硅末圈游絲平衡彈簧的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種產(chǎn)生具有用于調(diào)節(jié)機械鐘表的末圈游絲部分的一體式形成的硅平衡彈簧的方法，所述方法包括以下步驟：提供硅平衡彈簧的步驟，所述硅平衡彈簧具有主體部分，以及用于形成為末圈游絲部分的外部部分，其中所述外部部分從所述主體部分的最外匝徑向向外延伸，并且其中所述主體部分以及所述外部部分由硅基材料一體地形成并且以共面配置形成；在相對于且離開所述主體部分的平面的方向上以及在朝向經(jīng)過所述主體部分且朝向所述主體部分的所述平面的方向上移動所述外部部分；以及向所述平衡彈簧提供應力松弛過程以便減輕在所述平衡彈簧內(nèi)所誘發(fā)的內(nèi)部應力；其中在所述外部部分移動到所述主體部分的所述平面中之后，所述外部部分相對于所述主體部分以末圈游絲配置定位。
【專利說明】硅末圈游絲平衡彈簧

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及硅基末圈游絲平衡彈簧。確切地說，本發(fā)明涉及硅末圈游絲彈簧以及制造此類彈簧的方法。

【背景技術(shù)】
[0002]鐘表的調(diào)節(jié)組合件通常包括擺輪以及平衡彈簧，所述擺輪是慣性飛輪，所述平衡彈簧是諧振器。這兩個組件確定鐘表的工作質(zhì)量以及精度。平衡彈簧和擺輪系統(tǒng)的諧振頻率控制鐘表運動的工作以及調(diào)節(jié)。
[0003]將硅用作制造平衡彈簧的材料在鐘表簧領(lǐng)域中是已知的。由于IC產(chǎn)業(yè)發(fā)展所取得的進展，此類制造工藝的超高制造精度提供了平衡彈簧的尺寸的高精度。此外，硅是非磁性材料，這提供了在鐘表制造過程中的優(yōu)點。
[0004]已知平面平衡彈簧的線圈在平衡彈簧正工作中時偏心地變形，這導致平衡彈簧的重心不對應于擺輪以及平衡彈簧的旋轉(zhuǎn)中心。這改變了擺輪以及平衡彈簧的設置，并且導致不同步的運動。
[0005]盡管平衡彈簧的重心可以通過被轉(zhuǎn)移而被任意返回到中心，但這并不解決此缺點。因為在平衡彈簧的工作期間，重心將移動，因此這將不再與初始重心重合。
[0006]在現(xiàn)有技術(shù)中已經(jīng)提出不同的解決方案以減少上述缺點并且以便使得平衡彈簧線圈的變形更加同心。
[0007]此類現(xiàn)有技術(shù)的實例包括:
[0008](i)具有所謂的菲利普斯(Philips)曲線的寶璣(Breguet)末圈游絲平衡彈簧，其中將外曲線提升到在平衡彈簧上方的第二平面中，以及
[0009](ii)施特勞曼(Straumann)雙平衡彈簧，其中布置了制造為匹配對的兩個平衡彈簧，使得它們以彼此相反的方向偏置而振蕩，以便消除或減少此類效果。
[0010]第一實例(i)針對修改初始平面平衡彈簧，使得它變成占據(jù)多個平面的平衡彈簧。寶鞏(Breguet)已經(jīng)利用娃基材料制造了寶?幾(Breguet)末圈游絲平衡彈簧，由此所述平衡彈簧由兩個或兩個以上零件形成為經(jīng)組裝的末圈游絲彈簧。
[0011]第二實例(ii)由兩個平衡彈簧構(gòu)成，所述平衡彈簧被制造為匹配對。它們經(jīng)布置以彼此相反的方向偏置而振蕩，使得當它們振蕩時，所述兩個彈簧的重心在相反的對稱路徑上向外以及向內(nèi)移動，以便使所述兩個彈簧的累積重心保持朝向心軸的中心。然而因為在此振蕩系統(tǒng)中存在兩個平衡彈簧，所以這導致更多的能量消耗。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0012]本發(fā)明旨在提供平衡彈簧，所述平衡彈簧克服了如現(xiàn)有技術(shù)的那些平衡彈簧所顯現(xiàn)的不足中的至少一些或使其最小化。
