專利名稱：服務器裝置和程序的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及 一 種例如具備對被處理基板進行規(guī)定的工藝 的多個制造裝置、以及連接在該多個制造裝置上的服務器裝置 的群管理系統(tǒng)、服務器裝置等。
背景技術：
在以往的群管理系統(tǒng)中，實現(xiàn)了能夠自動且正確地加工從 測量器發(fā)送過來的數(shù)據(jù)的半導體制造裝置的群管理系統(tǒng)中的測 量數(shù)據(jù)加工方法(例如，參照專利文獻l)。在本測量數(shù)據(jù)加工方 法中，由群管理系統(tǒng)的群管理部的測量器通信部接收測量器發(fā) 送過來的各種測量數(shù)據(jù)。本測量數(shù)據(jù)加工方法預先登記對上述 測量數(shù)據(jù)進行加工的計算式，在接收到上述測量數(shù)據(jù)時，將上 述測量數(shù)據(jù)保存到測量數(shù)據(jù)接收緩沖器中，并且根據(jù)上述測量 數(shù)據(jù)所具有的制程配方名稱，從上述被登記的計算式中選擇適 于加工上述測量數(shù)據(jù)的、至少具有一個相同的制程配方名稱的
計算式并保存到計算式保存緩沖器中，將所保存的上述測量數(shù) 據(jù)應用到上述所選擇的計算式中進行計算，將計算結果存儲到 已加工數(shù)據(jù)保存緩沖器中。
另外，在以往的半導體制造裝置的群管理系統(tǒng)中，具有顯 示由半導體制造裝置測量得到的按時間序列的信息(以下記載
為圖表(chart))的功能。在該圖表中顯示了群管理系統(tǒng)所管理的 多個半導體制造裝置的信息。并且，在以往的群管理系統(tǒng)中具
有使用圖表來進行異常檢測、之后進行異常分類的FDC(fault detection and classification:故障才全測和分類方法)之類的功能。 專利文獻l:日本特開平11-354395號公報(第一頁，第一圖等)

發(fā)明內容
發(fā)明要解決的問題
然而，在以往的半導體制造裝置的群管理系統(tǒng)中，在檢測 到異常之后進行異常分析時，需要用戶事先記住該異常數(shù)據(jù)， 另外起動輸出圖表的應用程序來輸出圖表，用戶自己在圖表上 查找異常數(shù)據(jù)。
另外，在某測量信息中識別出異常的情況下，關聯(lián)著其它 的測量信息的情況也較多，但是，上述關聯(lián)使得需要依賴于用 戶的經驗、直覺來查找包含其它測量信息的圖表。
用于解決問題的方案
本發(fā)明的服務器裝置是一種構成群管理系統(tǒng)的服務器裝 置，該群管理系統(tǒng)具備對被處理基板進行規(guī)定的工藝的多個制 造裝置以及與該多個制造裝置相連接的服務器裝置，該群管理 系統(tǒng)具有在檢測出異常之后進行異常分析的功能，該服務器裝
置具備接受部，其接受包含指示的輸入；測量信息保存部， 其能夠保存多個測量信息，該測量信息是關于由上述多個制造 裝置測量出的信息的時間序列的信息，是具有識別上述制造裝 置的裝置標識符和表示時刻的時刻信息的信息；異常信息保存 部，其能夠保存一個以上的、作為表示異常的信息的異常信息 與一個以上的測量信息之間的對應；異常信息輸出部，其輸出 上述異常信息保存部所保存的 一 個以上的異常信息；圖表構成 部，其在上述接受部接受了對于由上述異常信息輸出部輸出的 一個以上的異常信息中的 一 個以上的異常信息的指示、即異常 信息指示的情況下，由與對應于上述異常信息指示的一個以上 的異常信息成對的一個以上的測量信息構成一個以上的圖表；以及輸出部，其輸出由上述圖表構成部構成的一個以上的圖表。


圖l是表示實施方式中的群管理系統(tǒng)的概念圖。 圖2是表示該半導體晶圓制造裝置的例子的圖。
圖3是該群管理系統(tǒng)的框圖。
圖4是說明該制造裝置的動作的流程圖。
圖5是說明該服務器裝置的動作的流程圖。
圖6是說明該服務器裝置的異常檢測處理的細節(jié)的流程圖。
圖7是表示該源信息的例子的圖。
圖8是表示該源信息管理表的圖。
圖9是表示該測量信息管理表的圖。
圖IO是表示包含異常的測量值的該測量信息的例子的圖。
圖ll是表示該異常信息管理表的圖。
圖12是表示該異常一覽表的圖。
圖13是表示該組圖信息管理表的圖。
圖14是表示在該客戶端裝置中的圖表的輸出例的圖。
圖15是表示在該客戶端裝置中的圖表的輸出例的圖。
圖16是表示在該客戶端裝置中的圖表的輸出例的圖。
圖17是表示在該客戶端裝置中的圖表的輸出例的圖。
圖18是表示在該客戶端裝置中的圖表的輸出例的圖。
具體實施例方式
下面，參照

服務器裝置等的實施方式。此外，在 實施方式中附加了相同附圖標記的結構要素進行相同的動作， 因此有時省略再次的說明。
(實施方式)圖1是本實施方式中的群管理系統(tǒng)的概念圖。群管理系統(tǒng) 例如是對半導體制造裝置、液晶面板制造裝置等的制造裝置進 行控制的系統(tǒng)。另外，群管理系統(tǒng)具有一個以上的制造裝置
ll(制造裝置ll(l)至制造裝置ll(n))、服務器裝置12、以及客戶 端裝置13。
制造裝置ll是制造晶圓的裝置。制造裝置ll例如進行成膜 處理、蝕刻處理、熱氧化處理等的對被處理基板進行的各種處 理。制造裝置ll例如是復合工藝型的半導體晶圓制造裝置。圖2 示出了本半導體晶圓制造裝置的例子。如圖2所示，本半導體晶 圓制造裝置構成為具備多個(例如三個)工藝室(process chamber)l、 2、 3，該多個工藝室l、 2、 3對半導體晶圓進行各 種處理、例如成膜處理、蝕刻處理、熱氧化處理等；晶舟室 (cassette chamber)4、 5,該晶舟室4、 5收容可容納多片(例如50 片)晶圓W的晶舟C1、 C2;以及輸送室6，其在工藝室l、 2、 3 與晶舟室4、 5之間進行晶圓W的傳送。在各室之間通過閘閥G 開關自如地進行連結。在輸送室6內設置有可進行伸縮動作以及 轉動動作的例如多關節(jié)式的輸送臂7，利用該輸送臂7進行晶圓 W在室之間的輸送。晶舟C1、 C2在被取入到晶舟室4、 5內時進 行90度反轉，并且進行轉動使得該晶舟C1、 C2的晶圓插卸口朝 向輸送室6內的中心，從而被設置成可利用輸送臂7耳又出和》丈入 晶圓W的姿勢。
另外，制造裝置11例如保存作為與對晶圓進行的規(guī)定工藝 有關的信息的制程配方(通常是工藝條件值的集合)，使用該制 程配方進行控制。
另外，服務器裝置12是構成所謂的群管理系統(tǒng)的服務器裝 置，保存多個制造裝置ll中的各種測量信息，具有對該測量信 息檢測異常的功能，并且具有后述的對該測量信息分析異常的功能。
另外，客戶端裝置13對服務器裝置12提出各種請求，接受 服務器裝置12中的處理結果。
圖3是本實施方式中的群管理系統(tǒng)的框圖。群管理系統(tǒng)具 備一個以上的制造裝置ll、服務器裝置12、客戶端裝置13。
制造裝置11具備輸入接受部1101、制程配方保存部1102、 制造裝置標識符保存部1103、產品晶圓片數(shù)保存部1104、處理 部1105、測量部1106、源信息存儲部1107、以及源信息發(fā)送部 1108。
服務器裝置12具備接受部1201、測量信息保存部1202、異 常信息保存部1203 、組圖表信息保存部1204、源信息接收部 1205、測量信息獲耳又部1206、異常4僉測部1207、測量信息存Y諸 部1208、異常信息輸出部1209、圖表構成部1210、關聯(lián)圖表識 別信息獲耳又部1211、關聯(lián)圖表構成部1212、以及l(fā)^出部1213。
客戶端裝置13具備指示輸入部1301、指示發(fā)送部1302、輸 出信息^妄受部1303、以及終端輸出部1304。
