對(duì)氣候變化的敏感度減小的諧振器的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及熱補(bǔ)償?shù)挠谓z擺輪諧振器，其中，補(bǔ)償游絲對(duì)氣候變化具有減小的敏感度。
【背景技術(shù)】
[0002]在對(duì)鐘表機(jī)芯進(jìn)行的劇烈冷凝試驗(yàn)期間，很顯然機(jī)芯的工作受到影響。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的一個(gè)目的是，通過提供一種具有非金屬的芯的游絲來克服上述全部或部分缺點(diǎn)，該非金屬的芯對(duì)氣候變化具有減小的敏感度。
[0004]因此，本發(fā)明涉及一種用于熱補(bǔ)償?shù)挠谓z擺輪諧振器的補(bǔ)償游絲，所述補(bǔ)償游絲包括由至少一種非金屬材料形成的芯，所述非金屬材料包括石英或摻雜硅(或未摻雜硅)，在所述芯上至少部分形成二氧化硅涂層，其特征在于，所述芯部分地涂覆有阻擋并且不滲透濕氣的層，以使所述補(bǔ)償游絲對(duì)氣候變化具有更小的敏感度。
[0005]因此應(yīng)清楚的是，即使在劇烈冷凝的情況下，補(bǔ)償游絲的工作也將更少地受到破壞，使得與擺輪協(xié)作形成的諧振器的整體工作不受影響或幾乎不受影響。
[0006]根據(jù)本發(fā)明的其它有利特征:
[0007]-阻擋并且不滲透濕氣的所述層具有小于50納米的厚度；
[0008]-阻擋并且不滲透濕氣的所述層包括鉻、鈦或鉭。
[0009]此外，本發(fā)明還涉及一種用于鐘表的熱補(bǔ)償?shù)闹C振器，所述諧振器包括擺輪，其特征在于，所述擺輪與根據(jù)上述任一變型的補(bǔ)償游絲協(xié)作。
【附圖說明】
[0010]由以下參照附圖以非限制性方式給出的說明，本發(fā)明的其它特征和優(yōu)點(diǎn)將更清楚顯現(xiàn)，其中:
[0011]-圖1示出根據(jù)本發(fā)明的補(bǔ)償游絲；
[0012]-圖2至7示出根據(jù)本發(fā)明的補(bǔ)償游絲的截面的變型。
【具體實(shí)施方式】
[0013]執(zhí)行了一項(xiàng)研究來確定鐘表機(jī)芯在劇烈冷凝情況下的運(yùn)行狀況。研究通過驟然越過露點(diǎn)來執(zhí)行，例如通過維持大于80%的濕度率(hygrometry rate)并通過將溫度降低至少 15。。。
[0014]結(jié)果顯示鐘表的工作受到影響，尤其是在游絲擺輪諧振器的補(bǔ)償游絲至少部分由晶體或非晶氧化硅形成的情況下。此類型的補(bǔ)償游絲例如可以由摻雜或非摻雜晶體硅(其上至少部分形成有二氧化硅涂層)或由石英形成。
[0015]研究還表明，可以通過在包括晶體或非晶氧化硅的補(bǔ)償游絲上形成抵御濕氣的局部屏障而將劇烈冷凝的作用最小化。
[0016]由此，本發(fā)明涉及一種用于熱補(bǔ)償?shù)挠谓z擺輪諧振器的補(bǔ)償游絲，該補(bǔ)償游絲包括由至少一種非金屬材料形成的芯。根據(jù)本發(fā)明有利地，該芯部分地涂覆有防潮層，即阻擋并且不滲透濕氣的層，以使補(bǔ)償游絲對(duì)氣候變化具有更小的敏感度。
[0017]根據(jù)本發(fā)明，“部分涂覆的”芯指的是不是全部涂覆，S卩，僅芯的一部分被涂覆，例如一個(gè)或多個(gè)面或甚至僅一個(gè)面的部分。然而，優(yōu)選的是氧化部件最大限度地被涂覆，而不涂覆整個(gè)游絲。
[0018]根據(jù)本發(fā)明，防潮層具有小于50nm的厚度，優(yōu)選約10nm，以避免在機(jī)械方面影響游絲的工作。然而，防潮層的厚度可以高達(dá)幾微米，但是這種情況下關(guān)于游絲擺輪諧振器的熱補(bǔ)償一定要考慮在內(nèi)。
[0019]此外，防潮層優(yōu)選為導(dǎo)電的并且對(duì)磁場具有低的靈敏度，例如抗磁性的、反鐵磁性的或順磁性的。
[0020]以示例的方式，防潮層因此可以包括鉻、鈦、鉭、鋁、鋯、氧化鋁、氧化鉻、鉻鎢合金、聚四氟乙烯(PTFE)或氮化硅(Si3N4)。然而，優(yōu)選鉻、鈦、鉭或其合金中的一種，因?yàn)樗鼈儽憩F(xiàn)出最佳結(jié)果。
