專(zhuān)利名稱(chēng)：管理襯底處理裝置的裝置信息的襯底處理系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)將對(duì)半導(dǎo)體襯底、液晶顯示裝置用玻璃襯底、光掩模用玻璃襯底、光盤(pán)用襯底等(下面簡(jiǎn)稱(chēng)為襯底)進(jìn)行規(guī)定的處理的襯底處理裝置和計(jì)算機(jī)結(jié)合的網(wǎng)絡(luò)通信技術(shù)。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體和液晶顯示器等的制品通過(guò)對(duì)襯底實(shí)施清洗、抗蝕劑涂布、曝光、顯影、蝕刻、形成層間絕緣膜、熱處理等一連串的處理來(lái)制造。以往這些處理在組裝了抗蝕劑涂布處理單元和顯影處理單元等的襯底處理裝置中進(jìn)行。襯底處理裝置上設(shè)置的運(yùn)送機(jī)器人通過(guò)把襯底順序運(yùn)送到各處理單元而對(duì)該襯底進(jìn)行一連串的處理。
這種襯底處理進(jìn)行自動(dòng)控制，一般地襯底處理裝置除控制裝置整體的系統(tǒng)控制部外還具有分別控制各處理單元的單元控制部。并且，襯底處理裝置上安裝的控制軟件由系統(tǒng)控制部和單元控制部上各自安裝的軟件模塊構(gòu)成。即，構(gòu)筑由系統(tǒng)控制部上安裝的軟件模塊控制裝置整體的系統(tǒng)控制系統(tǒng)，并構(gòu)筑由各單元控制部上安裝的各個(gè)軟件模塊分別控制各處理單元的單元控制系統(tǒng)。
系統(tǒng)控制部和單元控制部上安裝的各個(gè)軟件模塊中的每一個(gè)具有固有的版本。并且，各軟件模塊中按計(jì)劃進(jìn)行版本升級(jí)(version up)。設(shè)置襯底處理裝置的工廠(chǎng)中，也在支持的情況下暫時(shí)對(duì)特定的軟件模塊的版本進(jìn)行變更。
這樣的軟件模塊的版本變更時(shí)重要的是保持1個(gè)襯底處理裝置上安裝的全部軟件模塊之間的匹配性。軟件模塊之間的匹配性不能保持的情況下，控制系統(tǒng)出現(xiàn)的問(wèn)題，會(huì)引起襯底處理裝置誤動(dòng)作或停止。因此，在計(jì)劃軟件模塊的版本升級(jí)時(shí)，應(yīng)以能維持各軟件模塊之間的匹配性的方式進(jìn)行。
但是，對(duì)軟件模塊進(jìn)行版本升級(jí)時(shí)的安裝操作失誤也會(huì)導(dǎo)致安裝錯(cuò)誤版本的軟件模塊。在支持現(xiàn)場(chǎng)中暫時(shí)對(duì)特定的軟件模塊進(jìn)行版本變更時(shí)，有時(shí)與計(jì)劃的模塊結(jié)構(gòu)不同。這些情況下，也未必保持軟件模塊之間的匹配性，因而存在會(huì)產(chǎn)生誤動(dòng)作和停止等的裝置故障的問(wèn)題。
襯底處理裝置中產(chǎn)生故障的情況下，不能迅速正確把握裝置上安裝的軟件模塊的版本信息時(shí)，故障原因分析需要比預(yù)想多的很長(zhǎng)時(shí)間。
上述襯底處理裝置中，常常將襯底的處理工序信息、操作員的操作信息等的關(guān)于運(yùn)轉(zhuǎn)的各種信息作為日志文件順序記錄。
該日志文件與每次產(chǎn)生預(yù)先規(guī)定的事件的產(chǎn)生時(shí)間一起記錄，表示該襯底處理裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)的時(shí)間系列的運(yùn)轉(zhuǎn)信息。因此，通過(guò)參照日志文件的記錄內(nèi)容可在事后確認(rèn)襯底處理裝置過(guò)去的運(yùn)轉(zhuǎn)信息。尤其在襯底處理裝置產(chǎn)生故障時(shí)，通過(guò)參照該日志文件中到產(chǎn)生故障之前的記錄內(nèi)容可對(duì)故障產(chǎn)生原因進(jìn)行分析。
以往，在襯底處理裝置中產(chǎn)生故障時(shí)，按以下的順序進(jìn)行故障的對(duì)應(yīng)。
1.操作員通過(guò)襯底處理裝置的塔燈和蜂鳴器識(shí)別產(chǎn)生故障。
2.操作員借助電話(huà)等向銷(xiāo)售商的區(qū)域掌管(field support)負(fù)責(zé)人就故障產(chǎn)生事宜進(jìn)行聯(lián)絡(luò)。
3.接收聯(lián)絡(luò)的區(qū)域掌管負(fù)責(zé)人到有該襯底處理裝置的襯底處理工廠(chǎng)去，以把握故障的情況。
4.區(qū)域掌管負(fù)責(zé)人當(dāng)場(chǎng)不能應(yīng)對(duì)故障的情況下，把該襯底處理裝置的日志文件輸出到記錄媒體并收取該記錄媒體的同時(shí)作成表示故障的具體狀況的故障報(bào)告文書(shū)。
5.用電子郵件等將上述日志文件和故障報(bào)告文書(shū)送達(dá)支持中心等遠(yuǎn)處的故障分析負(fù)責(zé)人。
6.故障分析負(fù)責(zé)人參照日志文件和故障報(bào)告文書(shū)分析故障產(chǎn)生原因，討論故障的對(duì)策。
7.從故障分析負(fù)責(zé)人向區(qū)域掌管負(fù)責(zé)人就故障分析結(jié)果和對(duì)策事宜進(jìn)行聯(lián)絡(luò)。
這樣，產(chǎn)生故障的情況下，通過(guò)參照日志文件可分析故障的原因，可對(duì)故障進(jìn)行適當(dāng)?shù)膽?yīng)對(duì)。
但是，上述程序中通過(guò)日志文件對(duì)故障進(jìn)行原因分析(上述6)以外的作業(yè)需要時(shí)間，結(jié)果分析完成到就對(duì)策進(jìn)行聯(lián)絡(luò)之前需要很多的時(shí)間。尤其，產(chǎn)生必須停止襯底處理裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)的故障的情況下，到聯(lián)絡(luò)對(duì)策之前在很長(zhǎng)時(shí)間內(nèi)必須停止該裝置，襯底的生產(chǎn)效率大幅度下降。
從故障產(chǎn)生到取得日志文件也需要時(shí)間。因此，由于日志文件的數(shù)據(jù)量的最大值預(yù)先確定，有時(shí)在取得日志文件的時(shí)刻故障分析所需的記錄內(nèi)容已經(jīng)刪除了。為應(yīng)對(duì)這種情況，要長(zhǎng)時(shí)間保持日志文件時(shí)，故障產(chǎn)生時(shí)取得的日志文件的數(shù)據(jù)量飛速增大，把日志文件向故障分析負(fù)責(zé)人發(fā)送以及檢索必要的記錄內(nèi)容需要很多的時(shí)間。
另外，在組裝抗蝕劑涂布處理單元和顯影處理單元的襯底處理裝置中，應(yīng)對(duì)襯底處理裝置中預(yù)定的故障的應(yīng)對(duì)信息預(yù)先存儲(chǔ)在裝置內(nèi)。該應(yīng)對(duì)信息中包含故障產(chǎn)生原因、對(duì)應(yīng)故障的操作方法和故障時(shí)的制約事項(xiàng)等。由此，即便是不精通于該裝置的操作員也可在故障產(chǎn)生時(shí)適當(dāng)讀出上述應(yīng)對(duì)信息，進(jìn)行裝置的恢復(fù)作業(yè)等。
但是，襯底處理裝置內(nèi)存儲(chǔ)的應(yīng)對(duì)信息是該裝置引進(jìn)時(shí)(出廠(chǎng)時(shí))的信息，引進(jìn)時(shí)預(yù)定的故障以外的意外故障產(chǎn)生時(shí)，用存儲(chǔ)的應(yīng)對(duì)信息不能進(jìn)行準(zhǔn)確的應(yīng)對(duì)。根據(jù)不能準(zhǔn)確應(yīng)對(duì)的應(yīng)對(duì)信息進(jìn)行故障的恢復(fù)作業(yè)時(shí)，會(huì)使襯底處理裝置的狀態(tài)惡化，也延遲了恢復(fù)。
為應(yīng)對(duì)這種情況，對(duì)故障進(jìn)行新判定的最新的應(yīng)對(duì)信息作為追加信息用文書(shū)等形式由銷(xiāo)售商發(fā)布。然而，這些通過(guò)郵寄等方式配送，因此需要最新的應(yīng)對(duì)信息時(shí)，不能即刻取得該信息。
即便是配送了最新的應(yīng)對(duì)信息后，由于其與裝置內(nèi)存儲(chǔ)的應(yīng)對(duì)信息被分別地進(jìn)行管理，因此不能實(shí)現(xiàn)信息的一元化，實(shí)際上故障產(chǎn)生時(shí)，難以選擇必要的最新的應(yīng)對(duì)信息。
發(fā)明概述本發(fā)明面向的是可經(jīng)網(wǎng)絡(luò)可通信連接襯底處理裝置和計(jì)算機(jī)的襯底處理系統(tǒng)。
根據(jù)本發(fā)明，在一種襯底處理裝置和處理上述襯底處理裝置的裝置信息的計(jì)算機(jī)與網(wǎng)絡(luò)結(jié)合的襯底處理系統(tǒng)中，具有存儲(chǔ)取得的上述裝置信息的裝置信息存儲(chǔ)部件；可經(jīng)上述網(wǎng)絡(luò)從上述計(jì)算機(jī)閱覽在上述裝置信息存儲(chǔ)部件上存儲(chǔ)的上述裝置信息的裝置信息公開(kāi)部件。
在存儲(chǔ)恒定運(yùn)轉(zhuǎn)的襯底處理裝置的裝置信息的狀態(tài)下，由于可經(jīng)網(wǎng)絡(luò)閱覽，可從遠(yuǎn)處容易地把握裝置信息。
本發(fā)明的另一方面是一種襯底處理系統(tǒng)，將具有對(duì)襯底進(jìn)行規(guī)定處理的處理單元和控制裝置整體的系統(tǒng)控制部以及分別控制上述處理單元的單元控制部的襯底處理裝置和計(jì)算機(jī)經(jīng)網(wǎng)絡(luò)結(jié)合，具有在上述系統(tǒng)控制部或上述單元控制部上安裝軟件模塊時(shí)，在該時(shí)刻確認(rèn)上述系統(tǒng)控制部和上述單元控制部上各自安裝的軟件模塊的匹配性的匹配性確認(rèn)部件。
襯底處理裝置上安裝軟件模塊時(shí)各軟件模塊之間的不匹配引起的故障可防患于未然。
本發(fā)明的再一方面是一種具有可經(jīng)網(wǎng)絡(luò)通信的襯底處理裝置的襯底處理系統(tǒng)，具有存儲(chǔ)作為與上述襯底處理裝置有關(guān)的信息的并且追加地由上述襯底處理裝置的銷(xiāo)售商提供的追加信息的追加信息存儲(chǔ)部件，和經(jīng)上述網(wǎng)絡(luò)取得存儲(chǔ)的上述追加信息的追加信息取得部件。
可即刻追加地取得由襯底處理裝置的銷(xiāo)售商提供的追加信息。
本發(fā)明還面向經(jīng)網(wǎng)絡(luò)可通信地連接襯底處理裝置和計(jì)算機(jī)的襯底處理方法。
本發(fā)明也面向可經(jīng)網(wǎng)絡(luò)與計(jì)算機(jī)可通信地連接的襯底處理裝置。
也就是，本發(fā)明的目的是可從遠(yuǎn)處即時(shí)地閱覽襯底處理裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)信息。
本發(fā)明的其他目的是對(duì)襯底處理裝置上安裝軟件時(shí)各軟件模塊之間的不匹配引起的故障防患于未然。
本發(fā)明的其他目的是在必要時(shí)即刻取得追加信息。
附圖的簡(jiǎn)要說(shuō)明圖1是表示本發(fā)明的襯底處理系統(tǒng)的簡(jiǎn)要結(jié)構(gòu)的圖；圖2是襯底處理裝置的簡(jiǎn)要平面圖；圖3是表示襯底處理裝置的控制系統(tǒng)的構(gòu)成的框圖；圖4是表示信息存儲(chǔ)服務(wù)器和支持計(jì)算機(jī)的基本構(gòu)成的圖；圖5是表示第一實(shí)施例的襯底處理系統(tǒng)的功能結(jié)構(gòu)的一例的框圖；圖6是表示警報(bào)定義文件的一例的圖；圖7是表示故障信息數(shù)據(jù)庫(kù)的一例的圖；圖8是表示產(chǎn)生故障時(shí)襯底處理系統(tǒng)的處理流程的圖；圖9是表示應(yīng)對(duì)信息數(shù)據(jù)庫(kù)的一例的圖；圖10是表示第一實(shí)施例的襯底處理系統(tǒng)的功能結(jié)構(gòu)的另一例的框圖；圖11是表示第二實(shí)施例的襯底處理系統(tǒng)的功能結(jié)構(gòu)的一例的框圖；圖12是表示第二實(shí)施例的警報(bào)定義文件的一例的圖；
圖13是表示第二實(shí)施例的襯底處理系統(tǒng)的處理流程的圖；圖14是表示第三實(shí)施例的襯底處理系統(tǒng)的功能結(jié)構(gòu)的一例的框圖；圖15是表示第三實(shí)施例的襯底處理系統(tǒng)的處理流程的圖；圖16是表示版本管理表的一例的圖；圖17是表示確認(rèn)表的一例的圖；圖18是表示版本管理表的另一例的圖；圖19是表示第三實(shí)施例的襯底處理系統(tǒng)的功能結(jié)構(gòu)的另一例的框圖；圖20是表示第三實(shí)施例的襯底處理系統(tǒng)的功能結(jié)構(gòu)的又一例的框圖。
優(yōu)選實(shí)施例的說(shuō)明下面參考
本發(fā)明的實(shí)施形式。
<1.第一實(shí)施例>
圖1是表示本發(fā)明的第一實(shí)施例的襯底處理系統(tǒng)10的簡(jiǎn)要結(jié)構(gòu)的圖。如圖1所示，襯底處理系統(tǒng)10主要是經(jīng)網(wǎng)絡(luò)6連接襯底處理工廠(chǎng)4具有的襯底處理裝置1和信息存儲(chǔ)服務(wù)器2以及配備有對(duì)襯底處理裝置1進(jìn)行故障分析的故障分析負(fù)責(zé)人的支持中心5所具有的支持計(jì)算機(jī)3構(gòu)成。
