專利名稱:激光二極管泵浦源的控制系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及固體激光器,特別是一種用于固體激光器泵浦的激光二極管泵浦源的控制系統(tǒng)。
背景技術(shù):
固態(tài)激光器最有效的泵浦源是激光二極管(Laser Diode,以下簡稱LD)。早在1963年,美國人紐曼就提出了用LD作為固體激光器泵浦源的構(gòu)想,進入八十年代,由于量子阱結(jié)構(gòu)激光二極管的出現(xiàn),激光二極管泵浦固體激光器(DPSSL-Diode Pumped Solid State Laser)研究工作取得了很大的進展,人們開始認識到LD代替閃光燈作泵浦源具有效率高、壽命長和結(jié)構(gòu)緊湊等優(yōu)點。然而LD是否正常運行與驅(qū)動電源的性能、工作溫度等有著密切的關(guān)系,尤其是工作溫度,對于LD的壽命、閾值電流、輸出功率、激射波長等指標都會產(chǎn)生較大的影響,必須給LD提供高精度和高穩(wěn)定性的工作溫度,才能保證DPSSL具有最大的輸出功率和最小的功率波動。因此,激光器工作時,穩(wěn)定可靠的供電系統(tǒng)和高精度的溫度控制裝置是必需的。
傳統(tǒng)的泵浦用LD多采用供電和溫控分離的兩套電氣系統(tǒng),在設(shè)計上也多采用模擬電路的方法,不僅線路復雜、體積大、功耗大,而且無法采用先進的智能控制,也無法實現(xiàn)友好的人機交互。隨著LD的應用日益廣泛,對相應的電氣控制系統(tǒng)的要求越來越多樣化,同時具備溫度采集、數(shù)據(jù)處理、狀態(tài)監(jiān)測和輸出控制能力的智能化控制系統(tǒng)成為研究的熱點。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于開發(fā)一種同時具備溫度采集、數(shù)據(jù)處理、狀態(tài)檢測和輸出控制能力的智能化激光二極管(以下簡稱LD)泵浦源的控制系統(tǒng)。該系統(tǒng)應具有體積小、功耗低、易于控制、功能強大、抗干擾能力強等優(yōu)點。
本發(fā)明的技術(shù)解決方案如下一種激光二極管(以下簡稱LD)泵浦源的控制系統(tǒng),其特征是以一片單片機為控制中心,設(shè)置五個子功能模塊溫度采集和控制模塊、LD驅(qū)動模塊、調(diào)Q電路模塊、人機交互模塊和LD實時狀態(tài)的檢測模塊,該單片機統(tǒng)一控制所述的溫度采集和控制模塊、LD驅(qū)動模塊、調(diào)Q電路模塊、人機交互模塊和LD實時狀態(tài)的檢測模塊協(xié)同工作,以實現(xiàn)激光二極管泵浦源智能化工作。
所述的單片機為ADuc812型號單片機,通過植入算法實現(xiàn)LD驅(qū)動信號和調(diào)Q信號的觸發(fā)、模糊邏輯溫度控制以及LD電流、能量的采樣、控制和監(jiān)測,采用頻率為11.0592MHz的晶振與兩個30pF的電容匹配,構(gòu)成了單片機的時鐘發(fā)生電路;復位電路采用一個復位芯片來完成,該復位芯片在確保電流穩(wěn)定安全的前提下觸發(fā)單片機復位接口的電復位。
所述的溫度采集和控制模塊由溫度傳感器、第四運算放大器(以下簡稱為運放)和致冷器組成,溫度傳感器實時采樣激光二極管工作的溫度值并轉(zhuǎn)化為模擬電壓信號,傳輸給所述的單片機,在單片機內(nèi)完成模數(shù)轉(zhuǎn)換和模糊邏輯計算,得到的控制量經(jīng)過數(shù)模轉(zhuǎn)換器變成模擬電壓信號,從模擬輸出端口輸出,經(jīng)第四運放跟隨,輸出到致冷器,控制其加熱或致冷的功率,調(diào)節(jié)激光二極管的工作溫度為設(shè)定溫度。
所述的LD驅(qū)動模塊包括第三運放和LD觸發(fā)電路,LD脈沖觸發(fā)信號由單片機的模擬輸出端口,經(jīng)過第三運放跟隨后,提供給LD觸發(fā)電路,輸出信號的大小由上位機發(fā)出的指令決定。