輸入接受部1101從制造裝置11的用戶接受各種輸入。各種 輸入是指，例如制程配方、識別制程配方的制程配方標識符、 識別制造裝置的制造裝置標識符、產品晶圓片數(shù)、包含仿真晶 圓(dummy wafer)片數(shù)的總晶圓片數(shù)、晶圓制造的指示(處理的 執(zhí)行指示)等。產品晶圓片數(shù)是指不包含仿真晶圓的片數(shù)的晶圓 片數(shù)，是作為產品而制造的晶圓的片數(shù)。此外，可容納在制造 裝置11中的晶圓的片數(shù)例如是50片或30片等，其中，仿真的晶 圓是10片或5片等。另外，不限制可容納的晶圓之中仿真晶圓的 數(shù)量、制造的晶圓的數(shù)量。來自用戶的各種輸入的輸入單元可 以是由數(shù)字鍵、鍵盤、鼠標、菜單畫面構成的輸入單元等任意 的輸入單元。輸入接受部1101可通過數(shù)字鍵、4建盤等輸入單元的設備驅動器、菜單畫面的控制軟件等實現(xiàn)。
制程配方保存部1102保存為了控制制造裝置ll而使用的制 程配方。制程配方是指，與對被處理基板進行的規(guī)定的工藝有 關的信息，通常包含工藝參數(shù)的信息的集合。工藝參數(shù)的信息 例如包含類別名、項目名、參數(shù)名、值。類別名是指，表示工 藝參數(shù)的種類的名稱，例如"溫度""氣體流量""晶舟升降機
(boat elevator)的速度"等。項目名是表示工藝參數(shù)的屬性的名 稱，例如"上下速度""轉動速度"等。參數(shù)名是工藝參數(shù)的名 稱，例如"C" "A，，等。值是對工藝參數(shù)之類的變量賦的值。 通常，成對地保存制程配方與識別制程配方的制程配方標識符 (例如，制程配方名)。制程配方保存部1102最好是非易失性的 記錄介質，但是也可以通過易失性的記錄介質實現(xiàn)。
制造裝置標識符保存部110 3保存識別制造裝置11的制造裝 置標識符。該制造裝置標識符可以是輸入接受部1101接受的信 息，也可以是制造裝置出廠時預先保存的信息。制造裝置標識 符保存部1103可以是硬盤、ROM等非易失性的記錄介質，也可 以是RAM等易失性的記錄介質。
產品晶圓片數(shù)保存部1104保存表示產品晶 圓片數(shù)的信息。 在此，表示產品晶圓片數(shù)的信息通常是數(shù)值(例如40)，但是也 可以是與數(shù)值對應的符號等。也就是說，表示產品晶圓片數(shù)的 信息與產 品晶 圓片數(shù)是同一意思。產 品晶 圓片數(shù)保存部1104的 產品晶圓片數(shù)例如是輸入接受部1101接受的數(shù)值。另外，產品 晶圓片數(shù)保存部1104的產品晶圓片數(shù)例如也可以是利用未圖示 的單元自動獲取的信息。獲取產品晶圓片數(shù)的未圖示的單元是 指，例如通過圖像處理來檢測產品晶圓與仿真晶圓的表面的顏 色的差異從而算出產品晶圓的片數(shù)的單元。通常，產品晶圓與 仿真晶圓的表面的顏色不同。另外，獲取產品晶圓片數(shù)的未圖示的單元是指，例如通過圖像處理讀取記載在產品晶圓中的ID 來算出產品晶圓的片數(shù)的單元。并不限制除此之外的自動獲取
產品晶圓片數(shù)的單元。產品晶圓片數(shù)保存部1104可以是硬盤、 ROM等非易失性的記錄介質，也可以是RAM等易失性的記錄介質。
制程配方對晶圓進刊-規(guī)定的工藝。處理部1105通常可由MPU、 存儲器等實現(xiàn)。處理部1105的處理過程通常通過軟件實現(xiàn)，該 軟件被記錄在ROM等記錄介質中。但是，也可以通過硬件(專 用電路)實現(xiàn)。
測量部1106測量制造裝置11內的溫度、氣體流量、壓力等， 獲取成為圖表化的測量信息的源的信息、即源信息。源信息是 測量出的溫度等的信息。源信息通常具有表示測量出的時刻的 時刻信息。源信息最好具有對在測量部1106測量出溫度等值時 進行了處理的制程配方進行識別的制程配方標識符、測量出的 值、以及表示測量出的時刻的時刻信息。當然，測量部1106也 可以測量多個位置的多個溫度、溫度與氣體流量等的多個值。 也就是說，源信息也可以具有兩種以上測量出的值。測量部110 6 可通過 一 個以上的溫度傳感器、 一 個以上的流量傳感器等傳感 器等實現(xiàn)。
源信息存儲部110 7將測量部110 6獲取的源信息存儲到未圖 示的記錄介質中。源信息存儲部1107通?？捎蒑PU、存儲器等 實現(xiàn)。源信息存儲部1107的處理過程通常通過軟件實現(xiàn)，該軟 件被記錄在ROM等記錄介質中。但是，也可以通過硬件(專用 電路)實現(xiàn)。另外，上述未圖示的記錄介質最好是非易失性的記 錄介質，但是也可以通過易失性的記錄介質實現(xiàn)。
源信息發(fā)送部1108將源信息存儲部1107所存儲的源信息發(fā)送到服務器裝置12。不限制源信息的發(fā)送的觸發(fā)。另外，源信
息發(fā)送部1108發(fā)送的源信息具有測量出的 一種以上(例如，溫度
和氣體流量)的值、時刻信息等。另外，除此之外，源信息發(fā)送
部1108發(fā)送的源信息最好還具有識別制造裝置11的制造裝置標 識符、識別制程配方的制程配方標識符。另外，源信息發(fā)送部 1108發(fā)送的源信息也可以具有產品晶圓片數(shù)、總晶圓片數(shù)等。 也就是說，源信息存儲部1107存儲的源信息、和源信息發(fā)送部 1108發(fā)送的源信息的構造、結構也可以不同。另外，源信息也 可以是對于測量出的多個值具有一個制造裝置標識符或/和一 個制程配方標識符的結構。源信息發(fā)送部1108可通過無線或有 線的通信單元等實現(xiàn)。此外，源信息發(fā)送部1108也可以在將源 信息發(fā)送到服務器裝置12之前從產品晶圓片數(shù)保存部1104讀出 晶圓片數(shù)并附加到源信息。另外，源信息發(fā)送部1108也可以在 將源信息發(fā)送到服務器裝置12之前從制程配方保存部1102、制 造裝置標識符保存部110 3分別讀出制程配方標識符、制造裝置 標識符并附加到源信息。另外，也可以不由源信息發(fā)送部1108 而由源信息存儲部1107進行構成要發(fā)送的源信息的處理。不限 制測量出的一種以上(例如，溫度和氣體流量)的值與時刻信息 的組的信息、以及產品晶圓片數(shù)、制造裝置標識符、制程配方 標識符的發(fā)送時機等。
接受部1201接受包含各種指示的輸入。各種指示是指，輸 出 一個以上的異常信息(通常是異常的 一 覽表)的異常 一 覽表輸 出指示、作為對于 一 個以上的異常信息之中 一 個以上的異常信 息的指示的異常信息指示(輸出與異常信息對應的圖表的指 示)、在一個以上的圖表被輸出之后輸出與該一皮輸出的一個以上 的圖表有關的關聯(lián)圖表的指示即關聯(lián)圖表輸出指示、服務器裝 置12的起動指示等。此外，輸出異常信息指示、關聯(lián)圖表輸出指示等的圖表的指示也可以包含圖表的種類(SPC圖表、相關圖
表、或MD圖表等)的信息。另外，輸出指示也可以包含進行圖 表輸出的對象數(shù)據(jù)的類型(溫度、氣體流量、壓力等測量信息)。 另外，輸出指示也可以包含構成圖表的點或/和線的屬性信息。 屬性信息是指，點的顏色、點的種類(形狀)、線的顏色、線的 種類等。另外，通常從客戶端裝置13接收包含上述指示的輸入， 但是也可以從被連接在服務器裝置12上的4建盤、鼠標等接受包 含上述指示的輸入。接受部1201例如由無線或有線的接收單元 構成。指示等的輸入單元可以是由數(shù)字鍵、鍵盤、鼠標、菜單 畫面構成的輸入單元等任意的輸入單元。接受部1201也可以通 過數(shù)字鍵、鍵盤等輸入單元的設備驅動器、菜單畫面的控制軟 件等實現(xiàn)。