襯底處理系統(tǒng)10中，包含襯底處理裝置1的日志文件和故障信息的裝置信息存儲(chǔ)在信息存儲(chǔ)服務(wù)器2中，存儲(chǔ)的裝置信息經(jīng)網(wǎng)絡(luò)6可在支持計(jì)算機(jī)3閱覽。
襯底處理工廠(chǎng)4中，襯底處理裝置1和信息存儲(chǔ)服務(wù)器2經(jīng)LAN(Local AreaNetwork)41連接。LAN41經(jīng)具有路由器和防火墻等功能的連接裝置42連接于互聯(lián)網(wǎng)等的廣域網(wǎng)絡(luò)61上。支持中心5也具有連接支持計(jì)算機(jī)3的LAN51，LAN51也經(jīng)具有路由器和防火墻等功能的連接裝置52連接于互聯(lián)網(wǎng)等的廣域網(wǎng)絡(luò)61上。由此襯底處理裝置1和信息存儲(chǔ)服務(wù)器2以及支持計(jì)算機(jī)3彼此之間可進(jìn)行各種數(shù)據(jù)通信。本說(shuō)明書(shū)中，在統(tǒng)稱(chēng)LAN41，51和廣域網(wǎng)絡(luò)61的情況下，簡(jiǎn)稱(chēng)為網(wǎng)絡(luò)6。
圖1中，襯底處理工廠(chǎng)4中備有多個(gè)襯底處理裝置1，但可以是1臺(tái)襯底處理裝置1，同樣，支持中心5中備有多個(gè)支持計(jì)算機(jī)3，但支持計(jì)算機(jī)3可以是1臺(tái)。作為襯底處理工廠(chǎng)4記述了1個(gè)工廠(chǎng)的情況，但襯底處理系統(tǒng)10中可包含多個(gè)襯底處理工廠(chǎng)。
接著說(shuō)明襯底處理工廠(chǎng)4中備有的襯底處理裝置1。圖2是襯底處理裝置1的簡(jiǎn)要平面圖。該襯底處理裝置1是對(duì)襯底進(jìn)行抗蝕劑涂布處理、顯影處理和接著的熱處理的裝置。襯底處理裝置1具有從運(yùn)輸機(jī)要(carrier)上取出未處理的襯底，同時(shí)接收處理完的襯底并容納在運(yùn)輸機(jī)上的分度器D(indexer)、邊旋轉(zhuǎn)襯底邊在該襯底主面上滴下光刻膠進(jìn)行抗蝕劑涂布處理的涂布處理單元SC(所謂的旋涂機(jī))、在曝光后的襯底上提供顯影液來(lái)進(jìn)行顯影處理的顯影處理單元SD(所謂的旋轉(zhuǎn)顯影劑)和在分度器D和各處理單元之間進(jìn)行襯底運(yùn)送的運(yùn)送機(jī)器人TR。涂布處理單元SC和顯影處理單元SD的上方由未示出的熱處理單元夾持風(fēng)扇過(guò)濾(fanfilter)單元而配置。作為熱處理單元，設(shè)置對(duì)襯底進(jìn)行加熱處理的加熱單元(所謂的加熱板)和將加熱的襯底冷卻到一定溫度的冷卻單元(所謂的冷卻板)。本說(shuō)明書(shū)中，將涂布處理單元SC和顯影處理單元SD以及熱處理單元統(tǒng)稱(chēng)為對(duì)襯底進(jìn)行規(guī)定處理的處理單元110。
圖3是表示襯底處理裝置1的控制系統(tǒng)的構(gòu)成的框圖。如圖3所示，襯底處理裝置1主要具有進(jìn)行裝置整體的控制的系統(tǒng)控制部100和多個(gè)處理單元110。
系統(tǒng)控制部100統(tǒng)一控制裝置整體，具有微計(jì)算機(jī)而構(gòu)成。具體說(shuō)，具有作為其主體部的CPU101、存儲(chǔ)控制用的程序等的ROM102、成為運(yùn)算的作業(yè)區(qū)域的RAM103、存儲(chǔ)日志文件等的固定盤(pán)等構(gòu)成的存儲(chǔ)部104以及與外部裝置之間進(jìn)行數(shù)據(jù)通信的通信部105，通過(guò)總線(xiàn)190對(duì)它們分別連接而構(gòu)成。
通信部105經(jīng)省略圖示的網(wǎng)絡(luò)接口連接于網(wǎng)絡(luò)6，由此襯底處理裝置1可在信息存儲(chǔ)服務(wù)器2和支持計(jì)算機(jī)3等之間收發(fā)各種數(shù)據(jù)。通信部105執(zhí)行的經(jīng)網(wǎng)絡(luò)6的通信方式可以是有線(xiàn)或無(wú)線(xiàn)的，但本實(shí)施例中采用有線(xiàn)的通信方式。
總線(xiàn)190上電連接多個(gè)處理單元110的同時(shí)，還電連接顯示各種信息的顯示部130、接收操作員的各種信息的輸入和操作的操作部140、從磁盤(pán)和磁光盤(pán)等的記錄媒體91讀取各種數(shù)據(jù)的讀取裝置150等。由此，在系統(tǒng)控制部100的控制下，襯底處理裝置1各部之間經(jīng)總線(xiàn)190可進(jìn)行數(shù)據(jù)交換。
處理單元110具有成為實(shí)際對(duì)襯底進(jìn)行處理的機(jī)構(gòu)部(例如旋轉(zhuǎn)襯底的機(jī)構(gòu)，向襯底噴出處理液的機(jī)構(gòu)，加熱襯底的機(jī)構(gòu)等)的襯底處理部116，還具有單元控制部115。單元控制部115是進(jìn)行襯底處理部116的動(dòng)作控制和動(dòng)作監(jiān)視的單元單位的控制部。即，上述的系統(tǒng)控制部100負(fù)責(zé)襯底處理裝置1整體的統(tǒng)一控制，單元控制部115分擔(dān)其作用，以承擔(dān)對(duì)應(yīng)于襯底處理部116的處理內(nèi)容的控制。單元控制部115與系統(tǒng)控制部100同樣具有微計(jì)算機(jī)，具體說(shuō)，具有作為其主體部的CPU111、存儲(chǔ)控制用的程序等的ROM112、成為運(yùn)算的作業(yè)區(qū)域的RAM113、存儲(chǔ)各種數(shù)據(jù)的電池支持的SRAM等構(gòu)成的存儲(chǔ)部114。
系統(tǒng)控制部100的ROM102和存儲(chǔ)部104中預(yù)先存儲(chǔ)系統(tǒng)控制用程序。系統(tǒng)控制部100的CPU101根據(jù)該系統(tǒng)控制用程序執(zhí)行運(yùn)算處理，從而實(shí)現(xiàn)作為襯底處理裝置1整體的動(dòng)作控制和數(shù)據(jù)處理。單元控制部115的ROM112和存儲(chǔ)部114中預(yù)先存儲(chǔ)與該處理單元110的襯底處理部116的處理內(nèi)容對(duì)應(yīng)的單元控制用程序。單元控制部115的CPU111根據(jù)該單元控制用程序執(zhí)行運(yùn)算處理，從而實(shí)現(xiàn)襯底處理部116的動(dòng)作控制和數(shù)據(jù)處理。根據(jù)這些程序，通過(guò)系統(tǒng)控制部100和單元控制部115的運(yùn)算處理實(shí)現(xiàn)的功能在后面說(shuō)明。
這些程序經(jīng)讀取裝置150可從記錄媒體91讀出或從規(guī)定的服務(wù)器存儲(chǔ)裝置等經(jīng)網(wǎng)絡(luò)6下載而獲取和進(jìn)行更新。各個(gè)程序有版本，更新程序時(shí)變更識(shí)別版本的數(shù)值等的版本信息。襯底處理裝置1執(zhí)行的程序各自的版本信息存儲(chǔ)在系統(tǒng)控制部100的存儲(chǔ)部104中。
信息存儲(chǔ)服務(wù)器2、支持計(jì)算機(jī)3的硬件結(jié)構(gòu)與一般的計(jì)算機(jī)相同。因此，信息存儲(chǔ)服務(wù)器2、支持計(jì)算機(jī)3的基本構(gòu)成相同，從而參考同一簡(jiǎn)4說(shuō)明。信息存儲(chǔ)服務(wù)器2、支持計(jì)算機(jī)3分別如圖4所示，將進(jìn)行各種運(yùn)算處理的CPU21，31(信息存儲(chǔ)服務(wù)器2中是CPU21，支持計(jì)算機(jī)3中是CPU31，下面同樣)、存儲(chǔ)基本程序的ROM22，32和存儲(chǔ)各種信息的RAM23，33連接于總線(xiàn)構(gòu)成。信息存儲(chǔ)服務(wù)器2和支持計(jì)算機(jī)3的各自的總線(xiàn)上經(jīng)接口(I/F)等適當(dāng)連接存儲(chǔ)各種信息的固定盤(pán)24，34、進(jìn)行各種信息的顯示的顯示器25，35、接收操作者的輸入的鍵盤(pán)26a，36a以及鼠標(biāo)26b，36b、從光盤(pán)、磁盤(pán)、磁光盤(pán)等的記錄媒體91讀取各種數(shù)據(jù)的讀取裝置27，37和經(jīng)網(wǎng)絡(luò)6和外部裝置通信的通信部28，38。
信息存儲(chǔ)服務(wù)器2和支持計(jì)算機(jī)3各自經(jīng)讀取裝置27，37從記錄媒體91讀取程序，存儲(chǔ)在固定盤(pán)24，34上。信息存儲(chǔ)服務(wù)器2和支持計(jì)算機(jī)3各自從規(guī)定的服務(wù)器存儲(chǔ)裝置經(jīng)網(wǎng)絡(luò)6下載并存儲(chǔ)在固定盤(pán)24，34上。并且，CPU21，31根據(jù)存儲(chǔ)在固定盤(pán)24，34的程序執(zhí)行運(yùn)算處理進(jìn)行各種動(dòng)作。即，執(zhí)行根據(jù)該程序的運(yùn)算處理的結(jié)果，信息存儲(chǔ)服務(wù)器2作為信息存儲(chǔ)服務(wù)器2動(dòng)作，支持計(jì)算機(jī)3作為支持計(jì)算機(jī)3動(dòng)作。
圖5是表示包含根據(jù)襯底處理裝置1、信息存儲(chǔ)服務(wù)器2和支持計(jì)算機(jī)3各自的程序通過(guò)CPU等的運(yùn)算處理實(shí)現(xiàn)的功能的、表示襯底處理系統(tǒng)10的功能結(jié)構(gòu)的框圖。
襯底處理裝置1中，圖5所示的構(gòu)成中警報(bào)發(fā)生部117的功能是單元控制部115根據(jù)程序運(yùn)算處理實(shí)現(xiàn)的。日志記錄部121、警報(bào)處理部122和故障信息生成部123的功能是系統(tǒng)控制部100根據(jù)程序運(yùn)算處理實(shí)現(xiàn)的。
警報(bào)發(fā)生部117在處理單元110中產(chǎn)生某種故障時(shí)，產(chǎn)生警報(bào)，作為表示產(chǎn)生故障的警告信號(hào)。警報(bào)被預(yù)先分配識(shí)別代碼，警報(bào)發(fā)生部117產(chǎn)生具有對(duì)應(yīng)于產(chǎn)生的故障的識(shí)別代碼的警報(bào)，發(fā)送到系統(tǒng)控制部100。
日志記錄部121將關(guān)于處理單元110的運(yùn)轉(zhuǎn)的信息作為日志文件162存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部104中。日志文件162中在每次產(chǎn)生與預(yù)定的運(yùn)轉(zhuǎn)有關(guān)的事件時(shí)將產(chǎn)生的時(shí)間與該事件的內(nèi)容一起記錄下來(lái)。日志文件162是表示關(guān)于襯底處理裝置1的運(yùn)轉(zhuǎn)的時(shí)間系列的信息的運(yùn)轉(zhuǎn)信息，是故障產(chǎn)生時(shí)分析故障原因的裝置信息之一。
日志文件162有襯底位置日志、處理日志、警報(bào)日志、操作日志和通信日志等多種，對(duì)應(yīng)產(chǎn)生的事件的內(nèi)容由日志記錄部121分類(lèi)，作為各自獨(dú)立的文件記錄。這些日志文件162各自預(yù)先分配識(shí)別代碼。
襯底位置日志是表示進(jìn)行處理的襯底的襯底處理裝置1內(nèi)的位置的時(shí)間系列信息的日志文件162。具體說(shuō)，例如是運(yùn)送襯底的處理單元110的識(shí)別信息等。襯底位置日志在運(yùn)機(jī)器人TR每次運(yùn)送襯底時(shí)由日志記錄部121記錄。襯底處理裝置1處理的襯底被分別給出識(shí)別ID，襯底位置日志與該識(shí)別ID一起記錄，從而可確定襯底，事后可確認(rèn)哪個(gè)襯底何時(shí)運(yùn)送到哪個(gè)位置上。
處理日志是表示各處理單元110進(jìn)行的實(shí)際處理的內(nèi)容條件等的處理工序的時(shí)間系列的信息的日志文件162。具體說(shuō)，例如是加熱單元的加熱溫度和加熱時(shí)間、涂布處理單元SC的抗蝕劑涂布量和抗蝕劑濃度等。處理日志在每次從各處理單元110的單元控制部115進(jìn)行襯底處理時(shí)，發(fā)送并記錄到日志記錄部121中。該處理日志中由于和襯底的識(shí)別ID一起記錄，可確定襯底，事后可確認(rèn)哪個(gè)襯底何時(shí)在哪個(gè)處理單元110中在怎樣的處理?xiàng)l件下處理的處理工序。襯底在該處理工序中有某些不適的情況下，多有工序進(jìn)行了某種程度后才能發(fā)現(xiàn)襯底缺陷的情況，但通過(guò)確認(rèn)處理日志，事后可容易把握產(chǎn)生該缺陷的處理工序中的不適。故障產(chǎn)生時(shí)，若確實(shí)保存該處理日志，則容易分析故障原因。
警報(bào)日志是表示產(chǎn)生的警報(bào)的時(shí)間系列信息的日志文件162。具體說(shuō)，是產(chǎn)生警報(bào)的處理單元110的識(shí)別信息和警報(bào)的識(shí)別代碼等。警報(bào)日志在每次產(chǎn)生警報(bào)時(shí)由日志記錄部121記錄。通過(guò)警報(bào)日志，可在事后確認(rèn)哪個(gè)處理單元110中何時(shí)產(chǎn)生何種警報(bào)。
操作日志是表示操作員操作操作部140的操作內(nèi)容的時(shí)間系列信息的日志文件162。具體說(shuō)，是襯底處理裝置1的啟動(dòng)指示和處理?xiàng)l件變更指示等。操作日志在操作員每次進(jìn)行操作時(shí)由日志記錄部121記錄。通過(guò)操作日志，事后可確認(rèn)何時(shí)進(jìn)行何種操作。
