專利名稱：基板處理裝置的設(shè)定操作支援裝置及其方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種基板處理裝置的設(shè)定操作支援裝置、設(shè)定操作支 援方法、存儲(chǔ)程序的存儲(chǔ)介質(zhì)。
背景技術(shù)：
為了進(jìn)行基板處理裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)需要進(jìn)行各種設(shè)定和操作等，通常 通過(guò)由操作者操作基板處理裝置的操作部，進(jìn)行這些設(shè)定和操作等。 操作部包括由軟件程序管理的觸摸屏式的操作顯示部和由硬件構(gòu)成的 多個(gè)按鈕等，它們例如設(shè)置在基板處理裝置的前面。在上述操作部的操作顯示部中顯示設(shè)定畫(huà)面、操作畫(huà)面等多個(gè)畫(huà) 面。這些畫(huà)面預(yù)先按種類進(jìn)行分類，成為多個(gè)組，并且各組畫(huà)面分別 成為層次結(jié)構(gòu)，通過(guò)按下在某一種類的組的畫(huà)面中顯示的按鈕，能夠 顯示該組內(nèi)的下一層次的畫(huà)面。操作者看著這樣的操作顯示部的畫(huà)面， 通過(guò)選擇與之后應(yīng)該進(jìn)行的設(shè)定、操作對(duì)應(yīng)的按鈕并反復(fù)進(jìn)行觸摸操 作，能夠一個(gè)一個(gè)地切換畫(huà)面，找出希望的畫(huà)面，并進(jìn)行必要的設(shè)定、操作(例如參照日本特開(kāi)平8-227835號(hào)公報(bào))。通常，在使基板處理裝 置運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，先找出必需的設(shè)定畫(huà)面進(jìn)行各種設(shè)定，再找出必需的操作 畫(huà)面進(jìn)行操作，按照設(shè)定使基板處理裝置運(yùn)轉(zhuǎn)。但是，像基板處理裝置這樣各種設(shè)定項(xiàng)目涉及多個(gè)分支的裝置中， 設(shè)定畫(huà)面的數(shù)量非常多。例如，必須進(jìn)行由硬件構(gòu)成的按鈕等的設(shè)定 操作、氣體流量、壓力等工藝條件的設(shè)定操作、半導(dǎo)體晶片等的基板 搬送系統(tǒng)的設(shè)定操作、構(gòu)成裝置的多個(gè)部件的型號(hào)、種類等的設(shè)定操 作等各種設(shè)定操作。此外，近年來(lái)隨著基板處理裝置的多功能化，在追加新的功能時(shí)， 會(huì)追加用于設(shè)定該功能的設(shè)定畫(huà)面，所以設(shè)定畫(huà)面的數(shù)量也有日益增 加的傾向。而且，由于這些新的設(shè)定畫(huà)面一個(gè)一個(gè)地地追加在相關(guān)聯(lián) 的畫(huà)面組的已經(jīng)存在的層次(階層)中，而且還在其中追加有新設(shè)置的更深的層次，所以各層次的畫(huà)面數(shù)增加，并且層次的數(shù)量也日益增 加。這樣畫(huà)面的層次越深，操作者通過(guò)畫(huà)面操作直至到達(dá)希望的設(shè)定 畫(huà)面越耗費(fèi)時(shí)間和人力。此外，因?yàn)楦鶕?jù)畫(huà)面的分類方法的不同，相 同對(duì)象物的設(shè)定畫(huà)面也可能包括在不同的畫(huà)面組的層次中，因此在這 樣的情況下找出希望的設(shè)定畫(huà)面非常耗費(fèi)人力。此外，在操作畫(huà)面和 設(shè)定畫(huà)面為不同的畫(huà)面組的情況下，在設(shè)定操作中還存在下述這種繁 瑣的情況，例如， 一度根據(jù)設(shè)定畫(huà)面進(jìn)行設(shè)定操作之后，結(jié)束設(shè)定并 切換到操作畫(huà)面進(jìn)行裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，在希望變更該操作對(duì)象物的設(shè)定 的情況下，必須再次切換到設(shè)定畫(huà)面，通過(guò)一個(gè)一個(gè)地切換設(shè)定畫(huà)面 找出操作對(duì)象物的希望的設(shè)定項(xiàng)目，并重新進(jìn)行設(shè)定。此外，因?yàn)闉榱诉@樣找出希望的設(shè)定畫(huà)面，必須具有包括各種設(shè) 定畫(huà)面、設(shè)定項(xiàng)目的設(shè)定操作的知識(shí)和經(jīng)驗(yàn)，所以還存在由于操作者 的不同，不知道在哪里具有哪種功能，不能夠把握該功能本身是否存 在，此外在希望對(duì)功能進(jìn)行設(shè)定時(shí)不知道在哪里存在希望的設(shè)定項(xiàng)目 的擔(dān)憂。發(fā)明內(nèi)容鑒于這樣的問(wèn)題提出本發(fā)明，其目的在于提供設(shè)定操作支援裝置 等，在進(jìn)行基板處理裝置的設(shè)定操作時(shí)，通過(guò)簡(jiǎn)單的操作就能夠立即 顯示希望的畫(huà)面，從而沒(méi)有繁瑣的設(shè)定操作，能夠提高使用的便利性。為了解決上述課題，根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)觀點(diǎn)， 一種支援基板處理 裝置的設(shè)定操作的設(shè)定操作支援裝置，其特征在于，包括用于操作 上述基板處理裝置的操作對(duì)象物；至少能夠顯示與上述操作對(duì)象物的 設(shè)定有關(guān)的畫(huà)面的觸摸屏式的操作顯示部；存儲(chǔ)根據(jù)與上述操作對(duì)象 物的設(shè)定有關(guān)的畫(huà)面設(shè)定的事項(xiàng)的設(shè)定存儲(chǔ)部；設(shè)定支援按鈕；存儲(chǔ) 預(yù)先使上述操作對(duì)象物和與該操作對(duì)象物的設(shè)定有關(guān)的畫(huà)面相關(guān)聯(lián)的 操作對(duì)象物設(shè)定關(guān)聯(lián)畫(huà)面信息的畫(huà)面存儲(chǔ)部；和當(dāng)上述設(shè)定支援按鈕 被按下，進(jìn)行上述操作對(duì)象物的操作時(shí)，從上述畫(huà)面存儲(chǔ)部中檢索與 該操作對(duì)象物相關(guān)聯(lián)的畫(huà)面并使之在上述操作顯示部中顯示的控制 部。上述操作對(duì)象物例如是在上述操作顯示部中顯示的操作按鈕或相 對(duì)上述操作顯示部另外設(shè)置的操作按鈕，上述設(shè)定支援按鈕例如是在 上述操作顯示部中顯示的功能設(shè)定按鈕或相對(duì)上述操作顯示部另外設(shè) 置的功能設(shè)定按鈕，與上述操作對(duì)象物的設(shè)定有關(guān)的畫(huà)面例如是功能 設(shè)定畫(huà)面。根據(jù)這樣的本發(fā)明，操作者按下設(shè)定支援按鈕，僅進(jìn)行操作對(duì)象 物的操作這樣極為簡(jiǎn)單的操作，與該操作對(duì)象物的設(shè)定有關(guān)的畫(huà)面就 立即且自動(dòng)地顯示在操作顯示部中。由此，能夠大幅縮短設(shè)定操作所 需的時(shí)間。而且，只要能夠進(jìn)行操作對(duì)象物的操作，即使沒(méi)有例如設(shè) 定畫(huà)面在哪里等的設(shè)定操作的知識(shí)和經(jīng)驗(yàn)，僅通過(guò)按下設(shè)定支援按鈕， 就能夠在操作顯示部中立即顯示與操作對(duì)象物的設(shè)定有關(guān)的畫(huà)面。此 外，因?yàn)榕c操作對(duì)象物的設(shè)定有關(guān)的畫(huà)面是自動(dòng)顯示的，所以能夠簡(jiǎn) 單地找出必需的功能。此外，因?yàn)椴恍枰瘳F(xiàn)有技術(shù)那樣一個(gè)一個(gè)地 切換希望的設(shè)定畫(huà)面找出設(shè)定畫(huà)面的操作，所以沒(méi)有繁瑣的設(shè)定操作， 能夠提高使用的便利性。此外也可以是，上述設(shè)定支援按鈕包括上述功能設(shè)定按鈕和功能 解說(shuō)按鈕，在上述畫(huà)面存儲(chǔ)部中存儲(chǔ)有預(yù)先使上述操作對(duì)象物的功能 設(shè)定畫(huà)面和功能解說(shuō)畫(huà)面與該操作對(duì)象物相關(guān)聯(lián)的操作對(duì)象物設(shè)定關(guān)聯(lián)畫(huà)面信息；上述控制部，當(dāng)上述功能設(shè)定按鈕被按下，進(jìn)行上述操 作對(duì)象物的操作時(shí)，從上述畫(huà)面存儲(chǔ)部中檢索與該操作對(duì)象物相關(guān)聯(lián) 的功能設(shè)定畫(huà)面并在上述操作顯示部中進(jìn)行顯示，當(dāng)上述功能解說(shuō)按 鈕被按下，進(jìn)行上述操作對(duì)象物的操作時(shí)，從上述畫(huà)面存儲(chǔ)部中檢索 與該操作對(duì)象物相關(guān)聯(lián)的功能解說(shuō)畫(huà)面并在上述操作顯示部中進(jìn)行顯 示。據(jù)此，操作者按下功能解說(shuō)按鈕，僅進(jìn)行操作對(duì)象物的操作這樣 極為簡(jiǎn)單的操作，該操作對(duì)象物的功能解說(shuō)畫(huà)面就立即并且自動(dòng)地顯 示在操作顯示部中。由此，能夠節(jié)省找出功能解說(shuō)畫(huà)面的人力，能夠 確認(rèn)顯示的解說(shuō)并進(jìn)行設(shè)定操作，從而能夠可靠地進(jìn)行設(shè)定操作。進(jìn)而也可以是，設(shè)置有能夠執(zhí)行根據(jù)上述操作對(duì)象物的操作進(jìn)行 動(dòng)作的動(dòng)作對(duì)象物的模擬的模擬器，當(dāng)根據(jù)在上述操作顯示部中顯示 的畫(huà)面進(jìn)行設(shè)定操作時(shí)，上述控制部在上述設(shè)定存儲(chǔ)部中存儲(chǔ)該設(shè)定事項(xiàng)，之后對(duì)于根據(jù)該操作對(duì)象物的操作進(jìn)行動(dòng)作的動(dòng)作對(duì)象物，在 上述模擬器中執(zhí)行根據(jù)存儲(chǔ)在上述設(shè)定存儲(chǔ)部中的設(shè)定事項(xiàng)的模擬， 在上述操作顯示部中顯示該模擬的圖像。據(jù)此，由于能夠在根據(jù)在操作顯示部中顯示的畫(huà)面進(jìn)行設(shè)定操作 之后，立即在操作顯示部中顯示根據(jù)該操作的動(dòng)作的模擬，所以能夠 立即確認(rèn)依據(jù)設(shè)定的動(dòng)作。由此，能夠可靠地按照設(shè)定進(jìn)行實(shí)際的操 作。此外，由于能夠節(jié)省在設(shè)定后實(shí)際使基板處理裝置運(yùn)轉(zhuǎn)，確認(rèn)根 據(jù)該操作的動(dòng)作等的確認(rèn)操作的人力，所以能夠提高使用的便利性。為了解決上述課題，根據(jù)本發(fā)明的另一觀點(diǎn)，提供一種支援基板 處理裝置的設(shè)定操作的設(shè)定操作支援裝置，其特征在于，包括上述 基板處理裝置的結(jié)構(gòu)物中能夠進(jìn)行動(dòng)作設(shè)定的動(dòng)作對(duì)象物；執(zhí)行對(duì)上 述動(dòng)作對(duì)象物的動(dòng)作的模擬的模擬器；至少能夠顯示與上述動(dòng)作對(duì)象 物的動(dòng)作設(shè)定有關(guān)的畫(huà)面和上述動(dòng)作對(duì)象物的上述模擬的動(dòng)畫(huà)的觸摸屏式的操作顯示部；存儲(chǔ)根據(jù)與上述動(dòng)作對(duì)象物的動(dòng)作設(shè)定有關(guān)的畫(huà) 面設(shè)定的事項(xiàng)的設(shè)定存儲(chǔ)部；設(shè)定支援按鈕；存儲(chǔ)預(yù)先使上述動(dòng)作對(duì) 象物和與該動(dòng)作對(duì)象物的動(dòng)作設(shè)定有關(guān)的畫(huà)面相關(guān)聯(lián)的動(dòng)作對(duì)象物設(shè) 定關(guān)聯(lián)畫(huà)面信息的畫(huà)面存儲(chǔ)部；和在上述操作顯示部中顯示上述模擬 的動(dòng)作對(duì)象物的動(dòng)畫(huà)時(shí)，當(dāng)上述設(shè)定支援按鈕被按下，通過(guò)上述操作 顯示部的觸摸操作進(jìn)行模擬執(zhí)行中的動(dòng)作對(duì)象物的特定時(shí)，從上述畫(huà) 面存儲(chǔ)部中檢索與該動(dòng)作對(duì)象物相關(guān)聯(lián)的畫(huà)面并使之在上述操作顯示 部中顯示的控制部。上述設(shè)定支援按鈕例如是在上述操作顯示部中顯示的功能設(shè)定按 鈕或相對(duì)上述操作顯示部另外設(shè)置的功能設(shè)定按鈕，與上述動(dòng)作對(duì)象 物的動(dòng)作設(shè)定有關(guān)的畫(huà)面例如是對(duì)于該動(dòng)作對(duì)象物的動(dòng)作的功能設(shè)定 畫(huà)面。根據(jù)這樣的本發(fā)明，操作者按下設(shè)定支援按鈕，僅通過(guò)對(duì)模擬的 動(dòng)作中的動(dòng)作對(duì)象物由該操作顯示部的畫(huà)面上的觸摸操作進(jìn)行特定這 樣極為簡(jiǎn)單且視覺(jué)上容易理解的操作，與該動(dòng)作對(duì)象物的設(shè)定有關(guān)的 畫(huà)面就立即并且自動(dòng)地顯示在操作顯示部中。由此，能夠大幅縮短設(shè) 定操作所需的時(shí)間。