所述的調(diào)Q電路模塊,由單片機提供與LD脈沖觸發(fā)信號相匹配的調(diào)Q信號。
所述的人機交互模塊由電平轉(zhuǎn)換芯片和RS-232串行接口和上位機組成,實現(xiàn)單片機與上位機之間的雙向數(shù)據(jù)傳輸和數(shù)據(jù)顯示。
所述的LD實時狀態(tài)的檢測模塊包括LD電流采集和能量采集兩部分電流采集由LD電流采集點經(jīng)電流采樣保持芯片、第一運放與單片機的輸入端口相連,該單片機的數(shù)字輸出端口與電流采樣保持芯片連接;能量采集由能量探測板經(jīng)能量采樣保持芯片和第二運放與單片機的輸入端口相連,該單片機的數(shù)字輸出端口與能量探測板連接,向能量探測板提供復位信號。
所述的單片機,采用模糊控制算法對所采集的物理量進行數(shù)據(jù)處理,對激光二極管泵浦源實行智能控制。
溫度控制模塊的工作主要包括以下幾個步驟通過溫度傳感器實時采集LD的工作溫度并轉(zhuǎn)換為模擬電壓信號;將模擬電壓信號經(jīng)運算放大器放大后輸入到單片機,單片機內(nèi)部的模數(shù)轉(zhuǎn)換器將輸入的模擬信號轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號,并采用事先編好的模糊邏輯控制算法進行數(shù)據(jù)處理,得到用于調(diào)節(jié)溫度的控制數(shù)據(jù),該控制數(shù)據(jù)通過數(shù)模轉(zhuǎn)換器轉(zhuǎn)換成模擬信號控制致冷器的工作,最終達到控制被測物溫度的目的。
上述的模糊邏輯控制算法屬于智能控制的范疇,主要以模糊數(shù)學和規(guī)則表組成控制決策,適用于難于建模的受控對象,對于復雜的工作環(huán)境和存在未知干擾的情況也能獲得較好的控制效果。
本發(fā)明的優(yōu)點是1、該LD控制系統(tǒng)體積小,結(jié)構(gòu)緊湊;
2、采用單片機作為控制核心,不僅功能強大、線路簡單,也降低了功耗;3、采用模糊控制算法進行溫度自動控制,與傳統(tǒng)的PID(Proportional-Integral-Derivative,比例積分微分)控制相比,適應性強,在工作環(huán)境改變或有較大擾動的情況下,也無需手動調(diào)節(jié)控制參數(shù)。
4、友好的人機交互界面,LD工作電流大小方便調(diào)節(jié),工作狀態(tài)易于監(jiān)測。
圖1為本發(fā)明激光二極管泵浦源的控制系統(tǒng)的總體結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2為本發(fā)明激光二極管泵浦源的控制系統(tǒng)具體實施例的電路原理圖。
圖3為本發(fā)明系統(tǒng)軟件主程序流程。
圖4為本發(fā)明LD觸發(fā)信號和調(diào)Q觸發(fā)信號子程序流程。
圖5為本發(fā)明溫度采集與控制子程序流程。
圖6為本發(fā)明模糊邏輯控制算法子程序流程。
具體實施例方式
下面以一片ADuc812單片機芯片為控制中心為實施例來說明本發(fā)明,但不應以此限制本發(fā)明的保護范圍。
先請參閱圖1和圖2,本發(fā)明激光二極管泵浦源的控制系統(tǒng),以一片ADuc812單片機2為控制中心,設(shè)置五個子功能模塊溫度采集和控制模塊1、LD驅(qū)動模塊3、調(diào)Q電路模塊4、人機交互模塊5和LD實時狀態(tài)的檢測模塊6,該單片機統(tǒng)一控制所述的溫度采集和控制模塊1、LD驅(qū)動模塊3、調(diào)Q電路模塊4、人機交互模塊5和LD實時狀態(tài)的檢測模塊6協(xié)同工作,以實現(xiàn)激光二極管泵浦源智能化工作。。