測量信息保存部1202可以保存多個測量信息，該測量信息 是關于由多個制造裝置ll測量出的一種以上的信息(例如，溫 度、壓力)的時間序列的信息，是具有識別制造裝置ll的裝置標 識符和表示時刻的時刻信息的信息。測量信息最好具有制程配 方標識符、屬性信息(產品晶圓片數(shù)、總晶圓片數(shù)等)。測量信 息可以是測量信息獲取部1206對源信息接收部1205所接收到的 多個源信息進行規(guī)定的運算而獲取到的信息，也可以是與源信 息相同的信息。測量信息保存部12 0 2的測量信息是為了進行異 常檢測后的異常分析而使用的測量信息。測量信息保存部1202 最好是非易失性的記錄介質，但是也可以通過易失性的記錄介 質實現(xiàn)。此外，測量信息保存部1202的測量信息可以是測量信 息存儲部1208所存儲的信息，也可以是從制造裝置ll直接接收 到的信息，也可以是從未圖示的記錄介質讀出的信息。
異常信息保存部1203可以保存作為表示異常的信息的異 常信息與 一個以上的測量信息的 一個以上的對應。異常信息例如包含表示測量出的日期和時間的日期和時間信息、制造裝置 標識符、制程配方標識符、異常的測量信息所具有的測量值。 另外，異常信息例如具有表示測量出的日期和時間的日期和時 間信息、制造裝置標識符、圖表識別信息、圖表類型、識別異 常發(fā)生的步驟的步驟標識符、有無報警等的信息。除此之外， 異常信息也可以包含表示異常的信息、與異常有關的信息之中 任意的信息。此外，圖表識別信息是指，對由包含異常的測量 信息所具有的測量值的多個測量信息構成的圖表進行識別的信 息。圖表類型是指，表示圖表的種類(SPC圖表、相關圖表、MD
圖表等)的信息。異常信息保存部1203最好是非易失性的記錄介 質，但是也可以通過易失性的記錄介質實現(xiàn)。
組圖表信息保存部1204可以保存具有兩個以上作為識別 圖表的信息的圖表識別信息的 一 個以上的組圖表信息。圖表識 別信息例如是圖表名(包含文件夾名的圖表的文件名等)。圖表 識別信息例如是圖表名和圖表類型。組圖表信息具有有助于異 常分析的多個圖表識別信息。該多個圖表識別信息是相互關聯(lián) 的圖表的識別信息。組圖表信息例如具有作為對制造裝置11的 爐內的上部的溫度的圖表進行識別的信息的圖表識別信息、對 同 一 爐內的中央部的溫度的圖表進行識別的圖表識別信息、對 同 一 爐內的下部的溫度的圖表進行識別的圖表識別信息。組圖 表信息例如具有對制造裝置11的爐內的溫度的圖表進行識別的 圖表識別信息、對同 一 爐內的氣體流量的圖表進行識別的圖表 識別信息。與組圖表信息所具有的多個圖表識別信息對應的圖 表最好都是SPC圖表。但是，與組圖表信息所具有的多個圖表 識別信息對應的圖表可以是SPC圖表和相關圖表、SPC圖表和 MD圖表。另外，與組圖表信息所具有的多個圖表識別信息對 應的圖表也可以是相關圖表和MD圖表、都是相關圖表、都是MD圖表等。也就是說，不限制與組圖表信息所具有的多個圖 表識別信息對應的圖表的種類。與組圖表信息所具有的多個圖 表識別信息對應的圖表只要是有助于分析異常的圖表的組合即
可。組圖表信息保存部1204最好是非易失性的記錄介質，但是 也可以通過易失性的記錄介質實現(xiàn)。
源信息接收部1205從多個制造裝置ll接收成為多個測量 信息的源的信息、即源信息。源信息接收部1205可通過無線或 有線的通信單元等實現(xiàn)。
測量信息獲取部1206對源信息接收部1205所接收到的多 個源信息進行規(guī)定的運算，獲取多個測量信息。規(guī)定的運算是 指，例如按規(guī)定的時間間隔算出多個源信息所具有的多個值的 平均值、或者獲取最大值、或者獲取最小值、或者算出標準偏 差、或者獲取中間值的運算。另外，規(guī)定的運算是指，例如也 可以是按制程配方內的規(guī)定的每個步驟算出多個源信息所具有 的多個值的平均值、或者獲取最大值、或者獲取最小值、或者 算出標準偏差、或者獲取中間值的運算。測量信息獲取部1206 例如讀出預先保持的運算式，將多個源信息代入該運算式進行 運算，獲取多個測量信息。測量信息獲取部1206通常可由MPU、 存儲器等實現(xiàn)。測量信息獲取部12 0 6的處理過程通常通過軟件 實現(xiàn)，該軟件被記錄在ROM等記錄介質中。但是，也可以通過 硬件(專用電路)實現(xiàn)。
異常檢測部1207對測量信息獲取部1206所獲取的測量信 息檢測異常。異常檢測部1207保存測量信息所具有的測量值(溫 度、氣體流量、壓力等)的異?；虮硎菊５姆秶拈撝?通常， 是正常的上限值、下限值)，將該閾值與測量信息所具有的測量 值進行比較，對每個測量值判斷異常/正常。成為異常檢測部 1207檢測異常的單位的測量信息是具有同 一制造裝置標識符、同 一 制程配方標識符的測量信息，是 一 系列的時刻信息所表示 的時刻連續(xù)的多個測量信息，是具有在一系列的工藝中測量出
的測量值的多個測量信息。異常檢測部1207通?？捎蒑PU、存
該軟件被記錄在ROM等記錄介質中。但是，也可以通過硬件(專 用電路)實現(xiàn)。
測量信息存儲部1208將具有異常纟企測部12074全測出異常 的測量信息的 一 系列的測量信息存儲到測量信息保存部1202 中。測量信息存儲部1208也可以將測量信息獲取部1206所獲取 的所有的測量信息存儲到測量信息保存部12 0 2中。測量信息存 儲部1208通常可由MPU、存儲器等實現(xiàn)。測量信息存儲部1208 的處理過程通常通過軟件實現(xiàn)，該軟件,皮記錄在R 0 M等記錄介 質中。但是，也可以通過硬件(專用電路)實現(xiàn)。
異常信息輸出部1209輸出異常信息保存部1203所保存的 一個以上的異常信息。異常信息輸出部1209通常將一個以上的 異常信息作為異常一覽表進行輸出。異常信息輸出部1209以表 形式、菜單形式等輸出一個以上的異常信息。但是，不限制輸 出的方式。在此，輸出是指，包含向顯示器的顯示、向打印機 的打印、向外部裝置的發(fā)送、向記錄介質的存儲等的概念。既 可以認為異常信息輸出部1209包含顯示器、揚聲器等輸出設備， 也可以認為不包含顯示器、揚聲器等輸出設備。異常信息輸出 部1209可通過輸出設備的驅動軟件、或者輸出設備的驅動軟件 和輸出設備等實現(xiàn)。
圖表構成部1210由與對應于異常信息指示的 一 個以上的 異常信息成對的一個以上的測量信息構成一個以上的圖表。異 常信息指示是接受部1201接受的指示，是對于異常信息輸出部 1209所輸出的 一 個以上的異常信息(通常稱為異常 一 覽表)之中一個以上的異常信息(一個以上的異常項目)的指示。此外，異 常信息指示通常是對于異常一覽表之中一個異常項目的指示。
在接受部1201接受了異常信息指示的情況下，圖表構成部1210 最好構成具有使與對于異常信息指示的異常信息成對的一個以 上的測量信息在視覺上與其它的測量信息不同的形態(tài)的圖表。 例如，圖表構成部1210將與異常信息成對的 一個以上的測量信 息所具有的測量值的圖表上的點的顏色設為與其它的測量信息 所具有的測量值的點的顏色不同的顏色。例如，將異常的測量 值的點設為紅色，將正常的測量值的點設為黑色，從而構成圖 表。此外，也可以將異常的測量值的點的形狀設為三角，將正 常的測量值的點的形狀設為圓。除此之外，圖表構成部1210只 要以使異常的測量值的點在視覺上與正常的測量值的點不同的 形態(tài)構成圖表即可。在被提供 一 個以上的測量值的情況下構成 SPC圖表、相關圖表、MD圖表的技術是公知技術，因此省略關 于構成圖表的方法的詳細說明。圖表構成部1210通?？捎?MPU、存儲器等實現(xiàn)。圖表構成部1210的處理過程通常通過軟 件實現(xiàn)，該軟件:故記錄在ROM等記錄介質中。 <旦是，也可以通 過硬件(專用電路)實現(xiàn)。