而且，只要是在通過(guò)模擬使動(dòng)作對(duì)象物動(dòng)作的期 間，即使沒(méi)有例如設(shè)定畫(huà)面在哪里等設(shè)定操作的知識(shí)和經(jīng)驗(yàn)，只要按下設(shè)定支援按鈕，在操作顯示部中就能夠立即顯示與動(dòng)作對(duì)象物的設(shè) 定有關(guān)的畫(huà)面。此外，因?yàn)榕c動(dòng)作對(duì)象物的設(shè)定有關(guān)的畫(huà)面是自動(dòng)顯 示的，所以能夠簡(jiǎn)單地找出所需功能。此外，因?yàn)椴恍枰瘳F(xiàn)有技術(shù) 那樣一個(gè)一個(gè)地切換希望的設(shè)定畫(huà)面找出設(shè)定畫(huà)面的操作，所以沒(méi)有 繁瑣的設(shè)定操作，能夠提高使用的便利性。此外也可以是，上述設(shè)定支援按鈕包括上述功能設(shè)定按鈕和功能 解說(shuō)按鈕，在上述畫(huà)面存儲(chǔ)部中存儲(chǔ)有預(yù)先使上述動(dòng)作對(duì)象物的功能 設(shè)定畫(huà)面和功能解說(shuō)畫(huà)面與該動(dòng)作對(duì)象物相關(guān)聯(lián)的動(dòng)作對(duì)象物設(shè)定關(guān) 聯(lián)畫(huà)面信息；上述控制部，在上述操作顯示部中顯示上述模擬的動(dòng)作 對(duì)象物的動(dòng)作圖像時(shí)，當(dāng)上述功能設(shè)定按鈕被按下，特定上述模擬執(zhí) 行中的動(dòng)作對(duì)象物時(shí)，從上述畫(huà)面存儲(chǔ)部中檢索與該動(dòng)作對(duì)象物相關(guān) 聯(lián)的功能設(shè)定畫(huà)面并在上述操作顯示部中進(jìn)行顯示，當(dāng)上述功能解說(shuō) 按鈕被按下，特定上述模擬執(zhí)行中的動(dòng)作對(duì)象物時(shí)，從上述畫(huà)面存儲(chǔ) 部中檢索與該動(dòng)作對(duì)象物相關(guān)聯(lián)的功能解說(shuō)畫(huà)面并在上述操作顯示部 中進(jìn)行顯示。據(jù)此，操作者按下功能解說(shuō)按鈕，僅進(jìn)行對(duì)模擬的動(dòng)作中的動(dòng)作 對(duì)象物由該操作顯示部的畫(huà)面上的觸摸操作進(jìn)行特別這樣極為簡(jiǎn)單且 視覺(jué)上容易理解的操作，該動(dòng)作對(duì)象物的功能解說(shuō)畫(huà)面就能夠立即并 且自動(dòng)地顯示在操作顯示部中。由此，因?yàn)槟軌蚬?jié)省找出功能解說(shuō)畫(huà) 面的人力，能夠確認(rèn)顯示的解說(shuō)并進(jìn)行設(shè)定操作，所以能夠可靠地進(jìn) 行設(shè)定操作。此外也可以是，當(dāng)根據(jù)與上述動(dòng)作對(duì)象物的動(dòng)作設(shè)定有關(guān)的畫(huà)面 進(jìn)行設(shè)定操作時(shí)，上述控制部在上述設(shè)定存儲(chǔ)部中存儲(chǔ)該設(shè)定事項(xiàng)， 之后對(duì)該動(dòng)作對(duì)象物執(zhí)行根據(jù)存儲(chǔ)在上述設(shè)定存儲(chǔ)部中的設(shè)定事項(xiàng)的 模擬，并在上述操作顯示部中顯示該模擬的圖像。據(jù)此，由于能夠在根據(jù)在操作顯示部中顯示的畫(huà)面進(jìn)行設(shè)定操作 之后，立即在操作顯示部中顯示該動(dòng)作對(duì)象物的動(dòng)作的模擬，所以能 夠立即確認(rèn)依據(jù)設(shè)定的動(dòng)作。由此，能夠可靠地按照設(shè)定進(jìn)行動(dòng)作對(duì) 象物的實(shí)際的動(dòng)作。此外，由于能夠節(jié)省在設(shè)定后實(shí)際使基板處理裝 置運(yùn)轉(zhuǎn)、確認(rèn)該動(dòng)作對(duì)象物的動(dòng)作等的確認(rèn)操作的人力，所以能夠提 高使用的便利性。為了解決上述課題，根據(jù)本發(fā)明的另一觀點(diǎn)，提供一種支援基板 處理裝置的設(shè)定操作的設(shè)定操作支援裝置，其特征在于，包括上述 基板處理裝置的結(jié)構(gòu)物中能夠進(jìn)行該結(jié)構(gòu)物的設(shè)定的設(shè)定對(duì)象物；執(zhí) 行對(duì)上述設(shè)定對(duì)象物的模擬顯示的模擬器；至少能夠顯示與上述設(shè)定 對(duì)象物的設(shè)定有關(guān)的畫(huà)面和上述設(shè)定對(duì)象物的上述模擬的圖像的觸摸 屏式的操作顯示部；存儲(chǔ)根據(jù)與上述設(shè)定對(duì)象物的設(shè)定有關(guān)的畫(huà)面設(shè) 定的事項(xiàng)的設(shè)定存儲(chǔ)部；設(shè)定支援按鈕；存儲(chǔ)預(yù)先使上述設(shè)定對(duì)象物 和與該設(shè)定對(duì)象物的設(shè)定有關(guān)的畫(huà)面相關(guān)聯(lián)的設(shè)定對(duì)象物設(shè)定關(guān)聯(lián)畫(huà) 面信息的畫(huà)面存儲(chǔ)部；和在上述操作顯示部中顯示上述模擬顯示的上 述設(shè)定對(duì)象物的圖像時(shí)，當(dāng)上述設(shè)定支援按鈕被按下，通過(guò)上述操作 顯示部的觸摸操作進(jìn)行顯示中的設(shè)定對(duì)象物的特定時(shí)，從上述畫(huà)面存 儲(chǔ)部中檢索與該設(shè)定對(duì)象物相關(guān)聯(lián)的畫(huà)面并使之在上述操作顯示部中 顯示的控制部。上述設(shè)定支援按鈕例如是在上述操作顯示部中顯示的功能設(shè)定按 鈕或相對(duì)上述操作顯示部另外設(shè)置的功能設(shè)定按鈕，與上述設(shè)定對(duì)象 物的設(shè)定有關(guān)的畫(huà)面例如是對(duì)于該設(shè)定對(duì)象物的功能設(shè)定畫(huà)面。根據(jù)這樣的本發(fā)明，操作者按下設(shè)定支援按鈕，僅通過(guò)對(duì)模擬的 顯示中的設(shè)定對(duì)象物由該操作顯示部的畫(huà)面上的觸摸操作進(jìn)行特定這 樣極為簡(jiǎn)單且視覺(jué)上容易理解的操作，與該設(shè)定對(duì)象物的設(shè)定有關(guān)的 畫(huà)面就立即并且自動(dòng)地顯示在操作顯示部中。由此，能夠大幅縮短設(shè) 定操作所需的時(shí)間。而且，只要在通過(guò)模擬對(duì)設(shè)定對(duì)象物進(jìn)行顯示的 期間，即使沒(méi)有例如設(shè)定畫(huà)面在哪里等的設(shè)定操作的知識(shí)和經(jīng)驗(yàn)，只 要按下設(shè)定支援按鈕，在操作顯示部中就能夠立即顯示與設(shè)定對(duì)象物 的設(shè)定有關(guān)的畫(huà)面。此外，因?yàn)榕c設(shè)定對(duì)象物的設(shè)定有關(guān)的畫(huà)面是自 動(dòng)顯示的，所以能夠簡(jiǎn)單地找出所需功能。此外，因?yàn)椴恍枰瘳F(xiàn)有 技術(shù)那樣一個(gè)一個(gè)地切換希望的設(shè)定畫(huà)面找出設(shè)定畫(huà)面的操作，所以 沒(méi)有繁瑣的設(shè)定操作，能夠提高使用的便利性。此外也可以是，上述設(shè)定支援按鈕包括上述功能設(shè)定按鈕和功能 解說(shuō)按鈕，在上述畫(huà)面存儲(chǔ)部中存儲(chǔ)有預(yù)先使上述設(shè)定對(duì)象物的功能 設(shè)定畫(huà)面和功能解說(shuō)畫(huà)面與該設(shè)定對(duì)象物相關(guān)聯(lián)的設(shè)定對(duì)象物設(shè)定關(guān) 聯(lián)畫(huà)面信息，上述控制部，在上述操作顯示部中顯示上述模擬顯示的上述設(shè)定對(duì)象物的圖像時(shí)，當(dāng)上述功能設(shè)定按鈕被按下，特定上述模 擬顯示中的設(shè)定對(duì)象物時(shí)，從上述畫(huà)面存儲(chǔ)部中檢索與該設(shè)定對(duì)象物 相關(guān)聯(lián)的功能設(shè)定畫(huà)面并在上述操作顯示部中進(jìn)行顯示，當(dāng)上述功能 解說(shuō)按鈕被按下，特定上述模擬顯示中的設(shè)定對(duì)象物時(shí)，從上述畫(huà)面 存儲(chǔ)部中檢索與該設(shè)定對(duì)象物相關(guān)聯(lián)的功能解說(shuō)畫(huà)面并在上述操作顯 示部中進(jìn)行顯示。據(jù)此，操作者按下功能解說(shuō)按鈕，仍進(jìn)行對(duì)模擬的顯示中的設(shè)定 對(duì)象物由該操作顯示部的畫(huà)面上的觸摸操作進(jìn)行特定這樣極為簡(jiǎn)單且 視覺(jué)上容易理解的操作，該設(shè)定對(duì)象物的功能解說(shuō)畫(huà)面就能夠立即并 且自動(dòng)地顯示在操作顯示部中。由此，因?yàn)槟軌蚬?jié)省找出功能解說(shuō)畫(huà) 面的人力，能夠確認(rèn)顯示的解說(shuō)并進(jìn)行設(shè)定操作，所以能夠可靠地進(jìn) 行設(shè)定操作。此外也可以是，當(dāng)根據(jù)與上述設(shè)定對(duì)象物的設(shè)定有關(guān)的畫(huà)面進(jìn)行 設(shè)定操作時(shí)，上述控制部在上述設(shè)定存儲(chǔ)部中存儲(chǔ)該設(shè)定事項(xiàng)，之后 對(duì)該設(shè)定對(duì)象物執(zhí)行根據(jù)存儲(chǔ)在上述設(shè)定存儲(chǔ)部中的設(shè)定事項(xiàng)的模 擬，并在上述操作顯示部中顯示該模擬的圖像。據(jù)此，由于能夠在根據(jù)在操作顯示部中顯示的畫(huà)面進(jìn)行設(shè)定操作 之后，立即在操作顯示部中模擬顯示該設(shè)定對(duì)象物，所以能夠立即確 認(rèn)已設(shè)定的設(shè)定對(duì)象物。由此，能夠可靠地進(jìn)行設(shè)定對(duì)象物的設(shè)定。為了解決上述課題，根據(jù)本發(fā)明的另一觀點(diǎn)，提供一種支援基板 處理裝置的設(shè)定操作的設(shè)定操作支援方法，其特征在于，包括判斷 是否已按下設(shè)置于上述基板處理裝置的設(shè)定支援按鈕的工序；在判斷 為已按下上述設(shè)定支援按鈕的情況下，判斷是否已進(jìn)行對(duì)上述基板處 理裝置的結(jié)構(gòu)物中的能夠進(jìn)行設(shè)定的對(duì)象物的操作、在操作顯示部中 顯示的模擬圖像中的動(dòng)作對(duì)象物或設(shè)定對(duì)象物的特定操作中的任一個(gè) 操作的工序；和在判斷為已進(jìn)行上述操作的情況下，根據(jù)預(yù)先存儲(chǔ)在畫(huà)面存儲(chǔ)部中的使上述各對(duì)象物和與這些對(duì)象物的設(shè)定有關(guān)的畫(huà)面相 關(guān)聯(lián)的對(duì)象物設(shè)定關(guān)聯(lián)畫(huà)面信息，檢索與進(jìn)行上述操作的對(duì)象物相關(guān) 聯(lián)的畫(huà)面并在上述操作顯示部中進(jìn)行顯示的工序。為了解決上述課題，根據(jù)本發(fā)明的另一觀點(diǎn)，提供一種存儲(chǔ)程序 的存儲(chǔ)介質(zhì)，是存儲(chǔ)用于在計(jì)算機(jī)中執(zhí)行支援基板處理裝置的設(shè)定操作的設(shè)定操作支援方法的程序的計(jì)算機(jī)能夠讀取的存儲(chǔ)介質(zhì)，其特征 在于由上述計(jì)算機(jī)執(zhí)行的上述設(shè)定操作方法包括判斷是否已按下 設(shè)置于上述基板處理裝置的設(shè)定支援按鈕的步驟；在判斷為已按下上 述設(shè)定支援按鈕的情況下，判斷是否己進(jìn)行對(duì)上述基板處理裝置的結(jié) 構(gòu)物中的能夠進(jìn)行設(shè)定的對(duì)象物的操作、在操作顯示部中顯示的模擬 圖像中的動(dòng)作對(duì)象物或設(shè)定對(duì)象物的特定操作中的任一個(gè)操作的步 驟；和在判斷為已進(jìn)行上述操作的情況下，根據(jù)預(yù)先存儲(chǔ)在畫(huà)面存儲(chǔ) 部中的使上述各對(duì)象物和與這些對(duì)象物的設(shè)定有關(guān)的畫(huà)面相關(guān)聯(lián)的對(duì) 象物設(shè)定關(guān)聯(lián)畫(huà)面信息，檢索與進(jìn)行上述操作的對(duì)象物相關(guān)聯(lián)的畫(huà)面， 并在上述操作顯示部中進(jìn)行顯示的步驟。根據(jù)本發(fā)明，在進(jìn)行基板處理裝置的設(shè)定操作時(shí)，因?yàn)橥ㄟ^(guò)簡(jiǎn)單 且容易理解的操作就能夠立即并且自動(dòng)地顯示希望的畫(huà)面，所以沒(méi)有 繁瑣的設(shè)定操作，能夠提高使用的便利性。