本發(fā)明采用的是AD公司的ADuc812型號單片機2,ADuc812是全集成的高性能12位數(shù)據(jù)采集系統(tǒng),它在單個芯片內(nèi)集成了高性能的自校準多通道模數(shù)轉(zhuǎn)換器(ADC)21,兩個12位數(shù)模轉(zhuǎn)換器(DAC)22以及8位微控制器(MCU-Micro controller unit)26,片內(nèi)8KB的閃速/電擦除程序存儲器264,640字節(jié)的閃速/電擦除數(shù)據(jù)存儲器267以及256字節(jié)數(shù)據(jù)靜態(tài)隨機存儲器268,均由可編程內(nèi)核261控制,另外MCU26還包括3個16位定時/計數(shù)器263、看門狗定時器265、電源監(jiān)視器262和振蕩器266等,并為多處理器接口和輸入/輸出(I/O)擴展提供了32條可編程的I/O線25和標準通用異步收發(fā)器(UART-UniversalAsynchronous Receiver/Transmitter)串行口I/O269等。
ADuc812是一款51系列兼容的單片機,因此其基本外圍電路可以采用和51類似的電路實現(xiàn),為了產(chǎn)生一個合適的通訊用的波特率,便于和計算機通訊,采用頻率為11.0592MHz的晶振與兩個30pF的電容匹配,構(gòu)成了單片機的時鐘發(fā)生電路7;復位電路的設(shè)計上,采用一個專用的MCU復位芯片ADM18128來完成,該ADM1812芯片在確保電流穩(wěn)定安全的前提下觸發(fā)單片機復位接口RST上的電復位。
所述的溫度采集和控制模塊1由溫度傳感器11、第四運放13和致冷器12組成,溫度傳感器11實時采樣LD工作的溫度值并轉(zhuǎn)化為模擬電壓信號,傳輸給所述的單片機2,在單片機內(nèi)完成模數(shù)轉(zhuǎn)換和模糊邏輯計算,得到的控制量經(jīng)過數(shù)模轉(zhuǎn)換器變成模擬電壓信號,從模擬輸出端口23輸出,經(jīng)第四運放13跟隨,輸出到致冷器12,控制其加熱或致冷的功率,調(diào)節(jié)激光二極管的工作溫度為設(shè)定溫度。
所述的LD驅(qū)動模塊3包括第三運放31和LD觸發(fā)電路32,LD脈沖觸發(fā)信號由單片機2的模擬輸出端口24,經(jīng)過第三運放31跟隨后,提供給LD觸發(fā)電路32,輸出信號的大小由上位機53發(fā)出的指令決定。
所述的調(diào)Q電路模塊4為常規(guī)調(diào)Q電路,由單片機2提供與LD脈沖觸發(fā)信號相匹配的調(diào)Q信號。
所述的人機交互模塊5由電平轉(zhuǎn)換芯片51和RS-232串行接口52和上位機53組成,實現(xiàn)單片機2與上位機53之間的雙向數(shù)據(jù)傳輸和數(shù)據(jù)顯示。
所述的LD實時狀態(tài)的檢測模塊6包括LD電流采集和能量采集兩部分電流采集由LD電流采集點61經(jīng)電流采樣保持芯片62、第一運放63與單片機2輸入端口P1.1相連,該單片機2的數(shù)字輸出端口P2.7與電流采樣保持芯片62連接;能量采集由能量探測板64經(jīng)能量采樣保持芯片65和第二運放67與單片機2的輸入端口P1.2相連,該單片機2的數(shù)字輸出端口P2.1與能量探測板64連接,向能量探測板64提供復位信號。
所述的單片機2,采用模糊控制算法對所采集的物理量進行數(shù)據(jù)處理,對激光二極管泵浦源實行智能控制。
所述的ADuc812單片機2和五個子模塊實現(xiàn)不同的功能。
