專利名稱：制程機臺監(jiān)控的離線量測的方法與系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是有關(guān)于一種半導(dǎo)體制程控制，且特別有關(guān)于一種制程機臺監(jiān)控的離線量測的方法與系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
“離線量測”是利用量測機臺來量測晶圓上的顆粒、厚度以及機臺的異常狀況，其可調(diào)整機臺狀態(tài)與設(shè)定以改善制程。目前的離線量測技術(shù)遭遇到以下幾點困難。
圖1是顯示傳統(tǒng)半導(dǎo)體制程機臺的品質(zhì)管制系統(tǒng)的示意圖。
品質(zhì)管制系統(tǒng)100包括一數(shù)據(jù)收集單元110與一限制(Constraint)機臺130。數(shù)據(jù)收集單元110是用以收集與半導(dǎo)體制程相關(guān)的制程/機臺的控制與分析數(shù)據(jù)。傳統(tǒng)上，監(jiān)控任務(wù)(Monitor Job)111是根據(jù)工程師經(jīng)驗與監(jiān)控規(guī)則而訂定出來。舉例來說，機臺A每天要監(jiān)控12小時，機臺B每三個小時要產(chǎn)生10000片晶圓，機臺C每天要對1000批晶圓執(zhí)行制程，以此類推。監(jiān)控數(shù)據(jù)113是為統(tǒng)計制程管制(Statistical Process Control，SPC)數(shù)據(jù)，包括預(yù)先定義的多個管制圖，其與半導(dǎo)體制程相關(guān)且用于管理與改善制程。選擇適用的監(jiān)控任務(wù)并且據(jù)以取得監(jiān)控數(shù)據(jù)(管制圖)。接著，將所選的監(jiān)控數(shù)據(jù)套用至機臺120以產(chǎn)生監(jiān)控規(guī)則115。監(jiān)控任務(wù)可根據(jù)監(jiān)控規(guī)則115重新定義，以對制程與機臺執(zhí)行管理與控制。
限制機臺130根據(jù)異常狀態(tài)對機臺120進行控管，異常狀態(tài)包括晶圓缺陷、失控(Out of Control)等情況。機臺監(jiān)控不良可能會導(dǎo)致生產(chǎn)損失(Production Loss)。如上所述，監(jiān)控任務(wù)111是根據(jù)工程師經(jīng)驗而訂定出來，從而取得監(jiān)控數(shù)據(jù)113，并且套用至機臺上以產(chǎn)生監(jiān)控規(guī)則115。然而，監(jiān)控規(guī)則115可能會被忽略掉，或沒有即時提供給限制機臺130做異常管理與調(diào)整，使得機臺在沒有調(diào)整的情況下仍持續(xù)發(fā)生異常狀態(tài)。
若要做到良好的晶圓品質(zhì)控制，必須要做到例行性的機臺狀態(tài)監(jiān)控。這樣的監(jiān)控操作可防止在做晶圓允收測試(WaferAcceptance Test，WAT)或最后測試時發(fā)現(xiàn)缺陷。經(jīng)常性地執(zhí)行機臺監(jiān)控可提早發(fā)現(xiàn)潛在問題，不但可節(jié)省重工(Reworking)或報廢(Scrapping)的費用，也可減少產(chǎn)品運送日期延遲的風(fēng)險。目前，每一機臺是套用了平均104條的監(jiān)控規(guī)則組合。監(jiān)控規(guī)則是以人工方式訂定以對機臺品質(zhì)進行控管，如此一來，當套用數(shù)百條監(jiān)控規(guī)則時，可能會因為漏了其中一條監(jiān)控規(guī)則而導(dǎo)致制程報廢。在美國第6,650,958號專利中，其揭露了一種適用于半導(dǎo)體制造廠中的整合的制程機臺監(jiān)控系統(tǒng)，其中以上傳參數(shù)的方式將制程報告直接傳送至一系統(tǒng)以進行驗證，且若參數(shù)不正確，則會發(fā)出警告以令機臺停工。