圖1是表示能夠應(yīng)用本發(fā)明的實(shí)施方式的設(shè)定操作支援裝置的熱處理裝置的外觀結(jié)構(gòu)的概況的立體圖。圖2是表示圖1所示的熱處理裝置的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的概況的縱截面圖。圖3是表示圖2所示的控制部的概要結(jié)構(gòu)的框圖。圖4是用于說(shuō)明同一實(shí)施方式中的畫(huà)面的層次結(jié)構(gòu)的概念圖。圖5A是表示同一實(shí)施方式中的操作對(duì)象物設(shè)定關(guān)聯(lián)畫(huà)面數(shù)據(jù)表的一個(gè)例子的圖。圖5B是表示同一實(shí)施方式中的動(dòng)作對(duì)象物設(shè)定關(guān)聯(lián)畫(huà)面數(shù)據(jù)表的一個(gè)例子的圖。圖5C是表示同一實(shí)施方式中的設(shè)定對(duì)象物設(shè)定關(guān)聯(lián)畫(huà)面數(shù)據(jù)表的一個(gè)例子的圖。圖6是表示同一實(shí)施方式中的操作部的結(jié)構(gòu)例的圖。圖7是表示在同一實(shí)施方式中的運(yùn)行操作顯示部中顯示的模式變更畫(huà)面的具體例子的圖。圖8是表示在同一實(shí)施方式中的運(yùn)行操作顯示部中顯示的設(shè)定菜單畫(huà)面的具體例子的圖。圖9是表示在同一實(shí)施方式中的模擬操作顯示部中顯示的模擬畫(huà) 面的具體例子的圖。圖io是表示同一實(shí)施方式中的操作對(duì)象物的設(shè)定操作支援處理的流程的圖。圖11是用于說(shuō)明用于顯示操作對(duì)象物的功能設(shè)定畫(huà)面的操作例的圖。圖12是用于說(shuō)明用于顯示操作對(duì)象物的功能解說(shuō)畫(huà)面的操作例的圖。圖13是用于說(shuō)明用于顯示操作對(duì)象物的功能設(shè)定畫(huà)面的另一操作 例的圖。圖14是表示根據(jù)圖13的操作而顯示的操作對(duì)象物的功能設(shè)定畫(huà)面的具體例子的圖。圖15是表示同一實(shí)施方式中的動(dòng)作對(duì)象物的設(shè)定操作支援處理的 流程的圖。圖16是用于說(shuō)明用于顯示動(dòng)作對(duì)象物的功能設(shè)定畫(huà)面的操作例的圖。圖17是用于說(shuō)明用于顯示動(dòng)作對(duì)象物的功能解說(shuō)畫(huà)面的操作例的圖。圖18是表示同一實(shí)施方式中的設(shè)定對(duì)象物的設(shè)定操作支援處理的 流程的圖。圖19是用于說(shuō)明用于顯示設(shè)定對(duì)象物的功能設(shè)定畫(huà)面的操作例的圖。圖20是用于說(shuō)明用于顯示設(shè)定對(duì)象物的功能解說(shuō)畫(huà)面的操作例的圖。圖21是表示同一實(shí)施方式中的操作顯示部的另一結(jié)構(gòu)例的圖。 圖22是表示同一實(shí)施方式中的操作部的另一結(jié)構(gòu)例的圖。
具體實(shí)施方式
下面參照附圖詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的適宜的實(shí)施方式。而且，在本說(shuō) 明書(shū)和附圖中，對(duì)于實(shí)質(zhì)上具有相同功能結(jié)構(gòu)的構(gòu)成元素標(biāo)注相同的 符號(hào)，省略重復(fù)說(shuō)明。首先，參照附圖，說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式的設(shè)定操作支援裝置能 夠起作用的基板處理裝置。此處，作為基板處理裝置，舉例說(shuō)明將本 發(fā)明應(yīng)用于立式熱處理裝置的情況。圖1是表示熱處理裝置的外觀結(jié) 構(gòu)的概況的立體圖，圖2是表示熱處理裝置的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的概況的縱截 面圖。在圖1中，用虛線表示配設(shè)在熱處理裝置的內(nèi)部的各部分的結(jié)如圖l、圖2所示，熱處理裝置100包括用于將容納有多個(gè)例如25個(gè)被處理基板例如半導(dǎo)體晶片W的載體102搬入搬出框體104內(nèi)(裝載、卸載)的裝載口 110;容納、保管從該裝載口 IIO搬入的多個(gè)載體102的載物臺(tái)120;容納對(duì)多個(gè)例如75個(gè)晶片進(jìn)行多層保持的晶舟(保 持單元)130，并對(duì)晶片W實(shí)施規(guī)定的熱處理例如CVD處理的熱處理 爐140;載置容納有向晶舟130移載的晶片W的載體102的FIMS 口 150;和控制部300。載體102能夠在容器主體內(nèi)以水平狀態(tài)在上下方向上按規(guī)定間隔 多層地容納多個(gè)晶片W，是在容器主體的前面設(shè)置有能夠裝卸的蓋(未 圖示)的所謂密封型搬運(yùn)容器(FOUP: Front Opening Unified Pod，前 開(kāi)式標(biāo)準(zhǔn)片盒)。載體102例如由OHT (頂部移動(dòng)型搬送裝置)、AGV 或RGV (底部移動(dòng)型搬送裝置)、PGV (手壓型搬送裝置)搬運(yùn)。熱處理爐140包括設(shè)置在框體104內(nèi)的后部上方、作為下部開(kāi)口 成為爐口 140A的縱長(zhǎng)的處理容器的反應(yīng)管142，以覆蓋反應(yīng)管142的 周圍的方式設(shè)置、作為能夠?qū)⒎磻?yīng)管142內(nèi)的氣氛加熱控制在規(guī)定的 溫度例如300 120(TC的加熱機(jī)構(gòu)的加熱器144。而且，反應(yīng)管142由 例如具有高耐熱性和電絕緣性的石英玻璃構(gòu)成。此外，加熱器144例 如由電阻發(fā)熱體構(gòu)成。此外，熱處理爐140的反應(yīng)管142與用于將處理氣體、吹掃用惰 性氣體導(dǎo)入其內(nèi)部的多個(gè)氣體導(dǎo)入管連接，并且通過(guò)排氣管連接有用 于調(diào)整其內(nèi)部壓力的真空泵和壓力控制閥。在框體104內(nèi)，水平設(shè)置有用于設(shè)置熱處理爐140的例如不銹鋼 制的底板106。在底板106上，在與熱處理爐140的爐口 140A對(duì)應(yīng)的 位置形成有開(kāi)口部(未圖示)。晶舟130通過(guò)該開(kāi)口部被裝載至熱處理 爐140內(nèi)，或從熱處理爐140內(nèi)卸載。在熱處理爐140的下方，設(shè)置有由框體104、底板106和隔壁108 包圍的裝載區(qū)域170。向熱處理爐140內(nèi)裝載的晶舟130在該裝載區(qū)域 170中待機(jī)。此外，在裝載區(qū)域170中配置有從下方密封熱處理爐140 的爐口 140A的蓋體172、升降旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)174、用于在蓋體172下降時(shí) 遮擋(隔熱)爐口 1.40A的閘板(shutter)機(jī)構(gòu)(未圖示)、在被卸載 的晶舟130和FIMS 口 150上的載體102之間進(jìn)行晶片W的移載的晶 片移載機(jī)構(gòu)176、以及能夠密封形成在隔壁108上的開(kāi)口部(未圖示) 的門機(jī)構(gòu)178。晶舟130由以水平狀態(tài)在上下方向上按規(guī)定間隔多層地支持大口 徑例如直徑300mm的晶片W的晶舟主體130A和支承晶舟主體130A 的腳部130B構(gòu)成。作為此晶舟130的材料，能夠采用石英玻璃等。在蓋體172上安裝有升降旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)174。因此，蓋體172能夠進(jìn)行 沿垂直方向的升降動(dòng)作，能夠使熱處理爐140的爐口 140A成為打開(kāi)狀 態(tài)或關(guān)閉狀態(tài)。此外，在蓋體172上設(shè)置有對(duì)爐口 140A進(jìn)行加熱或保 溫的機(jī)構(gòu)(未圖示)。晶舟130的腳部130B與升降旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)174的旋轉(zhuǎn)軸連接。通過(guò)該 結(jié)構(gòu)，晶舟130能夠進(jìn)行與蓋體172連動(dòng)的沿垂直方向的升降動(dòng)作， 并且還能夠進(jìn)行水平旋轉(zhuǎn)動(dòng)作。因此，晶舟130能夠在水平方向的旋 轉(zhuǎn)角度被調(diào)整的狀態(tài)下裝載到熱處理爐140內(nèi)。在框體104內(nèi)的前部設(shè)置有進(jìn)行載體102的搬送和保管的搬送保 管區(qū)域180。該搬送保管區(qū)域180和上述裝載區(qū)域170通過(guò)隔壁108 分隔。在搬送保管區(qū)域180的下部配置有FIMS 口 150。該FIMS 口 150 包括載置載體102的臺(tái)150A、以載體102的容器主體的前面周邊部與 隔壁108抵接的方式固定載體102的固定機(jī)構(gòu)(未圖示)、開(kāi)關(guān)載體102 的蓋的蓋開(kāi)關(guān)機(jī)構(gòu)(未圖示)，而且，也可以并列配置有兩個(gè)該FIMS □ 150。在搬送保管區(qū)域180的后方上部設(shè)置有載物臺(tái)120。載物臺(tái)120 具有例如第一 第三載置棚120A、 120B、 120C，能夠分別載置并保管 載體102。在搬送保管區(qū)域180的前方上部設(shè)置有在裝載口 110、載物臺(tái)120、和FIMS 口 150之間進(jìn)行載體102的搬送、移載的載體傳送器182。裝載口 110包括載置載體102的臺(tái)110A和用于將載體102搬入搬 出搬送保管區(qū)域180內(nèi)的開(kāi)口部110B。向裝載口 110的載體102的搬 送和從裝載口 110的載體102的搬出例如通過(guò)底面移動(dòng)型搬送裝置或 操作者進(jìn)行。在裝載口 110的上方的正面壁部設(shè)置有操作者對(duì)熱處理裝置100 進(jìn)行各種操作、功能設(shè)定等的操作部200。操作部200與控制熱處理裝 置100的各部分的控制部300連接。控制部300根據(jù)來(lái)自操作部200 的操作，進(jìn)行熱處理裝置100的各種控制例如載體102的搬送控制、 晶片W的移載控制、熱處理的工藝控制、模擬顯示控制等。 (控制部的結(jié)構(gòu)例)此處，參照

控制部300的結(jié)構(gòu)例?？刂撇?00采用能夠 作為熱處理裝置100的設(shè)定操作支援裝置起作用的結(jié)構(gòu)。圖3是表示 控制部的概要結(jié)構(gòu)的框圖。如圖3所示，控制部300具有構(gòu)成控制部 主體的CPU (中央處理裝置)310。 CPU310通過(guò)控制總線、數(shù)據(jù)總線 等總線與上述操作部200、用于執(zhí)行熱處理裝置100的各部分的模擬 (例如后述的對(duì)動(dòng)作對(duì)象物的動(dòng)作的模擬、對(duì)設(shè)定對(duì)象物的顯示的模 擬等)的模擬器330、在CPU310的處理中使用的存儲(chǔ)器340、和存儲(chǔ) CPU310的處理所需的數(shù)據(jù)等的存儲(chǔ)部350連接。操作部200包括運(yùn)行操作顯示部210、模擬操作顯示部220等操作 顯示部，并且還包括操作支援按鈕230 (此處是功能設(shè)定按鈕232、功 能解說(shuō)按鈕(HELP按鈕)234、操作者接入按鈕(操作者接入開(kāi)關(guān) operator access button) 240等各種操作按鈕。操作部200例如圖1 、圖 6所示，配設(shè)在熱處理裝置100的正面。操作者接入按鈕240是在由操作者將載體102設(shè)置在裝載口 110 的情況下使用的按鈕。該操作者接入按鈕240能夠進(jìn)行例如作為手動(dòng) 設(shè)置載體102時(shí)的設(shè)定的以下兩個(gè)功能設(shè)定。第一個(gè)功能設(shè)定是按 下操作者接入按鈕240后，將載體102設(shè)置在裝載口 110，通過(guò)在進(jìn)行 設(shè)置之后再一次按下操作者接入按鈕240，認(rèn)知在熱處理裝置1.00側(cè)已 設(shè)置有載體102的狀況。此外，第二個(gè)功能設(shè)定是當(dāng)按下操作者接 入按鈕240并將載體102設(shè)置在裝載口 110時(shí)，在熱處理裝置100側(cè)自動(dòng)地檢測(cè)它，并認(rèn)知己設(shè)置載體102的狀況。根據(jù)圖11所示的操作 者接入按鈕設(shè)定畫(huà)面能夠?qū)@些設(shè)定進(jìn)行設(shè)定變更。運(yùn)行操作顯示部210、模擬操作顯示部220等操作顯示部，由例如 觸摸屏式的操作顯示面板構(gòu)成。如圖6所示，運(yùn)行操作顯示部210能 夠根據(jù)操作者的操作顯示各種畫(huà)面。作為在運(yùn)行操作顯示部210中顯 示的畫(huà)面，例如能夠列舉顯示操作按鈕等的操作畫(huà)面，顯示設(shè)定按鈕、 設(shè)定輸入欄等的設(shè)定畫(huà)面，顯示功能的解說(shuō)等的功能解說(shuō)畫(huà)面(HELP 畫(huà)面)，顯示熱處理裝置的狀態(tài)(溫度、壓力等)等的狀態(tài)顯示畫(huà)面等。 此外，通過(guò)按下在運(yùn)行操作顯示部2]0的各畫(huà)面中顯示的按鈕，能夠 進(jìn)行各種操作和設(shè)定。在模擬操作顯示部220中，用動(dòng)畫(huà)顯示對(duì)例如熱處理裝置100的 結(jié)構(gòu)物中能夠進(jìn)行動(dòng)作的設(shè)定的對(duì)象物(例如圖2所示的載體傳送器 182、晶片移載機(jī)構(gòu)176等)由模擬器330進(jìn)行的模擬的圖像。此外， 二維或三維顯示(立體顯示)對(duì)能夠進(jìn)行種類、型號(hào)等的設(shè)定的設(shè)定 對(duì)象物(例如圖2所示的晶舟130等)由模擬器330進(jìn)行的模擬的圖 像。