在 一 個以上的圖表被輸出之后接受部1201接受了關聯(lián)圖 表輸出指示的情況下，關聯(lián)圖表識別信息獲取部1211獲取具有 識別該被輸出的一個以上的圖表的一個以上的圖表識別信息中 的所有的圖表識別信息或任一個圖表識別信息的組圖表信息中 的、除了識別該被輸出的一個以上的圖表的一個以上的圖表識 別信息之外的 一個以上的圖表識別信息。關聯(lián)圖表識別信息獲 取部1211獲取與被輸出的圖表有關的圖表的圖表識別信息。被 輸出的圖表是包含異常的測量值的圖表，關聯(lián)的圖表是有用于 異常分析的圖表。關聯(lián)圖表輸出指示是指，輸出與被輸出的一個以上的圖表有關的關聯(lián)圖表的指示。關聯(lián)圖表識別信息獲取
部1211通?？捎蒑PU、存儲器等實現(xiàn)。關聯(lián)圖表識別信息獲取 部1211的處理過程通常通過軟件實現(xiàn)，該軟件一皮記錄在ROM等 記錄介質中。但是，也可以通過硬件(專用電路)實現(xiàn)。
關聯(lián)圖表構成部1212使用關聯(lián)圖表識別信息獲取部1211 所獲取的 一個以上的圖表識別信息，按每個圖表識別信息從測 量信息保存部120 2獲取 一 個以上的測量信息，構成 一 個以上的 圖表。關聯(lián)圖表構成部1212所構成的圖表最好是SPC圖表，但 是也可以是相關圖表、MD圖表等圖表。通常，關聯(lián)圖表構成 部1212構成圖表的算法與圖表構成部1210構成圖表的算法相 同。關聯(lián)圖表構成部1212通?？捎蒑PU、存儲器等實現(xiàn)。關聯(lián)
在ROM等記錄介質中。但是，也可以通過硬件(專用電路)實現(xiàn)。 輸出部1213輸出圖表構成部1210所構成的一個以上的圖 表。另外，輸出部1213還輸出關聯(lián)圖表構成部輸出部1213所構 成的一個以上的圖表。輸出部1213在輸出關聯(lián)圖表構成部輸出 部1213所構成的一個以上的圖表時，圖表構成部1210已經構成 圖表，在輸出部1213進行輸出的情況下，最好將關聯(lián)圖表構成 部輸出部1213所構成的一個以上的圖表與該被輸出的圖表一起 輸出。在此，輸出是指，包含向顯示器的顯示、向打印機的打 印、向外部裝置的發(fā)送、向記錄介質的存儲等的概念。既可以 認為輸出部1213包含顯示器等輸出設備，也可以認為不包含顯 示器等輸出設備。輸出部1213可通過輸出設備的驅動軟件、或 者輸出設備的驅動軟件和輸出設備等實現(xiàn)。
指示輸入部1301輸入各種指示。各種指示是指，例如起動 的指示、異常一覽表輸出指示、異常信息指示、關聯(lián)圖表輸出 指示等。指示的輸入單元可以是由數(shù)字鍵、鍵盤、鼠標、菜單畫面構成的輸入單元等任意的輸入單元。指示輸入部1301可通 過數(shù)字鍵、鍵盤等輸入單元及其設備驅動器、菜單畫面的控制 軟件等實現(xiàn)。
指示發(fā)送部1302將從指示輸入部1301輸入的指示發(fā)送到 服務器裝置12。在此的發(fā)送通常是指使用通信單元的發(fā)送。指 示發(fā)送部1302可通過無線或有線的通信單元等實現(xiàn)。
輸出信息接受部13 0 3從服務器裝置12接受信息。接受的信 息是在服務器裝置12中的處理結果，例如，異常一覽表、圖表 等。在此的接受通常是指使用通信單元的接收。輸出信息接受 部1303可通過無線或有線的通信單元等實現(xiàn)。
終端輸出部1304將輸出信息接受部1303接受的異常 一 覽 表、圖表等顯示在顯示器上。既可以認為終端輸出部1304包含 顯示器，也可以^人為不包含顯示器。終端輸出部1304可通過顯 示器的驅動軟件、或者顯示器的驅動軟件和顯示器等實現(xiàn)。
接著，說明群管理系統(tǒng)的動作。首先，使用圖4的流程圖 說明制造裝置ll的動作。
(步驟S401)處理部1105讀出制程配方保存部1102的制程配方。
(步驟S 4 0 2)處理部110 5將1代入計數(shù)器i 。
(步驟S403)處理部U05判斷在步驟S401中讀入的制程配方 中是否存在第i個處理步驟。如果存在第i個處理步驟則進入步 驟S404,如果不存在第i個處理步驟則進入步驟S409。
(步驟S 4 0 4)處理部110 5執(zhí)行第i個步驟的處理。
(步驟S405)測量部1106進行預先決定的 一 種以上的測量 (例如，溫度和壓力)，獲取源信息(在此的源信息通常僅具有一 種以上的值)。
(步驟S406)測量部1106從未圖示的時鐘獲取時刻信息，對測量出的信息附加時刻信息，構成源信息。
(步驟S407)源信息存儲部1107將在步驟S406中構成的源信 息暫時存儲到未圖示的存儲器中。
(步驟S408)源信息發(fā)送部1108將在步驟S407中暫時存儲的 源信息(在此，是一種以上的值和時刻信息的組)發(fā)送到服務器 裝置12。此外，設源信息發(fā)送部1108保持用于與服務器裝置12 進行通信的信息(例如，服務器裝置12的IP地址等)。
(步驟S409)處理部1105使計數(shù)器i遞增1,返回到步驟S403。
(步驟S410)源信息發(fā)送部1108從產品晶圓片數(shù)保存部1104 讀出產品晶圓片數(shù)。另外，源信息發(fā)送部1108也可以獲取其它 的屬性信息。
(步驟S411)源信息發(fā)送部1108從制程配方保存部U02讀出 制程配方標識符。該制程配方標識符是在步驟S 4 01中讀入的制 程配方的制程配方標識符。
(步驟S412)源信息發(fā)送部1108從制造裝置標識符保存部 1103讀出制造裝置標識符。
(步驟S413)源信息發(fā)送部U08將在y人步驟S410到步驟S412 中讀出的產品晶圓片數(shù)、制程配方標識符、以及制造裝置標識 符等發(fā)送到服務器裝置12。此外，設源信息發(fā)送部1108保持用 于與服務器裝置12進行通信的信息(例如，服務器裝置12的IP地 址等)。
此外，在圖4的流程圖中，也可以將發(fā)送的源信息所具有 的一種以上的值與時刻信息的多個組、產品晶圓片數(shù)、制程配 方標識符、以及制造裝置標識符等一起發(fā)送到服務器裝置12。 接著，使用圖5、圖6的流程圖說明服務器裝置12的動作。 (步驟S501)接受部1201判斷是否接受了指示。如果接受了 指示則進入步驟S502,如果沒有接受指示則進入步驟S521。(步驟S502)異常信息輸出部1209判斷在步驟S501中4妻受的 指示是否為異常一覽表輸出指示。如果是異常一覽表輸出指示 則進入步驟S503,如果不是異常一覽表輸出指示則進入步驟 S506。此外，設在接受了異常一覽表輸出指示的情況下，后述 的異常檢測處理結束。
(步驟S503)異常信息輸出部1209讀出保存在異常信息保存 部1203中的一個以上的異常信息。此外，異常信息輸出部1209 除了讀出 一 個以上的異常信息之外，還可以讀出預先決定為在 輸出異常一覽表時輸出的信息。
(步驟S504)異常信息輸出部1209由在步驟S503中讀出的一 個以上的異常信息等構成異常一覽表。
(步驟S505)異常信息輸出部1209輸出在步驟S504中構成的 異常一覽表。在此，向客戶端裝置13發(fā)送異常一覽表。返回到 步驟S501。
(步驟S506)圖表構成部1210判斷在步驟S501中接受的指示 是否為異常信息指示。如果是異常信息指示則進入步驟S507, 如果不是異常信息指示則進入步驟S511。此外，在此設在接受 了異常信息指示的情況下，異常一覽表輸出處理結束。
(步驟S507)圖表構成部1210獲取與異常信息指示對應的一 個以上的異常信息(與在異常一覽表之中指示的項目對應的異 常信息)。 一個以上的異常信息是已輸出的異常一覽表中的異常 信息。
(步驟S508)圖表構成部1210獲取與在步驟S507中獲取的一 個以上的異常信息成對的 一個以上的測量信息。更具體地說， 圖表構成部1210從異常信息保存部12 0 3得到在步驟S 5 0 7中獲 取的 一 個以上的異常信息與 一 個以上的測量信息的對應的信息 (例如，對測量信息保存部1202的測量信息的指針、圖表識別信息等)，使用該對應的信息，從測量信息保存部1202獲取一個以 上的信息。