[0021]圖1至7示出根據(jù)本發(fā)明獲得的并用于對(duì)與擺輪協(xié)作形成的諧振器熱補(bǔ)償?shù)挠谓zI的變型。補(bǔ)償游絲I優(yōu)選地包括與卷繞成若干圈的帶5成一體的內(nèi)粧3。根據(jù)本發(fā)明，補(bǔ)償游絲I的至少一個(gè)帶5僅部分地涂覆有層7，該層7形成濕氣的屏障。
[0022]帶5具有長度1、厚度e和高度h。它包括由至少一種材料11、11b、13b、15b、11c、17c、19c、lld、13d、15d、17d、19d、lle、13e、15e、17e、19e、llf、21f 形成的芯 9a、9b、9c、9c、9e、9fο
[0023]根據(jù)圖2至7的變型，芯9a、9b、9c、9d、9e、9f可以由單獨(dú)一種材料Ila形成，例如石英，或由幾種材料 llb、13b、15b、llc、17c、19c、lld、13d、15d、17d、19d、lle、13e、15e、17e、19e、llf、21f 形成。
[0024]當(dāng)芯9b、9c、9d、9e、9f由若干種材料形成時(shí)，它可以在游絲I的帶5被部分地涂覆防潮(即阻擋并且不滲透濕氣)的層7之前以若干種材料全部涂覆11(1、13(1、15(1、17(1、19(1、lle、13e、15e、17e、19e、llf、21f 或部分涂覆 lib、13b、15b、11c、17c、19c。
[0025]每個(gè)涂層13b、15b、17c、19c、13d、15d、17d、19d、13e、15e、17e、19e 可以是相同類型和相同厚度或不同類型和不同厚度。以示例的方式，芯9b、9c、9d、9e、9f可以包括摻雜或未摻雜娃lib、11c、lid、lie、Ilf，其上至少部分形成二氧化娃涂層13b、15b、17c、19c、13d、15d、17d、19d、13e、15e、17e、19e、21f。
[0026]如圖2-7中所示，局部涂層7可以出現(xiàn)在厚度e的全部或部分上以及/或高度h的全部或部分上以及/或長度I的全部或部分上，而游絲沒有被整體涂覆。然而，優(yōu)選的是氧化部件最大限度被涂覆，如圖3和4中的情況，其中優(yōu)選氧化涂層13b、15b、17c、19c被防潮的層7保護(hù)。
[0027]本發(fā)明還涉及一種制造用于熱補(bǔ)償?shù)挠谓z擺輪諧振器的補(bǔ)償游絲I的方法，包括以下步驟:
[0028]a)形成包括熱補(bǔ)償?shù)男?a、9b、9c、9d、9e、9f的游絲，該熱補(bǔ)償?shù)男居芍辽僖环N材料 lla、llb、13b、15b、llc、17c、19c、lld、13d、15d、17d、19d、lle、13e、15e、17e、19e、llf、21f形成；
[0029]b)用至少一個(gè)防潮的層7部分地涂覆芯9a、9b、9c、9d、9e、9f，以使游絲I對(duì)氣候變化的敏感度更低。
[0030]根據(jù)本發(fā)明，步驟a)可以這樣實(shí)現(xiàn):在希望的板中刻蝕出游絲的預(yù)期圖案以形成芯9a、9b、9c、9d、9e、9f的全部或部分11a、11b、11c、lld、lie、Ilf。在晶體硅和石英的示例中，可以設(shè)想深反應(yīng)離子刻蝕(DRIE)來實(shí)現(xiàn)步驟a)。
[0031]當(dāng)然，步驟a)還包括部分或全部涂覆從第一階段的刻蝕獲得的游絲的至少一個(gè)第二階段 13b、15b、17c、19c、13d、15d、17d、19d、13e、15e、17e、19e、21f 以完成芯 9b、9c、9d、9e、9f。當(dāng)在步驟a)的第一階段中已經(jīng)刻蝕了摻雜或未摻雜的晶體硅片時(shí)，該第二階段例如可以包括用于形成二氧化硅的熱氧化作用。
[0032]步驟b)允許沉積具有小于50nm并且優(yōu)選地約1nm的厚度的至少一個(gè)防潮層7。步驟b)例如可以通過任何薄層沉積方法來完成，例如氣相沉積，以優(yōu)選地沉積鉻、鈦或鉭，或其合金中的一種，它們也有利地是對(duì)磁場不敏感的導(dǎo)電材料。
[0033]當(dāng)然，本發(fā)明不限于所示的示例，而可以具有本領(lǐng)域技術(shù)人員可以想到的各種變型和替代。特別地，可以設(shè)想能形成防潮屏障的任意材料，不限于鉻、鈦或鉭，或其合金中的一種，甚至不限于說明書中提到的其它材料。