[0013]在第一方面中，本發(fā)明提供了一種產(chǎn)生具有用于調(diào)節(jié)機械鐘表的末圈游絲部分的一體式形成的硅平衡彈簧的方法，所述方法包括以下步驟:
[0014](i)提供硅平衡彈簧，所述硅平衡彈簧具有主體部分，以及用于形成為末圈游絲部分的外部部分,其中外部部分從主體部分的最外匝徑向向外延伸，并且其中所述主體部分以及所述外部部分由硅基材料一體地形成并且以共面配置形成；
[0015](ii)在相對于且離開所述主體部分的平面的方向上以及在朝向經(jīng)過所述主體部分且朝向主體部分的平面的方向上移動所述外部部分；以及
[0016](iii)向平衡彈簧提供應力松弛過程以便減輕從步驟(ii)在平衡彈簧內(nèi)所誘發(fā)的內(nèi)部應力；
[0017]其中在所述外部部分移動到所述主體部分的平面中之后，外部部分相對于所述主體部分以末圈游絲配置定位。
[0018]所述步驟(ii)的移動可以在朝向經(jīng)過所述主體部分且朝向所述主體部分的平面的方向上遞增地發(fā)生。在步驟(ii)的遞增步驟之間或期間，可以使步驟(iii)發(fā)生。
[0019]優(yōu)選地，在發(fā)生步驟(ii)之前，至少外部部分的氧化步驟會發(fā)生，以去除應力集中的缺陷或使其最小化。優(yōu)選地，氧化步驟包括暴露于氟化氫溶液中。
[0020]所述方法可以包括通過至少一個180°匝扭曲外部部分的步驟，其中所述至少一個180°匝圍繞所述外部部分的縱向軸線，并且其中所述外部部分在與所述主體部分的外部匝鄰近的區(qū)域中扭曲。
[0021]優(yōu)選地應力松弛過程在超過500°C的溫度下、更加優(yōu)選地在超過700°C的溫度下、并且更加優(yōu)選地在超過1100°C的溫度下進行。
[0022]優(yōu)選地應力松弛過程進行至少10小時、更加優(yōu)選地至少20小時、并且更加優(yōu)選地至少30小時。
[0023]優(yōu)選地平衡彈簧通過微制造技術(shù)、更加優(yōu)選地通過深反應離子蝕刻(DRIE)技術(shù)來形成。
[0024]在第二方面中，本發(fā)明提供了一種當根據(jù)第一方面形成具有末圈游絲部分的一體式形成的硅平衡彈簧。
[0025]優(yōu)選地，平衡彈簧經(jīng)大小設定以適用于鐘表上。
[0026]在第三方面中，本發(fā)明提供了一種硅基平衡彈簧，其包含:
[0027]主體部分，所述主體部分具有用于提供恢復扭矩以用于調(diào)節(jié)機械鐘表的彈簧布置，以及
[0028]末圈游絲部分，其中所述末圈游絲部分在相對于且離開所述主體部分的平面的方向上以及在朝向經(jīng)過所述主體部分且朝向主體部分的平面的方向上延伸；
[0029]其中所述主體部分以及所述末圈游絲部分一體式形成。
[0030]優(yōu)選地平衡彈簧通過微制造技術(shù)、并且更加優(yōu)選地通過深反應離子蝕刻(DRIE)技術(shù)來形成。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0031]下文將通過實例并且參考附圖來進一步詳細說明本發(fā)明的優(yōu)選實施例，在所述附圖中:
[0032]圖1a以及圖1b描繪了在末圈游絲布置形成之前的根據(jù)本發(fā)明的平衡彈簧的一個實施例的透視圖和俯視圖；
[0033]圖2a以及圖2b描繪了具有部分配置的末圈游絲布置的圖1a和圖1b的平衡彈簧的實施例的透視圖和俯視圖；
[0034]圖3a以及圖3b描繪了具有進一步部分配置的末圈游絲布置的圖2a和圖2b的平衡彈簧的實施例的透視圖和俯視圖；