(步驟S509)圖表構成部1210由在步驟S508中獲取的一個以 上的測量信息構成圖表。構成的圖表的種類不限于SPC圖表、 相關圖表、MD圖表等。
(步驟S510)輸出部1213輸出在步驟S509中構成的一個以上 的圖表。返回到步驟S501。
(步驟S511)關聯(lián)圖表識別信息獲取部121 l判斷在步驟S501 中接受的指示是否為關聯(lián)圖表輸出指示。如果是關聯(lián)圖表輸出 指示則進入步驟S512，如果不是關聯(lián)圖表輸出指示則返回到步 驟S501。此外，在此設在接受了關聯(lián)圖表輸出指示的情況下， 異常信息指示的處理(圖表的輸出)結束。
(步驟S512)關聯(lián)圖表識別信息獲取部1211將l代入計數(shù)器
(步驟S513)關聯(lián)圖表識別信息獲取部1211判斷被輸出的圖 表之中是否存在第i個圖表。如果存在第i個圖表則進入步驟 S514，如果不存在第i個圖表則返回到步驟S501。
(步驟S 514)關聯(lián)圖表識別信息獲取部1211獲取被輸出的第 i個圖表的圖表識別信息。此外，設被輸出的圖表的圖表識別信 息被保存在存儲器上。
(步驟S 515)關聯(lián)圖表識別信息獲取部1211從組圖表信息保 存部1204檢索具有在步驟S514中獲取的圖表識別信息的組圖 表信息。
(步驟S516)關聯(lián)圖表識別信息獲取部1211判斷在從步驟 S513到步驟S520的循環(huán)處理中是否已檢索到在步驟S515中檢 索出的組圖表信息。如果還沒有檢索到則進入步驟S517,如果 已檢索到則進入步驟S520。(步驟S517)關聯(lián)圖表識別信息獲取部1211從緊接在之前通 過步驟S515檢索到的組圖表信息所具有的兩個以上的圖表識 別信息中，除去已輸出的圖表的圖表識別信息，獲取一個以上 的圖表識別信息。
(步驟S518)關聯(lián)圖表構成部1212使用在步驟S517中關聯(lián)圖 表識別信息獲取部1211獲取的 一 個以上的圖表識別信息，按每 個圖表識別信息，從測量信息保存部1202獲取一個以上的測量 信息，構成一個以上的圖表。
(步驟S519)輸出部1213將在步驟S518中構成的一個以上的 圖表進行合成輸出。在此，合成輸出是指，與已輸出的圖表疊 加而輸出 一個以上的圖表的情形。根據(jù)這種多個關聯(lián)圖表的輸 出，能夠進行有效且迅速的異常分析。
(步驟S520)關聯(lián)圖表識別信息獲取部1211將計數(shù)器i遞增 1。返回到步驟S513。
(步驟S521)異常檢測部1207進行異常檢測處理。使用圖6 的流程圖說明異常檢測處理的細節(jié)。返回到步驟S501 。
此外，在圖5的流程圖中，通過電源斷開、處理結束的中 斷，由此處理結束。
另外，在圖5的流程圖中，關聯(lián)圖表構成部1212與關聯(lián)圖 表輸出指示對應地構成了關聯(lián)的一個以上的圖表，但是也可以 預先構成關聯(lián)的一個以上的圖表，并存儲該關聯(lián)的一個以上的 圖表，在接受了關聯(lián)圖表輸出指示的情況下，讀出該存儲的一 個以上的圖表并進行輸出。
接著，使用圖6的流程圖說明服務器裝置12的步驟S521的 異常檢測處理。
(步驟S601)源信息接收部1205判斷是否接收到作為 一種以 上的測量值與時刻信息的組的源信息。如果接收到源信息則進入步驟S602，如果沒有接收源信息則進入步驟S603。
(步驟S602)源信息接收部1205在緩沖器中追記在步驟S601 中接收到的源信息。返回到圖5的流程圖的步驟S501 。
(步驟S603)源信息接收部1205判斷是否接收到產品晶圓片 數(shù)、制造裝置標識符等屬性信息。如果接收到產品晶圓片數(shù)等 則進入步驟S604，如果沒有接收產品晶圓片數(shù)等則返回到圖5 的流程圖的步驟S501。
(步驟S604)源信息接收部1205對已4妻收的 一 個以上的測量 值與時刻信息的組附加產品晶圓片數(shù)等屬性信息。在此，構成 成為測量信息的源的源信息。
(步驟S605)測量信息獲取部1206對在步驟S604中構成的源 信息所具有的 一個以上的測量值(溫度、壓力等)進行規(guī)定的運 算，獲取一個以上的測量信息。
上的測量信息進行異常檢測，獲取異常信息。在此，例如，異 常信息具有表示測量出的日期和時間的日期和時間信息、制造 裝置標識符、對由包含異常的測量信息所具有的測量值的多個 測量信息構成的圖表進行識別的圖表識別信息、表示圖表的種 類(SPC圖表、相關圖表、MD圖表等)的圖表類型、識別異常發(fā) 生的步驟的步驟標識符、有無報警等的信息。在異常信息具有 圖表的情況下，在異常檢測部1207檢測到異常之后，圖表構成 部1210等對包含檢測出異常的測量值的 一 系列的測量信息進行 構成圖表的處理，存儲該圖表。
(步驟S607)異常檢測部1207將在步驟S606中獲取的異常信 息存儲到異常信息保存部1203中。
(步驟S608)測量信息存儲部1208將具有由異常檢測部1207 檢測出異常的測量信息的 一 系列的測量信息存儲到測量信息保存部1202中。返回到圖5的流程圖的步驟S501。
此外，在圖6的流程圖中，源信息和測量信息也可以是相 同的信息。在這種情況下，在步驟S605中，進行讀出源信息的 處理。
另外，在圖6的流程圖中，如果接收源信息結束則立即進 行異常檢測，但是不限制進行異常檢測的時機。當然，也可以 根據(jù)來自用戶(客戶端裝置13)的指示開始進行異常檢測。另夕卜， 在這種情況下，用戶也可以對于可能發(fā)生異常的制造裝置11 、 制程配方輸入制造裝置標識符、制程配方標識符等。并且，在 這種情況下，異常檢測的指示包含該輸入的制造裝置標識符、 制程配方標識符等。并且，最好對與包含在異常檢測的指示中 的制造裝置標識符、制程配方標識符等對應的測量信息進行異 常檢測。
另外，在圖5、圖6的流程圖中，不限制構成圖表的時機。 也可以在存在輸出圖表的指示的情況下構成圖表，也可以預先 構成有可能輸出的圖表并進行存儲。
接著，說明客戶端裝置13的動作。在客戶端裝置13的指示 輸入部1301從用戶接受了各種指示的情況下，指示發(fā)送部1302 向服務器裝置12發(fā)送該各種指示，輸出信息接受部1303接受在 服務器裝置12中的處理結果，終端輸出部1304顯示接受的信息。
下面，說明本實施方式中的群管理系統(tǒng)的具體的動作。群 管理系統(tǒng)的概念圖是圖1。
在本具體例中，當多個制造裝置11的輸入接受部1101接受 來自用戶的晶圓等的制造的開始指示時，處理部1105讀出制程 配方保存部1102的制程配方，執(zhí)行讀出的制程配方，進行制造 處理。然后，測量部1106在制造處理過程中，例如^f吏用第一溫 度傳感器每隔一秒測量預先決定的爐內的上部的溫度，使獲取的溫度與從未圖示的時鐘獲取的時刻信息成對，源信息發(fā)送部
1108例如每隔一秒發(fā)送到服務器裝置12。該發(fā)送的源信息的例 子是圖7。在此源信息具有溫度、時刻信息。此外，時刻信息是 表示時刻的信息，可以是確定到時、分、秒的信息，也可以是 日期和時間、以及只有時間的信息。另夕卜，同樣地，測量部1106 在制造處理過程中，使用第二溫度傳感器每隔一秒測量預先決 定的爐內的中央部的溫度，使獲取的溫度與從未圖示的時鐘獲 耳又的時刻信息成對，源信息發(fā)送部110 8例如每隔 一 秒發(fā)送到服 務器裝置12。并且，同樣地，測量部1106在制造處理過程中， 使用第三溫度傳感器每隔一秒測量預先決定的爐內的下部的溫 度，使獲取的溫度與從未圖示的時鐘獲取的時刻信息成對，源 信息發(fā)送部1108例如每隔一秒發(fā)送到服務器裝置12。
