一種電柜溫控系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】一種電柜溫控系統(tǒng)，包括：測溫單元，與電柜之電流接觸器電連接，并用于監(jiān)測電流接觸器之實(shí)時(shí)溫度；溫度偵測控制器，與測溫單元電連接，并根據(jù)測溫單元所監(jiān)測之實(shí)時(shí)溫度對警示系統(tǒng)發(fā)出指令；警示系統(tǒng)，與溫度偵測控制器電連接，并執(zhí)行溫度偵測控制器之指令。本實(shí)用新型通過在電柜之電流接觸器的最高溫度處設(shè)置測溫單元，當(dāng)測溫單元所監(jiān)測之實(shí)時(shí)溫度超過預(yù)設(shè)溫度時(shí)，溫度偵測控制器發(fā)出執(zhí)行，警示系統(tǒng)執(zhí)行指令，并對外發(fā)出警示，避免因溫度過高造成安全事故隱患。
【專利說明】
_種電柜溫控系統(tǒng)
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種電柜溫控系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]為實(shí)現(xiàn)安全、有效的電力供應(yīng)，化學(xué)氣相沉積(CVD)的主機(jī)臺均與作為附屬電力供應(yīng)裝置之電柜電連接。同時(shí)，在所述電柜內(nèi)配置電流接觸器，所述電流接觸器用于與外界機(jī)臺端的各類部件連接。明顯地，機(jī)臺端的各類部件之工作功率各不相同。當(dāng)所述機(jī)臺端的部件之工藝需求功率增大時(shí)，例如工藝在沉積和刻蝕時(shí)對射頻所需求的功率即不相同，便會引起電流的增大，與此同時(shí)，增大的電流勢必導(dǎo)致電流接觸器的溫度升高，甚至有燃燒的風(fēng)險(xiǎn)，存在極大的安全隱患。
[0003]尋求一種對電柜之溫度可實(shí)時(shí)監(jiān)控，并有效預(yù)警，以避免安全事件發(fā)生的電柜溫控系統(tǒng)已成為本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的技術(shù)問題之一。
[0004]故針對現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，本案設(shè)計(jì)人憑借從事此行業(yè)多年的經(jīng)驗(yàn)，積極研究改良，于是有了本實(shí)用新型一種電柜溫控系統(tǒng)。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]本實(shí)用新型是針對現(xiàn)有技術(shù)中，與傳統(tǒng)電柜之電流接觸器電連接的機(jī)臺端之部件工藝需求功率增大時(shí)，便會引起電流的增大，且增大的電流勢必導(dǎo)致電流接觸器的溫度升高，甚至有燃燒的風(fēng)險(xiǎn)，存在極大的安全隱患等缺陷提供一種電柜溫控系統(tǒng)。
[0006]為實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型之目的，本實(shí)用新型提供一種電柜溫控系統(tǒng)，所述電柜溫控系統(tǒng)，包括:測溫單元，所述測溫單元與電柜之電流接觸器電連接，并用于監(jiān)測所述電流接觸器之實(shí)時(shí)溫度;溫度偵測控制器，所述溫度偵測控制器與所述測溫單元電連接，并根據(jù)所述測溫單元所監(jiān)測之實(shí)時(shí)溫度對警示系統(tǒng)發(fā)出指令;警示系統(tǒng)，所述警示系統(tǒng)與所述溫度偵測控制器電連接，并執(zhí)行所述溫度偵測控制器之指令。
[0007]可選地，所述測溫單元所監(jiān)測之實(shí)時(shí)溫度超過預(yù)設(shè)溫度時(shí)，所述溫度偵測控制器發(fā)出指令，所述警示系統(tǒng)執(zhí)行指令，對外發(fā)出警示。
[0008]可選地，所述預(yù)設(shè)溫度依據(jù)各工藝制程之工作電流對所述電流接觸器之溫度的影響進(jìn)行設(shè)定。
[0009]可選地，所述工藝制程為薄膜沉積、刻蝕。
[0010]可選地，所述測溫單元設(shè)置在所述電流接觸器之最高溫度處。