[0035]圖4a以及圖4b描繪了具有完整配置的末圈游絲布置的圖1a至圖3b的平衡彈簧的實施例的透視圖和俯視圖；
[0036]圖5，圖6，圖7，圖8以及圖9描繪了圖1a到4b的平衡彈簧的形成；以及
[0037]圖10描繪了根據(jù)本發(fā)明的平衡彈簧的線圈匝的橫截面視圖的SEM圖。
[0038]圖1la描繪了在末圈游絲布置形成之前的根據(jù)本發(fā)明的平衡彈簧的進一步的實施例的俯視圖；
[0039]圖1lb描繪了具有部分配置的末圈游絲布置的圖1la的平衡彈簧的實施例的透視圖；
[0040]圖1lc以及圖1ld描繪了具有完整配置的末圈游絲布置的圖1la至圖1lb的平衡彈黃的實施例的俯視圖和側(cè)視圖；
[0041]圖12a描繪了在末圈游絲布置形成之前的根據(jù)本發(fā)明的平衡彈簧的另一實施例的俯視圖；
[0042]圖12b描繪了具有部分配置的末圈游絲布置的圖12a的平衡彈簧的實施例的透視圖；
[0043]圖12c以及圖12d描繪了具有完整配置的末圈游絲布置的圖12a至圖12b的平衡彈簧的實施例的俯視圖和側(cè)視圖。

【具體實施方式】
[0044]本發(fā)明提供了平面的硅平衡彈簧，所述平衡彈簧具有主體以及一體地形成的末圈游絲部分，以便改進當在鐘表中使用時此彈簧的同心度以及等時性。
[0045]平衡彈簧包括其實現(xiàn)所述在同心度以及等時性上的改進的末圈游絲部分，所述末圈游絲部分與平衡彈簧的主體一體地形成，并且以離開平面的末圈游絲布置以及通過用于其形成的制造工藝從平衡彈簧的主體的外圍延伸。
[0046]本發(fā)明提供了一種制造末圈游絲平衡彈簧的方法，由此所述平衡彈簧由硅基材料形成，其提供了一體式形成的硅末圈游絲平衡彈簧，而不需要如先前提到的由寶璣(Breguet)制造的硅末圈游絲平衡彈簧所需的任何連接單元，US7950847。
[0047]根據(jù)本發(fā)明，提供由硅基材料形成的平衡彈簧，由此所述平衡彈簧包括主體部分以及末圈游絲部分。
[0048]平衡彈簧初始形成并且配備有采用共面形式的各部分，并且通過包括光刻以及深反應離子蝕刻(DRIE)的微制造技術(shù)形成，由此主體部分、筒夾部分以及末圈游絲部分是共面的。
[0049]利用如下文所描述以及如參考附圖所描述的根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)以及工藝，所述末圈游絲部分經(jīng)提供離開所述平面并且根據(jù)如用于增加平衡彈簧同心度的平衡彈簧的末圈游絲部分來提供，但不包含平衡彈簧的機械完整性并且不必將單獨的末圈游絲部分鄰接到主體部分上。
[0050]根據(jù)本發(fā)明，平衡彈簧的各部分的形狀以及配置可以通過利用熱技術(shù)來修改，而不會損害如在鐘表中使用期間所需的平衡彈簧的必需的機械特性。
[0051]在本發(fā)明中，提供了一種用于生產(chǎn)具有末圈游絲部分以及自其產(chǎn)生的彈簧的一體式形成的硅平衡彈簧的方法，由此平衡彈簧初始形成，所述平衡彈簧具有主體部分以及外部部分，所述主體部分用于提供恢復扭矩以調(diào)節(jié)機械鐘表的彈簧布置，所述外部部分用于形成末圈游絲部分，其中所述外部部分從主體部分的最外匝徑向向外延伸。所述主體部分以及所述外部部分由硅基材料一體地形成并且以共面配置形成。
[0052]在相對于所述主體部分且離開所述主體部分的平面的方向上以及在朝向經(jīng)過所述主體部分且朝向主體部分的平面的方向上移動外部部分。
[0053]向平衡彈簧提供應力松弛過程以便減輕在平衡彈簧內(nèi)所誘發(fā)的內(nèi)部應力，并且在所述外部部分移動到所述主體部分的平面中之后，所述外部部分相對于所述主體部分以末圈游絲配置定位。