另外，在制程配方的所有步驟執(zhí)行結束的階段，設制造裝 置ll的源信息發(fā)送部1108讀出制造裝置標識符保存部1103的制 造裝置標識符、制程配方保存部110 2的制程配方標識符(在制造 晶圓時執(zhí)行的制程配方的標識符)、以及產品晶圓片數(shù)保存部 1104的產品晶圓片凄l(xiāng), 另夕卜，獲耳又其它的屬'l"生4"f息(忍晶 圓片數(shù) 等)，發(fā)送到服務器裝置12。
接著，服務器裝置12的源信息接收部1205每隔一秒依次接 收爐內的上部的溫度與時刻信息的組的信息、爐內的中央部的 溫度與時刻信息的組的信息、爐內的下部的溫度與時刻信息的 組的信息、爐內的氣體流量與時刻信息的組的信息、爐內的壓 力與時刻信息的組的信息等并進行暫時存儲。并且，接收制造 裝置標識符、制程配方標識符、以及產品晶圓片數(shù)等。并且， 源信息接收部1205將具有爐內的上部的溫度與時刻信息的多個 組、制程配方標識符、以及制造裝置標識符等的源信息暫時記 錄到存儲器中。圖8示出上述源信息的例子。圖8是源信息管理表。源信息管理表具有"制造裝置標識符，，"制程配方標識符" "測量值""時刻信息"。"測量值"是爐內的上部、中央部、下 部的各溫度、爐內的壓力、氣體流量等。在圖8中，是多個值(在 此是一種)和時刻信息對應于一個制造裝置標識符、制程配方標 識符的數(shù)據(jù)結構。另外，在圖8中，管理對于多個制造裝置11(E1、
E2等)、以及多個制程配方(R5、 R3等)的執(zhí)行的源信息。
接著，測量信息獲取部1206按同一制造裝置標識符、制程 配方標識符、以及同一種(例如，爐內的上部的溫度)的一系列 的測量值獲取多個源信息，對該多個源信息進行規(guī)定的運算， 獲取多個測量信息。在此，設規(guī)定的運算是平均值的算出，測 量信息獲取部1206每隔一個小時算出平均值。并且，設測量信 息獲取部1206從圖8的源信息管理表得到圖9所示的測量信息管 理表。
接著，異常檢測部1207對圖9所示的測量信息管理表的一 個以上的測量信息進行異常檢測，獲取異常信息。在此，設異 常檢測部1207保存可應用于爐內的上部、中央部、下部中的任 一個的用于判斷正常/異常的閾值的條件"3O0^溫度^4OO"。也 就是說，設在正常時爐內的溫度需要都在300度與400度之間。
在這種情況下，異常檢測部1207讀出保存的閾值的條件 "30(^溫度^400"。接著，異常檢測部1207讀出圖9的測量值的 平均值，獲取溫度的測量值的平均值之中不滿足"300$溫度 $400"的信息(記錄)。然后，異常檢測部1207在用制造裝置標 識符"E1"、制程配方標識符"R5"識別的工藝中檢測爐內的 上部的溫度脫離以上述條件表示的正常范圍。
然后，異常檢測部1207接著根據(jù)圖9的測量值的平均值還 檢測其它的異常值。然后，異常檢測部1207將包含檢測出的所 有測量值的測量信息存儲到測量信息保存部1202中。此外，被存儲在該測量信息保存部1 2 0 2中的測量信息是包含異常的測量
值的測量信息、與該測量信息連續(xù)的測量信息。圖10示出這種
測量信息。
常的測量信息構成圖表。圖表通常是使用 一個變量的SPC圖表。 并且，在此，圖表構成部1210自動生成對構成的圖表附加的文 件名(例如，將變量"？"的值從l開始依次遞增，生成"SPC " 的文件名)，在預先決定的文件夾(例如，"VERR")的文件(例如， "SPC1")中寫入構成的圖表。當然，在寫入上述圖表之前生 成并打開文件。
接著，異常檢測部1207由檢測出的異常的測量值(也可以使 用存儲在測量信息保存部12 02中的測量信息)構成異常信息，并 將該異常信息存儲到異常信息保存部1203中。異常檢測部1207 檢測所有的異常的測量值，構成與該異常的測量值對應的異常 信息，存儲到異常信息保存部1203中。圖ll是管理上述異常信 息的異常信息管理表。異常信息管理表具有"時刻信息""裝置 標識符，，"制程配方標識符""圖表名""圖表類型"。設"時刻 信息，，是表示測量出異常值的時刻的信息，"裝置標識符"是測 量出異常值的裝置的標識符，"制程配方標識符"是在測量出異 常值時執(zhí)行的制程配方的標識符，"圖表名"在此是
"\ERR\SPC ","圖表類型，，在此是表示SPC圖表的"SPC"。 在圖10中，"\ERR\SPC1" "\ERR\SPC2"表示在文件夾"\ERR" 中構成并存儲"SPC1" "SPC2"的文件名的圖表。
在這種狀況下，設用戶從客戶端裝置13輸入"異常一覽表 輸出指示"。并且，指示輸入部1301接受"異常一覽表輸出指示"， 指示發(fā)送部1302將該指示發(fā)送到服務器裝置12。
接著，服務器裝置12的接受部1201接收"異常一覽表輸出指示"。然后，異常信息輸出部1209從異常信息保存部1203讀入 圖ll的異常信息。
接著，異常信息輸出部1209由異常信息構成異常一覽表。 然后，異常信息輸出部1209將異常一覽表發(fā)送到客戶端裝置13, 客戶端裝置13的輸出信息接受部13 0 3接收異常 一 覽表。然后， 終端輸出部1304如圖12所示那樣輸出異常 一 覽表。
另外，在本具體例中，設組圖表信息保存部1204保存圖表 13所示的組圖表信息管理表。與組圖表信息管理表的各ID對應 的記錄具有兩個以上的關聯(lián)圖表的圖表識別信息。在圖13所示 的組圖表信息管理表中，保持一個以上具有"ID""組圖表信 息"的記錄。在此，"ID"是識別記錄的信息，為了管理表中 的記錄而存在。"組圖表信息，，在此由"制程配方標識符""測 量值""圖表類型"構成。"制程配方標識符"是識別制程配方 的信息。"測量值"是確定測量出的數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)類型以及測量位 置的信息。"圖表類型"是表示輸出的圖表的種類的信息。該組 圖表信息是集中了制造現(xiàn)場中的異常分析的知識的信息。
在這種狀況下，設用戶在從圖12的畫面中在第二個異常信 息的項目被聚焦的情況下，按下"圖表輸出"按鈕。于是，客 戶端裝置13的指示輸入部1301接受與第二個異常信息的項目對 應的異常信息指示。該異常信息指示具有時刻信息"2005/12/02 16:00:00"、制造裝置標識符"E1"、制程配方標識符"R5"、圖 表名"\ERR\SPC1"。然后，指示發(fā)送部1302將異常信息指示發(fā) 送到服務器裝置12。
接著，接受部1201接收該異常信息指示。然后，圖表構成 部1210讀入與圖表名"\ERR\SPC1"對應的圖表，使用時刻信 息"2005/12/02 16:00:00"構成聚焦在與該時刻對應的點上的圖 表。然后，輸出部1213輸出圖表。然后，客戶端裝置13的輸出
信息接受部13 0 3接收圖表，終端輸出部13 0 4如圖14所示那樣顯 示圖表。此外，在此，設圖表構成部1210已構成并存儲與圖表 名"\ERR\SPC1"對應的圖表。在圖13中，由于從300度到400 度的范圍是正常范圍，因此輸出的圖表上的測量值是異常值。 并且，設異常值的點用"x"顯示。
接著，設用戶從客戶端裝置13的圖14的畫面按下按鈕"關 聯(lián)圖表輸出"。
接著，客戶端裝置13的指示輸入部1301接受關聯(lián)圖表輸出 指示，指示發(fā)送部1302將關聯(lián)圖表輸出指示發(fā)送到服務器裝置 12。
接著，服務器裝置12的接受部1201接收關聯(lián)圖表輸出指 示。然后，關聯(lián)圖表識別信息獲取部1211獲取被輸出的圖表的 圖表識別信息。設在此的被輸出的圖表的圖表識別信息具有制 造裝置標識符"E1"、制程配方標識符"R5"、圖表名 "\ERR\SPC1"、測量值"爐內的上部的溫度"。