目前，監(jiān)控任務(wù)通過訂貨指令(Order Instruction)來進行人工傳遞以控管機臺品質(zhì)。主要的問題是機臺品質(zhì)視工程師與操作員間的訓(xùn)練而定，故無法避免無效的晶圓批量處理產(chǎn)生。美國第6,650,958號專利只說明了如何直接將參數(shù)自制程機臺回報給制程管理系統(tǒng)。
如此所述，就目前的制程機臺監(jiān)控方法來看，當根據(jù)經(jīng)驗而對監(jiān)控任務(wù)做出不適當?shù)闹概蓵r，可能會導(dǎo)致監(jiān)控任務(wù)遺失或忽略監(jiān)控結(jié)果。其它的缺點尚包括重復(fù)指派監(jiān)控任務(wù)會影響生產(chǎn)力，不足的監(jiān)控任務(wù)會影響生產(chǎn)品質(zhì)，以及人為判斷會影響機臺品質(zhì)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供了一種制程機臺監(jiān)控的離線量測的方法與系統(tǒng)，用以解決上述問題。
基于上述目的，本發(fā)明揭露了一種制程機臺監(jiān)控的離線量測系統(tǒng)，其適用于一半導(dǎo)體制程。該系統(tǒng)包括一數(shù)據(jù)收集單元、一制程機臺與一限制系統(tǒng)。該數(shù)據(jù)收集單元更包括一第一數(shù)據(jù)庫與一第二數(shù)據(jù)庫。該第一數(shù)據(jù)庫儲存與該半導(dǎo)體制程相關(guān)的預(yù)定監(jiān)控規(guī)則。該第二數(shù)據(jù)庫儲存與該半導(dǎo)體制程相關(guān)的預(yù)定監(jiān)控數(shù)據(jù)。該制程機臺根據(jù)自該第一數(shù)據(jù)庫選取的監(jiān)控規(guī)則與自該第二數(shù)據(jù)庫選取的監(jiān)控數(shù)據(jù)執(zhí)行一離線量測操作以產(chǎn)生監(jiān)控結(jié)果，其中該監(jiān)控數(shù)據(jù)是根據(jù)該選取的監(jiān)控規(guī)則而取得。該限制系統(tǒng)取得該監(jiān)控結(jié)果，根據(jù)該監(jiān)控結(jié)果比較該選取的監(jiān)控規(guī)則與該監(jiān)控數(shù)據(jù)以判斷是否發(fā)生異常狀態(tài)，若未發(fā)生異常狀態(tài)，則利用該制程機臺執(zhí)行晶圓批量處理，若發(fā)生異常狀態(tài)，則結(jié)束該制程機臺的晶圓批量處理，反饋一失效通知(Failure Notice)，并且重新定義監(jiān)控規(guī)則以更新該第一數(shù)據(jù)庫。
本發(fā)明所述的制程機臺監(jiān)控的離線量測系統(tǒng)，該限制系統(tǒng)更根據(jù)更新的監(jiān)控規(guī)則與對應(yīng)的監(jiān)控數(shù)據(jù)執(zhí)行或停止該制程機臺執(zhí)行該晶圓批量處理。
本發(fā)明所述的制程機臺監(jiān)控的離線量測系統(tǒng)，該限制系統(tǒng)更通過取得點數(shù)值(Point Value)檢查該監(jiān)控結(jié)果是否超出規(guī)范(0ut of Specification)以決定該晶圓批量處理的品質(zhì)。
本發(fā)明所述的制程機臺監(jiān)控的離線量測系統(tǒng)，該限制系統(tǒng)更通過取得上次統(tǒng)計制程管制點的時間戳記，在上次監(jiān)控操作執(zhí)行后計算累計次數(shù)，以決定該晶圓批量處理的品質(zhì)。
本發(fā)明所述的制程機臺監(jiān)控的離線量測系統(tǒng)，該監(jiān)控數(shù)據(jù)包括與該半導(dǎo)體制程相關(guān)的管制圖。