[0054]本發(fā)明的實施例以及實例如下所述。
[0055]參考如圖1a到圖4b中描繪的實施例，如圖1a及圖1b中所示在末圈游絲部分以扭曲運動形成之前具有主體部分23及外部部分22的原有平衡彈簧2，并且其具有“C”形扭曲區(qū)域21。由此平衡彈簧2以初始平面配置提供，以及外部部分23和主體部分23 —體地由單一材料形成，并且是共面的。扭曲區(qū)域的半徑Rl略小于第二最外部線圈的半徑R2。此設計有助于最終的末圈游絲平衡彈簧的扭曲區(qū)域21遵循阿基米德螺線(從俯視圖看)。
[0056]如圖2a、圖2b、圖3a、圖3b、圖4a以及圖4b中所示，描繪了平衡彈簧2的形狀變化以形成末圈游絲部分，由此通過在相對于且離開所述主體部分的平面的方向上以及在朝向經(jīng)過所述主體部分且朝向所述主體部分的所述平面的方向上移動所述外部部分而發(fā)生形狀變化以形成末圈游絲部分，從而引起逐步扭曲外部部分22使之遠離所述主體部分。
[0057]在外部部分22被朝向彈簧主體的平面移動之后，所描繪的原始平衡彈簧2形狀轉(zhuǎn)換成末圈游絲平衡彈簧，如圖4a以及圖4b中所示，外部部分22在相對于鄰近彈簧的主體的最外匝以180°被扭曲由此形成末圈游絲部分。
[0058]根據(jù)本發(fā)明的平衡彈簧的其他幾何形狀的其他相關(guān)實施例討論如下。
[0059]參考圖5到圖9，描繪了根據(jù)本發(fā)明可以操控圖1a到4b的平衡彈簧的方式以提供了一個單一形成的末圈游絲平衡彈簧。
[0060]為了實現(xiàn)平衡彈簧2的移動以及扭曲過程，有必要利用固持器61、62來抓緊主體部分23以及外部部分22。在本實施例中，平衡彈簧2的外部部分22需要被翻轉(zhuǎn)180°，并且此過程需要高定位精度。
[0061]為此實施例的設計，提供了用于維持位置精度所需的兩個固持器，如圖5到9中所示。第一固持器61用于固持除外部部分22包括作為“C”形扭曲區(qū)域21的外部部分之外的平衡彈簧2主體部分23的所有中心線圈，并且第二固持器62用于固持平衡彈簧2的外部部分22。
[0062]在本實施例中，固持器61、62都通過DRIE由硅形成，并且通過熱氧化被氧化。用于固持平衡彈簧2主體部分23的中心線圈的第一固持器61是用幾乎與平衡彈簧2的主體部分23的線圈相同的一系列溝槽制成。溝槽配備有略大于平衡彈簧線圈的線寬的寬度。當在扭曲區(qū)域21上施加扭矩時，這能幫助平衡彈簧主體部分23的中心線圈維持其原始形狀。
[0063]用于固持外部部分22的第二固持器62同樣配備有經(jīng)大小設定以便容納線圈外部部分的溝槽。在第二固持器62上應用與第一固持器61相同的處理。
[0064]在移動過程期間，除扭曲區(qū)域21之外的所有匝需要通過固持器來固定。如圖6中所示，平衡彈簧2的主體部分23的中心線圈以及外部部分22分別地安裝到第一固持器61以及第二固持器62中，根據(jù)本發(fā)明描述平衡彈簧隨后被移動。
[0065]圖6、7、8和9漸進地描繪了末圈游絲部分的形成的移動過程。在如圖9中所示將平衡彈簧移動成末圈游絲形狀之后，將所述平衡彈簧與固持器一起轉(zhuǎn)移到退火爐中。
[0066]為了實現(xiàn)具有低內(nèi)部應力的末圈游絲平衡彈簧，高溫以及長持續(xù)時間退火是優(yōu)選的，如果將樣本放置在沒有N2或Ar保護的爐子中，那么溫度應該低于硅的氧化溫度以避免使平衡彈簧粘附到固持器上，并且800°C的溫度適用于此應用。在冷卻之后，原始平衡彈簧2被提供為末圈游絲平衡彈簧。
[0067]對于不同的平衡彈簧尺寸以及大小，可能存在一些情況，其中平衡彈簧2的扭曲區(qū)域21不能承受較大的扭曲角度。在這些情況下，退火過程可在遞增步驟來提供，其中在若干步驟中完成平衡彈簧的外部部分的移動。
