實用新型旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題，特別創(chuàng)新地提出了一種用于擴散爐整段測溫的多點熱電偶結(jié)構(gòu)。
[0005]為了實現(xiàn)本實用新型的上述目的，本實用新型提供了一種用于擴散爐整段測溫的多點熱電偶結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)包括保護套管和一根多孔絕緣芯棒，所述多孔絕緣芯棒裝在保護套管內(nèi)，所述多孔絕緣芯棒包括N個測溫點，所述N為正整數(shù)，每一個測溫點上設置有一對熱電偶，不同測溫點上設置的熱電偶相互獨立，熱電偶的輸出端經(jīng)卡套接頭與接插件相連。
[0006]在本實用新型的一種優(yōu)選實施方式中，所述多孔絕緣芯棒上的每個測溫點包括2 個孔，熱電偶位于2個孔的缺口處。
[0007]在本實用新型的一種更加優(yōu)選實施方式中，每個測溫點上的2個孔相對于多孔絕緣芯棒的延伸方向軸對稱分布。
[0008]在本實用新型的一種優(yōu)選實施方式中，所述熱電偶為鉑、銠兩者組合的材料構(gòu)成。 采用該材料的熱電偶測溫精度更高。
[0009]在本實用新型的一種優(yōu)選實施方式中，所述多孔絕緣芯棒從擴散爐端口延伸至擴散爐底部，多個熱電偶檢測擴散爐內(nèi)從端口至底部的多個點的溫度。
[0010]在本實用新型的一種優(yōu)選實施方式中，所述保護套管為高純二氧化硅材質(zhì)。用高純二氧化硅作為材料更好的保護多孔絕緣芯棒，使用更長的時間。
[0011]在本實用新型的一種優(yōu)選實施方式中，所述多孔絕緣芯棒為高純?nèi)趸X材質(zhì)。采用該材料能夠耐高溫，使用壽命更長、性能更好。
[0012]綜上所述，由于采用了上述技術(shù)方案，本實用新型的有益效果是:本實用新型在唯一的一根多孔絕緣芯棒內(nèi)設置熱電偶，結(jié)構(gòu)簡單;采用該結(jié)構(gòu)具有多個測溫點，能夠準確檢測擴散爐內(nèi)的整段實際溫度，爐溫均勻性能得到可靠的保證，避免爐內(nèi)硅片因擴散溫度不一致而導致報廢，造成不必要的經(jīng)濟損失。【附圖說明】
[0013]圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖?！揪唧w實施方式】
[0014]下面詳細描述本實用新型的實施例，所述實施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實施例是示例性的，僅用于解釋本實用新型，而不能理解為對本實用新型的限制。
[0015]在本實用新型的描述中，需要理解的是，術(shù)語“縱向”、“橫向”、“上”、“下”、“前”、 “后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”“內(nèi)'“外”等指示的方位或位置關系為基于附圖所示的方位或位置關系，僅是為了便于描述本實用新型和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本實用新型的限制。
[0016]在本實用新型的描述中，除非另有規(guī)定和限定，需要說明的是，術(shù)語“安裝”、“相連”、“連接”應做廣義理解，例如，可以是機械連接或電連接，也可以是兩個元件內(nèi)部的連通，可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，對于本領域的普通技術(shù)人員而言，可以根據(jù)具體情況理解上述術(shù)語的具體含義。
[0017]本實用新型提供了一種用于擴散爐整段測溫的多點熱電偶結(jié)構(gòu)，如圖1所示，該結(jié)構(gòu)包括保護套管1(例如高純二氧化硅)和唯一的一根多孔絕緣芯棒2,多孔絕緣芯棒2裝在保護套管1內(nèi)，多孔絕緣芯棒2包括N個測溫點3，N為正整數(shù)。在本實施方式中，N可以但不限于取5,也可以根據(jù)實際情況進行設置，例如6或者8。如圖1所示只畫出了 5個測溫點的情況 (未畫出每個測溫點處的至少2個孔)，這5個測溫點分別為測量點a、測量點b、測量點c、測量點d、測量點e，這幾個測溫點距離長度可以根據(jù)擴散爐各段長度進行設置，例如該擴散爐分為3段(即多孔絕緣芯棒的長度與擴散爐長度相當)，則可以在擴散爐第一段和第二段各設置兩個測溫點，擴散爐第三段設置一個測溫點，或者在擴散爐第一段設置三個測溫點，擴散爐第二段和第三段各設置一個測溫點，但不限于提供的這些方式;而圖1中給出了四個測溫點等距設置，另一個測溫點設置在端面上。每一個測溫點上設置有一對熱電偶，不同測溫點上設置的熱電偶相互獨立，熱電偶的輸出端經(jīng)卡套接頭4與接插件6相連。其中熱電偶輸出的信號由引線5與接插件相連。[〇〇18]在本實施方式中，多孔絕緣芯棒是耐高溫絕緣材料制成(例如高純?nèi)趸X)， 有利于熱電偶感應擴散爐各處溫度時互不影響，多孔絕緣芯棒可以是兩端開口的中空圓柱體，在其每一個開孔處均設置有放置熱電偶的固定裝置，該固定裝置為現(xiàn)有技術(shù)，在此不做贅述。
