專利名稱：一種生產(chǎn)線設(shè)備的控制裝置及控制系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及設(shè)備工藝控制領(lǐng)域，特別是涉及一種生產(chǎn)線設(shè)備的控制裝 置及應(yīng)用這種控制裝置的生產(chǎn)線設(shè)備控制系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
生產(chǎn)線設(shè)備是現(xiàn)代生活中完成各類產(chǎn)品生產(chǎn)、制造或工藝過程不可 缺少的硬件設(shè)備，為盡可能降低成本及提高效率，對于生產(chǎn)線設(shè)備均配 置有相應(yīng)的控制系統(tǒng)以控制生產(chǎn)線設(shè)備的運(yùn)行。
參考圖1所示的現(xiàn)有技術(shù)中常用的生產(chǎn)線設(shè)備控制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意
圖，這種控制系統(tǒng)包括工控機(jī)11和PLC控制器12。公知的是，工控機(jī) (Industrial Personal Computer, IPC )是一種加固的增強(qiáng)型個人計算機(jī)， 它可以作為一個工業(yè)控制器在工業(yè)環(huán)境中可靠運(yùn)4??；PLC ( Programmable Logic Controller ，可編程邏輯控制器)是一種專門為在工業(yè)環(huán)境下應(yīng)用 而設(shè)計的數(shù)字運(yùn)算操作的電子裝置。它采用可以編制程序的存儲器，用 來在其內(nèi)部存儲執(zhí)行邏輯運(yùn)算、順序運(yùn)算、計時、計數(shù)和算術(shù)運(yùn)算等操 作的指令，并通過數(shù)字式或模擬式的輸入和輸出，控制各種類型的機(jī)械 或生產(chǎn)過程。在這個控制系統(tǒng)中，工控機(jī)11可以通過通訊卡111與多個PLC 控制器12進(jìn)行通訊。各個PLC控制器12分別與生產(chǎn)線設(shè)備中相應(yīng)的受控器 件13相連，并分別單獨(dú)編程，根據(jù)每一個單獨(dú)的功能對受控器件13進(jìn)行 獨(dú)立、自動地循環(huán)控制。例如，在In-line PECVD設(shè)備(在線鍍膜型等離 子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備)的控制系統(tǒng)中，可以設(shè)置6個PLC控制器分別 針對裝載臺、預(yù)熱腔、反應(yīng)腔、冷卻腔、卸載腔和回收裝置的直接進(jìn)行 控制，即生產(chǎn)線設(shè)備的所有功能控制均在PLC控制器12內(nèi)部實(shí)現(xiàn)。在實(shí)際 中，工控機(jī)控制PLC控制器的邏輯相對簡單， 一般只傳遞啟動、停止的命 令以控制PLC控制器的啟動運(yùn)行和停止運(yùn)行，及監(jiān)控PLC控制器的運(yùn)行狀態(tài)是否正常。
這種現(xiàn)有的控制系統(tǒng)存在以下缺陷
首先，因?yàn)镻LC控制器一般都采用硬件實(shí)現(xiàn)，必將導(dǎo)致硬件搭建成本 和維護(hù)成本增加的問題；再者，由于工控機(jī)與PLC控制器的通訊只采用了 相對簡單的邏輯，信息交互較少，不能實(shí)現(xiàn)所有功能、過程狀態(tài)的全部 信息的控制，因而控制的靈活性很??；此外，這種工控機(jī)-通訊卡-PLC 控制器-受控器件的通訊過程較為復(fù)雜，當(dāng)某一PLC控制器所控制功能的 性能出現(xiàn)瓶頸時，將對控制系統(tǒng)整體造成巨大的影響，從而導(dǎo)致運(yùn)行效 率較低的問題；并且，當(dāng)需要對某一功能修改時，需要通過對相應(yīng)的PLC 控制器編程來實(shí)現(xiàn)，因而需要單獨(dú)維護(hù)的模塊多，版本控制困難，在器 件變更等操作中實(shí)現(xiàn)也比較困難，在實(shí)際中開發(fā)的難度較大。
因此，目前需要本領(lǐng)域技術(shù)人員迫切解決的一個技術(shù)問題就是如 何能夠創(chuàng)新地提出 一種生產(chǎn)線設(shè)備的控制機(jī)制，用以在降低成本的基礎(chǔ) 上，減小開發(fā)和維護(hù)難度，提高模塊控制的靈活性，保證生產(chǎn)線設(shè)備的 高效運(yùn)行。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種生產(chǎn)線設(shè)備的控制裝置及控 制系統(tǒng)，用以在降低成本的基礎(chǔ)上，減小開發(fā)和維護(hù)難度，提高模塊控 制的靈活性，保證生產(chǎn)線設(shè)備的高效運(yùn)行。