本發(fā)明更揭露了一種制程機臺監(jiān)控的離線量測方法。提供一自我調(diào)整(self-tuning)監(jiān)控規(guī)則數(shù)據(jù)庫，其用以儲存用于執(zhí)行晶圓批量處理的預(yù)定監(jiān)控規(guī)則。定義用于執(zhí)行該晶圓批量處理的監(jiān)控數(shù)據(jù)，根據(jù)選取自該自我調(diào)整監(jiān)控規(guī)則數(shù)據(jù)庫中的監(jiān)控規(guī)則取得所欲監(jiān)控的監(jiān)控數(shù)據(jù)，根據(jù)該監(jiān)控數(shù)據(jù)并利用一制程機臺執(zhí)行一離線量測操作以產(chǎn)生監(jiān)控結(jié)果，并且根據(jù)該監(jiān)控結(jié)果比較選取的該監(jiān)控規(guī)則與該監(jiān)控數(shù)據(jù)以判斷是否發(fā)生異常狀態(tài)。若未發(fā)生異常狀態(tài)，則利用該制程機臺執(zhí)行晶圓批量處理。若發(fā)生異常狀態(tài)，則結(jié)束該制程機臺的晶圓批量處理。接著反饋一失效通知，并且重新定義監(jiān)控規(guī)則以更新該自我調(diào)整監(jiān)控規(guī)則數(shù)據(jù)庫。
本發(fā)明所述的制程機臺監(jiān)控的離線量測方法，更包括根據(jù)更新的監(jiān)控規(guī)則與對應(yīng)的監(jiān)控數(shù)據(jù)執(zhí)行或停止該制程機臺執(zhí)行該晶圓批量處理。
本發(fā)明所述的制程機臺監(jiān)控的離線量測方法，更包括通過取得點數(shù)值(Point Value)檢查該監(jiān)控結(jié)果是否超出規(guī)范以決定該晶圓批量處理的品質(zhì)。
本發(fā)明所述的制程機臺監(jiān)控的離線量測方法，更包括通過取得上次統(tǒng)計制程管制點的時間戳記，在上次監(jiān)控操作執(zhí)行后計算累計次數(shù)，以決定該晶圓批量處理的品質(zhì)。
本發(fā)明所述的制程機臺監(jiān)控的離線量測方法，該監(jiān)控數(shù)據(jù)包括與該半導(dǎo)體制程相關(guān)的管制圖。
本發(fā)明還提供一種儲存介質(zhì)，該儲存介質(zhì)用以儲存一計算機程序，上述計算機程序包括多個程序碼，其用以載入至一計算機系統(tǒng)中并且使得上述計算機系統(tǒng)執(zhí)行一種離線量測方法，包括下列步驟提供一自我調(diào)整(self-tuning)監(jiān)控規(guī)則數(shù)據(jù)庫，其用以儲存用于執(zhí)行晶圓批量處理的預(yù)定監(jiān)控規(guī)則；定義用于執(zhí)行該晶圓批量處理的監(jiān)控數(shù)據(jù)；根據(jù)選取自該自我調(diào)整監(jiān)控規(guī)則數(shù)據(jù)庫中的監(jiān)控規(guī)則取得所欲監(jiān)控數(shù)據(jù)；根據(jù)該監(jiān)控數(shù)據(jù)并利用一制程機臺執(zhí)行一離線量測操作以產(chǎn)生監(jiān)控結(jié)果；根據(jù)該監(jiān)控結(jié)果比較該選取的監(jiān)控規(guī)則與數(shù)據(jù)以判斷是否發(fā)生異常狀態(tài)；若未發(fā)生異常狀態(tài)，則利用該制程機臺執(zhí)行晶圓批量處理；若發(fā)生異常狀態(tài)，則結(jié)束該制程機臺的晶圓批量處理；以及反饋一失效通知，并且重新定義監(jiān)控規(guī)則以更新該自我調(diào)整監(jiān)控規(guī)則數(shù)據(jù)庫。
本發(fā)明所述的儲存介質(zhì)，更包括根據(jù)更新的監(jiān)控規(guī)則與對應(yīng)的監(jiān)控數(shù)據(jù)執(zhí)行或停止該制程機臺執(zhí)行該晶圓批量處理。
本發(fā)明所述的儲存介質(zhì)，更包括通過取得點數(shù)值(PointValue)檢查該監(jiān)控結(jié)果是否超出規(guī)范以決定該晶圓批量處理的品質(zhì)。