接著，關聯(lián)圖表識別信息獲取部1211以所獲取的圖表識別 信息為關鍵字，檢索組圖表信息保存部1204的組圖表信息管理 表。在此，由于組圖表信息管理表的"ID=1"的記錄匹配，因 此關聯(lián)圖表識別信息獲取部1211獲取制程配方標識符"R 5 "、 測量值"爐內的中央部的溫度"、圖表類型"SPC"、以及制程 配方標識符"R5"、測量值"爐內的下部的溫度"、圖表類型"SPC" 的兩個圖表識別信息。
接著，關聯(lián)圖表構成部1212從圖9的測量信息管理表獲取 與制程配方標識符"R5"、測量值"爐內的中央部的溫度"、圖 表類型"SPC"之類的圖表識別信息對應的測量信息。并且， 關聯(lián)圖表構成部1212由獲取的多個測量信息構成SPC圖表。然后，輸出部1213將構成的圖表疊加輸出。
另外，關聯(lián)圖表構成部1212從圖9的測量信息管理表獲取 作為構成下一個圖表的測量信息的、與制程配方標識符"R5"、 測量值"爐內的下部的溫度"、圖表類型"SPC，，之類的圖表識 別信息對應的測量信息。并且，關—聯(lián)圖,表構成部1212由獲取的 多個測量信息構成SPC圖表。然后，輸出部1213將構成的圖表 疊加輸出。
接著，客戶端裝置13的輸出信息接受部13 0 3接收輸出部 1213輸出的圖表。然后，終端輸出部1304得到圖15所示的三個 SPC圖表。三個SPC圖表是爐內的上部的溫度的SPC圖表、爐內 的中央部的溫度的SPC圖表、爐內的下部的溫度的SPC圖表。在 圖15的爐內的上部的溫度的SPC圖表中，檢測出異常的意思， 另外，獲知爐內的中央部、下部的溫度雖然都在正常范圍，但 是非常低。并且，可確信地判斷為需要提高溫度。
以上，根據(jù)本實施方式能夠容易且有效地進行異常分析。 具體地說，只要檢測異常、從異常一覽表選擇異常項目就能夠 立即輸出圖表。因而，在異常檢測之后能夠容易且有效地進行 異常分析。
另外，根據(jù)本實施方式，在輸出包含異常的測量值的圖表 的狀態(tài)下，也能夠非常簡單地觀察其它關聯(lián)的圖表，能夠非常 容易且有效地進行異常分析。另外，事先登記關聯(lián)的圖表并利 用，從而能夠廣泛地利用異常分析的知識。
此外，在本實施方式的具體例中，主要通過SPC圖表(例如 參照圖15、圖16)說明了圖表，但是根據(jù)異常的分析對象適合使 用相關圖表(參照圖17)、 MD圖表(參照圖18)。另夕卜，圖13的組 圖表信息管理表的"ID=2、 4"的記錄表示作為與SPC圖表有關 的圖表不僅可以是SPC圖表，也可以是相關圖表、MD圖表。另外，圖13的組圖表信息管理表的"ID=3"的記錄表示作為與相 關圖表有關的圖表可以是相關圖表、MD圖表。
另外，在本實施方式中，在圖12的異常一覽表的畫面中， 在按下"關聯(lián)圖表輸出，，按鈕的情況下，服務器裝置12也可以 輸出圖15的三個圖老、。上述處理能夠構成與被、聚焦的異常的項 目對應的圖表、與該圖表有關的兩個圖表并進行輸出。如果省 略上述"i兌明中的用戶交互則可實現(xiàn)上述處理。在這種情況下， 本服務器裝置為以下結構。也就是說，本服務器裝置是構成群 管理系統(tǒng)的服務器裝置，該群管理系統(tǒng)具備對被處理基板進行 規(guī)定的工藝的多個制造裝置以及與該多個制造裝置相連接的服
務器裝置具備如下部分接受部，其接受包含各種指示的輸入； 測量信息保存部，其能夠保存多個測量信息，該測量信息是關 于由上述多個制造裝置測量出的信息的時間序列的信息，是具 有識別上述制造裝置的裝置標識符和表示時刻的時刻信息的信 息；異常信息保存部，其能夠保存作為表示異常的異常信息與 一個以上的測量信息的一個以上的對應；異常信息輸出部，其 輸出上述異常信息保存部保存的 一個以上的異常信息；組圖表 信息保存部，其能夠保存一個以上的組圖表信息，該組圖表信 息具有兩個以上的作為識別圖表的信息的圖表識別信息；關聯(lián) 圖表識別信息獲取部，其在上述接受部接受了對于上述異常信 息輸出部輸出的一個以上的異常信息中的一個以上的異常信息 的指示、即異常信息指示的情況下，獲取包含對與一個以上的 測量信息對應的圖表進行識別的 一 個以上的圖表識別信息中的 任一個的關聯(lián)圖表識別信息，其中，上述一個以上的測量信息 與對應于上述異常信息指示的 一 個以上的異常信息成對；關聯(lián) 圖表構成部，其使用上述關聯(lián)圖表識別信息獲取部獲取的關聯(lián)圖表識別信息，按該關聯(lián)圖表識別信息所具有的 一個以上的圖 表識別信息中的每個圖表識別信息，從上述測量信息保存部獲
取一個以上的測量信息，構成一個以上的圖表；以及輸出部，
其輸出上述關聯(lián)圖表構成部構成的一個以上的圖表。 也可以通過軟件下載等分發(fā)該軟件。另外，也可以將該軟件記
錄到CD-ROM等記錄介質中來傳播。此外，實現(xiàn)本實施方式中 的服務器裝置的軟件是如下程序。也就是說，該程序是在構成 群管理系統(tǒng)的服務器裝置中執(zhí)行的程序，該群管理系統(tǒng)具備對 被處理基板進行規(guī)定的工藝的多個制造裝置、以及連接在該多 個制造裝置上的服務器裝置，該群管理系統(tǒng)具有在異常檢測之 后進行異常分析的功能，保存多個測量信息，該測量信息是關 于由多個制造裝置測量出的信息按時間序列的信息，是具有識 別上述制造裝置的裝置標識符和表示時刻的時刻信息的信息， 并且保存作為表示異常的信息的異常信息與 一 個以上的測量信 息的一個以上的對應，上述程序用于使計算機執(zhí)行以下步驟 接受步驟，接受包含各種指示的輸入；異常信息輸出步驟，輸 出上述保存的一個以上的異常信息；圖表構成步驟，在上述接 受步驟中接受了對于在上述異常信息輸出步驟中輸出的 一個以 上的異常信息中的一個以上的異常信息的指示、即異常信息指 示的情況下，由與對應于上述異常信息指示的 一個以上的異常 信息成對的一個以上的測量信息構成一個以上的圖表；以及輸 出步驟，輸出在上述圖表構成步驟中構成的一個以上的圖表。
另外，在上述程序中，還使計算機執(zhí)行關聯(lián)圖表識別信息 獲取步驟和關聯(lián)圖表構成步驟，在上述輸出步驟中最好還輸出 在上述關聯(lián)圖表構成步驟中構成的一個以上的圖表，其中，在 上述關聯(lián)圖表識別信息獲取步驟中，在上述一個以上的圖表被輸出之后，在上述接受步驟中接受了輸出與該被輸出的一個以 上的圖表有關的關聯(lián)圖表的指示、即關聯(lián)圖表輸出指示的情況 下，獲取具有識別該被輸出的 一個以上的圖表的 一個以上的圖 表識別信息中的所有的圖表識別信息或 一 個圖表識別信息的組 圖表信息中的、除了識別該被輸出的 一 個以上的圖表的 一 個以 上的圖表識別信息之外的 一 個以上的圖表識別信息，在上述關 聯(lián)圖表構成步驟中，使用在上述關聯(lián)圖表識別信息獲取步驟中 獲取的一個以上的圖表識別信息，按每個圖表識別信息獲取一
個以上的測量信息，構成一個以上的圖表。
另外，在上述程序中，在上述圖表構成步驟中，最好構成 具有使與對于上述異常信息指示的異常信息成對的一個以上的 測量信息在視覺上與其它的測量信息不同的形態(tài)的圖表。
另外，在上述程序中，在上述圖表構成步驟或/和關聯(lián)圖表 構成步驟中，最好構成作為標繪有上述一個以上的測量信息的 圖表的SPC圖表。
另外，在上述程序中，上述一個以上的測量信息是具有兩 種測量值的測量信息，在上述圖表構成步驟或/和關聯(lián)圖表構成 步驟中，最好構成作為表示該兩種測量值的相關的圖表的相關 圖表。
另外，在上述程序中，上述一個以上的測量信息是具有三 種以上的測量值的測量信息，在上迷圖表構成步驟或/和關聯(lián)圖 表構成步驟中，最好構成作為表示該三種以上的測量值的相關
的圖表的MD圖表。
另外，在上述各實施方式中，各處理(各功能)可以通過利 用單一的裝置(系統(tǒng))進行集中處理來實現(xiàn)，或者也可以通過利 用多個裝置進行分散處理來實現(xiàn)。