[0068]如圖6中所示在將平衡彈簧2定位到兩個固持器61、62中之后，如圖7中所示將平衡彈簧外部部分22扭曲60°，并且隨后利用下文所論述的退火條件來退火。
[0069]在第一次退火之后，平衡彈簧2改變成經(jīng)扭曲構(gòu)造，如圖2中所示。隨后在經(jīng)扭曲平衡彈簧2上施加第二次另一 60°的扭曲，如圖7中所示，并且隨后退火。
[0070]此退火過程產(chǎn)生進一步經(jīng)扭曲的平衡彈簧2，如圖2中所示。在先前的兩次退火過程之后對經(jīng)扭曲平衡彈簧2進行最終的剩余60°的扭曲，如圖8中所示。
[0071]隨后將平衡彈簧2以及固持器61、62轉(zhuǎn)移到爐子中進行最終退火。在去除固持器61,62之后，硅平衡彈簧2永久地變換成末圈游絲平衡彈簧。
[0072]硅在室溫下是脆性材料，然而在520°C到600°C之間的溫度下，硅遵循從脆性到延性特性的轉(zhuǎn)變。在高于700°C的溫度下，已發(fā)現(xiàn)必要量的塑性變形是可能的。
[0073]盡管本實施例描述了經(jīng)過主體部分的外部部分的遞增式運動，這在其他實施例中可以是連續(xù)的運動，其可以包括遞增式或連續(xù)式熱處理。
[0074]根據(jù)本發(fā)明并且參考上述實施例并且同樣適用于如參考圖1la至12d在下文所述的其它或替代實施例，在經(jīng)DRIE (深反應離子蝕刻)蝕刻的硅平衡彈簧2的氧化過程之前將硅平衡彈簧準備好，將平衡彈簧的外部部分扭曲到另一平面上，并通過使用石英夾具來固定它。
[0075]氧化溫度優(yōu)選地為約1100°C，并且保持該溫度固定不變約30小時。在氧化過程之后，已經(jīng)證實，所述平衡彈簧的外部部分的形狀通過石英夾具改變成預設形狀。
[0076]為了確認形狀改變并非由于氧化物層導致，將平衡彈簧浸沒在氟化氫(HF)溶液中。當從平衡彈簧表面去除氧化物層時，平衡彈簧的形狀保持與被氧化時相同。
[0077]因此，可以證實在氧化過程期間晶體結(jié)構(gòu)改變，這導致永久性形狀改變。
[0078]參考在平衡彈簧的外部部分的移動以及扭曲期間所誘發(fā)的應力，以下計算證實了該機制以及應力。
[0079]為了簡化對扭曲角度以及剪應力的計算，待扭曲的平衡彈簧的外部部分將被看作是直梁，其中梁寬度為t以及h，且梁長度為I。
[0080]扭曲角度Φ是剪模量G、極慣性矩Ip、在梁上施加的扭矩Mt，以及梁長度I的函數(shù)。我們得出Φ = Mt.1/G.Ip。
[0081]在扭曲期間梁中的最大剪應力是τ = 3Mt/h.t20
[0082]隨后可以發(fā)現(xiàn)Φ與τ之間的關(guān)系，τ = 3Φ.G.Ιρ/1.h‘t 2。
[0083]于具有矩形橫截面的梁，極慣性矩是Ip = K.h.t3其中K是與h/t的比例相關(guān)的常數(shù)。
[0084]我們得出τ =3K.C>.G.t/l，Hh = 2.5t = 100 μ m, I = 5mm，G = 69GPa 為例，我們得出K = 0.249。
[0085]因此，對于梁的給定參數(shù)，最大應力是τ = 400C>(MPa)。
[0086]對于180°的扭曲角度，平衡彈簧線圈內(nèi)部的最大應力是約1.3GPa。根據(jù)皮爾遜(Pearson)等人(1957年4月，第4期,第5卷,第181到191頁)，在室溫下較細娃棒的斷裂應力是約3GPa。
[0087]此外，由IBM (IBM研究發(fā)展雜志(IBM J.RES.DEVELOP)，1980年9月第5號，第24卷，第631到637頁)制造的硅扭曲掃描鏡也證明，正如研究人員所制造并且測試，較細硅棒可以承受較大的斷裂應力，并且發(fā)現(xiàn)，這個值是這樣使得平衡彈簧足夠強能夠承受180°的扭曲。