為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明實(shí)施例公開了一種生產(chǎn)線設(shè)備的控 制裝置，所述生產(chǎn)線設(shè)備包括多個受控器件，所述控制裝置位于工控機(jī) 中，通過通訊卡和各個受控器件相連，所述控制裝置包括
配置模塊，用于配置各功能控制模塊驅(qū)動受控器件所執(zhí)行的動作及 執(zhí)行序列；
調(diào)度模塊，包括讀取子模塊和線程維護(hù)子模塊，所述讀取子模塊用 于從配置模塊讀取所需功能控制模塊的執(zhí)行動作及執(zhí)行序列；所述線程 維護(hù)子模塊用于針對各個功能控制模塊維護(hù)相應(yīng)的線程；至少一個功能控制模塊，包括序列執(zhí)行子模塊，用于在相應(yīng)的線程 中驅(qū)動相應(yīng)的受控器件按照所述執(zhí)行動作及執(zhí)行序列運(yùn)行。
優(yōu)選的，所述調(diào)度模塊還包括退出控制子模塊，用于控制功能控
制模塊退出運(yùn)行狀態(tài)，并停止退出運(yùn)行狀態(tài)的功能控制模塊的線程。
優(yōu)選的，所述調(diào)度模塊還包括高效控制子模塊，用于在功能控制 模塊執(zhí)行某個動作、某幾個動作或整個動作序列的時間超過相應(yīng)的預(yù)設(shè) 時間閾值時，產(chǎn)生報警信息或提示信息。
優(yōu)選的，所述調(diào)度模塊還包括運(yùn)行狀態(tài)控制子模塊，用于在功能 控制模塊執(zhí)行某個動作、某幾個動作或整個動作序列出錯時，產(chǎn)生報警 信息或提示信息。
優(yōu)選的，所述生產(chǎn)線設(shè)備為等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備，所述裝 置包括以下功能控制模塊
預(yù)熱腔功能控制模塊，其中的序列執(zhí)行子模塊，用于在相應(yīng)的線程 中驅(qū)動相應(yīng)的受控器件執(zhí)行傳片、加熱、抽真空、充大氣、送片的動 作組合成的序列；
反應(yīng)腔功能控制模塊，其中的序列執(zhí)行子模塊，用于在相應(yīng)的線程 中驅(qū)動相應(yīng)的受控器件執(zhí)行傳片、加熱、抽真空、工藝、吹掃、送片 的動作組合成的序列
冷卻腔功能控制模塊，其中的序列執(zhí)行子模塊，用于在相應(yīng)的線程 中驅(qū)動相應(yīng)的受控器件執(zhí)行傳片、冷卻、抽真空、充大氣、送片的動 作組合成的序列；
載板傳動功能控制模塊，其中的序列執(zhí)行子模塊，用于在相應(yīng)的線 程中驅(qū)動相應(yīng)的受控器件執(zhí)行載板裝載、載板卸載、載板回收的動作 組合成的序列。
優(yōu)選的，所述預(yù)熱腔功能控制模塊、反應(yīng)腔功能控制模塊或者冷卻 腔功能控制模塊還包括
傳片前檢查子模塊，用于在執(zhí)行傳片動作前，檢測相應(yīng)的受控器件 是否滿足傳片動作執(zhí)行條件，若是，則執(zhí)行所述傳片動作；否則，等待一定時間，直到相應(yīng)的受控器件滿足傳片動作執(zhí)行條件；
送片前檢查子模塊，用于在執(zhí)行送片動作前，檢測相應(yīng)的受控器件
是否滿足送片動作執(zhí)行條件，若是，則執(zhí)行所述送片動作；否則，等待 一定時間，直到相應(yīng)的受控器件滿足送片動作執(zhí)行條件。
本發(fā)明實(shí)施例還公開了 一種生產(chǎn)線設(shè)備的控制系統(tǒng)，所述生產(chǎn)線設(shè) 備包括多個受控器件，所述控制系統(tǒng)包括
工控機(jī)，用于控制生產(chǎn)線設(shè)備運(yùn)行；
通訊卡，位于工控機(jī)中，用于在工控機(jī)與生產(chǎn)線設(shè)備的受控器件之 間進(jìn)4亍通i凡；
控制裝置，位于工控機(jī)中，通過通訊卡和各個受控器件相連，所述 控制裝置包括
配置模塊，用于配置各功能控制模塊驅(qū)動受控器件所執(zhí)行的動作及 執(zhí)行序列；
調(diào)度模塊，包括讀取子模塊和線程維護(hù)子模塊，所述讀取子模塊用 于從配置模塊讀取所需功能控制模塊的執(zhí)行動作及執(zhí)行序列；所述線程 維護(hù)子模塊用于針對各個功能控制模塊維護(hù)相應(yīng)的線程；以及，