LD驅(qū)動模塊3為LD提供重復脈沖信號,由單片機2提供準確的時序,驅(qū)動電流的大小可以通過上位機53接收指令來改變,該LD驅(qū)動信號由ADuc812的模擬接口輸出,經(jīng)過放大環(huán)節(jié)提供給LD。調(diào)Q電路模塊4提供和LD觸發(fā)脈沖相配合的TTL(Transistor-Transistor Logic,晶體管-晶體管邏輯)電平調(diào)Q信號,也是由單片機2提供準確時序,通過數(shù)字接口輸出。狀態(tài)檢測模塊6需要采集兩個狀態(tài)參數(shù)LD電流和能量值,電流信號可以從電路中直接采集,能量值由特定的能量探測板64提供,在電流穩(wěn)定后,由單片機2發(fā)出采樣信號,并將采集來的狀態(tài)值通過串行接口顯示在人機交互界面上,讓工作人員可以實時監(jiān)測LD的工作狀態(tài)。人機交互模塊采用ADM202電平轉(zhuǎn)換芯片和RS-232串行接口實現(xiàn)單片機與上位機之間的雙向數(shù)據(jù)傳輸,同時在上位機上顯示狀態(tài)參數(shù)并接收控制指令。
本實施例中溫度傳感器11采用熱敏電阻,溫度的改變會導致熱敏電阻阻值的變化,與電阻分壓后溫度變化轉(zhuǎn)換成電壓變化,送給ADuc812的模擬輸入端口P1.0,采集來的溫度值經(jīng)過多路開關(guān)20,再經(jīng)ADC21轉(zhuǎn)換后送入微處理器26,用事先編好的模糊邏輯控制算法進行數(shù)據(jù)處理,得到用于調(diào)節(jié)溫度的控制數(shù)據(jù),該控制數(shù)據(jù)通過DAC22轉(zhuǎn)換成模擬信號,從模擬輸出端口DAC023輸出,經(jīng)第四運放13跟隨,輸出到致冷器12,從而起到溫度控制的作用。
LD驅(qū)動模塊3包括第三運放31和LD觸發(fā)電路32,LD脈沖觸發(fā)信號由ADuc8122的模擬輸出端口DAC124,經(jīng)過第三運放31跟隨后,提供給LD觸發(fā)電路32,輸出信號的大小由上位機53發(fā)出的指令決定。
調(diào)Q電路模塊4比較簡單,ADuc812的數(shù)字輸出端口P2.0直接與調(diào)Q電路板4連接,由單片機ADuc812提供和LD脈沖觸發(fā)信號相匹配的調(diào)Q信號。
狀態(tài)檢測模塊6需要采集LD電流和能量,61為LD電流采集點,62為電流采樣保持芯片,63為第一運放,64為能量探測板,65為能量采樣保持芯片,67為第二運放,ADuc812的模擬輸入端口P1.1用于LD電流的采集,在LD觸發(fā)信號變成高電平后,延遲大于100μs的時間,待LD電流達到穩(wěn)定狀態(tài),此時由數(shù)字輸出端口P2.7輸出高電平,觸發(fā)LF398電流采樣保持芯片62,采樣得到的電流值經(jīng)過第一運放63跟隨,輸入到ADuc8122的P1.1口。同理,P1.2口用于采集能量值,P2.6口用于觸發(fā)能量采樣保持芯片65,第二運放67用于跟隨,不同的是,能量探測板64需要另外提供一個復位信號,由輸出端口P2.1提供。
人機交互模塊5,串口269外接ADM202電平轉(zhuǎn)換芯片51,經(jīng)由九針串行接口DB952和上位機53連接,用于串行通訊。本例采用了四運放集成芯片OP481,分別為A、B、C、D四路,分別為第一運放63、第二運放67、第三運放31、第四運放13,它們?yōu)槟M信號的輸入輸出端口提供跟隨,以提高驅(qū)動能力。本例采集到的LD電流、能量和溫度信號通過上位機53顯示給工作人員,用于檢測工作狀態(tài)。
系統(tǒng)軟件由主程序、初始化程序和中斷程序等組成。圖3所示是本例的主程序流程圖,在完成ADC/DAC初始化、串口初始化和定時器的初始化后進入循環(huán),等待定時器中斷。本系統(tǒng)的主要功能是通過兩個定時器中斷程序完成的,定時器0中斷程序的流程圖如圖4所示,用于發(fā)出重復頻率20Hz的LD電流觸發(fā)信號和調(diào)Q信號,而定時器1中斷程序用于溫度的采集和控制,流程圖如圖5所示,考慮到溫度是一個緩變量,本例溫度采樣的時間間隔為1秒,A/D轉(zhuǎn)換后的采樣值通過數(shù)字濾波算法消除可能附加在數(shù)據(jù)中的各種干擾,接著調(diào)用標度轉(zhuǎn)換程序算出采樣電壓對應的溫度值,送給模糊溫度控制算法子程序,算出控制量輸出到執(zhí)行元件。