本發(fā)明所述的儲存介質(zhì)，更包括通過取得上次統(tǒng)計制程管制點的時間戳記，在上次監(jiān)控操作執(zhí)行后計算累計次數(shù)，以決定該晶圓批量處理的品質(zhì)。
本發(fā)明所述的儲存介質(zhì)，該監(jiān)控數(shù)據(jù)包括與該半導(dǎo)體制程相關(guān)的管制圖。
本發(fā)明所述的制程機臺監(jiān)控的離線量測的方法與系統(tǒng)可改善晶圓批量處理的效率與流程，減少生產(chǎn)損失。


圖1是顯示傳統(tǒng)半導(dǎo)體制程機臺的品質(zhì)管制系統(tǒng)的示意圖。
圖2是顯示本發(fā)明實施例的制程機臺監(jiān)控的離線量測系統(tǒng)的架構(gòu)示意圖。
圖3是顯示本發(fā)明實施例的機臺限制方法的步驟流程圖。
圖4是顯示自我調(diào)整的監(jiān)控規(guī)則的示意圖。
圖5是顯示本發(fā)明實施例的制程機臺離線量測的步驟流程圖。
具體實施例方式
為了讓本發(fā)明的目的、特征及優(yōu)點能更明顯易懂，下文特舉較佳實施例，并配合所附圖示圖2至圖5，做詳細的說明。本發(fā)明說明書提供不同的實施例來說明本發(fā)明不同實施方式的技術(shù)特征。其中，實施例中的各元件的配置是為說明之用，并非用以限制本發(fā)明。且實施例中圖式標號的部分重復(fù)，是為了簡化說明，并非意指不同實施例之間的關(guān)聯(lián)性。
本發(fā)明實施例揭露了一種制程機臺監(jiān)控的離線量測的方法與系統(tǒng)。
圖2是顯示本發(fā)明實施例的品質(zhì)管制系統(tǒng)的架構(gòu)示意圖。
品質(zhì)管制系統(tǒng)200包括一數(shù)據(jù)收集單元210與一限制機臺230。數(shù)據(jù)收集單元210更包括一自我調(diào)整的監(jiān)控規(guī)則數(shù)據(jù)庫211，其用以儲存預(yù)先定義的制程/機臺管理與分析規(guī)則，并且在處理晶圓批量時進行更新。舉例來說，機臺A一開始每12小時監(jiān)控一次，若經(jīng)常發(fā)生異常狀態(tài)，則改為每6小時監(jiān)控一次。又，機臺B原本一天要對1000批晶圓執(zhí)行制程，若其負載不大，則改為一天對2000批晶圓執(zhí)行制程。機臺220根據(jù)自我調(diào)整的監(jiān)控規(guī)則數(shù)據(jù)庫211中的監(jiān)控規(guī)則處理晶圓批量以及其對應(yīng)的監(jiān)控數(shù)據(jù)213，并且分析產(chǎn)生的結(jié)果以產(chǎn)生監(jiān)控規(guī)則215。如上所述，監(jiān)控數(shù)據(jù)213是統(tǒng)計制程管制(SPC)數(shù)據(jù)，包括預(yù)先定義的多個管制圖，其與半導(dǎo)體制程相關(guān)且用于管理與改善制程。
自動產(chǎn)生監(jiān)控規(guī)則215并且將其傳送至限制機臺230。接著，限制機臺230根據(jù)監(jiān)控規(guī)則215比較監(jiān)控規(guī)則與監(jiān)控數(shù)據(jù)213，以判斷監(jiān)控規(guī)則是否皆正確定義的。若是，則機臺220可執(zhí)行晶圓批量處理。當監(jiān)控規(guī)則失效或失控時，限制機臺230將該情況反饋給數(shù)據(jù)收集單元210，以進行調(diào)整與更新自我調(diào)整的監(jiān)控規(guī)則數(shù)據(jù)庫211中的監(jiān)控規(guī)則。上述比較操作是通過取得點數(shù)值(PointValue)并通過取得上次統(tǒng)計制程管制點的時間戳記計算累計次數(shù)，來判斷監(jiān)控規(guī)則是否超出規(guī)范。監(jiān)控規(guī)則的規(guī)范包括反應(yīng)室(Chamber)、制程處方(Recipe)、頻率與觸發(fā)事件等等。頻率的計算單位為時間周期或者機臺的執(zhí)行/批量/晶圓計數(shù)或累計回報。