這樣，通過(guò)用手指等觸摸在模擬操作顯示部220中顯示的動(dòng)作對(duì) 象物、設(shè)定對(duì)象物的圖像的顯示區(qū)域，能夠特定該動(dòng)作對(duì)象物、設(shè)定 對(duì)象物。存儲(chǔ)部350例如由硬盤(pán)等構(gòu)成，包括程序存儲(chǔ)部351、圖像數(shù)據(jù)存 儲(chǔ)部352、設(shè)定數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部353、畫(huà)面數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部354等。在程序存儲(chǔ)部351中存儲(chǔ)有，用于控制例如熱處理裝置100的各 部分的程序，進(jìn)行上述操作顯示部210、 220的顯示控制的顯示程序， 用于進(jìn)行熱處理裝置100的各部分的設(shè)定的設(shè)定程序，用于動(dòng)畫(huà)顯示、 立體顯示熱處理裝置100的各部分的動(dòng)作模擬的模擬程序，執(zhí)行后述 的設(shè)定操作支援處理的程序等的各種程序。這些程序根據(jù)需要通過(guò) CPU310讀出并執(zhí)行。在圖像數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部352中存儲(chǔ)有用于利用模擬器330執(zhí)行由二維 或三維的動(dòng)畫(huà)對(duì)動(dòng)作對(duì)象物的動(dòng)作進(jìn)行顯示的模擬的圖像數(shù)據(jù)、用于 執(zhí)行對(duì)設(shè)定對(duì)象物進(jìn)行二維或三維顯示的模擬的圖像數(shù)據(jù)等必需的圖 像數(shù)據(jù)。在設(shè)定數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部353中存儲(chǔ)有由根據(jù)各設(shè)定畫(huà)面的設(shè)定操作設(shè)定的設(shè)定數(shù)據(jù)。在該設(shè)定數(shù)據(jù)中包括工藝處理的條件(溫度、壓力等) 的設(shè)定數(shù)據(jù)、在熱處理裝置中使用的各部分(控制向爐內(nèi)供給的氣體 流量的質(zhì)量流量控制器、晶舟升降機(jī)等)的尺寸或種類等的設(shè)定數(shù)據(jù)。 在畫(huà)面數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部354中存儲(chǔ)有上述操作畫(huà)面、功能設(shè)定畫(huà)面、HELP畫(huà)面等在運(yùn)行操作顯示部210中顯示的各種畫(huà)面數(shù)據(jù)。例如圖4 中的概念性顯示的，各畫(huà)面由多個(gè)組構(gòu)成，這些各組的畫(huà)面分別成為 層次結(jié)構(gòu)。例如通過(guò)按下圖4所示的菜單畫(huà)面中顯示的按鈕，第一層 次的畫(huà)面A1、 Bl、 Cl、…被顯示，進(jìn)而通過(guò)按下在第一層次的畫(huà)面例 如畫(huà)面A1中顯示的按鈕，第二層次的畫(huà)面All、 A12、…被顯示，通 過(guò)按下在第二層次的畫(huà)面例如畫(huà)面All中顯示的按鈕，第三層次的畫(huà) 面Alll、 A112、…被顯示，從而能夠一個(gè)一個(gè)地切換顯示的畫(huà)面。在熱處理裝置100等的基板處理裝置中，由于其功能也涉及多個(gè) 分支，所以功能設(shè)定畫(huà)面、顯示其功能的解說(shuō)的功能解說(shuō)畫(huà)面(HELP 畫(huà)面)的數(shù)量也非常多。隨著近年來(lái)的基板處理裝置的多功能化，在 追加新的功能時(shí)，逐步追加用于設(shè)定該功能的功能設(shè)定畫(huà)面、HELP畫(huà) 面，所以存在功能設(shè)定畫(huà)面的數(shù)量也日益增加的傾向。此外，在每次 追加新的功能時(shí)，存在這些畫(huà)面的數(shù)量日益增加的傾向。而且，這些 新的功能設(shè)定畫(huà)面、HELP畫(huà)面一個(gè)一個(gè)地追加在相關(guān)聯(lián)的畫(huà)面組的已 經(jīng)存在的層次中，而且還在其中追加有新設(shè)置的更深的層次，所以各 層次的畫(huà)面數(shù)也增加，并且層次的數(shù)量也日益增加。這樣畫(huà)面的層次越深，操作者通過(guò)畫(huà)面操作直至到達(dá)希望的設(shè)定 畫(huà)面越耗費(fèi)時(shí)間和人力。此外，因?yàn)楦鶕?jù)畫(huà)面的分類方法的不同，相 同對(duì)象物的設(shè)定畫(huà)面也可能包括在不同的畫(huà)面組的層次中，因此在這 樣的情況下找出希望的設(shè)定畫(huà)面非常耗費(fèi)人力。此外，在操作畫(huà)面和 設(shè)定畫(huà)面為不同的畫(huà)面組的情況下，在設(shè)定操作中還存在下述這種繁 瑣的情況，例如， 一度根據(jù)設(shè)定畫(huà)面進(jìn)行設(shè)定操作之后，結(jié)束設(shè)定并 切換到操作畫(huà)面進(jìn)行裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，在希望變更該操作對(duì)象物的設(shè)定 的情況下，必須再次切換到設(shè)定畫(huà)面，通過(guò)一個(gè)一個(gè)地切換設(shè)定畫(huà)面 找出操作對(duì)象物的希望的設(shè)定項(xiàng)目，并重新進(jìn)行設(shè)定。此外，因?yàn)闉榱诉@樣找出希望的設(shè)定畫(huà)面，必須具有包括各種設(shè) 定畫(huà)面、設(shè)定項(xiàng)目的設(shè)定操作的知識(shí)和經(jīng)驗(yàn)，所以還存在由于操作者的不同，不知道在哪里具有哪種功能，不能把握該功能本身是否存在， 此外在希望對(duì)功能進(jìn)行設(shè)定時(shí)不知道在哪里存在希望的設(shè)定項(xiàng)目的擔(dān) 憂。因此，在本發(fā)明中，使構(gòu)成熱處理裝置100的結(jié)構(gòu)物中能夠進(jìn)行 設(shè)定的對(duì)象物(例如后述的操作對(duì)象物、動(dòng)作對(duì)象物、設(shè)定對(duì)象物) 的功能設(shè)定畫(huà)面和HELP畫(huà)面分別與這些對(duì)象物預(yù)先相關(guān)聯(lián)，并且設(shè)置有操作支援按鈕(例如功能設(shè)定按鈕232、 HELP按鈕234)，在按下 操作支援按鈕并進(jìn)行上述操作對(duì)象物的操作、模擬圖像的動(dòng)作對(duì)象物 的特定或設(shè)定對(duì)象物的特定的情況下，能夠立即顯示與這些對(duì)象物相 關(guān)聯(lián)的功能設(shè)定畫(huà)面、HELP畫(huà)面(設(shè)定操作支援處理)。由此，操作 者能夠通過(guò)簡(jiǎn)單的操作盡快顯示希望的功能設(shè)定畫(huà)面、HELP畫(huà)面，沒(méi) 有繁瑣的設(shè)定操作，能夠提高使用的便利性。將使功能設(shè)定畫(huà)面和HELP畫(huà)面與規(guī)定的對(duì)象物相關(guān)聯(lián)的數(shù)據(jù)例 如存儲(chǔ)在畫(huà)面數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部354中。即，在畫(huà)面數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部354中設(shè)置 有例如圖5A所示，預(yù)先存儲(chǔ)使各個(gè)功能設(shè)定畫(huà)面和功能解說(shuō)畫(huà)面 (HELP畫(huà)面)與規(guī)定的操作對(duì)象物相關(guān)聯(lián)的操作對(duì)象物設(shè)定關(guān)聯(lián)畫(huà)面 信息的操作對(duì)象物設(shè)定關(guān)聯(lián)畫(huà)面數(shù)據(jù)表352A;例如圖5B所示，預(yù)先 存儲(chǔ)使功能設(shè)定畫(huà)面和功能解說(shuō)畫(huà)面(HELP畫(huà)面)與規(guī)定的動(dòng)作對(duì)象 物相關(guān)聯(lián)的動(dòng)作對(duì)象物設(shè)定關(guān)聯(lián)畫(huà)面信息的動(dòng)作對(duì)象物設(shè)定關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù) 表352B;例如圖5C所示，預(yù)先存儲(chǔ)使功能設(shè)定畫(huà)面和功能解說(shuō)畫(huà)面 (HELP畫(huà)面)與規(guī)定的設(shè)定對(duì)象物相關(guān)聯(lián)的設(shè)定對(duì)象物設(shè)定關(guān)聯(lián)畫(huà)面 信息的設(shè)定對(duì)象物設(shè)定關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)表352C。而且，在HELP畫(huà)面中顯示 的功能解說(shuō)可以如上所述與HELP畫(huà)面一起存儲(chǔ)在畫(huà)面數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部 354中，也可以另外設(shè)置HELP數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部(未圖示)，在其中存儲(chǔ)與 各HELP畫(huà)面相關(guān)聯(lián)的功能解說(shuō)。此處，所謂操作對(duì)象物是指用于操作熱處理裝置]00的操作按鈕 等中能夠進(jìn)行其操作的設(shè)定的對(duì)象物。作為操作對(duì)象物，例如能夠列 舉圖]所示的操作者接入按鈕240。而且，作為操作按鈕，如本實(shí)施方 式所示，可以是作為硬件設(shè)置在操作部200中的按鈕，此外也可以是 在運(yùn)行操作顯示部210中顯示的按鈕。此外，所謂動(dòng)作對(duì)象物是指構(gòu)成熱處理裝置100的結(jié)構(gòu)物中能夠進(jìn)行動(dòng)作的設(shè)定的對(duì)象物。作為動(dòng)作對(duì)象物，例如能夠列舉圖2所示的載體傳送器182、晶片移載機(jī)構(gòu)176等。此外，所謂設(shè)定對(duì)象物是指 構(gòu)成熱處理裝置100的結(jié)構(gòu)物中能夠進(jìn)行種類、型號(hào)等的設(shè)定的對(duì)象 物。作為設(shè)定對(duì)象物，例如能夠列舉圖2所示的晶舟130等。而且， 動(dòng)作對(duì)象物和設(shè)定對(duì)象物不一定必須是不同的結(jié)構(gòu)物，也可以是相同 的結(jié)構(gòu)物。在構(gòu)成熱處理裝置100的結(jié)構(gòu)物中能夠進(jìn)行種類、型號(hào)等 的設(shè)定的設(shè)定對(duì)象物中，也包括還能夠進(jìn)行動(dòng)作設(shè)定的動(dòng)作對(duì)象物。于是，包括上述這樣的功能設(shè)定畫(huà)面、HELP畫(huà)面、操作畫(huà)面的各 畫(huà)面例如圖6所示，在運(yùn)行操作顯示部210中進(jìn)行顯示。在圖6中表 示作為操作畫(huà)面的操作菜單畫(huà)面的顯示例。在操作菜單畫(huà)面中除顯示 氣體、溫度、工藝(process)的按鈕之外，還顯示模式變更按鈕212。 當(dāng)按下模式變更按鈕212時(shí)，例如圖7所示，顯示實(shí)際運(yùn)轉(zhuǎn)熱處理裝 置100、進(jìn)行晶片的處理的通常運(yùn)轉(zhuǎn)模式的按扭，和不實(shí)際運(yùn)轉(zhuǎn)熱處理 裝置IOO、由模擬器330進(jìn)行模擬(例如動(dòng)作對(duì)象物的動(dòng)作模擬、設(shè)定 對(duì)象物的顯示模式)，在模擬操作顯示部220中顯示該模擬圖像的模擬 器模式的按鈕，通過(guò)操作者的操作能夠選擇這些模式。此外，在圖6所示的操作菜單畫(huà)面中顯示設(shè)定按鈕214，按下該設(shè) 定按鈕214時(shí)，在運(yùn)行操作顯示部210中顯示例如圖8所示的作為設(shè) 定畫(huà)面的設(shè)定菜單畫(huà)面。當(dāng)按下在該設(shè)定菜單畫(huà)面中顯示的按鈕時(shí)顯 示下位的層次的功能設(shè)定畫(huà)面，進(jìn)一步按下在此顯示的按鈕時(shí)，顯示 更下位的層次的功能設(shè)定畫(huà)面，通過(guò)反復(fù)進(jìn)行上述這樣的畫(huà)面操作， 能夠顯示希望的功能設(shè)定畫(huà)面。在圖6所示的模擬操作顯示部220中，在設(shè)定為上述模擬器模式 的情況下，例如圖9所示，根據(jù)來(lái)自操作者的對(duì)未圖示的操作畫(huà)面的 操作，由模擬器330執(zhí)行的動(dòng)作對(duì)象物的模擬圖像以動(dòng)畫(huà)顯示。此外， 通過(guò)用手指等觸摸模擬的動(dòng)作中的動(dòng)作對(duì)象物(例如載體傳送器182 )、 模擬的顯示中的設(shè)定對(duì)象物(例如晶舟130)，能夠特定各對(duì)象物。 (設(shè)定操作支援處理)對(duì)由該結(jié)構(gòu)的熱處理裝置100進(jìn)行的設(shè)定操作支援處理進(jìn)行說(shuō)明。 設(shè)定操作支援處理通過(guò)控制部300根據(jù)規(guī)定的程序執(zhí)行。由于設(shè)定操 作支援處理主要分為操作按鈕等的操作對(duì)象物的設(shè)定操作支援處理、模擬動(dòng)作中的動(dòng)作對(duì)象物的設(shè)定操作支援處理和模擬顯示中的設(shè)定對(duì) 象物的設(shè)定操作支援處理，所以以下分開(kāi)說(shuō)明。 (操作對(duì)象物的設(shè)定操作支援處理) 首先，參照