通信日志是表示襯底處理裝置1經(jīng)通信部105和信息存儲(chǔ)服務(wù)器2等的外部裝置的通信的時(shí)間系列信息的日志文件162。具體說(shuō)，是向信息存儲(chǔ)服務(wù)器2發(fā)送的信息的內(nèi)容等。通信日志在通信部105每次進(jìn)行通信時(shí)由日志記錄部121記錄。通過(guò)通信日志，事后可確認(rèn)何時(shí)進(jìn)行何種通信。
警報(bào)處理部122接收來(lái)自警報(bào)發(fā)生部117的警報(bào)，對(duì)應(yīng)該警報(bào)的識(shí)別代碼進(jìn)行動(dòng)作控制。該處理通過(guò)參考存儲(chǔ)部104中預(yù)先存儲(chǔ)的警報(bào)定義文件161進(jìn)行。警報(bào)定義文件161按每個(gè)處理單元110的分類(lèi)(涂布處理單元SC、顯影處理單元SD等)作為獨(dú)立的文件存儲(chǔ)，警報(bào)處理部122對(duì)應(yīng)產(chǎn)生警報(bào)的處理單元110選擇并參考適當(dāng)?shù)木瘓?bào)定義文件161。
圖6是表示警報(bào)定義文件161的一例的圖。如圖所示，警報(bào)定義文件161是具有多個(gè)字段的表。字段中包含警報(bào)代碼、顯示文本、系統(tǒng)控制代碼、輸出日志文件代碼等。
警報(bào)代碼是表示產(chǎn)生的警報(bào)中包含的識(shí)別代碼的字段。其他字段(顯示文本、系統(tǒng)控制代碼、輸出日志文件代碼等)對(duì)應(yīng)該警報(bào)代碼。警報(bào)處理部122從警報(bào)代碼檢索接收的警報(bào)的識(shí)別代碼，根據(jù)與該識(shí)別代碼對(duì)應(yīng)的其他字段中記載的內(nèi)容進(jìn)行處理。
顯示文本是將故障的具體內(nèi)容表示為文章的字段。警報(bào)處理部122在顯示部130顯示該顯示文本中表示的內(nèi)容。由此，操作員可作為具體的文件把握產(chǎn)生何種故障。
系統(tǒng)控制代碼是表示警報(bào)產(chǎn)生時(shí)襯底處理裝置1的控制內(nèi)容的字段。具體說(shuō)，預(yù)先分配若系統(tǒng)控制代碼為1，則停止襯底處理裝置1的運(yùn)轉(zhuǎn)、若為2，則強(qiáng)制再啟動(dòng)襯底處理裝置1等的控制內(nèi)容。警報(bào)處理部122根據(jù)系統(tǒng)控制代碼的記載內(nèi)容進(jìn)行動(dòng)作控制，襯底處理裝置1根據(jù)故障種類(lèi)進(jìn)行適當(dāng)動(dòng)作。
輸出日志文件代碼是表示與警報(bào)產(chǎn)生原因相關(guān)的日志文件的識(shí)別代碼的字段。即，僅選擇記載把握故障產(chǎn)生原因所需的日志文件162的識(shí)別代碼。由此，警報(bào)處理部122容易僅選擇提取與警報(bào)產(chǎn)生原因相關(guān)的日志文件162(例如僅處理日志和操作日志)。下面將由警報(bào)處理部122提取的與警報(bào)產(chǎn)生原因相關(guān)的日志文件162也稱(chēng)為關(guān)聯(lián)日志文件262。
另外，警報(bào)處理部122經(jīng)LAN41將關(guān)聯(lián)日志文件262發(fā)送到信息存儲(chǔ)服務(wù)器2。發(fā)送的關(guān)聯(lián)日志文件262存儲(chǔ)在信息存儲(chǔ)服務(wù)器2的固定盤(pán)24中。另外警報(bào)處理部122向故障信息生成部123指示生成故障信息。
故障信息生成部123接收警報(bào)處理部122的指示生成關(guān)于產(chǎn)生的故障的故障信息。即，故障信息生成部123是在產(chǎn)生警報(bào)時(shí)生成故障信息的部件。
故障信息是關(guān)聯(lián)日志文件262和確定故障原因的裝置信息之一，具有產(chǎn)生日期時(shí)間、產(chǎn)生裝置、單元、版本、故障內(nèi)容、日志等的項(xiàng)目。
產(chǎn)生日期時(shí)間是警報(bào)產(chǎn)生日期時(shí)間，在故障信息生成時(shí)從規(guī)定的計(jì)時(shí)電路取得。
產(chǎn)生裝置是產(chǎn)生故障的襯底處理裝置1自身的識(shí)別信息，對(duì)襯底處理工廠(chǎng)4中配置的襯底處理裝置1分別預(yù)先分配識(shí)別信息，存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部104中。
單元是故障產(chǎn)生的處理單元110的識(shí)別信息。表示成為警報(bào)的發(fā)送源的處理單元110。
版本是產(chǎn)生故障的處理單元110的單元控制部用程序的版本信息。故障僅在程序的特定版本中產(chǎn)生，因此有時(shí)可通過(guò)版本信息確定故障原因。
故障內(nèi)容是上述警報(bào)定義文件161的顯示文本的內(nèi)容，從警報(bào)處理部122取得。
日志是關(guān)聯(lián)日志文件262的信息存儲(chǔ)服務(wù)器2的保存路徑，從警報(bào)處理部122取得。通過(guò)該項(xiàng)目，故障信息和關(guān)聯(lián)日志文件262相關(guān)。
這樣，故障信息由操作員和故障分析負(fù)責(zé)人可具體且容易把握產(chǎn)生的故障的內(nèi)容的信息構(gòu)成。故障信息生成部123生成故障信息時(shí)，將該故障信息經(jīng)LAN41發(fā)送到信息存儲(chǔ)服務(wù)器2。
信息存儲(chǔ)服務(wù)器2存儲(chǔ)在襯底處理工廠(chǎng)4中配置的襯底處理裝置1的裝置信息。圖5所示結(jié)構(gòu)中故障信息登錄部224、郵件發(fā)送部225、裝置信息公開(kāi)部226和應(yīng)對(duì)信息登錄部227的功能是CPU21根據(jù)程序運(yùn)算處理實(shí)現(xiàn)的。
故障信息登錄部224在從襯底處理裝置1的故障信息生成部123接收故障信息時(shí)，追加登錄在故障信息數(shù)據(jù)庫(kù)(下面叫做故障信息DB)261中。因此，故障信息作為故障信息DB261存儲(chǔ)在固定盤(pán)24上。故障信息追加登錄時(shí)，追加的故障信息的識(shí)別序號(hào)由故障信息登錄部224自動(dòng)生成。
圖7是表示故障信息DB261的一例的圖。如圖所示，故障信息DB261具有多個(gè)字段，圖中字段D1～D6中分別存儲(chǔ)故障信息的產(chǎn)生日期時(shí)間、產(chǎn)生裝置、單元、版本、故障內(nèi)容、日志各項(xiàng)目。生成的故障信息的識(shí)別序號(hào)存儲(chǔ)在記為No.的字段D0中。記為日志的字段D6中存儲(chǔ)關(guān)聯(lián)日志文件262的保存路徑，因此在故障信息DB261中也成為與關(guān)聯(lián)日志文件262相關(guān)聯(lián)的狀態(tài)。每次產(chǎn)生故障時(shí)將故障信息存儲(chǔ)為故障信息DB261，因此故障信息DB261表示產(chǎn)生的故障的信息和襯底處理工廠(chǎng)4中過(guò)去產(chǎn)生的故障的履歷。
故障信息登錄部224向故障信息DB261追加登錄新的故障信息時(shí)，向郵件發(fā)送部225指示向支持計(jì)算機(jī)3通知故障產(chǎn)生。
郵件發(fā)送部225接收來(lái)自故障信息登錄部224的指示，將記載產(chǎn)生故障的電子郵件發(fā)送給支持計(jì)算機(jī)3。即，郵件發(fā)送部225是產(chǎn)生警報(bào)時(shí)經(jīng)網(wǎng)絡(luò)6向支持計(jì)算機(jī)3通知產(chǎn)生故障的部件。
裝置信息公開(kāi)部226可從支持計(jì)算機(jī)3閱覽固定盤(pán)24上存儲(chǔ)的故障信息DB261和關(guān)聯(lián)日志文件262等的裝置信息。裝置信息公開(kāi)部226具有HTTP服務(wù)器功能，將裝置信息作為HTML文件發(fā)送到網(wǎng)絡(luò)6。這種裝置信息的發(fā)送對(duì)應(yīng)經(jīng)WEB瀏覽器的閱覽請(qǐng)求從連接于網(wǎng)絡(luò)6的外部裝置進(jìn)行。
應(yīng)對(duì)信息登錄部227從支持計(jì)算機(jī)3接收應(yīng)對(duì)信息。所謂應(yīng)對(duì)信息是支持中心5的故障分析負(fù)責(zé)人閱覽并分析產(chǎn)生故障的襯底處理裝置1的裝置信息的分析結(jié)果和該故障的對(duì)策等。即，應(yīng)對(duì)信息登錄部227是基于裝置信息取得故障的應(yīng)對(duì)信息的部件。應(yīng)對(duì)信息登錄部227接收該應(yīng)對(duì)信息時(shí)，追加登錄到應(yīng)對(duì)信息數(shù)據(jù)庫(kù)(下面叫做應(yīng)對(duì)信息DB)263中。因此作為應(yīng)對(duì)信息DB263存儲(chǔ)在固定盤(pán)24中。
固定盤(pán)24上存儲(chǔ)的上述故障信息DB261和關(guān)聯(lián)日志文件262以及應(yīng)對(duì)信息DB263在信息存儲(chǔ)服務(wù)器2中進(jìn)行規(guī)定的操作，從而將其內(nèi)容顯示在顯示器25上，可隨時(shí)確認(rèn)。
支持計(jì)算機(jī)3中，圖5所示結(jié)構(gòu)中郵件接收部321、WEB瀏覽器322和應(yīng)對(duì)信息發(fā)送部323的功能是CPU31根據(jù)程序運(yùn)算處理實(shí)現(xiàn)的。
郵件接收部321經(jīng)網(wǎng)絡(luò)6接收電子郵件。郵件接收部321每一定時(shí)間和規(guī)定的郵件服務(wù)器裝置(未示出)進(jìn)行通信，自動(dòng)檢查支持計(jì)算機(jī)3端的電子郵件。從上述郵件發(fā)送部225發(fā)送的電子郵件由郵件接收部321接收。
WEB瀏覽器322具有通過(guò)指定網(wǎng)絡(luò)6的地址(URL)取得該地址的HTML文件等的功能。通過(guò)指定規(guī)定的地址，經(jīng)裝置信息公開(kāi)部226可取得在信息存儲(chǔ)服務(wù)器2上存儲(chǔ)的裝置信息。由此，支持中心5的故障分析負(fù)責(zé)人可閱覽產(chǎn)生故障的襯底處理裝置1的故障信息和關(guān)聯(lián)日志文件262等。
應(yīng)對(duì)信息發(fā)送部323對(duì)信息存儲(chǔ)服務(wù)器2發(fā)送應(yīng)對(duì)信息。應(yīng)對(duì)信息通過(guò)故障分析負(fù)責(zé)人的規(guī)定操作輸入到支持計(jì)算機(jī)3，通過(guò)應(yīng)對(duì)信息發(fā)送部323送到信息存儲(chǔ)服務(wù)器2。
接著，說(shuō)明襯底處理裝置1產(chǎn)生故障時(shí)襯底處理系統(tǒng)10的處理內(nèi)容。圖8是表示襯底處理系統(tǒng)10的處理流程的圖。圖8中，襯底處理裝置1的處理在右側(cè)表示，信息存儲(chǔ)服務(wù)器2的處理在中央表示，支持計(jì)算機(jī)3的處理在左側(cè)表示。向下表示時(shí)間的經(jīng)過(guò)。
首先，襯底處理裝置1的某一處理單元110中產(chǎn)生故障時(shí)，該處理單元110的警報(bào)產(chǎn)生部117產(chǎn)生具有與故障對(duì)應(yīng)的識(shí)別代碼的警報(bào)并發(fā)送到系統(tǒng)控制部100(步驟S11)。
發(fā)送的警報(bào)由警報(bào)處理部122接收，進(jìn)行對(duì)應(yīng)于識(shí)別代碼的動(dòng)作控制。即，參考警報(bào)定義文件161在顯示部130上顯示文本中記載的故障的具體內(nèi)容，同時(shí)根據(jù)系統(tǒng)控制代碼進(jìn)行停止襯底處理裝置1的運(yùn)轉(zhuǎn)等的動(dòng)作控制(步驟S12)。
另外，警報(bào)處理部122參考警報(bào)定義文件161的輸出日志文件代碼提取關(guān)聯(lián)日志文件262，將該關(guān)聯(lián)日志文件262發(fā)送到信息存儲(chǔ)服務(wù)器2(步驟S13)。發(fā)送的關(guān)聯(lián)日志文件262由信息存儲(chǔ)服務(wù)器2接收，并存儲(chǔ)在固定盤(pán)24(步驟S21)中。由此，僅提取故障分析需要的關(guān)聯(lián)日志文件262，確實(shí)進(jìn)行保存。如上所述，處理日志在分析故障原因時(shí)特別重要，因此較好是作為關(guān)聯(lián)日志文件262確實(shí)保存。
接著，警報(bào)處理部122指示故障信息生成部123來(lái)生成故障信息，同時(shí)傳送警報(bào)定義文件161的顯示文本的內(nèi)容和關(guān)聯(lián)日志文件262的保存路徑。故障信息生成部123接收來(lái)自警報(bào)處理部122的指示生成故障信息(步驟S14)，將生成的故障信息送到信息存儲(chǔ)服務(wù)器2(步驟S15)。