圖3是顯示本發(fā)明實施例的機臺限制方法的步驟流程圖。
首先，當晶圓進入機臺時(步驟S11)，限制系統(tǒng)230執(zhí)行一限制檢查操作(步驟S12)，并比較監(jiān)控規(guī)則與監(jiān)控數(shù)據(jù)(步驟S13)以判斷是否發(fā)生異常狀態(tài)(步驟S14)。若是，則結(jié)束處理晶圓批量(步驟S15)，否則繼續(xù)處理晶圓批量(步驟S16)。
圖4是顯示自我調(diào)整的監(jiān)控規(guī)則的示意圖。
原本監(jiān)控規(guī)則是定義每間隔12小時監(jiān)控機臺400一次，其中符號″V″是表示機臺400在正常狀態(tài)(Valid)，而符號″I″是表示機臺400在不正常狀態(tài)(Invalid)。當在第三次監(jiān)控結(jié)束后，機臺400即發(fā)生異常狀態(tài)(表示每36小時才發(fā)生一次異常狀態(tài))，如R1所示。因此，考慮到生產(chǎn)效率與成本，應(yīng)該將監(jiān)控的間隔時間拉長，例如每15小時、每20小時或更久時間為一次監(jiān)控周期。此外，在每次監(jiān)控周期(每12小時)完時即發(fā)生一次異常狀態(tài)，如R2所示。因此，考慮到生產(chǎn)效率與成本，應(yīng)該將監(jiān)控的間隔時間縮短，例如每10小時、每8小時或更短時間為一次監(jiān)控周期。
圖5是顯示本發(fā)明實施例的制程機臺離線量測的步驟流程圖。
首先，提供一自我調(diào)整監(jiān)控規(guī)則數(shù)據(jù)庫(步驟S21)，其用以儲存用于執(zhí)行晶圓批量處理的預(yù)定監(jiān)控規(guī)則。提供包括預(yù)先定義的多個管制圖的監(jiān)控數(shù)據(jù)，其與半導(dǎo)體制程相關(guān)且用于管理與改善制程(步驟S22)。
根據(jù)選取自該自我調(diào)整監(jiān)控規(guī)則數(shù)據(jù)庫中的監(jiān)控規(guī)則取得所欲監(jiān)控數(shù)據(jù)(步驟S23)，根據(jù)該監(jiān)控數(shù)據(jù)并利用一制程機臺執(zhí)行一離線量測操作以產(chǎn)生監(jiān)控結(jié)果(步驟S24)，并且根據(jù)該監(jiān)控結(jié)果比較該選取的監(jiān)控規(guī)則與數(shù)據(jù)(步驟S25)以判斷是否發(fā)生異常狀態(tài)(步驟S26)，即判斷監(jiān)控規(guī)則與數(shù)據(jù)是否正確定義的。若未發(fā)生異常狀態(tài)，則利用該制程機臺執(zhí)行晶圓批量處理(步驟S27)。若發(fā)生異常狀態(tài)，則結(jié)束該制程機臺的晶圓批量處理(步驟S28)，并且反饋一失效通知(Failure Notice)，以重新定義監(jiān)控規(guī)則以更新該自我調(diào)整監(jiān)控規(guī)則數(shù)據(jù)庫(步驟S29)。
本發(fā)明實施例揭露了一種制程機臺監(jiān)控的離線量測的方法與系統(tǒng)可改善晶圓批量處理的效率與流程。此外，監(jiān)控規(guī)則是根據(jù)機臺狀態(tài)來指派，且監(jiān)控規(guī)則的反饋是為自動執(zhí)行以減少生產(chǎn)損失。
本發(fā)明更提供一種記錄介質(zhì)(例如光盤片、磁盤片與抽取式硬盤等等)，其是記錄一計算機可讀取的權(quán)限簽核程序，以便執(zhí)行上述的離線量測方法。在此，儲存于記錄介質(zhì)上的權(quán)限簽核程序，基本上是由多個程序碼片段所組成的(例如建立組織圖程序碼片段、簽核表單程序碼片段、設(shè)定程序碼片段、以及部署程序碼片段)，并且這些程序碼片段的功能是對應(yīng)到上述方法的步驟與上述系統(tǒng)的功能方塊圖。