操作對(duì)象物的設(shè)定操作支援處理。圖io是表 示操作對(duì)象物的設(shè)定操作支援處理的具體例子的流程圖。如圖10所示，首先，在步驟S110判斷是否己按下操作支援按鈕230。在本實(shí)施方式 中，例如圖11所示設(shè)置有作為操作支援按鈕230的功能設(shè)定按鈕232 和HELP按鈕234，因此判斷是否已按下它們中的任意一個(gè)。然后，在 步驟S120判斷已按下哪一個(gè)按鈕，判斷為已按下功能設(shè)定按鈕232的 情況下，在步驟S130判斷是否己進(jìn)行操作對(duì)象物的操作。例如，判斷 是否已進(jìn)行作為在操作部200中設(shè)置的操作對(duì)象物的操作按鈕的操作 (例如圖11所示的操作者接入按鈕240的操作等)、作為在運(yùn)行畫(huà)面 中顯示的操作對(duì)象物的按鈕的操作。當(dāng)在步驟S130判斷為已進(jìn)行操作對(duì)象物的操作時(shí)，在步驟S140 從畫(huà)面數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部354的例如圖5A所示的操作對(duì)象物設(shè)定關(guān)聯(lián)畫(huà)面數(shù) 據(jù)表352A中檢索與該操作對(duì)象物相關(guān)聯(lián)的功能設(shè)定畫(huà)面，并在運(yùn)行操 作顯示部210中進(jìn)行顯示。例如，在運(yùn)行操作顯示部210中顯示圖11所示的設(shè)定畫(huà)面。該設(shè) 定畫(huà)面是對(duì)操作者接入按鈕240的設(shè)定畫(huà)面，例如能夠看著畫(huà)面通過(guò) 觸摸操作進(jìn)行操作者接入按鈕240的功能設(shè)定(例如手動(dòng)設(shè)置上述載 體102時(shí)的設(shè)定等)。此外，在該設(shè)定畫(huà)面中顯示有設(shè)定結(jié)束后用于存 儲(chǔ)該設(shè)定的設(shè)定結(jié)束按鈕218、用于通過(guò)模擬執(zhí)行設(shè)定后的操作的模擬 按鈕216等。而且，因?yàn)樵O(shè)定結(jié)束按鈕218、模擬按鈕216等在其他的 功能設(shè)定畫(huà)面中也會(huì)使用，所以優(yōu)選如圖ll所示，配置在畫(huà)面下方等 在各功能設(shè)定畫(huà)面中共同顯示的部位。接著，在歩驟S150判斷是否已結(jié)束運(yùn)行操作顯示部210中顯示的 功能設(shè)定畫(huà)面的設(shè)定，當(dāng)判斷為已結(jié)束設(shè)定的情況下，將該設(shè)定存儲(chǔ) 在設(shè)定數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部353中。例如在按下圖11所示的功能設(shè)定畫(huà)面中顯 示的設(shè)定結(jié)朿按鈕218的情況下判斷為設(shè)定結(jié)束，存儲(chǔ)該設(shè)定。接著，在歩驟S160判斷是否進(jìn)行模擬。例如當(dāng)按下圖11所示的 功能設(shè)定畫(huà)面中顯示的模擬按鈕216時(shí)，判斷為進(jìn)行模擬。當(dāng)未按下模擬按鈕216而按下其他按鈕或進(jìn)行其他操作時(shí)，判斷為不進(jìn)行模擬。 結(jié)束一系列的設(shè)定操作支援處理。然后，進(jìn)行對(duì)應(yīng)其它的按鈕或操作 的處理。此外，在步驟S160判斷為進(jìn)行模擬的情況下，在歩驟S170通過(guò)模擬進(jìn)行該操作對(duì)象物的操作。具體而言，在通常運(yùn)轉(zhuǎn)模式的情況下， 暫時(shí)自動(dòng)地切換成模擬器模式并進(jìn)行模擬，在結(jié)束模擬之后，將模式 還原。在已經(jīng)是模擬器模式的情況下，不切換模式地進(jìn)行模擬。在模擬中，當(dāng)進(jìn)行設(shè)定的操作對(duì)象物的操作時(shí)，通過(guò)模擬器330根據(jù)先前 設(shè)定的設(shè)定數(shù)據(jù)執(zhí)行該操作的模擬，在模擬操作顯示部220中例如顯 示該模擬的動(dòng)畫(huà)。當(dāng)模擬結(jié)束時(shí)，結(jié)束一系列的設(shè)定操作支援處理。此外，在步驟S120判斷為已按下HELP按鈕234的情況下，與上 述歩驟S130同樣，在歩驟S180判斷是否己進(jìn)行操作對(duì)象物的操作。 在步驟S180判斷為已進(jìn)行操作對(duì)象物的操作時(shí)，則在步驟S190從畫(huà) 面數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部354的例如圖5A所示的操作對(duì)象物設(shè)定關(guān)聯(lián)畫(huà)面數(shù)據(jù)表 352A中檢索與該操作對(duì)象物相關(guān)聯(lián)的HELP畫(huà)面，并在運(yùn)行操作顯示 部210中進(jìn)行顯示，結(jié)束一系列的設(shè)定操作支援處理。根據(jù)這樣的操作對(duì)象物的設(shè)定操作支援處理，在操作者希望進(jìn)行 操作對(duì)象物的功能設(shè)定的情況下，僅通過(guò)按下功能設(shè)定按鈕232并進(jìn) 行該操作對(duì)象物的操作這樣簡(jiǎn)單且容易理解的操作， 一次就能夠在運(yùn) 行操作顯示部210中顯示該操作對(duì)象物的功能設(shè)定畫(huà)面。由此，不需 要像現(xiàn)有技術(shù)那樣多次切換、顯示畫(huà)面，以從設(shè)定菜單畫(huà)面中尋找該 操作對(duì)象物的功能設(shè)定畫(huà)面。由此，消除了繁瑣的操作，能夠提高使 用的便利性。此處，參照

通過(guò)上述設(shè)定操作支援處理，操作者進(jìn)行操 作對(duì)象物的功能設(shè)定操作時(shí)的具體的操作例。圖11是用于說(shuō)明進(jìn)行作 為操作對(duì)象物的一個(gè)例子的操作者接入按鈕240的功能設(shè)定的操作的 圖。圖12是用于說(shuō)明顯示操作者接入按鈕240的功能解說(shuō)的操作的圖。 圖1.3、圖14是用于說(shuō)明將操作畫(huà)面中顯示的按鈕作為操作對(duì)象物進(jìn)行 其功能設(shè)定的操作的圖。在希望利用本實(shí)施方式的設(shè)定操作支援處進(jìn)行例如操作者接入按 鈕240的功能設(shè)定的情況下，操作者用手指等按下功能設(shè)定按鈕232后，如圖11所示，用手指等按下操作者接入按鈕240時(shí)，不進(jìn)行實(shí)際的操作者接入按鈕240的處理，在運(yùn)行操作顯示部210中一次性顯示操作者接入按鈕設(shè)定畫(huà)面。由此，操作者能夠立刻進(jìn)行操作者接入按 鈕的設(shè)定。然后，在變更操作者接入按鈕240的設(shè)定之后，按下模擬按鈕216， 并進(jìn)行操作者接入按鈕240的操作時(shí)，在模擬操作顯示部220中，用 動(dòng)畫(huà)模擬顯示依據(jù)已變更的設(shè)定的操作者接入按鈕240的操作的處理。此外，在希望顯示操作者接入按鈕240的HELP畫(huà)面的情況下， 操作者在用手指等按下HELP按鈕234后，如圖12所示，用手指等按 下操作者接入按鈕240時(shí)，不進(jìn)行實(shí)際的操作者接入按鈕240的處理， 在運(yùn)行操作顯示部210中一次性顯示操作者接入按鈕HELP畫(huà)面。由 此，操作者能夠立刻確認(rèn)操作者接入按鈕240的設(shè)定、功能的說(shuō)明。接著，參照?qǐng)D13、圖14說(shuō)明將在操作畫(huà)面中顯示的按鈕作為操作 對(duì)象物進(jìn)行其功能設(shè)定的操作。如圖13所示，在運(yùn)行操作顯示部210 中，作為操作畫(huà)面，例如顯示通過(guò)按鈕操作手動(dòng)選擇使用的氣體的氣 體手動(dòng)選擇畫(huà)面時(shí)，在用手指等按下功能設(shè)定按鈕232后，按下選擇 的氣體的按鈕時(shí)，不進(jìn)行將該氣體選擇為使用的氣體的處理，而如圖 14所示，在運(yùn)行操作顯示部210中顯示用于設(shè)定關(guān)于該氣體的功能的 設(shè)定畫(huà)面。據(jù)此，能夠?qū)οＭㄟ^(guò)氣體手動(dòng)選擇畫(huà)面選擇的氣體，在 選擇前進(jìn)行關(guān)于該氣體的功能設(shè)定。由此，不需要切換到設(shè)定菜單畫(huà) 面找出氣體的設(shè)定畫(huà)面，能夠在希望設(shè)定時(shí)立即進(jìn)行設(shè)定，所以能夠 提高使用的便利性。這樣，根據(jù)對(duì)上述操作對(duì)象物的設(shè)定操作支援處理，操作者按下 功能設(shè)定按鈕232，僅進(jìn)行操作按鈕等的操作對(duì)象物的操作這樣極為簡(jiǎn) 單的操作，就能夠在運(yùn)行操作顯示部210中立即并且自動(dòng)地顯示與該 操作對(duì)象物的設(shè)定有關(guān)的畫(huà)面。由此能夠大幅縮短設(shè)定操作所需的時(shí) 間。而且，只要能夠進(jìn)行操作對(duì)象物的操作，即使沒(méi)有例如設(shè)定畫(huà)面 在哪里等設(shè)定操作的知識(shí)和經(jīng)驗(yàn)，僅通過(guò)按下功能設(shè)定按鈕232，也能 夠在運(yùn)行操作顯示部210中立即顯示與操作對(duì)象物的設(shè)定有關(guān)的畫(huà)面。 此外，因?yàn)榕c操作對(duì)象物的設(shè)定有關(guān)的畫(huà)面是自動(dòng)顯示的，所以能夠 簡(jiǎn)單地找到所需功能。此外，因?yàn)椴恍枰瘳F(xiàn)有技術(shù)那樣一個(gè)一個(gè)地切換希望的設(shè)定畫(huà)面找出設(shè)定畫(huà)面的操作，所以沒(méi)有繁瑣的設(shè)定操作， 能夠提高使用的便利性。此外，操作者按下HELP按鈕234，僅進(jìn)行操作對(duì)象物的操作這樣極為簡(jiǎn)單的操作，就能夠在操作顯示部中立即并且自動(dòng)地顯示該操作對(duì)象物的HELP畫(huà)面。由此，能夠節(jié)省找出HELP畫(huà)面的人力，因?yàn)?能夠確認(rèn)顯示的解說(shuō)并進(jìn)行設(shè)定操作，所以能夠可靠地進(jìn)行設(shè)定操作。此外，在根據(jù)在運(yùn)行操作顯示部210中顯示的畫(huà)面進(jìn)行設(shè)定操作 之后，因?yàn)槟軌蛄⒓丛谀M操作顯示部220中顯示根據(jù)該操作的動(dòng)作 的模擬，所以能夠立即確認(rèn)依據(jù)該設(shè)定的動(dòng)作。由此，能夠按照設(shè)定 可靠地進(jìn)行實(shí)際的操作。此外，因?yàn)槟軌蚬?jié)省在設(shè)定后實(shí)際運(yùn)轉(zhuǎn)熱處 理裝置100以確認(rèn)根據(jù)該操作的動(dòng)作等確認(rèn)操作的人力，所以能夠提 高使用的便利性。(動(dòng)作對(duì)象物的設(shè)定操作支援處理)接著，參照

動(dòng)作對(duì)象物的設(shè)定操作支援處理。圖15是表 示動(dòng)作對(duì)象物的設(shè)定操作支援處理的具體例子的流程圖。如圖15所示， 首先，在步驟S200判斷是否為模擬器模式。這是因?yàn)槿绻悄M器模 式，則能夠在模擬操作顯示部220的顯示畫(huà)面上進(jìn)行動(dòng)作對(duì)象物的特 定。接著，在步驟S210判斷是否已按下操作支援按鈕230。在本實(shí)施 方式中判斷是否己按下例如圖16所示的設(shè)置為操作支援按鈕230的功 能設(shè)定按鈕232和HELP按鈕234中的任意一個(gè)。然后，在步驟S220 判斷已按下哪一個(gè)按鈕，判斷為按下功能設(shè)定按鈕232的情況下，在 步驟S230判斷是否已特定動(dòng)作模擬中的動(dòng)作對(duì)象物。這樣的動(dòng)作對(duì)象物的特定通過(guò)上述模擬操作顯示部220進(jìn)行。具 體而言，例如在模擬操作顯示部220的觸摸屏的坐標(biāo)中，以動(dòng)作對(duì)象 物通過(guò)模擬進(jìn)行動(dòng)作的顯示范圍的坐標(biāo)作為動(dòng)作對(duì)象物的特定范圍， 預(yù)先設(shè)定各動(dòng)作對(duì)象物的特定范圍并存儲(chǔ)在例如圖像數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部352 中。然后，例如圖16所示，模擬操作顯示部220中顯示的動(dòng)作對(duì)象物 在模擬的動(dòng)作中被手指等觸摸該動(dòng)作對(duì)象物的特定范圍的情況下，判 斷該動(dòng)作對(duì)象物被特定。而且，動(dòng)作對(duì)象物的特定的方法并不限于上 述的內(nèi)容。