[0019]在本實用新型的一種優(yōu)選實施方式中，多孔絕緣芯棒上的每個測溫點包括2個孔， 熱電偶位于2個孔的缺口處。在本實施方式中，每個測溫點上的2個孔相對于多孔絕緣芯棒的延伸方向軸對稱分布。
[0020]在本實用新型的一種優(yōu)選實施方式中，熱電偶為鉑、銠兩者組合的材料構(gòu)成。在本實施方式中，熱電偶不限于是鉑、銠組合的材料，也可以是其它測溫材料。
[0021]在本實用新型的一種優(yōu)選實施方式中，多孔絕緣芯棒從擴散爐端口延伸至擴散爐底部，多個熱電偶檢測擴散爐內(nèi)從端口至底部的多個點的溫度。
[0022]在本說明書的描述中，參考術(shù)語“一個實施例”、“一些實施例”、“示例”、“具體示例”、或“一些示例”等的描述意指結(jié)合該實施例或示例描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點包含于本實用新型的至少一個實施例或示例中。在本說明書中，對上述術(shù)語的示意性表述不一定指的是相同的實施例或示例。而且，描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點可以在任何的一個或多個實施例或示例中以合適的方式結(jié)合。[〇〇23]盡管已經(jīng)示出和描述了本實用新型的實施例，本領域的普通技術(shù)人員可以理解: 在不脫離本實用新型的原理和宗旨的情況下可以對這些實施例進行多種變化、修改、替換和變型，本實用新型的范圍由權(quán)利要求及其等同物限定。
【主權(quán)項】
1.一種用于擴散爐整段測溫的多點熱電偶結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括保護套管和一根多 孔絕緣芯棒，所述多孔絕緣芯棒裝在保護套管內(nèi)，所述多孔絕緣芯棒包括N個測溫點，所述N 為正整數(shù)，每一個測溫點上設置有一對熱電偶，不同測溫點上設置的熱電偶相互獨立，熱電 偶的輸出端經(jīng)卡套接頭與接插件相連。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于擴散爐整段測溫的多點熱電偶結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述多 孔絕緣芯棒上的每個測溫點包括2個孔，熱電偶位于2個孔的缺口處。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于擴散爐整段測溫的多點熱電偶結(jié)構(gòu)，其特征在于，每個測 溫點上的2個孔相對于多孔絕緣芯棒的延伸方向軸對稱分布。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于擴散爐整段測溫的多點熱電偶結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述熱 電偶為鉑、銠兩者組合的材料構(gòu)成。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于擴散爐整段測溫的多點熱電偶結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述多 孔絕緣芯棒從擴散爐端口延伸至擴散爐底部，多個熱電偶檢測擴散爐內(nèi)從端口至底部的多 個點的溫度。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于擴散爐整段測溫的多點熱電偶結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述保 護套管為高純二氧化硅材質(zhì)。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于擴散爐整段測溫的多點熱電偶結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述多 孔絕緣芯棒為高純?nèi)趸X材質(zhì)。
【文檔編號】G01K7/02GK205607556SQ201620109983
【公開日】2016年9月28日
【申請日】2016年2月3日
【發(fā)明人】周洪琴, 劉仁聰
【申請人】重慶市大正溫度儀表有限公司