至少一個功能控制模塊，包括序列執(zhí)行子模塊，用于在相應(yīng)的線程 中驅(qū)動相應(yīng)的受控器件按照所述執(zhí)行動作及執(zhí)行序列運(yùn)行。
優(yōu)選的，所述調(diào)度模塊還包括退出控制子模塊，用于控制功能控 制模塊退出運(yùn)行狀態(tài)，并停止退出運(yùn)行狀態(tài)的功能控制模塊的線程。
優(yōu)選的，所述調(diào)度模塊還包括高效控制子模塊，用于在功能控制 模塊執(zhí)行某個動作、某幾個動作或整個動作序列的時間超過相應(yīng)的預(yù)設(shè) 時間閾值時，產(chǎn)生報警信息或提示信息。
優(yōu)選的，所述調(diào)度模塊還包括運(yùn)行狀態(tài)控制子模塊，用于在功能 控制模塊執(zhí)行某個動作、某幾個動作或整個動作序列出錯時，產(chǎn)生報警 信息或提示信息。
優(yōu)選的，所述生產(chǎn)線設(shè)備為等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備，所述控 制裝置包括以下功能控制模塊預(yù)熱腔功能控制模塊，其中的序列執(zhí)行子模塊，用于在相應(yīng)的線程
中驅(qū)動相應(yīng)的受控器件執(zhí)行傳片、加熱、抽真空、充大氣、送片的動 作組合成的序列；
反應(yīng)腔功能控制模塊，其中的序列執(zhí)行子模塊，用于在相應(yīng)的線程 中驅(qū)動相應(yīng)的受控器件執(zhí)行傳片、加熱、抽真空、工藝、吹掃、送片 的動作組合成的序列
冷卻腔功能控制模塊，其中的序列執(zhí)行子模塊，用于在相應(yīng)的線程 中驅(qū)動相應(yīng)的受控器件執(zhí)行傳片、冷卻、抽真空、充大氣、送片的動 作組合成的序列；
載板傳動功能控制模塊，其中的序列執(zhí)行子模塊，用于在相應(yīng)的線 程中驅(qū)動相應(yīng)的受控器件執(zhí)行載板裝載、載板卸載、載板回收的動作 組合成的序列。
優(yōu)選的，所述預(yù)熱腔功能控制模塊、反應(yīng)腔功能控制模塊或者冷卻 腔功能控制模塊還包括-.
傳片前檢查子模塊，用于在執(zhí)行傳片動作前，檢測相應(yīng)的受控器件 是否滿足傳片動作執(zhí)行條件，若是，則執(zhí)行所述傳片動作；否則，等待 一定時間，直到相應(yīng)的受控器件滿足傳片動作執(zhí)行條件；
送片前檢查子模塊，用于在執(zhí)行送片動作前，檢測相應(yīng)的受控器件 是否滿足送片動作執(zhí)行條件，若是，則執(zhí)行所述送片動作；否則，等待 一定時間，直到相應(yīng)的受控器件滿足送片動作執(zhí)行條件。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn)
本發(fā)明采用軟件控制方式代替現(xiàn)有控制系統(tǒng)的硬件控制方式，在現(xiàn) 有的工控機(jī)上部署控制軟件裝置，利用該裝置和通訊卡進(jìn)行信息傳輸通 訊控制，并通過通訊卡直接和生產(chǎn)線設(shè)備的各個受控器件相連。該控制 軟件裝置不僅降低了成本，還使得需求的變更及版本的控制跟蹤方便； 并能靈活配置驅(qū)動受控器件完成相應(yīng)功能的功能控制模塊，使各類功能 的實(shí)現(xiàn)可靈活配置，不僅增加了控制的靈活性，還增加了程序的易用性， 減少了開發(fā)和維護(hù)的難度；同時使得各功能模塊可以相互協(xié)作，解決了模塊間的交互問題，提高了生產(chǎn)線設(shè)備的運(yùn)行效率。
再者，本發(fā)明還可以在控制過程中監(jiān)控各模塊的協(xié)調(diào)工作狀態(tài)，并 通過報警提示獲知獨(dú)立模塊在系統(tǒng)中的協(xié)作能力。在出現(xiàn)報警提示后可 以得知模塊在哪個執(zhí)行環(huán)節(jié)出錯，以及在何時的運(yùn)行不夠高效等信息， 使技術(shù)人員可以有針對性地調(diào)節(jié)相關(guān)模塊的功能的處理參數(shù)和方法，從 而達(dá)到實(shí)現(xiàn)功能的基礎(chǔ)上系統(tǒng)的效率最高，克服系統(tǒng)瓶頸無法獲知、難 以調(diào)整的技術(shù)缺陷。