然后，當(dāng)在步驟S230中判斷為己特定動(dòng)作模擬中的動(dòng)作對(duì)象物時(shí)，在歩驟S240，從畫(huà)面數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部354的例如圖5B所示的動(dòng)作對(duì)象物 設(shè)定關(guān)聯(lián)畫(huà)面數(shù)據(jù)表352B中檢索與該動(dòng)作對(duì)象物相關(guān)聯(lián)的功能設(shè)定 畫(huà)面，并在運(yùn)行操作顯示部210中進(jìn)行顯示。例如在運(yùn)行操作顯示部 210中顯示圖16所示的設(shè)定畫(huà)面。該設(shè)定畫(huà)面是用于進(jìn)行載體傳送器 182的載體102的搬送動(dòng)作的設(shè)定的載體搬送動(dòng)作設(shè)定畫(huà)面。接著，在歩驟S250判斷是否已結(jié)束根據(jù)運(yùn)行操作顯示部210中顯 示的功能設(shè)定畫(huà)面的設(shè)定，在判斷為設(shè)定已結(jié)束的情況下，將該設(shè)定 存儲(chǔ)在設(shè)定數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部353中。例如，在按下圖16所示的功能設(shè)定畫(huà) 面中顯示的設(shè)定結(jié)束按鈕218的情況下判斷為設(shè)定結(jié)束，存儲(chǔ)該設(shè)定。接著，在步驟S260判斷是否進(jìn)行模擬。例如當(dāng)按下圖16所示的 功能設(shè)定畫(huà)面中顯示的模擬按鈕216時(shí)，判斷為進(jìn)行模擬。當(dāng)未按下 模擬按鈕216而按下其他按鈕或進(jìn)行其他操作時(shí)，判斷為不進(jìn)行模擬。 結(jié)束一系列的設(shè)定操作支援處理。然后，進(jìn)行對(duì)應(yīng)其他的按鈕或操作 的處理。此外，在步驟S260中判斷為進(jìn)行模擬的情況下，在步驟S270通 過(guò)模擬進(jìn)行該動(dòng)作對(duì)象物的動(dòng)作。而且，此處，因?yàn)橐呀?jīng)是模擬器模 式，所以不切換模式就能夠進(jìn)行模擬。在模擬中，通過(guò)模擬器330根 據(jù)先前設(shè)定的設(shè)定數(shù)據(jù)執(zhí)行該動(dòng)作對(duì)象物的動(dòng)作的模擬，在模擬操作 顯示部220中例如顯示該模擬的動(dòng)畫(huà)。當(dāng)模擬結(jié)束時(shí)，結(jié)束一系列的 設(shè)定操作支援處理。此外，在步驟S220判斷為按下HELP按鈕234的情況下，與上述 步驟S230同樣，在步驟S280判斷是否已進(jìn)行動(dòng)作模擬中的動(dòng)作對(duì)象 物的特定。在歩驟S280判斷為已進(jìn)行動(dòng)作對(duì)象物的特定時(shí)，在步驟 S290從例如畫(huà)面數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部354的例如圖5B所示的動(dòng)作對(duì)象物設(shè)定 關(guān)聯(lián)畫(huà)面數(shù)據(jù)表352B中檢索與該動(dòng)作對(duì)象物相關(guān)聯(lián)的HELP畫(huà)面，并 在運(yùn)行操作顯示部210中進(jìn)行顯示，結(jié)束一系列的設(shè)定操作支援處理。根據(jù)這樣的動(dòng)作對(duì)象物的設(shè)定操作支援處理，在操作者希望進(jìn)行 對(duì)動(dòng)作對(duì)象物的動(dòng)作的功能設(shè)定的情況下，首先進(jìn)行該動(dòng)作對(duì)象物的 動(dòng)作模擬，在模擬操作顯示部220中顯示該動(dòng)作對(duì)象物的模擬的動(dòng)畫(huà)。 然后，僅通過(guò)在按下功能設(shè)定按鈕232后，在模擬操作顯示部220的 畫(huà)面上用手指等特定動(dòng)作模擬中的動(dòng)作對(duì)象物這樣簡(jiǎn)單且容易理解的操作， 一次就能夠在運(yùn)行操作顯示部210中顯示該動(dòng)作對(duì)象物的功能 設(shè)定畫(huà)面。由此，不需要像現(xiàn)有技術(shù)那樣多次切換、顯示畫(huà)面，以從 設(shè)定菜單畫(huà)面中找出該動(dòng)作對(duì)象物的功能設(shè)定畫(huà)面。由此，消除了繁 瑣的操作，能夠提高使用的便利性。此外，因?yàn)槟軌蛲ㄟ^(guò)模擬確認(rèn)設(shè) 定，所以能夠避免為了確認(rèn)設(shè)定而使熱處理裝置100實(shí)際運(yùn)轉(zhuǎn)的繁瑣 的情況。此處，參照

利用本實(shí)施方式的設(shè)定操作支援處理，操作 者進(jìn)行動(dòng)作對(duì)象物的功能設(shè)定操作時(shí)的具體的操作例。圖16是用于說(shuō) 明進(jìn)行作為動(dòng)作對(duì)象物的一個(gè)例子的載體傳送器182的載體搬送動(dòng)作 的功能設(shè)定的操作的圖，圖17是用于說(shuō)明顯示載體傳送器182的載體 搬送動(dòng)作的功能解說(shuō)的操作的圖。在希望利用上述設(shè)定操作支援處進(jìn)行例如關(guān)于載體傳送器182的 載體搬送動(dòng)作的功能設(shè)定的情況下，在進(jìn)行作為動(dòng)作對(duì)象物的載體傳 送器182的載體102的搬送動(dòng)作的模擬的過(guò)程中，操作者用手指等按 下功能設(shè)定按鈕232后，僅通過(guò)在圖16所示的模擬操作顯示部220中 用手指等觸摸、特定動(dòng)作中的載體傳送器182， 一次就能夠在運(yùn)行操作 顯示部210中顯示載體搬送動(dòng)作設(shè)定畫(huà)面。由此，操作者能夠立刻設(shè) 定關(guān)于載體傳送器182的載體搬送動(dòng)作。然后，在變更載體搬送動(dòng)作的設(shè)定之后，按下模擬按鈕216時(shí)， 在模擬操作顯示部220中動(dòng)畫(huà)顯示依據(jù)已變更的設(shè)定的載體傳送器 182的搬送動(dòng)作模擬。此外，在希望顯示關(guān)于載體傳送器182的載體搬送動(dòng)作的HELP 畫(huà)面的情況下，在進(jìn)行載體傳送器182的載體102的搬送動(dòng)作的模擬 的過(guò)程中，操作者用手指等按下HELP按鈕234后，如圖17所示，僅 通過(guò)在模擬操作顯示部220中用手指等觸摸、特定動(dòng)作中的載體傳送 器182， 一次就能夠在運(yùn)行操作顯示部210中顯示載體搬送動(dòng)作HELP 畫(huà)面。由此，操作者不結(jié)束模擬器模式的操作，能夠立刻確認(rèn)載體搬 送動(dòng)作的設(shè)定、功能的說(shuō)明。根據(jù)這樣的對(duì)動(dòng)作對(duì)象物的設(shè)定操作支援處理，操作者按下功能 設(shè)定按鈕232，僅進(jìn)行通過(guò)在模擬操作顯示部220的畫(huà)面上的觸摸操作 對(duì)該模擬操作顯示部220中顯示的模擬動(dòng)作中的動(dòng)作對(duì)象物進(jìn)行特定，這樣極為簡(jiǎn)單且視覺(jué)上容易理解的操作，在運(yùn)行操作顯示部210中就 立即并且自動(dòng)地顯示與該動(dòng)作對(duì)象物的設(shè)定有關(guān)的畫(huà)面。由此，能夠 大幅縮短設(shè)定操作所需的時(shí)間。而且，只要是在通過(guò)模擬使動(dòng)作對(duì)象 物動(dòng)作的過(guò)程中，即使沒(méi)有例如設(shè)定畫(huà)面在哪里等設(shè)定操作的知識(shí)和經(jīng)驗(yàn)，僅通過(guò)按下功能設(shè)定按鈕232，就能夠在運(yùn)行操作顯示部210中立即顯示與動(dòng)作對(duì)象物的設(shè)定有關(guān)的畫(huà)面。此外，因?yàn)榕c動(dòng)作對(duì)象 物的設(shè)定有關(guān)的畫(huà)面是自動(dòng)顯示的，所以能夠簡(jiǎn)單地找出所需功能。 此外，因?yàn)椴恍枰瘳F(xiàn)有技術(shù)那樣一個(gè)一個(gè)地切換希望的設(shè)定畫(huà)面找 出設(shè)定畫(huà)面的操作，所以沒(méi)有繁瑣的設(shè)定操作，能夠提高使用的便利 性。此外，操作者按下HELP按鈕234，僅進(jìn)行通過(guò)在模擬操作顯示部 220的畫(huà)面上的觸摸操作對(duì)該模擬操作顯示部220中顯示的模擬的動(dòng) 作中的動(dòng)作對(duì)象物進(jìn)行特定，這樣極為簡(jiǎn)單且視覺(jué)上容易理解的操作， 就能夠在運(yùn)行操作顯示部210中立即并且自動(dòng)地顯示該動(dòng)作對(duì)象物的 功能解說(shuō)畫(huà)面。由此，能夠節(jié)省找出功能解說(shuō)畫(huà)面的人力，因?yàn)槟軌?確認(rèn)顯示的解說(shuō)并進(jìn)行設(shè)定操作，所以能夠可靠地進(jìn)行設(shè)定操作。此外，在根據(jù)在運(yùn)行操作顯示部210中顯示的畫(huà)面進(jìn)行設(shè)定操作 之后，因?yàn)槟軌蛄⒓丛谀M操作顯示部220中顯示對(duì)該動(dòng)作對(duì)象物的 動(dòng)作的模擬，所以能夠立即確認(rèn)依據(jù)設(shè)定的動(dòng)作。由此，能夠按照設(shè) 定可靠地進(jìn)行動(dòng)作對(duì)象物的實(shí)際的動(dòng)作。此外，因?yàn)槟軌蚬?jié)省在設(shè)定 后實(shí)際運(yùn)轉(zhuǎn)熱處理裝置、確認(rèn)該動(dòng)作對(duì)象物的動(dòng)作等的確認(rèn)操作的人 力，所以能夠提高使用的便利性。(設(shè)定對(duì)象物的設(shè)定操作支援處理)接著，參照

設(shè)定對(duì)象物的設(shè)定操作支援處理。圖18是表 示設(shè)定對(duì)象物的設(shè)定操作支援處理的具體例子的流程圖。如圖18所示， 首先，在歩驟S300判斷是否為模擬器模式。這是因?yàn)槿绻悄M器模 式，則能夠在模擬操作顯示部220的顯示畫(huà)面上進(jìn)行設(shè)定對(duì)象物的特 定。接著，在歩驟S310判斷是否己按下操作支援按鈕230。在本實(shí)施 方式中，判斷是否己按下圖19所示的作為操作支援按鈕230設(shè)置的功 能設(shè)定按鈕232和HELP按鈕234中的任意一個(gè)。然后，在步驟S320 判斷已按下哪一個(gè)按鈕，判斷為已按下功能設(shè)定按鈕232的情況下，30在步驟S330判斷是否已特定在模擬操作顯示部220中模擬顯示的設(shè)定對(duì)象物。這樣的設(shè)定對(duì)象物的特定通過(guò)上述模擬操作顯示部220進(jìn)行。具 體而言，例如在模擬操作顯示部220的觸摸屏的坐標(biāo)中，以模擬顯示 設(shè)定對(duì)象物的范圍的坐標(biāo)作為設(shè)定對(duì)象物的特定范圍，預(yù)先設(shè)定各設(shè) 定對(duì)象物的特定范圍，并存儲(chǔ)在例如圖像數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部352中。然后， 例如圖19所示，在模擬操作顯示部220中模擬顯示的設(shè)定對(duì)象物的特 定范圍被手指等觸摸的情況下，判斷為已特定該設(shè)定對(duì)象物。而且， 設(shè)定對(duì)象物的特定的方法并不限于上述的內(nèi)容。于是，當(dāng)在步驟S330判斷為己特定模擬顯示的設(shè)定對(duì)象物時(shí)，在 步驟S340從畫(huà)面數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部354的例如圖5C所示的設(shè)定對(duì)象物設(shè)定 關(guān)聯(lián)畫(huà)面數(shù)據(jù)表352C中檢索與該設(shè)定對(duì)象物相關(guān)聯(lián)的功能設(shè)定畫(huà)面， 并在運(yùn)行操作顯示部210中進(jìn)行顯示。例如在運(yùn)行操作顯示部210中 顯示圖19所示的設(shè)定畫(huà)面。該設(shè)定畫(huà)面是用于進(jìn)行晶舟130的設(shè)定的 晶舟設(shè)定畫(huà)面。接著，在步驟S350判斷是否已結(jié)束根據(jù)運(yùn)行操作顯示部210中顯 示的功能設(shè)定畫(huà)面的設(shè)定，當(dāng)判斷為設(shè)定已結(jié)束的情況下，將該設(shè)定 存儲(chǔ)在設(shè)定數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部353中。例如，在按下圖19所示的功能設(shè)定畫(huà) 面中顯示的設(shè)定結(jié)束按鈕218的情況下判斷為設(shè)定結(jié)束，存儲(chǔ)該設(shè)定。接著，在步驟S360判斷是否進(jìn)行模擬。例如當(dāng)按下圖19所示的 功能設(shè)定畫(huà)面中顯示的模擬按鈕216時(shí)，判斷為進(jìn)行模擬。未按下模 擬按鈕216而按下其他按鈕或進(jìn)行其他操作時(shí)，判斷為不進(jìn)行模擬， 結(jié)束一系列的設(shè)定操作支援處理。然后，進(jìn)行對(duì)應(yīng)其他按鈕、操作的 處理。此外，在步驟S360判斷為進(jìn)行模擬的情況下，在步驟S370進(jìn)行 對(duì)該設(shè)定對(duì)象物的模擬顯示。而且，此處，因?yàn)橐呀?jīng)是模擬器模式， 所以不切換模式就能夠進(jìn)行模擬。此處，在例如將設(shè)定對(duì)象物的尺寸、 形狀等設(shè)定變更為不同的尺寸、形狀等的情況下，在模擬操作顯示部 220中模擬顯示該設(shè)定變更后的設(shè)定對(duì)象物。