[0088]優(yōu)選地，在完成平衡彈簧的外部部分的移動/扭曲之前，利用氧化處理。
[0089]在氧化期間，氧原子穿透先前形成的氧化物層以與硅原子發(fā)生反應以形成氧化硅。在平衡彈簧的尖銳拐角處，由于相對較大的表面積，該穿透更加容易發(fā)生，并且因此產(chǎn)生更厚的氧化物層，這使硅與氧化硅的界面平滑。
[0090]參照圖1la至Ild中示出和描述了本發(fā)明的進一步實施例，并參照圖12a至12d中示出和描述了本發(fā)明的另一個實施例。
[0091]圖1la至Ild中示出了具有一個主體部分112和外部部分113的平衡彈簧111的進一步實施例。本實施例中類似于圖1a至4b在上文所述，但是外部部分113呈相反扭曲方向。至于具有“C”形180°扭曲區(qū)域的圖1a至4b所示的實施例，外部部分113遠離主體部分112的平面和離開紙張的方向被扭曲。然而，相比之下，對于本實施例中，“S”形180°扭曲區(qū)域，外部部分113朝向紙張和進入紙張的方向被扭曲。
[0092]如圖12a至12d所描繪的具有主體部分122和外部部分123的平衡彈簧121的另一實施例。扭曲前的原有平衡彈簧121于圖12a中示出，其具有一個扭曲區(qū)域和一個彎曲區(qū)域。遠離及朝著紙的平面扭曲和提高外部部分123之后，外部部分123經(jīng)過主體部分122被彎折以形成末圈游絲平衡彈簧的形狀。
[0093]本領(lǐng)域技術(shù)人員應當理解，本發(fā)明存在著平衡彈簧的其他及替代實施例，由此相對于所述主體部分的外部部分的結(jié)構(gòu)可以改變，以及外部部分遠離主體部分及經(jīng)過主體部分的運動模式可以改變，以便形成末圈游絲部分，因而形成末圈游絲平衡彈簧，除了所描繪及描述的示例性實施例，而不脫離本發(fā)明的范圍。
[0094]當浸到HF溶液中時，硅平衡彈簧的初始尖銳拐角利用氧化物層來去除，如圖10中的經(jīng)氧化硅平衡彈簧的橫截面的SEM圖像中可見。
[0095]如可見，其中11是硅核心，12是氧化物層，側(cè)壁粗糙度已經(jīng)大大減少，并且橫截面的拐角已經(jīng)磨圓。
[0096]在較大角度扭曲之前所進行的氧化過程可以去除由DRIE過程產(chǎn)生的缺陷以及橫截面的尖銳拐角，這由于應力集中的減小使得平衡彈簧更加耐用。
[0097]本發(fā)明提供了具有以下優(yōu)點的平衡彈簧:
[0098]⑴精密制造；
[0099](ii)大量同心度補償；
[0100](iii) 一體式構(gòu)造并且沒有所需附著到彈簧上的額外部分；
[0101](iv)由于不存在接合部件而可能有恒定的橫截面積，因此:
[0102]a、恒定的第二面積力矩，因此更加均勻的硬度；
[0103]b、恒定的橫截面積，因此在利用氧化物層以便于熱補償。
【權(quán)利要求】
1.一種產(chǎn)生具有用于調(diào)節(jié)機械鐘表的末圈游絲部分的一體式形成的硅平衡彈簧的方法，所述方法包括以下步驟: (i)提供硅平衡彈簧，所述硅平衡彈簧具有主體部分，以及用于形成為末圈游絲部分的外部部分，其中所述外部部分從所述主體部分的最外匝徑向向外延伸，并且其中所述主體部分以及所述外部部分由硅基材料一體地形成并且以共面配置形成； (ii)在相對于且離開所述主體部分的平面的方向上以及在朝向經(jīng)過所述主體部分且朝向所述主體部分的所述平面的方向上移動所述外部部分；以及 (iii)向所述平衡彈簧提供應力松弛過程以便減輕從步驟(ii)在所述平衡彈簧內(nèi)所誘發(fā)的內(nèi)部應力； 其中在所述外部部分移動到所述主體部分的所述平面中之后，所述外部部分相對于所述主體部分以末圈游絲配置定位。