圖6所示為本例采用的模糊控制算法流程圖。模糊控制是一種智能化的控制方法,是基于人們在生產(chǎn)活動中積累的一系列經(jīng)驗得出控制規(guī)則,運用微機程序來實現(xiàn)這些控制規(guī)則,從而代替了人對被控對象進行自動控制方法。模糊控制具有以下幾個特點它不需要知道被控對象或過程的精確數(shù)學模型;易于實現(xiàn)對不確定性系統(tǒng)和強非線性系統(tǒng)的控制;對被控對象或過程參數(shù)的變化有較強的魯棒性;對干擾有較強的抑制能力。在很多應用場合,工作環(huán)境有可能出現(xiàn)未知擾動,這些因素都會影響到數(shù)學模型中的具體參數(shù),所以我們需要一種魯棒性好的控制方法,不僅對被控對象參數(shù)變化適應能力強,而且在對象模型發(fā)生較大改變的情況下,也獲得良好的控制效果,所以選擇了模糊控制的方法。模糊控制器的設(shè)計包括以下幾項內(nèi)容(1)確定模糊控制器的輸入變量和輸出變量;(2)選擇模糊控制器的輸入變量及輸出變量的論域;(3)確立模糊化和非模糊化的方法;(4)設(shè)計模糊控制器的控制規(guī)則。
本例中采用的是二維模糊控制器,也就是兩個輸入變量誤差e和誤差變化ec,一個輸出變量控制量u。采樣得到的溫度值與設(shè)定溫度值比較得到誤差,對誤差求導得到誤差變化,采用二維控制器的目的在于使控制更精細。本例中確定e的論域為[-6,-5,-4,-3,-2,-1,-0,+0,1,2,3,4,5,6];e的模糊集為[NB,NM,NO,PO,PS,PM,PB];ec的論域為[-6,-5,-4,-3,-2,-1,0,1,2,3,4,5,6];ec的模糊集為[NB,NM,NS,ZE,PS,PM,PB];u的論域為[-7,-6,-5,-4,-3,-2,-1,0,1,2,3,4,5,6,7];u的模糊集為[NB,NM,NS,ZE,PS,PM,PB];上述模糊集當中的NB表示負大,NM表示負中,NS表示負小,NO表示負零,ZE表示零,PO表示正零,PS表示正小,PM表示正中,PB表示正大,用這些詞匯來描述輸入輸出量。選擇的詞匯越多,分級越細,控制精度越高,但是考慮到算法的實現(xiàn),也不宜選擇過多。
根據(jù)控制經(jīng)驗得到一系列模糊推理規(guī)則,如ife=NB and ec=NB thenu=PB,這樣共有8×7=56條,根據(jù)這些規(guī)則可歸結(jié)為一個模糊關(guān)系R=U(E×EC)×U可求得U=(E×EC)·R
解模糊采用加權(quán)平均法,將模糊量U轉(zhuǎn)換成精確量u。
通過上面的模糊化、模糊推理和解模糊的過程,最終得到系統(tǒng)的模糊控制表如下表所示 此控制表放在ADuc812的閃速/電擦除數(shù)據(jù)存儲器267中,實時控制時,用查表的方法獲得控制量,這種方法運算量小,響應速度快,資源開支少。
本發(fā)明經(jīng)試用表明本發(fā)明激光二極管泵浦源的控制系統(tǒng)具有體積小、功耗低、易于控制、功能強大、抗干擾能力強等優(yōu)點。
權(quán)利要求
1.一種激光二極管泵浦源的控制系統(tǒng),其特征是以一片單片機(2)為控制中心,設(shè)置五個子功能模塊溫度采集和控制模塊(1)、LD驅(qū)動模塊(3)、調(diào)Q電路模塊(4)、人機交互模塊(5)和LD實時狀態(tài)的檢測模塊(6)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光二極管泵浦源的控制系統(tǒng),其特征在于所述的單片機(2)為ADuc812型號單片機,通過植入算法實現(xiàn)LD驅(qū)動信號和調(diào)Q信號的觸發(fā)、模糊邏輯溫度控制以及LD電流、能量的采樣、控制和監(jiān)測,采用頻率為11.0592MHz的晶振與兩個30pF的電容匹配,構(gòu)成了單片機的時鐘發(fā)生電路(7);復位電路采用一個復位芯片(8)來完成,該復位芯片(8)在確保電流穩(wěn)定安全的前提下觸發(fā)單片機(2)復位接口的電復位。