故障信息由信息存儲(chǔ)服務(wù)器2的故障信息登錄部224接收，追加登錄在故障信息DB261中(步驟S22)。由此，關(guān)于產(chǎn)生的故障的故障信息和關(guān)聯(lián)日志文件262相關(guān)并存儲(chǔ)在固定盤(pán)24中的同時(shí)，經(jīng)裝置信息公開(kāi)部226可從支持計(jì)算機(jī)3閱覽。故障信息DB261和關(guān)聯(lián)日志文件262上施加適當(dāng)?shù)募用?，在?duì)網(wǎng)絡(luò)6發(fā)送時(shí)要求口令等，可防止非法閱覽。
故障信息登錄部224指示郵件發(fā)送部225向支持計(jì)算機(jī)3通知襯底處理裝置1中產(chǎn)生故障。接收該指示后，郵件發(fā)送部225向支持計(jì)算機(jī)3的郵件地址發(fā)送記載了產(chǎn)生故障的電子郵件(步驟S23)。該郵件地址預(yù)先存儲(chǔ)在固定盤(pán)24上。
送出的電子郵件由支持計(jì)算機(jī)3的郵件接收部321接收(步驟S31)。由此，支持中心5的故障分析負(fù)責(zé)人可認(rèn)識(shí)到襯底處理工廠(chǎng)4產(chǎn)生故障。產(chǎn)生故障后到發(fā)送電子郵件的上述處理全部自動(dòng)進(jìn)行，因此故障分析負(fù)責(zé)人在遠(yuǎn)處也可與時(shí)間無(wú)關(guān)地即刻認(rèn)識(shí)到產(chǎn)生故障。
接收電子郵件的通知后，故障分析負(fù)責(zé)人使用WEB瀏覽器322對(duì)信息存儲(chǔ)服務(wù)器2請(qǐng)求閱覽故障信息DB261。此時(shí)，指定給WEB瀏覽器322的地址也記載在上述電子郵件中，也可預(yù)先存儲(chǔ)在支持計(jì)算機(jī)3的固定盤(pán)34等中。接收該閱覽請(qǐng)求后，信息存儲(chǔ)服務(wù)器2的裝置信息公開(kāi)部226向支持計(jì)算機(jī)3發(fā)送故障信息DB261。由此，支持計(jì)算機(jī)3的顯示器35上如圖7所示顯示故障信息DB261的內(nèi)容。
故障分析負(fù)責(zé)人通過(guò)成為故障信息DB261的最終數(shù)據(jù)的故障信息可具體且容易地把握產(chǎn)生的故障的內(nèi)容。通過(guò)規(guī)定操作指定記為日志的字段D6，還可顯示并閱覽該故障的關(guān)聯(lián)日志文件262(步驟32，24)。此時(shí)，僅提取與故障有關(guān)的關(guān)聯(lián)日志文件262，因此數(shù)據(jù)容量受限制，可快速地接收。
故障分析負(fù)責(zé)人根據(jù)這些故障信息和關(guān)聯(lián)日志文件262進(jìn)行故障原因分析。該分析中，僅提取與故障有關(guān)的關(guān)聯(lián)日志文件262，因此可容易且確定地進(jìn)行故障原因的推測(cè)。由于可閱覽過(guò)去產(chǎn)生的故障的履歷，因此也可從過(guò)去的故障信息推測(cè)故障原因。
故障分析負(fù)責(zé)人結(jié)束故障原因分析后，將故障分析結(jié)果和其對(duì)策作為應(yīng)對(duì)信息輸入到支持計(jì)算機(jī)3中。
應(yīng)對(duì)信息具有No.、對(duì)象裝置、單元、分析結(jié)果、應(yīng)對(duì)方法、程序預(yù)定、版本等的項(xiàng)目信息。
No.是應(yīng)對(duì)信息的識(shí)別序號(hào)。是與故障信息的識(shí)別序號(hào)相同的序號(hào)。
對(duì)象裝置是產(chǎn)生故障的襯底處理裝置1的識(shí)別信息。與故障信息的產(chǎn)生裝置相同。
單元是產(chǎn)生故障的處理單元110的識(shí)別信息。與故障信息的單元相同。
分析結(jié)果是作為文章顯示根據(jù)故障信息和關(guān)聯(lián)日志文件262分析的結(jié)果，具體記述故障產(chǎn)生原因等。
應(yīng)對(duì)方法是對(duì)故障的具體對(duì)策，記述對(duì)故障的處置的操作程序等。
程序預(yù)定表示避免故障產(chǎn)生的襯底處理裝置1的新程序的釋放預(yù)定時(shí)期。通過(guò)更新為該新程可防止相同的故障產(chǎn)生。
版本是上述新程序的版本信息。
輸入這些信息時(shí)，由應(yīng)對(duì)信息發(fā)送部323發(fā)送到信息存儲(chǔ)服務(wù)器2中(步驟S33)。應(yīng)對(duì)信息由信息存儲(chǔ)服務(wù)器2的應(yīng)對(duì)信息登錄部227接收，追加登錄在應(yīng)對(duì)信息DB263(步驟S25)中。
圖9是表示應(yīng)對(duì)信息DB263的一例的圖。如圖所示，應(yīng)對(duì)信息DB263具有多個(gè)字段，圖中字段D10～D16中分別存儲(chǔ)應(yīng)對(duì)信息的No.、對(duì)象裝置、單元、分析結(jié)果、應(yīng)對(duì)方法、程序預(yù)定、版本等的項(xiàng)目信息。該應(yīng)對(duì)信息DB263的內(nèi)容可在信息存儲(chǔ)服務(wù)器2中隨時(shí)確認(rèn)，因此襯底處理工廠(chǎng)4的操作員可對(duì)故障進(jìn)行適當(dāng)?shù)膶?duì)應(yīng)。
根據(jù)以上，襯底處理裝置1產(chǎn)生故障時(shí)，可自動(dòng)向支持中心5的故障分析負(fù)責(zé)人通知，經(jīng)網(wǎng)絡(luò)6即刻從遠(yuǎn)處參考故障信息和關(guān)聯(lián)日志文件262，從而可大幅度縮短開(kāi)始分析故障產(chǎn)生原因的時(shí)間。
由于僅提取與故障相關(guān)的關(guān)聯(lián)日志文件262并存儲(chǔ)，因此故障產(chǎn)生原因分析所需的日志文件可確實(shí)存儲(chǔ)保存。存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)容量受到限制，從而可比較高速地向支持計(jì)算機(jī)3發(fā)送，同時(shí)分析需要的記錄內(nèi)容的檢索時(shí)間也縮短了。
另外，到分析之前的時(shí)間縮短，同時(shí)分析結(jié)果和對(duì)策等的應(yīng)對(duì)信息也可隨時(shí)確認(rèn)，從而可即刻對(duì)故障進(jìn)行適當(dāng)應(yīng)對(duì)。
第一實(shí)施例不限于上述。例如，信息存儲(chǔ)服務(wù)器2配置在襯底處理工廠(chǎng)4內(nèi)，但并不限于此，可只要連接于網(wǎng)絡(luò)6與襯底處理裝置1和支持計(jì)算機(jī)3進(jìn)行通信，配置在哪里都行。
襯底處理裝置1具有信息存儲(chǔ)服務(wù)器2的處理功能。圖10是表示襯底處理裝置1具有信息存儲(chǔ)服務(wù)器2的處理功能的情況下襯底處理系統(tǒng)10的功能結(jié)構(gòu)的框圖。與圖5具有相同功能的部分加上相同符號(hào)。
圖10所示結(jié)構(gòu)中故障信息登錄部124、郵件發(fā)送部125、裝置信息公開(kāi)部126和應(yīng)對(duì)信息登錄部127的功能是襯底處理裝置1的系統(tǒng)控制部100根據(jù)程序運(yùn)算處理來(lái)實(shí)現(xiàn)的。
故障信息登錄部124相當(dāng)于信息存儲(chǔ)服務(wù)器2的故障信息登錄部224的功能，郵件發(fā)送部125相當(dāng)于信息存儲(chǔ)服務(wù)器2的郵件發(fā)送部225的功能，裝置信息公開(kāi)部126相當(dāng)于信息存儲(chǔ)服務(wù)器2的裝置信息公開(kāi)部226的功能，應(yīng)對(duì)信息登錄部127相當(dāng)于信息存儲(chǔ)服務(wù)器2的應(yīng)對(duì)信息登錄部227的功能。這樣構(gòu)成，上述實(shí)施例中信息存儲(chǔ)服務(wù)器2執(zhí)行的處理由襯底處理裝置1執(zhí)行，可由更簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)本發(fā)明。
上述實(shí)施例中，警報(bào)定義文件向成為警告信號(hào)的警報(bào)代碼中對(duì)應(yīng)附加顯示文本、系統(tǒng)控制代碼、輸出日志文件代碼的項(xiàng)目，但只要至少警告信號(hào)和與該警告信號(hào)的產(chǎn)生原因相關(guān)的關(guān)聯(lián)運(yùn)轉(zhuǎn)信息相對(duì)應(yīng)，也可對(duì)應(yīng)附加其他的項(xiàng)目。
另外，上述實(shí)施例中，作為裝置信息可在信息存儲(chǔ)服務(wù)器2上僅存儲(chǔ)關(guān)聯(lián)日志文件262和故障信息，并從支持計(jì)算機(jī)3閱覽，但若是與襯底處理裝置1有關(guān)的裝置信息，則可以是任何信息。
<2.第二實(shí)施例>
第二實(shí)施例的襯底處理系統(tǒng)10的簡(jiǎn)要構(gòu)成與圖1所示相同，但第二實(shí)施例的襯底處理系統(tǒng)10中，在支持計(jì)算機(jī)3中存儲(chǔ)襯底處理裝置1的故障的應(yīng)對(duì)信息等的追加信息，存儲(chǔ)的追加信息經(jīng)網(wǎng)絡(luò)6由襯底處理裝置1獲得。
襯底處理裝置1的結(jié)構(gòu)與第一實(shí)施例的圖2和圖3中說(shuō)明的一樣。支持計(jì)算機(jī)3是存儲(chǔ)追加信息的同時(shí)對(duì)應(yīng)來(lái)自襯底處理裝置1的請(qǐng)求提供追加信息的計(jì)算機(jī)，其構(gòu)成與第一實(shí)施例的圖4說(shuō)明的一樣。
圖11是表示包含第二實(shí)施例的襯底處理裝置1和支持計(jì)算機(jī)3各自根據(jù)程序通過(guò)CPU等的運(yùn)算處理實(shí)現(xiàn)的功能的襯底處理系統(tǒng)10的功能結(jié)構(gòu)的概要的框圖。
如圖11所示，襯底處理裝置1的存儲(chǔ)部104中預(yù)先存儲(chǔ)對(duì)襯底處理裝置1中預(yù)先設(shè)定的故障的應(yīng)對(duì)信息163。該應(yīng)對(duì)信息163中記述故障產(chǎn)生原因、對(duì)故障的處置方法、故障時(shí)功能的制約事項(xiàng)等產(chǎn)生故障時(shí)的具體對(duì)策。
應(yīng)對(duì)信息163對(duì)設(shè)想的各類(lèi)故障作準(zhǔn)備，分別作為獨(dú)立的文件存儲(chǔ)。故障產(chǎn)生時(shí)根據(jù)需要選擇該應(yīng)對(duì)信息163，其內(nèi)容顯示在顯示部130上。下面將襯底處理裝置1中預(yù)先存儲(chǔ)的應(yīng)對(duì)信息163稱(chēng)為裝置內(nèi)應(yīng)對(duì)信息163。
支持計(jì)算機(jī)3的固定盤(pán)34上也存儲(chǔ)與襯底處理裝置1的故障有關(guān)的應(yīng)對(duì)信息363等的追加信息。該應(yīng)對(duì)信息363在每次支持中心5的系統(tǒng)管理者判斷為新的應(yīng)對(duì)信息時(shí)更新其內(nèi)容。因此，也包含引進(jìn)襯底處理裝置1后判斷并追加的信息，應(yīng)對(duì)信息363總是作為最新的應(yīng)對(duì)信息存儲(chǔ)。下面將支持計(jì)算機(jī)3中存儲(chǔ)的應(yīng)對(duì)信息363稱(chēng)為最新應(yīng)對(duì)信息363。
襯底處理裝置1可經(jīng)網(wǎng)絡(luò)6從支持計(jì)算機(jī)3取得最新應(yīng)對(duì)信息363，以更新裝置內(nèi)應(yīng)對(duì)信息163的內(nèi)容，這一點(diǎn)后面說(shuō)明。
圖11所示結(jié)構(gòu)中，警報(bào)發(fā)生部117的功能是襯底處理裝置1的單元控制部115根據(jù)程序運(yùn)算處理實(shí)現(xiàn)的。警報(bào)處理部122和應(yīng)對(duì)信息取得部128的功能是襯底處理裝置1的系統(tǒng)控制部100根據(jù)程序運(yùn)算處理實(shí)現(xiàn)的。應(yīng)對(duì)信息提供部324的功能是支持計(jì)算機(jī)3的CPU31根據(jù)程序運(yùn)算處理實(shí)現(xiàn)的。
警報(bào)發(fā)生部117在處理單元110中產(chǎn)生某故障時(shí)，產(chǎn)生警報(bào)，作為表示產(chǎn)生故障的警告信號(hào)。警報(bào)中預(yù)先分配識(shí)別代碼，警報(bào)發(fā)生部117產(chǎn)生具有與產(chǎn)生的故障對(duì)應(yīng)的識(shí)別代碼的警報(bào)，發(fā)送到系統(tǒng)控制部100。
警報(bào)處理部122接收警報(bào)發(fā)生部1 17的警報(bào)，對(duì)應(yīng)該警報(bào)的識(shí)別代碼進(jìn)行動(dòng)作控制。該處理通過(guò)參考存儲(chǔ)部104中預(yù)先存儲(chǔ)的警報(bào)定義文件461進(jìn)行。警報(bào)定義文件461按每個(gè)處理單元110的分類(lèi)(涂布處理單元SC、顯影處理單元SD等)作為獨(dú)立的文件存儲(chǔ)，警報(bào)處理部122對(duì)應(yīng)產(chǎn)生警報(bào)的處理單元110選擇并參考適當(dāng)?shù)木瘓?bào)定義文件461。
圖12是表示警報(bào)定義文件461的一例的圖。如圖所示，警報(bào)定義文件461是具有多個(gè)字段的表。字段中包含警報(bào)代碼、顯示文本、系統(tǒng)控制代碼、應(yīng)對(duì)信息和更新日期等。