當(dāng)模擬顯示結(jié)束時(shí)，結(jié)束 一系列的設(shè)定操作支援處理。此外，在步驟S320判斷為按下HELP按鈕234的情況下，與上述步驟S330同樣，在步驟S380判斷是否已進(jìn)行模擬顯示的設(shè)定對(duì)象物 的特定。在步驟S380判斷為已進(jìn)行設(shè)定對(duì)象物的特定時(shí)，在步驟S390 從畫(huà)面數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部354的例如圖5C所示的設(shè)定對(duì)象物設(shè)定關(guān)聯(lián)畫(huà)面數(shù) 據(jù)表352C中檢索與該設(shè)定對(duì)象物相關(guān)聯(lián)的HELP畫(huà)面，并在運(yùn)行操作 顯示部210中進(jìn)行顯示，結(jié)束一系列的設(shè)定操作支援處理。根據(jù)這樣的設(shè)定對(duì)象物的設(shè)定操作支援處理，在操作者希望進(jìn)行 對(duì)設(shè)定對(duì)象物的設(shè)定的情況下，首先進(jìn)行該設(shè)定對(duì)象物的模擬顯示， 在模擬操作顯示部220中顯示該設(shè)定對(duì)象物。然后，僅通過(guò)在按下功 能設(shè)定按鈕232之后，在模擬操作顯示部220的畫(huà)面上用手指等特定 模擬顯示的設(shè)定對(duì)象物這樣簡(jiǎn)單且容易理解的操作， 一次就能夠在運(yùn) 行操作顯示部210中顯示該設(shè)定對(duì)象物的功能設(shè)定畫(huà)面。由此，不需 要像現(xiàn)有技術(shù)那樣多次切換、顯示畫(huà)面，從設(shè)定菜單畫(huà)面中找出該設(shè) 定對(duì)象物的功能設(shè)定畫(huà)面。由此，消除了繁瑣的操作，能夠提高使用 的便利性。此外，因?yàn)槟軌蛲ㄟ^(guò)模擬確認(rèn)設(shè)定，所以能夠可靠地根據(jù) 該設(shè)定使熱處理裝置100運(yùn)轉(zhuǎn)。此處，參照

利用本實(shí)施方式的設(shè)定操作支援處理，操作 者進(jìn)行設(shè)定對(duì)象物的功能設(shè)定操作時(shí)的具體的操作例。圖]9是用于說(shuō) 明進(jìn)行作為設(shè)定對(duì)象物的一個(gè)例子的晶舟130的設(shè)定的操作的圖，圖 20是用于說(shuō)明顯示晶舟130的功能解說(shuō)的操作的圖。在希望利用上述設(shè)定操作支援處理進(jìn)行例如將晶舟130變更為另 一型號(hào)的晶舟130的設(shè)定的情況下，在模擬操作顯示部220中模擬顯 示晶舟130時(shí)，用手指等按下功能設(shè)定按鈕232之后，如圖19所示， 僅通過(guò)用手指等觸摸、特定模擬操作顯示部220中顯示的晶舟130， 一 次就能夠在運(yùn)行操作顯示部210中顯示晶舟設(shè)定畫(huà)面。由此，操作者 能夠立刻進(jìn)行對(duì)晶舟130的設(shè)定。然后，在將晶舟130設(shè)定變更為另一型號(hào)的晶舟130之后，當(dāng)按 下模擬按鈕216時(shí)，在模擬操作顯示部220中模擬顯示依據(jù)已變更的 設(shè)定的晶舟130。此外，在希望顯示關(guān)于晶舟130的HELP畫(huà)面的情況下，在模擬 操作部220中模擬顯示晶舟130時(shí)，在操作者用手指等按下HELP按 鈕234之后，如圖20所示，僅通過(guò)用手指等觸摸、特定模擬操作顯示部220中顯示的晶舟130， 一次就能夠在運(yùn)行操作顯示部210中顯示晶 舟HELP畫(huà)面。由此，操作者不結(jié)束模擬模式的操作，能夠立刻確認(rèn) 晶舟的設(shè)定、功能的說(shuō)明。根據(jù)這樣的對(duì)設(shè)定對(duì)象物的設(shè)定操作支援處理，操作者按下功能 設(shè)定按鈕232，僅進(jìn)行通過(guò)在模擬操作顯示部220的畫(huà)面上的觸摸操作 對(duì)該模擬操作顯示部220中模擬顯示中的設(shè)定對(duì)象物進(jìn)行特定，這樣 極為簡(jiǎn)單且視覺(jué)上容易理解的操作，就能夠在運(yùn)行操作顯示部210中 立即并且自動(dòng)地顯示與該設(shè)定對(duì)象物的設(shè)定有關(guān)的畫(huà)面。由此，能夠 大幅縮短設(shè)定操作所需的時(shí)間。而且，只要是在通過(guò)模擬對(duì)對(duì)象物進(jìn) 行顯示的過(guò)程中，即使沒(méi)有例如設(shè)定畫(huà)面在哪里等設(shè)定操作的知識(shí)和 經(jīng)驗(yàn)，僅通過(guò)按下功能設(shè)定按鈕232，就能夠在操作顯示部中立即顯示 與對(duì)象物的設(shè)定有關(guān)的畫(huà)面。此外，因?yàn)榕c設(shè)定對(duì)象物的設(shè)定有關(guān)的 畫(huà)面是自動(dòng)顯示的，所以能夠簡(jiǎn)單地找出所需功能。此外，因?yàn)椴恍?要像現(xiàn)有技術(shù)那樣一個(gè)一個(gè)地切換希望的設(shè)定畫(huà)面找出設(shè)定畫(huà)面的操 作，所以沒(méi)有繁瑣的設(shè)定操作，能夠提高使用的便利性。此外，操作者按下HELP按鈕234，僅進(jìn)行通過(guò)在模擬操作顯示部 220的畫(huà)面上的觸摸操作對(duì)該模擬操作顯示部220中模擬顯示中的對(duì) 象物進(jìn)行特定，這樣極為簡(jiǎn)單且視覺(jué)上容易理解的操作，就能夠在運(yùn) 行操作顯示部210中立即并且自動(dòng)地顯示該對(duì)象物的功能解說(shuō)畫(huà)面。 由此，能夠節(jié)省找出功能解說(shuō)畫(huà)面的人力，因?yàn)槟軌虼_認(rèn)顯示的解說(shuō) 并進(jìn)行設(shè)定操作，所以能夠可靠地進(jìn)行設(shè)定操作。此外，在根據(jù)在運(yùn)行操作顯示部210中顯示的畫(huà)面進(jìn)行設(shè)定操作 之后，因?yàn)槟軌蛄⒓丛谀M操作顯示部220中模擬顯示該對(duì)象物，所 以能夠立即確認(rèn)設(shè)定的對(duì)象物。由此，能夠可靠地進(jìn)行對(duì)象物的設(shè)定。而且，在用于顯示上述實(shí)施方式的各設(shè)定操作支援處理中的各對(duì) 象物(操作對(duì)象物、動(dòng)作對(duì)象物、設(shè)定對(duì)象物)的設(shè)定畫(huà)面的操作中， 不僅包括在一度按下操作支援按鈕230之后接著進(jìn)行操作對(duì)象物的操 作、動(dòng)作對(duì)象物或設(shè)定對(duì)象物的特定的操作，還包括在按下操作支援 按鈕230的同時(shí)進(jìn)行操作對(duì)象物的操作、動(dòng)作對(duì)象物或設(shè)定對(duì)象物的 特定的操作。即，在這些中的任一情況下，在圖IO所示的歩驟SIIO、 圖15所示的步驟S210、圖18所示的步驟S310中都判斷為已按下操作支援按鈕230。此外，在上述實(shí)施方式中，雖然說(shuō)明了由不同的操作面板構(gòu)成運(yùn)行操作顯示部210和模擬操作顯示部220的情況，但并不限定于此， 也可以如圖21所示，由一個(gè)操作面板構(gòu)成。此外，在上述實(shí)施方式中，雖然說(shuō)明了設(shè)置操作支援按鈕230 (功 能設(shè)定按鈕232、 HELP按鈕234)的情況，但并不限定于此，也可以 在操作面板的畫(huà)面上顯示這些操作支援按鈕230。在該情況下，對(duì)操作 支援按鈕230而言，可以與運(yùn)行操作顯示部210和模擬操作顯示部220 由不同的操作面板構(gòu)成，此外，例如圖22所示，操作支援按鈕230也 可以與運(yùn)行操作顯示部210和模擬操作顯示部220 —起由一個(gè)操作面 板構(gòu)成。此外，在熱處理裝置IOO上連接有主計(jì)算機(jī)、前組控制器(AGC: Advance Group Controller)等數(shù)據(jù)處理裝置的情況下，也可以例如圖 22所示，在構(gòu)成它們的計(jì)算機(jī)的顯示器中與運(yùn)行操作顯示部210和模 擬操作顯示部220—起顯示操作支援按鈕230，在主計(jì)算機(jī)、數(shù)據(jù)處理 裝置側(cè)進(jìn)行本發(fā)明的設(shè)定操作支援處理。在該情況下，主計(jì)算機(jī)、數(shù) 據(jù)處理裝置的控制部采用例如圖3所示的框圖所示的結(jié)構(gòu)。此外，將存儲(chǔ)實(shí)現(xiàn)上述實(shí)施方式的功能(例如上述各設(shè)定支援處 理功能)的軟件的程序的存儲(chǔ)介質(zhì)等的介質(zhì)供給至系統(tǒng)或裝置，該系 統(tǒng)或裝置的計(jì)算機(jī)(或是CPU、 MPU)讀出保存在存儲(chǔ)介質(zhì)等的介質(zhì) 中的程序，并加以執(zhí)行，從而也能夠?qū)崿F(xiàn)本發(fā)明。在該情況下，從存儲(chǔ)介質(zhì)等介質(zhì)中讀出的程序本身實(shí)現(xiàn)上述實(shí)施 方式的功能，存儲(chǔ)該程序的存儲(chǔ)介質(zhì)等的介質(zhì)構(gòu)成本發(fā)明。作為用于 供給程序的存儲(chǔ)介質(zhì)等的介質(zhì)，例如能夠使用軟(注冊(cè)商標(biāo))盤(pán)、硬 盤(pán)、光盤(pán)、光磁盤(pán)、CD-ROM、 CD-R、 CD-RW、 DVD-ROM、 DVD-RAM、 DVD-RW、 DVD+RW、磁帶、非易失性的存儲(chǔ)卡、ROM等。此外，也 能夠通過(guò)網(wǎng)絡(luò)供給程序。而且，本發(fā)明不僅包括通過(guò)計(jì)算機(jī)執(zhí)行讀出的程序，實(shí)現(xiàn)上述實(shí) 施方式的功能的情況，還包括根據(jù)該程序的指示，在計(jì)算機(jī)上運(yùn)行的 OS等進(jìn)行實(shí)際處理的一部分或全部，通過(guò)該處理實(shí)現(xiàn)上述的實(shí)施方式 功能的情況。而且，在從存儲(chǔ)介質(zhì)等的介質(zhì)中讀出的程序被寫(xiě)入插入計(jì)算機(jī)的 功能擴(kuò)展口 、與計(jì)算機(jī)連接的功能擴(kuò)展單元所具有的存儲(chǔ)器中之后， 根據(jù)該程序的指示，該功能擴(kuò)展口、功能擴(kuò)展單元中具有的CPU等進(jìn) 行實(shí)際處理的一部分或全部，通過(guò)該處理實(shí)現(xiàn)上述實(shí)施方式的功能的 情況也包括在本發(fā)明中。以上，雖然參照

了本發(fā)明的適宜的實(shí)施方式，但顯然本 發(fā)明并不限定于上述例子。可以明確的是本鄰域的技術(shù)人員能夠在專 利請(qǐng)求的范圍所記載的范疇內(nèi)推想出各種變更例或修正例，應(yīng)該理解 的是它們顯然也屬于本發(fā)明的技術(shù)范圍。例如，在上述實(shí)施方式中，雖然作為基板處理裝置舉例說(shuō)明了熱 處理裝置]00，但并不限定于此，在蝕刻裝置、成膜裝置等各種基板處 理裝置中均能夠應(yīng)用本發(fā)明。
權(quán)利要求
1.一種支援基板處理裝置的設(shè)定操作的設(shè)定操作支援裝置，其特征在于，包括用于操作所述基板處理裝置的操作對(duì)象物；至少能夠顯示與所述操作對(duì)象物的設(shè)定有關(guān)的畫(huà)面的觸摸屏式的操作顯示部；存儲(chǔ)根據(jù)與所述操作對(duì)象物的設(shè)定有關(guān)的畫(huà)面設(shè)定的事項(xiàng)的設(shè)定存儲(chǔ)部；設(shè)定支援按鈕；存儲(chǔ)預(yù)先使所述操作對(duì)象物和與該操作對(duì)象物的設(shè)定有關(guān)的畫(huà)面相關(guān)聯(lián)的操作對(duì)象物設(shè)定關(guān)聯(lián)畫(huà)面信息的畫(huà)面存儲(chǔ)部；和當(dāng)所述設(shè)定支援按鈕被按下，進(jìn)行所述操作對(duì)象物的操作時(shí)，從所述畫(huà)面存儲(chǔ)部中檢索與該操作對(duì)象物相關(guān)聯(lián)的畫(huà)面并使之在所述操作顯示部中顯示的控制部。
2. 如權(quán)利要求1所述的基板處理裝置的設(shè)定操作支援裝置，其特 征在于所述操作對(duì)象物是在所述操作顯示部中顯示的操作按鈕或相對(duì)所 述操作顯示部另外設(shè)置的操作按鈕，所述設(shè)定支援按鈕是在所述操作顯示部中顯示的功能設(shè)定按鈕或 相對(duì)所述操作顯示部另外設(shè)置的功能設(shè)定按鈕，與所述操作對(duì)象物的設(shè)定有關(guān)的畫(huà)面是功能設(shè)定畫(huà)面。
3. 如權(quán)利要求1所述的基板處理裝置的設(shè)定操作支援裝置，其特 征在于所述設(shè)定支援按鈕包括所述功能設(shè)定按鈕和功能解說(shuō)按鈕， 在所述畫(huà)面存儲(chǔ)部中存儲(chǔ)有預(yù)先使所述操作對(duì)象物的功能設(shè)定畫(huà)面和功能解說(shuō)畫(huà)面與該操作對(duì)象物相關(guān)聯(lián)的操作對(duì)象物設(shè)定關(guān)聯(lián)畫(huà)面信息，所述控制部，當(dāng)所述功能設(shè)定按鈕被按下，進(jìn)行所述操作對(duì)象物的操作時(shí)，從所述畫(huà)面存儲(chǔ)部中檢索與該操作對(duì)象物相關(guān)聯(lián)的功能設(shè) 定畫(huà)面并在所述操作顯示部中進(jìn)行顯示，當(dāng)所述功能解說(shuō)按鈕被按下， 進(jìn)行所述操作對(duì)象物的操作時(shí)，從所述畫(huà)面存儲(chǔ)部中檢索與該操作對(duì) 象物相關(guān)聯(lián)的功能解說(shuō)畫(huà)面并在所述操作顯示部中進(jìn)行顯示。