以上所述僅為本發(fā)明較佳實施例，然其并非用以限定本發(fā)明的范圍，任何熟悉本項技術(shù)的人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，可在此基礎(chǔ)上做進一步的改進和變化，因此本發(fā)明的保護范圍當以本申請的權(quán)利要求書所界定的范圍為準。
附圖中符號的簡單說明如下100、200品質(zhì)管制系統(tǒng)110、210數(shù)據(jù)收集單元111監(jiān)控任務(wù)113、213監(jiān)控數(shù)據(jù)115、215監(jiān)控規(guī)則120、220機臺
130、230限制機臺211自我調(diào)整的監(jiān)控規(guī)則數(shù)據(jù)庫
權(quán)利要求
1.一種制程機臺監(jiān)控的離線量測系統(tǒng)，其特征在于，該制程機臺監(jiān)控的離線量測系統(tǒng)適用于一半導(dǎo)體制程，包括一數(shù)據(jù)收集單元，其更包括一第一數(shù)據(jù)庫，用以儲存與該半導(dǎo)體制程相關(guān)的預(yù)定監(jiān)控規(guī)則；以及一第二數(shù)據(jù)庫，用以儲存與該半導(dǎo)體制程相關(guān)的預(yù)定監(jiān)控數(shù)據(jù)；一制程機臺，耦接于該數(shù)據(jù)收集單元，用以根據(jù)自該第一數(shù)據(jù)庫選取的監(jiān)控規(guī)則與自該第二數(shù)據(jù)庫選取的監(jiān)控數(shù)據(jù)執(zhí)行一離線量測操作以產(chǎn)生監(jiān)控結(jié)果，其中該監(jiān)控數(shù)據(jù)是根據(jù)該選取的監(jiān)控規(guī)則而取得；一限制系統(tǒng)，耦接于該數(shù)據(jù)收集單元，用以取得該監(jiān)控結(jié)果，根據(jù)該監(jiān)控結(jié)果比較該選取的監(jiān)控規(guī)則與該監(jiān)控數(shù)據(jù)以判斷是否發(fā)生異常狀態(tài)，若未發(fā)生異常狀態(tài)，則利用該制程機臺執(zhí)行晶圓批量處理，若發(fā)生異常狀態(tài)，則結(jié)束該制程機臺的晶圓批量處理，反饋一失效通知，并且重新定義監(jiān)控規(guī)則以更新該第一數(shù)據(jù)庫。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制程機臺監(jiān)控的離線量測系統(tǒng)，其特征在于，該限制系統(tǒng)更根據(jù)更新的監(jiān)控規(guī)則與對應(yīng)的監(jiān)控數(shù)據(jù)執(zhí)行或停止該制程機臺執(zhí)行該晶圓批量處理。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制程機臺監(jiān)控的離線量測系統(tǒng)，其特征在于，該限制系統(tǒng)更通過取得點數(shù)值檢查該監(jiān)控結(jié)果是否超出規(guī)范以決定該晶圓批量處理的品質(zhì)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的制程機臺監(jiān)控的離線量測系統(tǒng)，其特征在于，該限制系統(tǒng)更通過取得上次統(tǒng)計制程管制點的時間戳記，在上次監(jiān)控操作執(zhí)行后計算累計次數(shù)，以決定該晶圓批量處理的品質(zhì)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制程機臺監(jiān)控的離線量測系統(tǒng)，其特征在于，該監(jiān)控數(shù)據(jù)包括與該半導(dǎo)體制程相關(guān)的管制圖。