警報(bào)代碼是表示產(chǎn)生的警報(bào)中包含的識(shí)別代碼的字段。其他字段(顯示文本、系統(tǒng)控制代碼、應(yīng)對(duì)信息和更新日期等)對(duì)應(yīng)該警報(bào)代碼。警報(bào)處理部122從警報(bào)代碼檢索接收的警報(bào)的識(shí)別代碼，根據(jù)與該識(shí)別代碼對(duì)應(yīng)的其他字段中記載的內(nèi)容進(jìn)行處理。
顯示文本是將故障的具體內(nèi)容表示為文章的字段。警報(bào)處理部122在顯示部130顯示該顯示文本中表示的內(nèi)容。由此，操作員可作為具體的文件把握產(chǎn)生何種故障。
系統(tǒng)控制代碼是表示警報(bào)產(chǎn)生時(shí)襯底處理裝置1的控制內(nèi)容的字段。具體說(shuō)，預(yù)先分配若系統(tǒng)控制代碼為1，則停止襯底處理裝置1的運(yùn)轉(zhuǎn)、若為2，則強(qiáng)制再啟動(dòng)襯底處理裝置1等的控制內(nèi)容。警報(bào)處理部122根據(jù)系統(tǒng)控制代碼的記載內(nèi)容進(jìn)行動(dòng)作控制，襯底處理裝置1根據(jù)故障種類(lèi)進(jìn)行適當(dāng)動(dòng)作。
應(yīng)對(duì)信息是表示與產(chǎn)生的警報(bào)對(duì)應(yīng)的裝置內(nèi)應(yīng)對(duì)信息163的文件名的字段。即，與成為警報(bào)產(chǎn)生原因的故障對(duì)應(yīng)的裝置內(nèi)應(yīng)對(duì)信息163相對(duì)應(yīng)。因此，警報(bào)處理部122在故障產(chǎn)生時(shí)容易選擇與該故障對(duì)應(yīng)的裝置內(nèi)應(yīng)對(duì)信息163。選擇的裝置內(nèi)應(yīng)對(duì)信息163通過(guò)警報(bào)處理部122與上述顯示文本一起自動(dòng)在顯示部130顯示。
更新日期是表示更新應(yīng)對(duì)信息所示的裝置內(nèi)應(yīng)對(duì)信息163的日期的字段。即，在更新日所示的日期的時(shí)刻中，應(yīng)對(duì)信息中記述的裝置內(nèi)應(yīng)對(duì)信息163是最新信息。關(guān)于從襯底處理裝置1引進(jìn)時(shí)預(yù)先存儲(chǔ)的、而且完全未更新的文件，可以記載或不記載該襯底處理裝置1的出廠(chǎng)日期時(shí)間和引進(jìn)日期時(shí)間等。
應(yīng)對(duì)信息取得部128經(jīng)網(wǎng)絡(luò)6從支持計(jì)算機(jī)3取得最新應(yīng)對(duì)信息363。取得時(shí)，向支持計(jì)算機(jī)3發(fā)送規(guī)定的請(qǐng)求命令。從應(yīng)對(duì)信息取得部128發(fā)送的請(qǐng)求命令由支持計(jì)算機(jī)3的應(yīng)對(duì)信息提供部324接收。應(yīng)對(duì)信息提供部324根據(jù)接收的請(qǐng)求命令選擇最新應(yīng)對(duì)信息363并發(fā)送到襯底處理裝置1。
由此，應(yīng)對(duì)信息取得部128可取得最新應(yīng)對(duì)信息363。應(yīng)對(duì)信息取得部128寫(xiě)入并保存裝置內(nèi)應(yīng)對(duì)信息163中對(duì)該文件取得的最新應(yīng)對(duì)信息363。這樣，裝置內(nèi)應(yīng)對(duì)信息163的內(nèi)容更新為最新的信息。
接著說(shuō)明襯底處理裝置1產(chǎn)生故障時(shí)襯底處理系統(tǒng)10的處理內(nèi)容。圖13是表示第二實(shí)施例的襯底處理系統(tǒng)10的處理流程的圖。圖13中襯底處理裝置1的處理在右側(cè)，支持計(jì)算機(jī)3的處理在左側(cè)。向下表示時(shí)間的經(jīng)過(guò)。
首先，襯底處理裝置1的某一處理單元110中產(chǎn)生故障時(shí)，該處理單元110的警報(bào)產(chǎn)生部117產(chǎn)生具有與故障對(duì)應(yīng)的識(shí)別代碼的警報(bào)并發(fā)送到系統(tǒng)控制部100(步驟T11)。
發(fā)送的警報(bào)由警報(bào)處理部122接收，進(jìn)行對(duì)應(yīng)于識(shí)別代碼的動(dòng)作控制。即，參考警報(bào)定義文件461，根據(jù)系統(tǒng)控制代碼進(jìn)行停止襯底處理裝置1的運(yùn)轉(zhuǎn)等的動(dòng)作控制(步驟T12)。
接著，警報(bào)處理部122參考警報(bào)定義文件161的應(yīng)對(duì)信息，選擇與該故障對(duì)應(yīng)的裝置內(nèi)應(yīng)對(duì)信息163。并且與警報(bào)定義文件161的顯示文本一起在顯示部130顯示選擇的裝置內(nèi)應(yīng)對(duì)信息163的內(nèi)容(步驟T13)。由此，襯底處理裝置1的操作員把握產(chǎn)生的故障的具體內(nèi)容的同時(shí)還把握該故障的具體對(duì)策。
警報(bào)定義文件161的更新日期的內(nèi)容也同時(shí)顯示在顯示部130中。由此，操作員把握顯示其內(nèi)容的裝置內(nèi)應(yīng)對(duì)信息163的更新的日期時(shí)間，判斷其內(nèi)容的可靠性。即，如果已從更新日期經(jīng)過(guò)了時(shí)間的話(huà)，可判斷為有可能已將新的應(yīng)對(duì)信息存儲(chǔ)在支持計(jì)算機(jī)3中。
顯示部130中顯示詢(xún)問(wèn)是否取得最新的應(yīng)對(duì)信息的消息(步驟T14)。操作員確認(rèn)顯示部130中顯示的裝置內(nèi)應(yīng)對(duì)信息163的內(nèi)容和更新日期等后，經(jīng)操作部140輸入可否取得最新的應(yīng)對(duì)信息。此時(shí)，選擇為不能由操作員取得的情況下(步驟T14為否)，不進(jìn)行下面說(shuō)明的最新應(yīng)對(duì)信息363的取得處理，僅通過(guò)裝置內(nèi)應(yīng)對(duì)信息163應(yīng)對(duì)故障。
另一方面，選擇為由操作員可取得最新的應(yīng)對(duì)信息的情況下(步驟T14為是)，警報(bào)處理部122對(duì)應(yīng)對(duì)信息取得部128指示取得最新應(yīng)對(duì)信息363。通過(guò)警報(bào)處理部122的指示，應(yīng)對(duì)信息取得部128取得最新應(yīng)對(duì)信息363，從而對(duì)支持計(jì)算機(jī)3發(fā)送規(guī)定的請(qǐng)求命令(步驟T15)。該請(qǐng)求命令由支持計(jì)算機(jī)3的應(yīng)對(duì)信息提供部324接收(步驟T31)。
請(qǐng)求命令中附加襯底處理裝置1自身的識(shí)別信息、產(chǎn)生故障的處理單元110的識(shí)別信息、襯底處理裝置1存儲(chǔ)的程序的版本信息、產(chǎn)生的警報(bào)的識(shí)別代碼的各信息。程序的版本信息可包含系統(tǒng)控制用程序和單元控制用程序二者的版本信息。這些信息通過(guò)應(yīng)對(duì)信息取得部128的處理附加于請(qǐng)求命令。
應(yīng)對(duì)信息提供部324通過(guò)附加于請(qǐng)求命令的各信息選擇應(yīng)發(fā)送的最新應(yīng)對(duì)信息363。選擇的最新應(yīng)對(duì)信息363由應(yīng)對(duì)信息提供部324發(fā)送到襯底處理裝置1(步驟T32)，由應(yīng)對(duì)信息取得部128接收(步驟T16)。通過(guò)這種處理，應(yīng)對(duì)信息取得部128可選擇地僅取得作為產(chǎn)生的警報(bào)的產(chǎn)生原因的故障的最新應(yīng)對(duì)信息363。與此同時(shí)，限制接收的最新應(yīng)對(duì)信息363的數(shù)據(jù)容量，可高速接收。
應(yīng)對(duì)信息取得部128對(duì)成為舊信息的裝置內(nèi)應(yīng)對(duì)信息163(步驟T12選擇的裝置內(nèi)應(yīng)對(duì)信息163)再寫(xiě)入接收的最新應(yīng)對(duì)信息363，存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部104中。在取得最新應(yīng)對(duì)信息363的時(shí)刻的日期中改寫(xiě)并更新警報(bào)定義文件161的更新日。此外，將警報(bào)定義文件161的應(yīng)對(duì)信息更新為取得的最新應(yīng)對(duì)信息363的文件名。這樣，取得的最新應(yīng)對(duì)信息363作為裝置內(nèi)應(yīng)對(duì)信息163與警報(bào)對(duì)應(yīng)并存儲(chǔ)(步驟T17)。即，最新應(yīng)對(duì)信息363與引進(jìn)時(shí)預(yù)先存在的應(yīng)對(duì)信息同樣存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部104中，警報(bào)定義文件161也對(duì)應(yīng)于此更新。因此，追加的應(yīng)對(duì)信息也作為故障的應(yīng)對(duì)信息進(jìn)行一元化管理，可與以前存在的應(yīng)對(duì)信息同樣進(jìn)行處理。
接著，應(yīng)對(duì)信息取得部128向警報(bào)處理部122通知取得最新應(yīng)對(duì)信息363，接收該通知后警報(bào)處理部122再次參考警報(bào)定義文件161，在顯示部130顯示取得的最新應(yīng)對(duì)信息363(步驟T18)。由此，操作員可閱覽最新的應(yīng)對(duì)信息，可對(duì)故障適當(dāng)應(yīng)對(duì)。
根據(jù)以上那樣，經(jīng)網(wǎng)絡(luò)即刻從存儲(chǔ)追加信息的支持計(jì)算機(jī)3取得最新應(yīng)對(duì)信息363，因此襯底處理裝置1產(chǎn)生故障時(shí)可進(jìn)行適當(dāng)對(duì)應(yīng)。追加的應(yīng)對(duì)信息與預(yù)先存儲(chǔ)的應(yīng)對(duì)信息一起進(jìn)行一元化管理，可同樣進(jìn)行處理。
第二實(shí)施例不限于上述。例如，第二實(shí)施例中僅在向操作員詢(xún)問(wèn)可否取得應(yīng)對(duì)信息并選擇取得的情況下，取得最新應(yīng)對(duì)信息363，但不對(duì)操作員進(jìn)行詢(xún)問(wèn)，可自動(dòng)取得最新應(yīng)對(duì)信息363。即，可不進(jìn)行圖13所示的步驟T13和T14的處理。據(jù)此，襯底處理裝置1中，故障產(chǎn)生時(shí)可自動(dòng)取得最新應(yīng)對(duì)信息363，可總是閱覽最新的應(yīng)對(duì)信息。
上述實(shí)施例中，應(yīng)對(duì)信息163作為獨(dú)立的文件分別存儲(chǔ)，由警報(bào)定義文件461間接對(duì)應(yīng)警告信號(hào)(警報(bào))，但在警報(bào)定義文件461的應(yīng)對(duì)信息字段等中記載其內(nèi)容，直接對(duì)應(yīng)警告信號(hào)。即，可對(duì)應(yīng)警告信號(hào)和作為該警告信號(hào)的產(chǎn)生原因的故障的應(yīng)對(duì)信息。
上述實(shí)施例中，取得最新應(yīng)對(duì)信息363時(shí)發(fā)送的請(qǐng)求命令中附加襯底處理裝置1的識(shí)別信息、處理單元110的識(shí)別信息、程序的版本信息、警報(bào)的識(shí)別代碼的各信息，但不限于此。例如，為唯一地導(dǎo)出襯底處理裝置1的識(shí)別信息、處理單元110的識(shí)別信息、程序的版本信息、警報(bào)的識(shí)別代碼的信息，可構(gòu)成應(yīng)對(duì)信息的文件名，則僅向請(qǐng)求命令附加文件名，可選擇取得適當(dāng)?shù)淖钚聭?yīng)對(duì)信息363。
上述實(shí)施例中，作為追加信息僅從支持計(jì)算機(jī)3取得應(yīng)對(duì)信息363，但只要是與襯底處理裝置的規(guī)格相關(guān)的信息、與操作方法相關(guān)的信息、與襯底處理方法相關(guān)的信息等的襯底處理裝置1的追加信息，可以是任何信息。
<3.第三實(shí)施例>
第三實(shí)施例的襯底處理系統(tǒng)10的簡(jiǎn)要構(gòu)成與圖1所示相同，但第三實(shí)施例的襯底處理系統(tǒng)10中，在襯底處理裝置1中安裝的軟件模塊的版本信息存儲(chǔ)在信息存儲(chǔ)服務(wù)器2上，存儲(chǔ)的版本信息經(jīng)網(wǎng)絡(luò)6可在支持計(jì)算機(jī)3中閱覽。
襯底處理裝置1的結(jié)構(gòu)與第一實(shí)施例的圖2和圖3中說(shuō)明的一樣。其中第三實(shí)施例的系統(tǒng)控制部100的存儲(chǔ)部104中存儲(chǔ)作為裝置整體的系統(tǒng)控制用程序的軟件模塊。通過(guò)系統(tǒng)控制部100的CPU101執(zhí)行根據(jù)該軟件模塊的運(yùn)算處理，實(shí)現(xiàn)作為襯底處理裝置1的整體的動(dòng)作控制和數(shù)據(jù)處理。單元控制部115的存儲(chǔ)部114中存儲(chǔ)作為對(duì)應(yīng)該處理單元110的襯底處理部116的處理內(nèi)容的單元控制用程序的軟件模塊。通過(guò)單元控制部115的CPU111執(zhí)行根據(jù)該軟件模塊的運(yùn)算處理，實(shí)現(xiàn)襯底處理部116的動(dòng)作控制和數(shù)據(jù)處理。