4. 如權(quán)利要求1所述的基板處理裝置的設(shè)定操作支援裝置，其特 征在于還設(shè)置有能夠執(zhí)行根據(jù)所述操作對(duì)象物的操作進(jìn)行動(dòng)作的動(dòng)作對(duì) 象物的模擬的模擬器，當(dāng)根據(jù)在所述操作顯示部中顯示的畫(huà)面進(jìn)行設(shè)定操作時(shí)，所述控 制部在所述設(shè)定存儲(chǔ)部中存儲(chǔ)該設(shè)定事項(xiàng)，之后對(duì)于根據(jù)該操作對(duì)象 物的操作進(jìn)行動(dòng)作的動(dòng)作對(duì)象物，在所述模擬器中執(zhí)行根據(jù)存儲(chǔ)在所 述設(shè)定存儲(chǔ)部中的設(shè)定事項(xiàng)的模擬，在所述操作顯示部中顯示該模擬 的圖像。
5. —種支援基板處理裝置的設(shè)定操作的設(shè)定操作支援裝置，其特 征在于，包括所述基板處理裝置的結(jié)構(gòu)物中能夠進(jìn)行動(dòng)作設(shè)定的動(dòng)作對(duì)象物； 執(zhí)行對(duì)所述動(dòng)作對(duì)象物的動(dòng)作的模擬的模擬器；至少能夠顯示與所述動(dòng)作對(duì)象物的動(dòng)作設(shè)定有關(guān)的畫(huà)面和所述動(dòng) 作對(duì)象物的所述模擬的動(dòng)畫(huà)的觸摸屏式的操作顯示部；存儲(chǔ)根據(jù)與所述動(dòng)作對(duì)象物的動(dòng)作設(shè)定有關(guān)的畫(huà)面設(shè)定的事項(xiàng)的設(shè)定存儲(chǔ)部；設(shè)定支援按鈕；存儲(chǔ)預(yù)先使所述動(dòng)作對(duì)象物和與該動(dòng)作對(duì)象物的動(dòng)作設(shè)定有關(guān)的 畫(huà)面相關(guān)聯(lián)的動(dòng)作對(duì)象物設(shè)定關(guān)聯(lián)畫(huà)面信息的畫(huà)面存儲(chǔ)部；和在所述操作顯示部中顯示所述模擬的動(dòng)作對(duì)象物的動(dòng)畫(huà)時(shí)，當(dāng)所 述設(shè)定支援按鈕被按下，通過(guò)所述操作顯示部的觸摸操作進(jìn)行模擬執(zhí) 行中的動(dòng)作對(duì)象物的特定時(shí)，從所述畫(huà)面存儲(chǔ)部中檢索與該動(dòng)作對(duì)象 物相關(guān)聯(lián)的畫(huà)面并使之在所述操作顯示部中顯示的控制部。
6. 如權(quán)利要求5所述的基板處理裝置的設(shè)定操作支援裝置，其特 征在于所述設(shè)定支援按鈕是在所述操作顯示部中顯示的功能設(shè)定按鈕或 相對(duì)所述操作顯示部另外設(shè)置的功能設(shè)定按鈕，與所述動(dòng)作對(duì)象物的動(dòng)作設(shè)定有關(guān)的畫(huà)面是對(duì)于該動(dòng)作對(duì)象物的 動(dòng)作的功能設(shè)定畫(huà)面。
7. 如權(quán)利要求5所述的基板處理裝置的設(shè)定操作支援裝置，其特 征在于所述設(shè)定支援按鈕包括所述功能設(shè)定按鈕和功能解說(shuō)按鈕， 在所述畫(huà)面存儲(chǔ)部中存儲(chǔ)有預(yù)先使所述動(dòng)作對(duì)象物的功能設(shè)定畫(huà)面和功能解說(shuō)畫(huà)面與該動(dòng)作對(duì)象物相關(guān)聯(lián)的動(dòng)作對(duì)象物設(shè)定關(guān)聯(lián)畫(huà)面信息；所述控制部，在所述操作顯示部中顯示所述模擬的動(dòng)作對(duì)象物的 動(dòng)作圖像時(shí)，當(dāng)所述功能設(shè)定按鈕被按下，特定所述模擬執(zhí)行中的動(dòng) 作對(duì)象物時(shí)，從所述畫(huà)面存儲(chǔ)部中檢索與該動(dòng)作對(duì)象物相關(guān)聯(lián)的功能 設(shè)定畫(huà)面并在所述操作顯示部中進(jìn)行顯示，當(dāng)所述功能解說(shuō)按鈕被按 下，特定所述模擬執(zhí)行中的動(dòng)作對(duì)象物時(shí)，從所述畫(huà)面存儲(chǔ)部中檢索 與該動(dòng)作對(duì)象物相關(guān)聯(lián)的功能解說(shuō)畫(huà)面并在所述操作顯示部中進(jìn)行顯示。
8. 如權(quán)利要求5所述的基板處理裝置的設(shè)定操作支援裝置，其特 征在于當(dāng)根據(jù)與所述動(dòng)作對(duì)象物的動(dòng)作設(shè)定有關(guān)的畫(huà)面進(jìn)行設(shè)定操作時(shí)，所述控制部在所述設(shè)定存儲(chǔ)部中存儲(chǔ)該設(shè)定事項(xiàng)，之后對(duì)該動(dòng)作 對(duì)象物執(zhí)行根據(jù)存儲(chǔ)在所述設(shè)定存儲(chǔ)部中的設(shè)定事項(xiàng)的模擬，并在所 述操作顯示部中顯示該模擬的圖像。
9. 一種支援基板處理裝置的設(shè)定操作的設(shè)定操作支援裝置，其特征在于，包括所述基板處理裝置的結(jié)構(gòu)物中能夠進(jìn)行該結(jié)構(gòu)物的設(shè)定的設(shè)定對(duì)象物；執(zhí)行對(duì)所述設(shè)定對(duì)象物的模擬顯示的模擬器； 至少能夠顯示與所述設(shè)定對(duì)象物的設(shè)定有關(guān)的畫(huà)面和所述設(shè)定對(duì) 象物的所述模擬的圖像的觸摸屏式的操作顯示部； 設(shè)定支援按鈕；存儲(chǔ)預(yù)先使所述設(shè)定對(duì)象物和與該設(shè)定對(duì)象物的設(shè)定有關(guān)的畫(huà)面 相關(guān)聯(lián)的設(shè)定對(duì)象物設(shè)定關(guān)聯(lián)畫(huà)面信息的畫(huà)面存儲(chǔ)部；和在所述操作顯示部中顯示所述模擬顯示的所述設(shè)定對(duì)象物的圖像 時(shí)，當(dāng)所述設(shè)定支援按鈕被按下，通過(guò)所述操作顯示部的觸摸操作進(jìn) 行顯示中的設(shè)定對(duì)象物的特定時(shí)，從所述畫(huà)面存儲(chǔ)部中檢索與該設(shè)定 對(duì)象物相關(guān)聯(lián)的畫(huà)面并使之在所述操作顯示部中顯示的控制部。
10. 如權(quán)利要求9所述的基板處理裝置的設(shè)定操作支援裝置，其特 征在于所述設(shè)定支援按鈕是在所述操作顯示部中顯示的功能設(shè)定按鈕或 相對(duì)所述操作顯示部另外設(shè)置的功能設(shè)定按鈕，與所述設(shè)定對(duì)象物的設(shè)定有關(guān)的畫(huà)面是對(duì)于該設(shè)定對(duì)象物的功能 設(shè)定畫(huà)面。
11. 如權(quán)利要求9所述的基板處理裝置的設(shè)定操作支援裝置，其特 征在于所述設(shè)定支援按鈕包括所述功能設(shè)定按鈕和功能解說(shuō)按鈕， 在所述畫(huà)面存儲(chǔ)部中存儲(chǔ)有預(yù)先使所述設(shè)定對(duì)象物的功能設(shè)定畫(huà)面和功能解說(shuō)畫(huà)面與該設(shè)定對(duì)象物相關(guān)聯(lián)的設(shè)定對(duì)象物設(shè)定關(guān)聯(lián)畫(huà)面信息，所述控制部，在所述操作顯示部中顯示所述模擬顯示的所述設(shè)定 對(duì)象物的圖像時(shí)，當(dāng)所述功能設(shè)定按鈕被按下，特定所述模擬顯示中 的設(shè)定對(duì)象物時(shí)，從所述畫(huà)面存儲(chǔ)部中檢索與該設(shè)定對(duì)象物相關(guān)聯(lián)的 功能設(shè)定畫(huà)面并在所述操作顯示部中進(jìn)行顯示，當(dāng)所述功能解說(shuō)按鈕 被按下，特定所述模擬顯示中的設(shè)定對(duì)象物時(shí)，從所述畫(huà)面存儲(chǔ)部中 檢索與該設(shè)定對(duì)象物相關(guān)聯(lián)的功能解說(shuō)畫(huà)面并在所述操作顯示部中進(jìn)行顯示。
12. 如權(quán)利要求9所述的基板處理裝置的設(shè)定操作支援裝置，其特征在于還設(shè)置有存儲(chǔ)根據(jù)與所述設(shè)定對(duì)象物的設(shè)定有關(guān)的畫(huà)面設(shè)定的事 項(xiàng)的設(shè)定存儲(chǔ)部，當(dāng)根據(jù)與所述設(shè)定對(duì)象物的設(shè)定有關(guān)的畫(huà)面進(jìn)行設(shè)定操作時(shí)，所 述控制部在所述設(shè)定存儲(chǔ)部中存儲(chǔ)該設(shè)定事項(xiàng)，之后對(duì)該設(shè)定對(duì)象物 執(zhí)行根據(jù)存儲(chǔ)在所述設(shè)定存儲(chǔ)部中的設(shè)定事項(xiàng)的模擬，并在所述操作 顯示部中顯示該模擬的圖像。
13. —種支援基板處理裝置的設(shè)定操作的設(shè)定操作支援方法，其特 征在于，包括判斷是否已按下設(shè)置于所述基板處理裝置的設(shè)定支援按鈕的工序；在判斷為已按下所述設(shè)定支援按鈕的情況下，判斷是否已進(jìn)行對(duì) 所述基板處理裝置的結(jié)構(gòu)物中的能夠進(jìn)行設(shè)定的對(duì)象物的操作、在操 作顯示部中顯示的模擬圖像中的動(dòng)作對(duì)象物或設(shè)定對(duì)象物的特定操作 中的任一個(gè)操作的工序；和在判斷為已進(jìn)行所述操作的情況下，根據(jù)預(yù)先存儲(chǔ)在畫(huà)面存儲(chǔ)部 中的使所述各對(duì)象物和與這些對(duì)象物的設(shè)定有關(guān)的畫(huà)面相關(guān)聯(lián)的對(duì)象 物設(shè)定關(guān)聯(lián)畫(huà)面信息，檢索與進(jìn)行所述操作的對(duì)象物相關(guān)聯(lián)的畫(huà)面并 在所述操作顯示部中進(jìn)行顯示的工序。
14. 一種存儲(chǔ)程序的存儲(chǔ)介質(zhì)，是存儲(chǔ)用于在計(jì)算機(jī)中執(zhí)行支援基 板處理裝置的設(shè)定操作的設(shè)定操作支援方法的程序的計(jì)算機(jī)能夠讀取 的存儲(chǔ)介質(zhì)，其特征在于由所述計(jì)算機(jī)執(zhí)行的所述設(shè)定操作方法包括判斷是否己按下設(shè)置于所述基板處理裝置的設(shè)定支援按鈕的步驟；在判斷為已按下所述設(shè)定支援按鈕的情況下，判斷是否已進(jìn)行對(duì)所述基板處理裝置的結(jié)構(gòu)物中的能夠進(jìn)行設(shè)定的對(duì)象物的操作、在操作顯示部中顯示的模擬圖像中的動(dòng)作對(duì)象物或設(shè)定對(duì)象物的特定操作 中的任一個(gè)操作的歩驟；和在判斷為已進(jìn)行所述操作的情況下，根據(jù)預(yù)先存儲(chǔ)在畫(huà)面存儲(chǔ)部 中的使所述各對(duì)象物和與這些對(duì)象物的設(shè)定有關(guān)的畫(huà)面相關(guān)聯(lián)的對(duì)象 物設(shè)定關(guān)聯(lián)畫(huà)面信息，檢索與進(jìn)行所述操作的對(duì)象物相關(guān)聯(lián)的畫(huà)面， 并在所述操作顯示部中進(jìn)行顯示的步驟。
全文摘要
本發(fā)明提供一種基板處理裝置的設(shè)定操作支援裝置及其方法。該基板處理裝置的設(shè)定操作支援裝置中設(shè)置有基板處理裝置的結(jié)構(gòu)物中能夠進(jìn)行動(dòng)作的設(shè)定的動(dòng)作對(duì)象物；執(zhí)行該動(dòng)作的模擬的模擬器；觸摸屏式的運(yùn)行操作顯示部和模擬操作顯示部；以及功能設(shè)定按鈕，預(yù)先使動(dòng)作對(duì)象物和與其動(dòng)作設(shè)定有關(guān)的畫(huà)面相關(guān)聯(lián)并存儲(chǔ)在畫(huà)面存儲(chǔ)部中。在運(yùn)行操作顯示部中顯示動(dòng)作對(duì)象物的動(dòng)畫(huà)時(shí)，當(dāng)按下功能設(shè)定按鈕，通過(guò)觸摸操作特定動(dòng)作對(duì)象物時(shí)，從畫(huà)面存儲(chǔ)部中檢索與其相關(guān)聯(lián)的設(shè)定畫(huà)面并在運(yùn)行操作顯示部中進(jìn)行顯示。據(jù)此，在進(jìn)行基板處理裝置的設(shè)定操作時(shí)，能夠通過(guò)簡(jiǎn)單的操作立即顯示希望的畫(huà)面。由此能夠消除繁瑣的設(shè)定操作，提高使用的便利性。
文檔編號(hào)G05B19/42GK101256408SQ20081008817
公開(kāi)日2008年9月3日 申請(qǐng)日期2008年2月13日 優(yōu)先權(quán)日2007年2月13日
發(fā)明者山本政和 申請(qǐng)人:東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社