[0011]可選地，所述測溫單元通過耐溫硅膠粘附在所述電流接觸器之最高溫度處。
[0012]可選地，所述測溫單元為熱電偶。
[0013]可選地，所述電柜之電流接觸器與工藝腔室、射頻電源、遠(yuǎn)程等離子體系統(tǒng)的至少其中之一電連接。
[0014]綜上所述，本實(shí)用新型電柜溫控系統(tǒng)通過在電柜之電流接觸器的最高溫度處設(shè)置測溫單元，當(dāng)所述測溫單元所監(jiān)測之實(shí)時(shí)溫度超過預(yù)設(shè)溫度時(shí)，所述溫度偵測控制器發(fā)出執(zhí)行，所述警示系統(tǒng)執(zhí)行指令，并對外發(fā)出警示，避免因溫度過高造成安全事故隱患。
【附圖說明】
[0015]圖1所示為本實(shí)用新型電柜溫控系統(tǒng)的框架結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0016]為詳細(xì)說明本發(fā)明創(chuàng)造的技術(shù)內(nèi)容、構(gòu)造特征、所達(dá)成目的及功效，下面將結(jié)合實(shí)施例并配合附圖予以詳細(xì)說明。
[0017]為實(shí)現(xiàn)安全、有效的電力供應(yīng)，化學(xué)氣相沉積(CVD)的主機(jī)臺均與作為附屬電力供應(yīng)裝置之電柜電連接。同時(shí)，在所述電柜內(nèi)配置電流接觸器，所述電流接觸器用于與外界機(jī)臺端的各類部件連接。明顯地，機(jī)臺端的各類部件之工作功率各不相同。當(dāng)所述機(jī)臺端的部件之工藝需求功率增大時(shí)，例如工藝在沉積和刻蝕時(shí)對射頻所需求的功率即不相同，便會引起電流的增大，與此同時(shí)，增大的電流勢必導(dǎo)致電流接觸器的溫度升高，甚至有燃燒的風(fēng)險(xiǎn)，存在極大的安全隱患。
[0018]請參閱圖1，圖1所示為本實(shí)用新型電柜溫控系統(tǒng)的框架結(jié)構(gòu)示意圖。所述電柜溫控系統(tǒng)I，包括:測溫單元11，所述測溫單元11與電柜(未圖示)之電流接觸器12電連接，并用于監(jiān)測所述電流接觸器12之實(shí)時(shí)溫度;溫度偵測控制器13，所述溫度偵測控制器13與所述測溫單元11電連接，并根據(jù)所述測溫單元11所監(jiān)測之實(shí)時(shí)溫度對警示系統(tǒng)14發(fā)出指令;警示系統(tǒng)14，所述警示系統(tǒng)14與所述溫度偵測控制器13電連接，并執(zhí)行所述溫度偵測控制器13之指令。
[0019]作為具體的實(shí)施方式，所述測溫單元11所監(jiān)測之實(shí)時(shí)溫度超過預(yù)設(shè)溫度時(shí)，所述溫度偵測控制器13發(fā)出指令，所述警示系統(tǒng)14執(zhí)行指令，并對外發(fā)出警示，避免因溫度過高造成安全事故隱患。
[0020]作為本領(lǐng)域技術(shù)人員，容易理解地，與所述電柜之電流接觸器12連接的機(jī)臺端之各類部件的工作功率各不相同。當(dāng)所述機(jī)臺端的部件之工藝需求功率增大時(shí)，例如工藝在沉積和刻蝕時(shí)對射頻所需求的功率即不相同，便會引起電流的增大，與此同時(shí)，增大的電流勢必導(dǎo)致電流接觸器的溫度升高，甚至有燃燒的風(fēng)險(xiǎn)，存在極大的安全隱患。故，所述預(yù)設(shè)溫度依據(jù)各工藝制程之工作電流對電流接觸器12之溫度的影響進(jìn)行設(shè)定。所述工藝制程包括但不限于薄膜沉積、刻蝕等工藝。
[0021]為了更直觀的揭露本實(shí)用新型之技術(shù)方案，凸顯本實(shí)用新型之有益效果，現(xiàn)結(jié)合【具體實(shí)施方式】為例，對所述電柜溫控系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)和工作原理進(jìn)行闡述。在【具體實(shí)施方式】中，所述電柜溫控系統(tǒng)之各功能部件的形狀、結(jié)構(gòu)、位置設(shè)置等僅為列舉，不應(yīng)視為對本實(shí)用新型技術(shù)方案的限制。