此外，在上述程序中，在發(fā)送信息的步驟、接收信息的步驟等中，不包含利用硬件進行的處理、例如發(fā)送步驟中的通過 調制解調器、接口卡等進行的處理(只能通過硬件進行的處理)。
另外，執(zhí)行上述程序的計算機可以是單個，也可以是多個。 即，可以進4亍集中處理，或者也可以進4亍分散處理。
另外，在上述各實施方式中，存在于一個裝置中的兩個以 上的通信單元(源信息接收部等)在物理上當然也可以通過一個 介質實現(xiàn)。
本發(fā)明不限于以上的實施方式，可進行各種變更，它們當 然也包含在本發(fā)明的范圍內。
另外，包含2006年5月9日所申請的日本國專利申請?zhí)?2006-129728的詳纟田的說明、附圖、權利要求書的公開通過參照 其整體而包含在本公開中。
產業(yè)上的可利用性
如上所述，本發(fā)明所涉及的群管理系統(tǒng)具有能夠容易且有 效地進行異常分析的效果，作為群管理系統(tǒng)等而應用，上述群 管理系統(tǒng)具備對被處理基板進行規(guī)定的工藝的多個制造裝置、 以及連接在該多個制造裝置上的服務器裝置，并具有在異常檢 測之后進行異常分析的功能。
權利要求
1. 一種服務器裝置，構成群管理系統(tǒng)，該群管理系統(tǒng)具備對被處理基板進行規(guī)定的工藝的多個制造裝置以及與該多個制造裝置相連接的服務器裝置，該群管理系統(tǒng)具有在檢測出異常之后進行異常分析的功能，該服務器裝置具備接受部，其接受包含指示的輸入；測量信息保存部，其能夠保存多個測量信息，該測量信息是關于由上述多個制造裝置測量出的信息的時間序列的信息，是具有識別上述制造裝置的裝置標識符和表示時刻的時刻信息的信息；異常信息保存部，其能夠保存一個以上的、作為表示異常的信息的異常信息與一個以上的測量信息之間的對應；異常信息輸出部，其輸出上述異常信息保存部所保存的一個以上的異常信息；圖表構成部，其在上述接受部接受了對于由上述異常信息輸出部輸出的一個以上的異常信息中的一個以上的異常信息的指示、即異常信息指示的情況下，由與對應于上述異常信息指示的一個以上的異常信息成對的一個以上的測量信息構成一個以上的圖表；以及輸出部，其輸出由上述圖表構成部構成的一個以上的圖表。
2. 根據(jù)權利要求l所述的服務器裝置，其特征在于， 還具備組圖表信息保存部，其能夠保存一 個以上的組圖表信息， 該組圖表信息具有兩個以上的作為識別圖表的信息的圖表識別 信息；關聯(lián)圖表識別信息獲取部，其在上述 一 個以上的圖表被輸 出之后，在上述接受部接受了輸出與該被輸出的一個以上的圖 表有關的關聯(lián)圖表的指示、即關聯(lián)圖表輸出指示的情況下，從上述組圖表信息保存部獲取具有識別該被輸出的一個以上的圖 表的一個以上的圖表識別信息中的所有的圖表識別信息、或者 一個圖表識別信息的組圖表信息之中除了識別該被輸出的一個 以上的圖表的一個以上的圖表識別信息之外的一個以上的圖表識別信息；以及關聯(lián)圖表構成部，其使用上述關聯(lián)圖表識別信息獲取部所 獲取的一個以上的圖表識別信息，按每個圖表識別信息，從上 述測量信息保存部獲取一個以上的測量信息，構成一個以上的 圖表，其中，上述輸出部還輸出上述關聯(lián)圖表構成部所構成的一 個以上的圖表。
3. 根據(jù)權利要求l所述的服務器裝置，其特征在于，異常信息成對的 一 個以上的測量信息在視覺上與其它的測量信 息不同的形態(tài)的圖表。
4. 根據(jù)權利要求l所述的服務器裝置，其特征在于，上述圖表構成部構成作為標繪有上述一 個以上的測量信息 的圖表的SPC圖表。
5. 根據(jù)權利要求2所述的服務器裝置，其特征在于， 上述關聯(lián)圖表構成部構成作為標繪有上述一個以上的測量信息的圖表的SPC圖表。
6. 根據(jù)權利要求l所述的服務器裝置，其特征在于，上述一 個以上的測量信息是具有兩種測量值的測量信息， 上述圖表構成部構成作為表示該兩種測量值的相關的圖表 的相關圖表。
7. 根據(jù)權利要求2所述的服務器裝置，其特征在于，上述一 個以上的測量信息是具有兩種測量值的測量信息，上述關聯(lián)圖表構成部構成作為表示該兩種測量值的相關的 圖表的相關圖表。
8. 根據(jù)權利要求l所述的服務器裝置，其特征在于，上述一個以上的測量信息是具有三種以上的測量值的測量 信息，上述圖表構成部構成作為表示該三種以上的測量值的相關 的圖表的MD圖表。
9. 根據(jù)權利要求2所述的服務器裝置，其特征在于，上述一 個以上的測量信息是具有三種以上的測量值的測量"息，上述關聯(lián)圖表構成部構成作為表示該三種以上的測量值的 相關的圖表的MD圖表。
10. —種程序，在構成群管理系統(tǒng)的服務器裝置中執(zhí)行， 保存多個測量信息，并且保存一個以上的、作為表示異常的信 息的異常信息與一個以上的測量信息的對應，其中，上述群管 理系統(tǒng)具備對被處理基板進行規(guī)定的工藝的多個制造裝置以及 與該多個制造裝置相連接的服務器裝置，上述群管理系統(tǒng)具有 在異常檢測之后進行異常分析的功能，該測量信息是由關于多 個制造裝置測量出的信息的時間序列的信息，是具有識別上述 制造裝置的裝置標識符和表示時刻的時刻信息的信息，該程序 使計算機執(zhí)行如下步驟接受步驟，接受包含指示的輸入；異常信息輸出步驟，輸出上述保存的 一 個以上的異常信息； 圖表構成步驟，在上述接受步驟中接受了對于在上述異常 信息輸出步驟中輸出的一個以上的異常信息中的一個以上的異 常信息的指示、即異常信息指示的情況下，由與對應于上述異 常信息指示的 一個以上的異常信息成對的 一個以上的測量信息構成一個以上的圖表；以及輸出步驟，輸出在上述圖表構成步驟中構成的一個以上的 圖表。
11. 根據(jù)權利要求10所述的程序，其特征在于， 使計算機還執(zhí)行以下步驟關聯(lián)圖表識別信息獲取步驟，在上述一個以上的圖表被輸 出之后，在上述接受步驟中接受了輸出與該被輸出的一個以上 的圖表有關的關聯(lián)圖表的指示、即關聯(lián)圖表輸出指示的情況下， 獲取具有識別該被輸出的 一 個以上的圖表的 一 個以上的圖表識 別信息中的所有的圖表識別信息、或者一個圖表識別信息的組 圖表信息之中除了識別該一皮輸出的一個以上的圖表的一個以上 的圖表識別信息之外的 一個以上的圖表識別信息；以及關聯(lián)圖表構成步驟，使用在上述關聯(lián)圖表識別信息獲取步 驟中獲取的 一 個以上的圖表識別信息，按每個圖表識別信息獲 取一個以上的測量信息，構成一個以上的圖表，其中，在上述輸出步驟中還輸出通過上述關聯(lián)圖表構成步 驟構成的 一 個以上的圖表。
12. 根據(jù)權利要求10所述的程序，其特征在于， 在上述圖表構成步驟中，構成具有使與對應于上述異常信息指示的異常信息成對的 一個以上的測量信息在視覺上與其它 的測量信息不同的形態(tài)的圖表。
全文摘要
在以往的服務器裝置中存在無法容易且有效地進行異常分析的問題。通過如下的服務器裝置能夠容易且有效地進行異常分析，該服務器裝置保存多個測量信息，該測量信息是關于由多個制造裝置測量出的信息的時間序列的信息，是具有識別制造裝置的裝置標識符和表示時刻的時刻信息的信息，保存作為表示異常的信息的異常信息與一個以上的測量信息的一個以上的對應，具備異常信息輸出部，其輸出一個以上的異常信息；圖表構成部，其在接受了對于異常信息輸出部輸出的一個以上的異常信息中的一個以上的異常信息的指示、即異常信息指示的情況下，由與對應于異常信息指示的一個以上的異常信息成對的一個以上的測量信息構成一個以上的圖表；以及輸出部，其輸出圖表構成部構成的一個以上的圖表。
文檔編號G05B23/02GK101443715SQ20078001675
公開日2009年5月27日 申請日期2007年4月24日 優(yōu)先權日2006年5月9日
發(fā)明者小山典昭, 豬川匠 申請人:東京毅力科創(chuàng)株式會社