即，襯底處理裝置1上安裝的控制用程序分割為幾個(gè)軟件模塊并存儲(chǔ)在系統(tǒng)控制部100的存儲(chǔ)部104或單元控制部115的存儲(chǔ)部114中，所謂軟件模塊是這種襯底處理裝置1的控制用軟件的分割體。
這些軟件模塊經(jīng)讀取裝置150從記錄媒體91讀出，從規(guī)定的服務(wù)器存儲(chǔ)裝置等經(jīng)網(wǎng)絡(luò)6的下載來(lái)取得和更新。
襯底處理工廠(chǎng)4中配置的信息存儲(chǔ)服務(wù)器2和支持中心5配置的支持計(jì)算機(jī)3的構(gòu)成與第一實(shí)施例的圖4說(shuō)明的同樣。
接著說(shuō)明襯底處理系統(tǒng)10的功能和處理內(nèi)容。圖14是表示第三實(shí)施例的襯底處理系統(tǒng)10的功能結(jié)構(gòu)的概要的框圖。圖15是表示第三實(shí)施例的襯底處理系統(tǒng)10的處理程序的流程圖。圖14中，版本信息送出部129是通過(guò)系統(tǒng)控制部100的CPU101執(zhí)行處理程序?qū)崿F(xiàn)的處理部，版本信息登錄部231、郵件發(fā)送部232、匹配性確認(rèn)部235和信息公開(kāi)部236是通過(guò)信息存儲(chǔ)服務(wù)器2的CPU21執(zhí)行處理程序分別實(shí)現(xiàn)的處理部，郵件接收部311和WEB瀏覽器312是通過(guò)信息存儲(chǔ)服務(wù)器2的CPU21執(zhí)行處理程序分別實(shí)現(xiàn)的處理部。
首先，圖15的步驟S1中，在襯底處理裝置1上安裝軟件模塊178。如上所述，軟件模塊178是襯底處理裝置1的控制用軟件的分割體，安裝在襯底處理裝置1的系統(tǒng)控制部100和/或單元控制部115上。更具體說(shuō)，軟件模塊178的安裝經(jīng)襯底處理裝置1的讀取裝置50進(jìn)行，系統(tǒng)控制部100上安裝的軟件模塊178存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部104中，單元控制部115中安裝的軟件模塊178存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部114中。
這里，本實(shí)施例的軟件模塊178的安裝中，除新引進(jìn)軟件模塊178的情況之外，也包含更新(版本升級(jí))已經(jīng)安裝的軟件模塊178的情況。軟件模塊178的安裝也可針對(duì)1臺(tái)襯底處理裝置1上包含的全部系統(tǒng)控制部100和單元控制部115一起進(jìn)行，也可針對(duì)這些中的一個(gè)(單個(gè)或多個(gè))進(jìn)行。
至少系統(tǒng)控制部100或單元控制部115之一上安裝軟件模塊178時(shí)，版本信息送出部129匯集版本信息并送出到信息存儲(chǔ)服務(wù)器2(步驟S2)。即系統(tǒng)控制部100上安裝軟件模塊178時(shí)，版本信息送出部129直接識(shí)別安裝。在單元控制部115中安裝軟件模塊178時(shí)，接收到來(lái)自單元控制部115的自我申報(bào)的版本信息送出部129識(shí)別安裝。并且，某襯底處理裝置1中，識(shí)別至少系統(tǒng)控制部100或單元控制部115之一上安裝軟件模塊178的版本信息送出部129在該時(shí)刻匯集該襯底處理裝置1上包含的系統(tǒng)控制部100和全部單元控制部115上安裝的軟件模塊的版本信息，送出到信息存儲(chǔ)服務(wù)器2的版本信息登錄部231。
接收送出的版本信息登錄部231在固定盤(pán)24中登錄上述襯底處理裝置1上包含的系統(tǒng)控制部100和全部單元控制部115上安裝的軟件模塊的版本信息(步驟S3)。固定盤(pán)24內(nèi)作為版本管理表241存儲(chǔ)對(duì)于各個(gè)襯底處理裝置1的版本信息。
圖16是表示版本管理表241的一例的圖。該圖中，裝置表示襯底處理裝置1上附加的識(shí)別序號(hào)，系統(tǒng)版本表示襯底處理裝置1安裝的系統(tǒng)整體的版本，安裝日期時(shí)間表示至少在系統(tǒng)控制部100或單元控制部115之一上安裝軟件模塊178的日期時(shí)間。分類(lèi)表示安裝的軟件模塊178的種類(lèi)，版本區(qū)分表示安裝的軟件模塊178是標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格還是特殊規(guī)格，版本表示安裝的軟件模塊178的版本信息。
如圖16所示，在版本管理表241上對(duì)在襯底處理工廠(chǎng)4中配置的每個(gè)襯底處理裝置1登錄版本信息。例如，對(duì)于裝置序號(hào)為8101的襯底處理裝置1，作為系統(tǒng)版本1.00記錄在2001年4月12日進(jìn)行軟件模塊178的安裝。并且作為裝置序號(hào)為8101的襯底處理裝置1的系統(tǒng)控制部100中安裝的軟件模塊178(分類(lèi)為系統(tǒng)控制)的版本信息，登錄該軟件模塊178的版本為1.0.0.1。另外，還登錄該軟件模塊178的版本區(qū)分為標(biāo)準(zhǔn)。
作為裝置序號(hào)為8101的襯底處理裝置1的單元控制部115上安裝的軟件模塊178(分類(lèi)為自旋控制、藥液控制等)的版本信息登錄該軟件模塊178的版本分別為1.1.0.1、1.0.0.3。此外，該軟件模塊178的版本區(qū)分登錄為標(biāo)準(zhǔn)、特殊E。
同樣，對(duì)于裝置序號(hào)為8100的襯底處理裝置1，作為系統(tǒng)版本1.00記錄在2001年4月12日進(jìn)行軟件模塊178的安裝，同時(shí)作為其后的系統(tǒng)版本1.10登錄在2001年4月20日安裝軟件模塊178。即，版本管理表241中對(duì)該時(shí)刻的每個(gè)襯底處理裝置1登錄版本信息，而且還記錄過(guò)去的版本履歷。換句話(huà)說(shuō)，本實(shí)施例的固定盤(pán)24具有用作存儲(chǔ)系統(tǒng)控制部100和單元控制部115上安裝的軟件模塊178的版本信息的版本信息存儲(chǔ)部件的功能。
圖16所示的版本管理表241在向襯底處理裝置1上安裝軟件模塊178時(shí)，作為存儲(chǔ)在該時(shí)刻的系統(tǒng)控制部100和全部單元控制部115上安裝的軟件模塊178的版本信息的結(jié)果構(gòu)成。例如，對(duì)于裝置序號(hào)為8101的襯底處理裝置1，在2001年4月12日將用于藥液控制的新的軟件模塊(版本為1.0.03)安裝在單元控制部115上時(shí)，在4月12日這一時(shí)刻裝置序號(hào)為8101的襯底處理裝置1上包含的系統(tǒng)控制部100和全部單元控制部115上安裝的軟件模塊178的版本信息存儲(chǔ)在固定盤(pán)24中，并且如圖16所示構(gòu)成版本管理表241。
另一方面，版本信息登錄部231在固定盤(pán)24中登錄軟件模塊178的版本信息的同時(shí)，將該登錄傳遞到郵件發(fā)送部232。識(shí)別出軟件模塊178的版本信息登錄在固定盤(pán)24的郵件發(fā)送部232經(jīng)網(wǎng)絡(luò)6將記載了登錄新版本的電子郵件發(fā)送到支持中心5的支持計(jì)算機(jī)3中(圖15的步驟S4)。支持計(jì)算機(jī)3的郵件接收部311接收與新版本登錄相關(guān)的電子郵件，使得支持中心5的負(fù)責(zé)人從支持計(jì)算機(jī)3可獲知襯底處理裝置1上安裝的軟件模塊178。
接著進(jìn)行到圖15的步驟S5，信息存儲(chǔ)服務(wù)器2的匹配性確認(rèn)部235對(duì)新安裝的軟件模塊178的匹配性作檢查。更正確地說(shuō)，系統(tǒng)控制部100或單元控制部115上安裝軟件模塊178時(shí)，參考固定盤(pán)24上存儲(chǔ)的系統(tǒng)控制部100和單元控制部115上安裝的軟件模塊178的版本信息，在該時(shí)刻(就在安裝后)由匹配性確認(rèn)部235確認(rèn)系統(tǒng)控制部100和單元控制部115上各自安裝的軟件模塊178的相互匹配性。軟件模塊178的一部分進(jìn)行更新時(shí)，該安裝的軟件模塊178和系統(tǒng)控制部100以及單元控制部115上已經(jīng)安裝了的軟件模塊178的相互匹配性由匹配性確認(rèn)部235確認(rèn)。對(duì)該確認(rèn)方法作具體說(shuō)明。
某襯底處理裝置1的系統(tǒng)控制部100或單元控制部115上安裝軟件模塊178時(shí)，該時(shí)刻(就在安裝后)由匹配性確認(rèn)部235可參考版本管理表241就系統(tǒng)控制部100和單元控制部115上安裝的軟件模塊178的版本信息進(jìn)行識(shí)別。例如，裝置序號(hào)為8101的襯底處理裝置1的單元控制部115上安裝分類(lèi)為藥液控制的新的軟件模塊(版本為1.0.0.3)時(shí)，匹配性確認(rèn)部235參考圖16的版本管理表241在該時(shí)刻識(shí)別系統(tǒng)控制部100上安裝的軟件模塊178(分類(lèi)為系統(tǒng)控制)的版本信息是版本1.0.0.1，識(shí)別在單元控制部115上安裝的軟件模塊178(分類(lèi)為自旋控制、藥液控制等)的版本信息分別為版本1.1.0.1、版本1.0.0.3。
信息存儲(chǔ)服務(wù)器2的固定盤(pán)24上存儲(chǔ)確認(rèn)表242。圖17是表示確認(rèn)表242的一例的圖。圖中，系統(tǒng)版本、分類(lèi)、版本區(qū)分、版本的意思與圖16說(shuō)明的相同。釋放信息是對(duì)各系統(tǒng)版本的注解文字。對(duì)每個(gè)系統(tǒng)版本準(zhǔn)備確認(rèn)表242，圖17中表示出對(duì)于系統(tǒng)版本1.00的確認(rèn)表242。
確認(rèn)表242是登錄彼此具有匹配性的軟件模塊178的版本信息的匹配性確認(rèn)表，固定盤(pán)24用作保持這種匹配性確認(rèn)表的表保持部件的功能。根據(jù)圖17的確認(rèn)表242，系統(tǒng)版本1.00中，對(duì)于分類(lèi)為系統(tǒng)控制的軟件模塊178(版本為1.0.0.1)，確認(rèn)分類(lèi)為自旋控制的軟件模塊178(版本為1.1.0.1、1.1.0.2)和分類(lèi)為藥液控制的軟件模塊178(版本為1.0.0.3)等相互具有匹配性。同時(shí)，這些也對(duì)分類(lèi)為系統(tǒng)控制的軟件模塊178(版本為1.0.0.2)相互具有匹配性。即，某襯底處理裝置1的系統(tǒng)控制部100和單元控制部115上安裝的軟件模塊178的版本信息全部登錄在確認(rèn)表242中，則它們彼此之間具有匹配性。
這種確認(rèn)表242由襯底處理裝置1的制造商制作并分配，本實(shí)施例中，從支持中心5的支持計(jì)算機(jī)3經(jīng)網(wǎng)絡(luò)6配送到襯底處理工廠(chǎng)4的信息存儲(chǔ)服務(wù)器2中。
匹配性確認(rèn)部235在某襯底處理裝置1的系統(tǒng)控制部100或單元控制部115上安裝軟件模塊178時(shí)，通過(guò)參考版本管理表241確認(rèn)是否將識(shí)別的系統(tǒng)控制部100和單元控制部115上安裝的軟件模塊178的全部版本信息登錄在圖17所示的確認(rèn)表242中。其結(jié)果，在系統(tǒng)控制部100和單元控制部115上各自安裝的軟件模塊178的版本信息全部登錄在確認(rèn)表242的情況下，判斷為具有匹配性，即便是1個(gè)未登錄在確認(rèn)表242中的情況也判斷為沒(méi)有匹配性(圖15的步驟S6)。
例如，上述的裝置序號(hào)為8101的襯底處理裝置1的單元控制部115上安裝用于分類(lèi)為藥液控制的新的軟件模塊(版本為1.0.0.3)的例子中，該襯底處理裝置1的系統(tǒng)控制部100上安裝的軟件模塊178(分類(lèi)為系統(tǒng)控制)的版本信息是版本1.0.0.1，單元控制部115上安裝的軟件模塊178(分類(lèi)為自旋控制、藥液控制等)的版本信息分別為版本1.1.0.1、版本1.0.0.3等(圖16)。這些版本信息全部登錄在圖17的確認(rèn)表242(系統(tǒng)版本為1.00)中，因此匹配性確認(rèn)部235判斷為新安裝的軟件模塊178(分類(lèi)為藥液控制、版本為1.0.0.3)與系統(tǒng)控制部100或單元控制部115上已經(jīng)安裝了的軟件模塊178匹配。
如上述例子，判斷為有匹配性的情況下，隨著新軟件模塊178的安裝，結(jié)束一連串的處理。另一方面，匹配性確認(rèn)部235有時(shí)判斷為沒(méi)有匹配性。
例如，在裝置序號(hào)為8101的襯底處理裝置1的單元控制部115上安裝分類(lèi)為藥液控制的新軟件模塊(版本區(qū)分為特殊F、版本為1.0.0.4)。此時(shí)，與上述相同，在安裝時(shí)刻，裝置序號(hào)為8101的襯底處理裝置1中包含的系統(tǒng)控制部100和全部單元控制部115上安裝的軟件模塊178的版本信息存儲(chǔ)在固定盤(pán)24中并構(gòu)成圖18所示的版本管理表241。