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光二極管泵浦源的控制系統(tǒng),其特征在于所述的溫度采集和控制模塊(1)由溫度傳感器(11)、第四運放(13)和致冷器(12)組成,溫度傳感器(11)實時采樣激光二極管工作的溫度值并轉(zhuǎn)化為模擬電壓信號,傳輸給所述的單片機(2),在單片機內(nèi)完成模數(shù)轉(zhuǎn)換和模糊邏輯計算,得到的控制量經(jīng)過數(shù)模轉(zhuǎn)換器變成模擬電壓信號,從模擬輸出端口(23)輸出,經(jīng)第四運放(13)跟隨,輸出到致冷器(12),控制其加熱或致冷的功率,調(diào)節(jié)激光二極管的工作溫度為設(shè)定溫度。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光二極管泵浦源的控制系統(tǒng),其特征在于所述的LD驅(qū)動模塊(3)包括第三運放(31)和LD觸發(fā)電路(32),LD脈沖觸發(fā)信號由單片機(2)的模擬輸出端口(24),經(jīng)過第三運放(31)跟隨后,提供給LD觸發(fā)電路(32),輸出信號的大小由上位機(53)發(fā)出的指令決定。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光二極管泵浦源的控制系統(tǒng),其特征在于所述的調(diào)Q電路模塊(4),由單片機(2)提供與LD脈沖觸發(fā)信號相匹配的調(diào)Q信號。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光二極管泵浦源的控制系統(tǒng),其特征在于所述的人機交互模塊(5)由電平轉(zhuǎn)換芯片(51)和RS-232串行接口(52)和上位機(53)組成,實現(xiàn)單片機(2)與上位機(53)之間的雙向數(shù)據(jù)傳輸和數(shù)據(jù)顯示。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光二極管泵浦源的控制系統(tǒng),其特征在于所述的LD實時狀態(tài)的檢測模塊(6)包括LD電流采集和能量采集兩部分電流采集由LD電流采集點(61)經(jīng)電流采樣保持芯片(62)、第一運放(63)與單片機(2)輸入端口(P1.1)相連,該單片機(2)的數(shù)字輸出端口(P2.7)與電流采樣保持芯片(62)連接;能量采集由能量探測板(64)經(jīng)能量采樣保持芯片(65)和第二運放(67)與單片機(2)的輸入端口(P1.2)相連,該單片機(2)的數(shù)字輸出端口(P2.1)與能量探測板(64)連接,向能量探測板(64)提供復位信號。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至7任一項所述的激光二極管泵浦源的控制系統(tǒng),其特征在于所述的單片機(2),采用模糊控制算法對所采集的物理量進行數(shù)據(jù)處理,對激光二極管泵浦源實行智能控制。
全文摘要
一種激光二極管(LD)泵浦源的控制系統(tǒng),以單片機為核心,統(tǒng)一控制五個子功能模塊溫度采集和控制模塊、LD驅(qū)動模塊、調(diào)Q電路模塊、人機交互模塊和LD實時狀態(tài)的檢測模塊,采用模糊控制方法進行溫度控制。本發(fā)明采用一片單片機控制,具有結(jié)構(gòu)緊湊、功能強大的優(yōu)點,降低了控制系統(tǒng)的功耗和體積,所采用的模糊控制方法使得溫度控制的抗干擾能力和魯棒性都有了極大的提高。
文檔編號G05B19/00GK1801551SQ200610023270
公開日2006年7月12日 申請日期2006年1月12日 優(yōu)先權(quán)日2006年1月12日
發(fā)明者趙慰祖, 胡企銓, 吳姚芳 申請人:中國科學院上海光學精密機械研究所