[0034]在鐘表包括使得游絲可視的部件的情況下，例如“鏤空”鐘表或具有透明后蓋的鐘表，還可以根據(jù)防潮材料的特定顏色來選擇防潮材料，以改善其美學(xué)外觀。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于熱補(bǔ)償?shù)挠谓z擺輪諧振器的補(bǔ)償游絲(I)，所述補(bǔ)償游絲(I)包括由至少一種非金屬材料(lla、llb、13b、15b、llc、17c、19c、lld、13d、15d、17d、19d、lle、13e、15e、17e、19e、llf、21f)形成的芯(9a、9b、9c、9d、9e、9f)，所述非金屬材料包括石英，其特征在于，所述芯(9a、9b、9c、9d、9e、9f)部分地涂覆有阻擋并且不滲透濕氣的至少一個(gè)層(7)，以使所述補(bǔ)償游絲(I)對(duì)氣候變化的敏感度降低。2.一種用于熱補(bǔ)償?shù)挠谓z擺輪諧振器的補(bǔ)償游絲(I)，所述補(bǔ)償游絲(I)包括由至少一種非金屬材料(lla、llb、13b、15b、llc、17c、19c、lld、13d、15d、17d、19d、lle、13e、15e、17e、19e、llf、21f)形成的芯(9a、9b、9c、9d、9e、9f)，所述非金屬材料包括硅，在所述芯上至少部分形成二氧化娃涂層，其特征在于，所述芯(9a、9b、9c、9d、9e、9f)部分地涂覆有阻擋并且不滲透濕氣的層(7)，以使所述補(bǔ)償游絲(I)對(duì)氣候變化的敏感度降低。3.一種用于熱補(bǔ)償?shù)挠谓z擺輪諧振器的補(bǔ)償游絲(I)，所述補(bǔ)償游絲(I)包括由至少一種非金屬材料(lla、llb、13b、15b、llc、17c、19c、lld、13d、15d、17d、19d、lle、13e、15e、17e、19e、llf、21f)形成的芯(9a、9b、9c、9d、9e、9f)，所述非金屬材料包括摻雜硅，在所述芯上至少部分形成二氧化娃涂層，其特征在于，所述芯(9a、9b、9c、9d、9e、9f)部分地涂覆有阻擋并且不滲透濕氣的層(7)，以使所述補(bǔ)償游絲(I)對(duì)氣候變化的敏感度降低。4.根據(jù)上述任一項(xiàng)權(quán)利要求所述的補(bǔ)償游絲(I)，其特征在于，阻擋并且不滲透濕氣的所述層(7)具有小于50納米的厚度。5.根據(jù)上述任一項(xiàng)權(quán)利要求所述的補(bǔ)償游絲(I)，其特征在于，阻擋并且不滲透濕氣的所述層(7)包括鉻。6.根據(jù)權(quán)利要求1-4中任一項(xiàng)所述的補(bǔ)償游絲(I)，其特征在于，阻擋并且不滲透濕氣的所述層(7)包括鈦。7.根據(jù)權(quán)利要求1-4中任一項(xiàng)所述的補(bǔ)償游絲(I)，其特征在于，阻擋并且不滲透濕氣的所述層(7)包括鉭。8.一種用于鐘表的熱補(bǔ)償?shù)闹C振器，所述諧振器包括擺輪，其特征在于，所述擺輪與根據(jù)上述任一項(xiàng)權(quán)利要求所述的補(bǔ)償游絲(I)協(xié)作。
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種用于熱補(bǔ)償?shù)挠谓z擺輪諧振器的補(bǔ)償游絲(1)，所述補(bǔ)償游絲(1)包括由至少一種非金屬材料(11a、11b、13b、15b、11c、17c、19c、11d、13d、15d、17d、19d、11e、13e、15e、17e、19e、11f、21f)形成的芯(9a、9b、9c、9d、9e、9f)。根據(jù)本發(fā)明，所述芯(9a、9b、9c、9d、9e、9f)部分地涂覆有防潮的至少一個(gè)層(7)，以使所述補(bǔ)償游絲(1)對(duì)氣候變化具有更小的敏感度。本發(fā)明涉及鐘表領(lǐng)域。
【IPC分類】G04B17/22
【公開號(hào)】CN105051622
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201480016817
【發(fā)明人】P·卡森, T·黑塞勒, F·薩利胡, L·布羅謝
【申請(qǐng)人】尼瓦洛克斯-法爾股份有限公司
【公開日】2015年11月11日
【申請(qǐng)日】2014年2月13日
【公告號(hào)】EP2781968A1, US20150355600, WO2014146833A2, WO2014146833A3