此時(shí)，匹配性確認(rèn)部235通過(guò)參考圖18的版本管理表241識(shí)別系統(tǒng)控制部100上安裝的軟件模塊178(分類(lèi)為系統(tǒng)控制)的版本信息是版本1.0.0.1，單元控制部115上安裝的軟件模塊178(分類(lèi)為自旋控制，藥液控制等)的版本信息分別為版本1.1.0.1、版本1.0.0.4等。并且，匹配性確認(rèn)部235由于這些版本信息中在單元控制部115上安裝的軟件模塊178(分類(lèi)為藥液控制)的版本1.0.0.4未登錄在圖17的確認(rèn)表242(系統(tǒng)版本為1.00)中，判斷為新安裝的軟件模塊178與系統(tǒng)控制部100或單元控制部115上已經(jīng)安裝了的軟件模塊178不具有匹配性。
這樣，匹配性確認(rèn)部235判斷為沒(méi)有匹配性的情況下，向郵件發(fā)送部232傳遞該消息，將記載不匹配通知的電子郵件經(jīng)網(wǎng)絡(luò)6發(fā)送到支持中心5的支持計(jì)算機(jī)3中(圖15的步驟S7)。支持計(jì)算機(jī)3的郵件接收部311接收記載不匹配通知的電子郵件，使得支持中心5的負(fù)責(zé)人識(shí)別出襯底處理裝置1上安裝的軟件模塊178不匹配。
此時(shí)，支持中心5的負(fù)責(zé)人使用WEB瀏覽器312進(jìn)行版本信息的確認(rèn)(圖15的步驟S8)。即，信息存儲(chǔ)服務(wù)器2的固定盤(pán)24上存儲(chǔ)的版本管理表241通過(guò)信息公開(kāi)部236經(jīng)網(wǎng)絡(luò)6可閱覽地公開(kāi)。支持中心5的負(fù)責(zé)人使用WEB瀏覽器312閱覽固定盤(pán)24上存儲(chǔ)的版本管理表241，確認(rèn)襯底處理裝置1上安裝的軟件模塊178的版本信息。并且，支持中心5的負(fù)責(zé)人見(jiàn)到不匹配的軟件模塊178，通過(guò)電子郵件等就其和襯底處理工廠(chǎng)4的操作員和區(qū)域掌管的負(fù)責(zé)人聯(lián)絡(luò)，消除不匹配。
根據(jù)以上，某襯底處理裝置1的系統(tǒng)控制部100或單元控制部115上安裝軟件模塊178時(shí)，在該時(shí)刻確認(rèn)系統(tǒng)控制部100和單元控制部115上各自安裝的軟件模塊的相互匹配性，因此可將軟件模塊之間的不匹配引起的故障(襯底處理裝置1的誤動(dòng)作和停止等)防患于未然。一部分的軟件模塊178被更新時(shí)，確認(rèn)該新安裝的軟件模塊178和系統(tǒng)控制部100與單元控制部115上已經(jīng)安裝了的軟件模塊178的匹配性，從而可將軟件模塊之間的不匹配引起的故障防患于未然。
不管軟件模塊178有無(wú)匹配性，某襯底處理裝置1上包含的系統(tǒng)控制部100和單元控制部115上安裝的全部軟件模塊178的版本信息作為版本管理表241存儲(chǔ)，經(jīng)網(wǎng)絡(luò)6可閱覽地對(duì)其公開(kāi)，從而可從支持中心5側(cè)迅速正確地把握襯底處理裝置1上安裝的軟件模塊178的版本信息，在故障產(chǎn)生時(shí)也可高效地進(jìn)行分析。
第三實(shí)施例不限于上述。例如，在第三實(shí)施例中，不限于信息存儲(chǔ)服務(wù)器2配置在襯底處理工廠(chǎng)4中，只要連接于網(wǎng)絡(luò)6可與襯底處理裝置1和支持計(jì)算機(jī)3通信，配置在哪里都可以。
第三實(shí)施例中，從支持計(jì)算機(jī)3配送確認(rèn)表242并存儲(chǔ)在信息存儲(chǔ)服務(wù)器2的固定盤(pán)24中，但確認(rèn)表242也可存儲(chǔ)在支持計(jì)算機(jī)3的固定盤(pán)34中。圖19是表示將確認(rèn)表242存儲(chǔ)在支持計(jì)算機(jī)3的固定盤(pán)34中時(shí)襯底處理系統(tǒng)10的功能結(jié)構(gòu)的功能框圖。此時(shí)，并非襯底處理裝置1的制造商分配制作的確認(rèn)表242，而是存儲(chǔ)在支持計(jì)算機(jī)3的固定盤(pán)34中，經(jīng)網(wǎng)絡(luò)6可閱覽地公開(kāi)。信息存儲(chǔ)服務(wù)器2的匹配性確認(rèn)部235經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)6參考確認(rèn)表242并檢查上述的軟件模塊178的匹配性。另外，除此以外與上述實(shí)施例相同。這樣，得到與上述實(shí)施例相同的效果。
使襯底處理裝置1具有信息存儲(chǔ)服務(wù)器2的處理功能。圖20是表示使襯底處理裝置1具有信息存儲(chǔ)服務(wù)器2的處理功能時(shí)襯底處理系統(tǒng)10的功能結(jié)構(gòu)的功能框圖。圖中，關(guān)于與圖14相同的功能的部分，加上相同的符號(hào)。圖20中，版本信息送出部129、版本信息登錄部131、郵件發(fā)送部132、匹配性確認(rèn)部135和信息公開(kāi)部136是通過(guò)系統(tǒng)控制部100的CPU101執(zhí)行處理程序(軟件模塊)實(shí)現(xiàn)的處理部。
如圖20所示的情況下，系統(tǒng)控制部100的存儲(chǔ)部104中除軟件模塊178外還存儲(chǔ)版本管理表241和確認(rèn)表242。并且，系統(tǒng)控制部100的版本信息登錄部131、郵件發(fā)送部132、匹配性確認(rèn)部135和信息公開(kāi)部136分別和上述實(shí)施例的信息存儲(chǔ)服務(wù)器2的版本信息登錄部231、郵件發(fā)送部232、匹配性確認(rèn)部235和信息公開(kāi)部236相同的功能，進(jìn)行同樣處理。這樣，得到與上述實(shí)施例相同的效果。
即，總結(jié)本發(fā)明的技術(shù)內(nèi)容，某襯底處理裝置1的系統(tǒng)控制部100或單元控制部115上安裝軟件模塊178時(shí)，該時(shí)刻存儲(chǔ)系統(tǒng)控制部100和單元控制部115上各自安裝的軟件模塊178的版本信息來(lái)構(gòu)成版本管理表241，同時(shí)如果是參考登錄相互具有匹配性的軟件模塊178的版本信息的確認(rèn)表242，從版本管理表241確認(rèn)系統(tǒng)控制部100和單元控制部115上各自安裝的軟件模塊178相互之間的匹配性的狀態(tài)，則可在襯底處理裝置1、信息存儲(chǔ)服務(wù)器2、支持計(jì)算機(jī)3之一中執(zhí)行各處理。匹配性確認(rèn)作業(yè)自身也可由通過(guò)電子郵件獲得新版本登錄通知的支持中心5的負(fù)責(zé)人來(lái)進(jìn)行。
另外，上述各實(shí)施例的襯底處理裝置1對(duì)襯底進(jìn)行抗蝕劑的涂布處理和顯影處理，但不限于此，例如如果是可通過(guò)照射光加熱襯底的燈退火裝置、旋轉(zhuǎn)襯底進(jìn)行去除粒子的清洗處理的清洗處理裝置、將襯底浸漬在氟酸等處理液中進(jìn)行表面處理的浸漬處理裝置等對(duì)襯底進(jìn)行規(guī)定處理的襯底處理裝置，則無(wú)論是哪種裝置，都可采用本發(fā)明的技術(shù)。
權(quán)利要求
1.一種襯底處理裝置和處理上述襯底處理裝置的裝置信息的計(jì)算機(jī)與網(wǎng)絡(luò)結(jié)合的襯底處理系統(tǒng)，其特征在于具有存儲(chǔ)取得的上述裝置信息的裝置信息存儲(chǔ)部件；可經(jīng)上述網(wǎng)絡(luò)從上述計(jì)算機(jī)閱覽在上述裝置信息存儲(chǔ)部件上存儲(chǔ)的上述裝置信息的裝置信息公開(kāi)部件。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的襯底處理系統(tǒng)，其特征在于還具有將有關(guān)上述襯底處理裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)的時(shí)間系列信息作為運(yùn)轉(zhuǎn)信息記錄的運(yùn)轉(zhuǎn)信息記錄部件，上述裝置信息包括上述運(yùn)轉(zhuǎn)信息。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的襯底處理系統(tǒng)，其特征在于還具有上述襯底處理裝置產(chǎn)生故障時(shí)產(chǎn)生警告信號(hào)的警告部件，上述裝置信息存儲(chǔ)部件在產(chǎn)生上述警告信號(hào)時(shí)存儲(chǔ)上述裝置信息。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的襯底處理系統(tǒng)，其特征在于還具有從上述運(yùn)轉(zhuǎn)信息提取與產(chǎn)生的上述警告信號(hào)的產(chǎn)生原因相關(guān)的故障關(guān)聯(lián)運(yùn)轉(zhuǎn)信息的提取部件，上述裝置信息包含上述故障關(guān)聯(lián)運(yùn)轉(zhuǎn)信息。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的襯底處理系統(tǒng)，其特征在于還具有存儲(chǔ)使上述警告信號(hào)和上述故障關(guān)聯(lián)運(yùn)轉(zhuǎn)信息對(duì)應(yīng)的表的存儲(chǔ)部件。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的襯底處理系統(tǒng)，其特征在于上述運(yùn)轉(zhuǎn)信息包括與襯底的處理工序有關(guān)的時(shí)間系列信息。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的襯底處理系統(tǒng)，其特征在于還具有在上述警告信號(hào)產(chǎn)生時(shí)與和該警告信號(hào)對(duì)應(yīng)的上述故障關(guān)聯(lián)運(yùn)轉(zhuǎn)信息相關(guān)地生成與上述故障有關(guān)的故障信息的故障信息生成部件，上述裝置信息包含上述故障信息。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的襯底處理系統(tǒng)，其特征在于還具有上述襯底處理裝置產(chǎn)生故障時(shí)產(chǎn)生警告信號(hào)的警告部件，和在產(chǎn)生上述警告信號(hào)時(shí)生成關(guān)于上述故障的故障信息的故障信息生成部件，上述裝置信息包含上述故障信息。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的襯底處理系統(tǒng)，其特征在于還具有在產(chǎn)生上述警告信號(hào)時(shí)經(jīng)上述網(wǎng)絡(luò)向上述計(jì)算機(jī)通知產(chǎn)生上述故障的通知部件。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的襯底處理系統(tǒng)，其特征在于還具有基于上述裝置信息取得上述故障的應(yīng)對(duì)信息的應(yīng)對(duì)信息取得部件。
11.一種襯底處理裝置，可經(jīng)網(wǎng)絡(luò)通信，其特征在于具有對(duì)上述網(wǎng)絡(luò)送出該襯底處理裝置的裝置信息的裝置信息送出部件。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的襯底處理裝置，其特征在于還具有將關(guān)于運(yùn)轉(zhuǎn)的時(shí)間系列信息作為運(yùn)轉(zhuǎn)信息記錄的運(yùn)轉(zhuǎn)信息記錄部件，上述裝置信息包括上述運(yùn)轉(zhuǎn)信息。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的襯底處理裝置，其特征在于還具有產(chǎn)生故障時(shí)產(chǎn)生警告信號(hào)的警告部件，上述裝置信息提供部件在產(chǎn)生上述警告信號(hào)時(shí)存儲(chǔ)上述裝置信息。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的襯底處理裝置，其特征在于還具有從上述運(yùn)轉(zhuǎn)信息提取與產(chǎn)生的上述警告信號(hào)的產(chǎn)生原因相關(guān)的故障關(guān)聯(lián)運(yùn)轉(zhuǎn)信息的提取部件，上述裝置信息包含上述故障相關(guān)運(yùn)轉(zhuǎn)信息。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的襯底處理裝置，其特征在于該具有存儲(chǔ)使上述警告信號(hào)和上述故障關(guān)聯(lián)運(yùn)轉(zhuǎn)信息對(duì)應(yīng)的表的存儲(chǔ)部件。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的襯底處理裝置，其特征在于上述運(yùn)轉(zhuǎn)信息包含關(guān)于襯底的處理工序的時(shí)間系列信息。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的襯底處理裝置，其特征在于還具有在產(chǎn)生上述警告信號(hào)時(shí)與該警告信號(hào)對(duì)應(yīng)的上述故障關(guān)聯(lián)運(yùn)轉(zhuǎn)信息相關(guān)地生成關(guān)于上述故障的故障信息的故障信息生成部件，上述裝置信息包括上述故障信息。