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述步驟(ii)的所述移動在朝向經(jīng)過所述主體部分且朝向所述主體部分的所述平面的方向上遞增地發(fā)生。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其中在步驟(ii)的遞增步驟之間或期間，發(fā)生所述步驟(iii)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任一項所述的方法，其中在發(fā)生步驟(ii)之前，至少所述外部部分的氧化步驟會發(fā)生，以去除應力集中的缺陷或使其最小化。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其中所述氧化步驟包括暴露于氟化氫溶液中。
6.根據(jù)權(quán)利要求1-5中任一項所述的方法，其進一步包括通過至少一個180°匝扭曲所述外部部分的步驟，其中所述至少一個180°匝圍繞所述外部部分的縱向軸線，并且其中所述外部部分在與所述主體部分的外部匝鄰近的區(qū)域中扭曲。
7.根據(jù)權(quán)利要求1-6中任一項所述的方法，其中所述應力松弛過程在超過500°C的溫度下進行。
8.根據(jù)權(quán)利要求1-7中任一項所述的方法，其中所述應力松弛過程在超過700°C的溫度下進行。
9.根據(jù)權(quán)利要求1-8中任一項所述的方法，其中所述應力松弛過程在超過1100°C的溫度下進行。
10.根據(jù)權(quán)利要求1-9中任一項所述的方法，其中所述應力松弛過程進行至少10小時。
11.根據(jù)權(quán)利要求1-10中任一項所述的方法，其中所述應力松弛過程進行至少20小時。
12.根據(jù)權(quán)利要求1-11中任一項所述的方法，其中所述應力松弛過程進行至少30小時。
13.根據(jù)權(quán)利要求1-12中任一項所述的方法，其中所述平衡彈簧通過微制造技術(shù)來形成。
14.根據(jù)權(quán)利要求1-13中任一項所述的方法，其中所述平衡彈簧通過深反應離子蝕刻技術(shù)來形成。
15.一種根據(jù)權(quán)利要求1-14中任一項所述的方法形成的具有末圈游絲部分的一體式形成的硅平衡彈簧。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的一體式形成的硅平衡彈簧，其中所述平衡彈簧經(jīng)大小設定以適用于鐘表上。
17.—種娃基平衡彈簧,其包含: 主體部分，所述主體部分具有用于提供恢復扭矩以用于調(diào)節(jié)機械鐘表的彈簧布置，以及 末圈游絲部分，其中所述末圈游絲部分在相對于且離開所述主體部分的平面的方向上以及在朝向經(jīng)過所述主體部分且朝向所述主體部分的所述平面的方向上延伸，其中所述主體部分以及所述末圈游絲部分一體式形成。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的硅基平衡彈簧，其中所述平衡彈簧通過微制造技術(shù)來形成。
19.根據(jù)權(quán)利要求17或權(quán)利要求18所述的硅基平衡彈簧，其中所述平衡彈簧通過深反應離子蝕刻技術(shù)來形成。
【文檔編號】G04B17/06GK104345628SQ201410366303
【公開日】2015年2月11日 申請日期:2014年7月29日 優(yōu)先權(quán)日:2013年7月29日
【發(fā)明者】王英男, 程浩 申請人:動力專家有限公司