6.一種制程機臺監(jiān)控的離線量測方法，其特征在于，該制程機臺監(jiān)控的離線量測方法包括下列步驟提供一自我調(diào)整監(jiān)控規(guī)則數(shù)據(jù)庫，其用以儲存用于執(zhí)行晶圓批量處理的預(yù)定監(jiān)控規(guī)則；定義用于執(zhí)行該晶圓批量處理的監(jiān)控數(shù)據(jù)；根據(jù)選取自該自我調(diào)整監(jiān)控規(guī)則數(shù)據(jù)庫中的監(jiān)控規(guī)則取得所欲監(jiān)控的監(jiān)控數(shù)據(jù)；根據(jù)該監(jiān)控數(shù)據(jù)并利用一制程機臺執(zhí)行一離線量測操作以產(chǎn)生監(jiān)控結(jié)果；根據(jù)該監(jiān)控結(jié)果比較選取的該監(jiān)控規(guī)則與該監(jiān)控數(shù)據(jù)以判斷是否發(fā)生異常狀態(tài)；若未發(fā)生異常狀態(tài)，則利用該制程機臺執(zhí)行晶圓批量處理；若發(fā)生異常狀態(tài)，則結(jié)束該制程機臺的晶圓批量處理；以及反饋一失效通知，并且重新定義監(jiān)控規(guī)則以更新該自我調(diào)整監(jiān)控規(guī)則數(shù)據(jù)庫。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的制程機臺監(jiān)控的離線量測方法，其特征在于，更包括根據(jù)更新的監(jiān)控規(guī)則與對應(yīng)的監(jiān)控數(shù)據(jù)執(zhí)行或停止該制程機臺執(zhí)行該晶圓批量處理。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的制程機臺監(jiān)控的離線量測方法，其特征在于，更包括通過取得點數(shù)值檢查該監(jiān)控結(jié)果是否超出規(guī)范以決定該晶圓批量處理的品質(zhì)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的制程機臺監(jiān)控的離線量測方法，其特征在于，更包括通過取得上次統(tǒng)計制程管制點的時間戳記，在上次監(jiān)控操作執(zhí)行后計算累計次數(shù)，以決定該晶圓批量處理的品質(zhì)。
10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的制程機臺監(jiān)控的離線量測方法，其特征在于，該監(jiān)控數(shù)據(jù)包括與該半導(dǎo)體制程相關(guān)的管制圖。
全文摘要
本發(fā)明提供一種制程機臺監(jiān)控的離線量測的方法與系統(tǒng)。提供一自我調(diào)整監(jiān)控規(guī)則數(shù)據(jù)庫，用以儲存用于執(zhí)行晶圓批量處理的預(yù)定監(jiān)控規(guī)則。定義用于執(zhí)行該晶圓批量處理的監(jiān)控數(shù)據(jù)，根據(jù)選取自該自我調(diào)整監(jiān)控規(guī)則數(shù)據(jù)庫中的監(jiān)控規(guī)則取得所欲監(jiān)控數(shù)據(jù)，根據(jù)該監(jiān)控數(shù)據(jù)并利用一制程機臺執(zhí)行一離線量測操作以產(chǎn)生監(jiān)控結(jié)果，并且根據(jù)該監(jiān)控結(jié)果比較該選取的監(jiān)控規(guī)則與數(shù)據(jù)以判斷是否發(fā)生異常狀態(tài)。若否，則利用該制程機臺執(zhí)行晶圓批量處理。若是，則結(jié)束該制程機臺的晶圓批量處理。接著反饋一失效通知，并且重新定義監(jiān)控規(guī)則以更新該自我調(diào)整監(jiān)控規(guī)則數(shù)據(jù)庫。本發(fā)明可改善晶圓批量處理的效率與流程，減少生產(chǎn)損失。
文檔編號G05B19/048GK1983089SQ200610145300
公開日2007年6月20日 申請日期2006年11月29日 優(yōu)先權(quán)日2005年12月12日
發(fā)明者林志聰, 林水典 申請人:臺灣積體電路制造股份有限公司