[0022]請繼續(xù)參閱圖1，所述電柜溫控系統(tǒng)I，包括:測溫單元11，所述測溫單元11與電柜(未圖示)之電流接觸器12電連接，并用于監(jiān)測所述電流接觸器12之實(shí)時(shí)溫度;溫度偵測控制器13，所述溫度偵測控制器13與所述測溫單元11電連接，并根據(jù)所述測溫單元11所監(jiān)測之實(shí)時(shí)溫度對警示系統(tǒng)14發(fā)出指令;警示系統(tǒng)14，所述警示系統(tǒng)14與所述溫度偵測控制器13電連接，并執(zhí)行所述溫度偵測控制器13之指令。
[0023]更具體地，所述測溫單元11為熱電偶。優(yōu)選地，所述測溫單元11設(shè)置在所述電流接觸器12之最高溫度處。所述測溫單元11通過耐溫硅膠(未圖示)粘附在所述電流接觸器12之最高溫度處。所述電柜之電流接觸器12非限制性地與工藝腔室(未圖示)、射頻電源(未圖示)、遠(yuǎn)程等離子體系統(tǒng)(未圖示)的至少其中之一電連接。
[0024]顯然地，在半導(dǎo)體的工藝制程過程中，當(dāng)所述測溫單元11所監(jiān)測之實(shí)時(shí)溫度超過預(yù)設(shè)溫度時(shí)，所述溫度偵測控制器13發(fā)出執(zhí)行，所述警示系統(tǒng)14執(zhí)行指令，并對外發(fā)出警示，避免因溫度過高造成安全事故隱患。
[0025]綜上所述，本實(shí)用新型電柜溫控系統(tǒng)通過在電柜之電流接觸器的最高溫度處設(shè)置測溫單元，當(dāng)所述測溫單元所監(jiān)測之實(shí)時(shí)溫度超過預(yù)設(shè)溫度時(shí)，所述溫度偵測控制器發(fā)出執(zhí)行，所述警示系統(tǒng)執(zhí)行指令，并對外發(fā)出警示，避免因溫度過高造成安全事故隱患。
[0026]本領(lǐng)域技術(shù)人員均應(yīng)了解，在不脫離本實(shí)用新型的精神或范圍的情況下，可對本實(shí)用新型進(jìn)行各種修改和變型。因而，如果任何修改或變型落入所附權(quán)利要求書及等同物的保護(hù)范圍內(nèi)時(shí)，認(rèn)為本實(shí)用新型涵蓋這些修改和變型。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種電柜溫控系統(tǒng)，其特征在于，所述電柜溫控系統(tǒng)，包括: 測溫單元，所述測溫單元與電柜之電流接觸器電連接，并用于監(jiān)測所述電流接觸器之頭時(shí)溫度； 溫度偵測控制器，所述溫度偵測控制器與所述測溫單元電連接，并根據(jù)所述測溫單元所監(jiān)測之實(shí)時(shí)溫度對警示系統(tǒng)發(fā)出指令； 警示系統(tǒng)，所述警示系統(tǒng)與所述溫度偵測控制器電連接，并執(zhí)行所述溫度偵測控制器之指令。2.如權(quán)利要求1所述的電柜溫控系統(tǒng)，其特征在于，所述測溫單元所監(jiān)測之實(shí)時(shí)溫度超過預(yù)設(shè)溫度時(shí)，所述溫度偵測控制器發(fā)出指令，所述警示系統(tǒng)執(zhí)行指令，對外發(fā)出警示。3.如權(quán)利要求2所述的電柜溫控系統(tǒng)，其特征在于，所述預(yù)設(shè)溫度依據(jù)各工藝制程之工作電流對所述電流接觸器之溫度的影響進(jìn)行設(shè)定。4.如權(quán)利要求3所述的電柜溫控系統(tǒng)，其特征在于，所述工藝制程為薄膜沉積、刻蝕。5.如權(quán)利要求1所述的電柜溫控系統(tǒng)，其特征在于，所述測溫單元設(shè)置在所述電流接觸器之最高溫度處。6.如權(quán)利要求5所述的電柜溫控系統(tǒng)，其特征在于，所述測溫單元通過耐溫硅膠粘附在所述電流接觸器之最高溫度處。7.如權(quán)利要求1所述的電柜溫控系統(tǒng)，其特征在于，所述測溫單元為熱電偶。8.如權(quán)利要求1所述的電柜溫控系統(tǒng)，其特征在于，所述電柜之電流接觸器與工藝腔室、射頻電源、遠(yuǎn)程等離子體系統(tǒng)的至少其中之一電連接。
【文檔編號】G01K7/02GK205642661SQ201620447840
【公開日】2016年10月12日
【申請日】2016年5月17日
【發(fā)明人】劉濤, 楊培林
【申請人】上海華力微電子有限公司