18.根據(jù)權(quán)利要求11所述的襯底處理裝置，其特征在于還包括上述襯底處理裝置產(chǎn)生故障時(shí)產(chǎn)生警告信號(hào)的警告部件和產(chǎn)生上述警告信號(hào)時(shí)生成與上述故障有關(guān)的故障信息的故障信息生成部件，上述裝置信息包含上述故障信息。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的襯底處理裝置，其特征在于還具有在產(chǎn)生上述警告信號(hào)時(shí)經(jīng)上述網(wǎng)絡(luò)向外部計(jì)算機(jī)通知產(chǎn)生上述故障的通知部件。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的襯底處理裝置，其特征在于還具有基于上述裝置信息取得上述故障的應(yīng)對(duì)信息的應(yīng)對(duì)信息取得部件。
21.一種管理襯底處理裝置的裝置信息的方法，其特征在于具有以下工序存儲(chǔ)取得的上述裝置信息；使存儲(chǔ)的上述裝置信息可經(jīng)網(wǎng)絡(luò)從外部計(jì)算機(jī)閱覽。
22.一種襯底處理系統(tǒng)，將具有對(duì)襯底進(jìn)行規(guī)定處理的處理單元和控制裝置整體的系統(tǒng)控制部以及分別控制上述處理單元的單元控制部的襯底處理裝置和計(jì)算機(jī)經(jīng)網(wǎng)絡(luò)結(jié)合，其特征在于具有在上述系統(tǒng)控制部或上述單元控制部上安裝軟件模塊時(shí)，在該時(shí)刻確認(rèn)上述系統(tǒng)控制部和上述單元控制部上各自安裝的軟件模塊的匹配性的匹配性確認(rèn)部件。
23.根據(jù)權(quán)利要求22所述的襯底處理系統(tǒng)，其特征在于上述匹配性確認(rèn)部件在向上述系統(tǒng)控制部或上述單元控制部上安裝軟件模塊時(shí)，在該時(shí)刻根據(jù)上述系統(tǒng)控制部或上述單元控制部上各自安裝的軟件模塊的版本信息確認(rèn)匹配性。
24.根據(jù)權(quán)利要求23所述的襯底處理系統(tǒng)，其特征在于還具有上述系統(tǒng)控制部或上述單元控制部上安裝軟件模塊時(shí)，在該時(shí)刻存儲(chǔ)上述系統(tǒng)控制部或上述單元控制部上各自安裝的軟件模塊的版本信息的版本信息存儲(chǔ)部件。
25.根據(jù)權(quán)利要求24所述的襯底處理系統(tǒng)，其特征在于還具有保持登錄相互具有匹配性的軟件模塊的版本信息的匹配性確認(rèn)表的表保持部件，上述匹配性確認(rèn)部件在上述版本信息存儲(chǔ)部件上存儲(chǔ)的上述系統(tǒng)控制部和上述單元控制部上各自安裝的軟件模塊的版本信息全部登錄在上述匹配性確認(rèn)表中時(shí)確認(rèn)為有匹配性，此外的情況下確認(rèn)為不具有匹配性。
26.根據(jù)權(quán)利要求25所述的襯底處理系統(tǒng)，其特征在于還具有上述匹配性確認(rèn)部件確認(rèn)為無(wú)匹配性時(shí)經(jīng)上述網(wǎng)絡(luò)向上述計(jì)算機(jī)通知不匹配的通知部件。
27.一種襯底處理系統(tǒng)，將具有對(duì)襯底進(jìn)行規(guī)定處理的處理單元和控制裝置整體的系統(tǒng)控制部以及分別控制上述處理單元的單元控制部的襯底處理裝置和計(jì)算機(jī)經(jīng)網(wǎng)絡(luò)結(jié)合，具有信息存儲(chǔ)服務(wù)器，其特征在于包括存儲(chǔ)在上述系統(tǒng)控制部或上述單元控制部上安裝的軟件模塊的版本信息的版本信息存儲(chǔ)部件和可經(jīng)上述網(wǎng)絡(luò)從上述計(jì)算機(jī)閱讀上述版本信息存儲(chǔ)部件上存儲(chǔ)的上述版本信息的版本信息公開(kāi)部件。
28.根據(jù)權(quán)利要求27所述的襯底處理系統(tǒng)，其特征在于上述系統(tǒng)控制部在上述系統(tǒng)控制部和上述單元控制部上安裝軟件模塊時(shí)，在該時(shí)刻向上述信息存儲(chǔ)服務(wù)器送出在上述系統(tǒng)控制部和上述單元控制部上安裝的軟件模塊的版本信息，上述信息存儲(chǔ)服務(wù)器將上述送出的版本信息存儲(chǔ)在上述版本信息存儲(chǔ)部件。
29.根據(jù)權(quán)利要求28所述的襯底處理系統(tǒng)，其特征在于上述信息存儲(chǔ)服務(wù)器還具有在上述系統(tǒng)控制部和上述單元控制部上安裝軟件模塊時(shí)，參考上述版本信息存儲(chǔ)部件中存儲(chǔ)的在上述系統(tǒng)控制部和上述單元控制部上安裝的軟件模塊的版本信息確認(rèn)上述系統(tǒng)控制部和上述單元控制部上各自安裝的軟件模塊的匹配性的匹配性確認(rèn)部件。
30.根據(jù)權(quán)利要求29所述的襯底處理系統(tǒng)，其特征在于上述信息存儲(chǔ)服務(wù)器還具有保持登錄相互具有匹配性的軟件模塊的版本信息的匹配性確認(rèn)表的表保持部件，上述匹配性確認(rèn)部件在上述版本信息存儲(chǔ)部件上存儲(chǔ)的上述系統(tǒng)控制部和上述單元控制部上各自安裝的軟件模塊的版本信息全部登錄在上述匹配性確認(rèn)表中時(shí)確認(rèn)為有匹配性，此外的情況下確認(rèn)為不具有匹配性。
31.根據(jù)權(quán)利要求29所述的襯底處理系統(tǒng)，其特征在于上述計(jì)算機(jī)還具有保持登錄相互具有匹配性的軟件模塊的版本信息的匹配性確認(rèn)表的表保持部件，上述匹配性確認(rèn)部件在網(wǎng)絡(luò)路徑上參照上述匹配性確認(rèn)表并且在上述版本信息存儲(chǔ)部件上存儲(chǔ)的上述系統(tǒng)控制部和上述單元控制部上各自安裝的軟件模塊的版本信息全部登錄在上述匹配性確認(rèn)表中時(shí)確認(rèn)為有匹配性，此外的情況下確認(rèn)為不具有匹配性。
32.根據(jù)權(quán)利要求30所述的襯底處理系統(tǒng)，其特征在于上述信息存儲(chǔ)服務(wù)器還具有上述匹配性確認(rèn)部件確認(rèn)為無(wú)匹配性時(shí)經(jīng)上述網(wǎng)絡(luò)向上述計(jì)算機(jī)通知不匹配的通知部件。
33.一種襯底處理裝置管理方法，管理襯底處理裝置，該襯底處理裝置中具有對(duì)襯底進(jìn)行規(guī)定處理的處理單元和控制裝置整體的系統(tǒng)控制部以及分別控制上述處理單元的單元控制部，其特征在于包括在上述系統(tǒng)控制部或上述單元控制部上安裝軟件模塊時(shí)，在該時(shí)刻確認(rèn)上述系統(tǒng)控制部和上述單元控制部上各自安裝的軟件模塊的匹配性的工序。
34.根據(jù)權(quán)利要求33所述的襯底處理裝置管理方法，其特征在于上述匹配性確認(rèn)根據(jù)上述系統(tǒng)控制部或上述單元控制部上各自安裝的軟件模塊的版本信息進(jìn)行。
35.一種襯底處理裝置，具有對(duì)襯底進(jìn)行規(guī)定處理的處理單元和控制裝置整體的系統(tǒng)控制部以及分別控制上述處理單元的單元控制部，其特征在于包括在上述系統(tǒng)控制部或上述單元控制部上安裝軟件模塊時(shí)，在該時(shí)刻確認(rèn)在上述系統(tǒng)控制部和上述單元控制部上各自安裝的軟件模塊的匹配性的匹配性確認(rèn)部件。
36.根據(jù)權(quán)利要求35所述的襯底處理裝置，其特征在于上述匹配性確認(rèn)部件在上述系統(tǒng)控制部和上述單元控制部上安裝軟件模塊時(shí)，在該時(shí)刻根據(jù)在上述系統(tǒng)控制部和上述單元控制部上各自安裝的軟件模塊的版本信息確認(rèn)匹配性。
37.根據(jù)權(quán)利要求36所述的襯底處理裝置，其特征在于還具有在上述系統(tǒng)控制部和上述單元控制部上安裝軟件模塊時(shí)，在該時(shí)刻存儲(chǔ)在上述系統(tǒng)控制部和上述單元控制部上各自安裝的軟件模塊的版本信息的版本信息存儲(chǔ)部件。
38.根據(jù)權(quán)利要求37所述的襯底處理裝置，其特征在于還具有保持登錄相互具有匹配性的軟件模塊的版本信息的匹配性確認(rèn)表的表保持部件，上述匹配性確認(rèn)部件在上述版本信息存儲(chǔ)部件上存儲(chǔ)的上述系統(tǒng)控制部和上述單元控制部上各自安裝的軟件模塊的版本信息全部登錄在上述匹配性確認(rèn)表中時(shí)確認(rèn)為有匹配性，此外的情況下確認(rèn)為不具有匹配性。
39.一種襯底處理裝置，具有對(duì)襯底進(jìn)行規(guī)定處理的處理單元和控制裝置整體的系統(tǒng)控制部以及分別控制上述處理單元的單元控制部，其特征在于上述系統(tǒng)控制部在上述系統(tǒng)控制部或上述單元控制部上安裝軟件模塊時(shí)，在該時(shí)刻送出在上述系統(tǒng)控制部和上述單元控制部上安裝的軟件模塊的版本信息。
40.一種具有可經(jīng)網(wǎng)絡(luò)通信的襯底處理裝置的襯底處理系統(tǒng)，其特征在于具有存儲(chǔ)作為與上述襯底處理裝置有關(guān)的信息、并且追加地由上述襯底處理裝置的銷(xiāo)售商提供的追加信息的追加信息存儲(chǔ)部件，和經(jīng)上述網(wǎng)絡(luò)取得存儲(chǔ)的上述追加信息的追加信息取得部件。
41.根據(jù)權(quán)利要求40所述的襯底處理系統(tǒng)，其特征在于還具有存儲(chǔ)上述追加信息取得部件取得的上述追加信息的追加信息存儲(chǔ)部件。
42.根據(jù)權(quán)利要求41所述的襯底處理系統(tǒng)，其特征在于上述追加信息包含上述襯底處理裝置的故障的應(yīng)對(duì)信息。
43.根據(jù)權(quán)利要求42所述的襯底處理系統(tǒng)，其特征在于還具有上述襯底處理裝置產(chǎn)生故障時(shí)產(chǎn)生警告信號(hào)的警告部件和存儲(chǔ)對(duì)應(yīng)上述警告信號(hào)和作為該警告信號(hào)的產(chǎn)生原因的故障應(yīng)對(duì)信息的表的表存儲(chǔ)部件。
44.根據(jù)權(quán)利要求43所述的襯底處理系統(tǒng)，其特征在于上述追加信息取得部件有選擇地取得作為產(chǎn)生上述警告信號(hào)的產(chǎn)生原因的故障的應(yīng)對(duì)信息。
45.根據(jù)權(quán)利要求44所述的襯底處理系統(tǒng)，其特征在于還具有在產(chǎn)生上述警告信號(hào)時(shí)顯示作為該警告信號(hào)的產(chǎn)生原因的故障的應(yīng)對(duì)信息的顯示部件。
46.一種可經(jīng)網(wǎng)絡(luò)通信的襯底處理裝置，其特征在于具有經(jīng)上述網(wǎng)絡(luò)從存儲(chǔ)作為與上述襯底處理裝置有關(guān)的信息、且追加地存儲(chǔ)由上述襯底處理裝置的銷(xiāo)售商提供的追加信息的裝置取得上述追加信息的追加信息取得部件。
47.根據(jù)權(quán)利要求46所述的襯底處理裝置，其特征在于還具有存儲(chǔ)上述追加信息取得部件取得的上述追加信息的追加信息存儲(chǔ)部件。
48.根據(jù)權(quán)利要求47所述的襯底處理裝置，其特征在于上述追加信息包含該襯底處理裝置的故障的應(yīng)對(duì)信息。
49.根據(jù)權(quán)利要求48所述的襯底處理裝置，其特征在于還具有上述襯底處理裝置產(chǎn)生故障時(shí)產(chǎn)生警告信號(hào)的警告部件和存儲(chǔ)對(duì)應(yīng)上述警告信號(hào)和作為該警告信號(hào)的產(chǎn)生原因的故障的應(yīng)對(duì)信息的表的表存儲(chǔ)部件。
50.根據(jù)權(quán)利要求49所述的襯底處理裝置，其特征在于上述追加信息取得部件有選擇地取得作為產(chǎn)生的上述警告信號(hào)的產(chǎn)生原因的故障的應(yīng)對(duì)信息。
51.根據(jù)權(quán)利要求50所述的襯底處理裝置，其特征在于還具有在產(chǎn)生上述警告信號(hào)時(shí)顯示作為該警告信號(hào)的產(chǎn)生原因的故障的應(yīng)對(duì)信息的顯示部件。
52.一種取得與襯底處理裝置相關(guān)聯(lián)而追加的追加信息的方法，其特征在于包括下面的工序存儲(chǔ)上述追加信息的追加信息存儲(chǔ)工序；經(jīng)網(wǎng)絡(luò)取得存儲(chǔ)的上述追加信息的追加信息取得工序。
全文摘要
一種襯底處理系統(tǒng)，具有襯底處理裝置和信息存儲(chǔ)服務(wù)器和支持計(jì)算機(jī)，分別連接于網(wǎng)絡(luò)。襯底處理裝置中產(chǎn)生故障時(shí)，警報(bào)處理部提取必要的關(guān)聯(lián)日志(log)文件并存儲(chǔ)在信息存儲(chǔ)服務(wù)器的固定盤(pán)上。另外，通過(guò)故障信息生成部生成故障信息，最終作為故障信息數(shù)據(jù)庫(kù)存儲(chǔ)在信息存儲(chǔ)服務(wù)器的固定盤(pán)上。這些關(guān)聯(lián)日志文件和故障信息數(shù)據(jù)庫(kù)可通過(guò)裝置信息公開(kāi)部從遠(yuǎn)處的支持計(jì)算機(jī)閱覽。由此，可即刻閱覽關(guān)聯(lián)日志文件和故障信息數(shù)據(jù)庫(kù)。即提供在襯底處理裝置產(chǎn)生故障時(shí)，從遠(yuǎn)處即時(shí)閱覽運(yùn)轉(zhuǎn)信息的襯底處理系統(tǒng)。
文檔編號(hào)G05B15/02GK1396625SQ0213037
公開(kāi)日2003年2月12日 申請(qǐng)日期2002年7月5日 優(yōu)先權(quán)日2001年7月5日
發(fā)明者北本徹, 龜井謙治, 井上秀和, 濱田哲也 申請(qǐng)人:大日本屏影象制造株式會(huì)社