圖1是現(xiàn)有技術(shù)中常用的生產(chǎn)線設(shè)備控制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2是本發(fā)明的一種生產(chǎn)線設(shè)備的控制裝置實(shí)施例1的結(jié)構(gòu)圖； 圖3是一種In-line PECVD設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖4是應(yīng)用本發(fā)明控制裝置實(shí)施例1的一種In-line PECVD設(shè)備中調(diào) 度模塊工作過程示意圖5是本發(fā)明的一種生產(chǎn)線設(shè)備的控制裝置實(shí)施例2的結(jié)構(gòu)圖； 圖6是應(yīng)用本發(fā)明控制裝置實(shí)施例2的一種In-line PECVD設(shè)備中調(diào) 度模塊工作過程示意圖7是本發(fā)明實(shí)施例中預(yù)熱腔功能模塊的一種動作執(zhí)行過程的步驟 流程圖8示出了本發(fā)明的 一種生產(chǎn)線設(shè)備的控制系統(tǒng)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)圖。
具體實(shí)施例方式
為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合 附圖和具體實(shí)施方式
對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。
本發(fā)明可用于眾多通用或?qū)Ｓ玫挠嬎阆到y(tǒng)環(huán)境或配置中。例如個 人計算機(jī)、服務(wù)器計算機(jī)、手持設(shè)備或便攜式設(shè)備、平板型設(shè)備、多處 理器系統(tǒng)、基于微處理器的系統(tǒng)、置頂盒、可編程的消費(fèi)電子設(shè)備、網(wǎng) 絡(luò)PC、小型計算機(jī)、大型計算機(jī)、包括以上任何系統(tǒng)或設(shè)備的分布式計算環(huán)境等等。
本發(fā)明可以在由計算機(jī)執(zhí)行的計算機(jī)可執(zhí)行指令的 一般上下文中描 述，例如程序模塊。 一般地，程序模塊包括執(zhí)行特定任務(wù)或?qū)崿F(xiàn)特定抽 象數(shù)據(jù)類型的例程、程序、對象、組件、數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)等等。也可以在分布 式計算環(huán)境中實(shí)踐本發(fā)明，在這些分布式計算環(huán)境中，由通過通信網(wǎng)絡(luò) 而被連接的遠(yuǎn)程處理設(shè)備來執(zhí)行任務(wù)。在分布式計算環(huán)境中，程序模塊 可以位于包括存儲設(shè)備在內(nèi)的本地和遠(yuǎn)程計算機(jī)存儲介質(zhì)中。
本發(fā)明實(shí)施例的核心構(gòu)思之一在于將現(xiàn)有技術(shù)的硬件控制方式改 為軟件控制方式，即在工控機(jī)上部署控制裝置，利用該裝置和通訊卡進(jìn) 行信息傳輸通訊控制，并通過通訊卡直接和生產(chǎn)線設(shè)備的各個受控器件 相連。該控制裝置以較小成本簡單實(shí)現(xiàn)了PLC控制器的功能，并能靈活配 置驅(qū)動受控器件完成相應(yīng)功能的功能控制模塊，有效提高了控制的靈活 性。
參考圖2，示出了本發(fā)明的一種生產(chǎn)線設(shè)備的控制裝置實(shí)施例1的結(jié) 構(gòu)圖，所述生產(chǎn)線設(shè)備包括多個受控器件，所述控制裝置位于工控機(jī)中， 通過通訊卡和所述生產(chǎn)線設(shè)備的各個受控器件相連，所述控制裝置可以 包括以下模塊
配置模塊201，用于配置各功能控制模塊驅(qū)動受控器件所執(zhí)行的動作 及執(zhí)行序列；
調(diào)度模塊202,包括讀取子模塊2021和線程維護(hù)子模塊2022,所述 讀取子模塊2021用于從配置模塊讀取所需功能控制模塊的執(zhí)行動作及執(zhí) 行序列；所述線程維護(hù)子模塊2022用于針對各個功能控制模塊維護(hù)相應(yīng) 的線程；以及，
至少一個功能控制模塊203，包括序列執(zhí)行子模塊2031,用于在相 應(yīng)的線程中驅(qū)動相應(yīng)的受控器件按照所述執(zhí)行動作及執(zhí)行序列運(yùn)行。
為使本領(lǐng)域技術(shù)人員更好地理解本發(fā)明，以下以一種用于制備晶硅 太陽能電池的PEC VD設(shè)備為例來說明本發(fā)明實(shí)施例。目前制備晶硅太陽能電池多采用等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD ) 工藝。而在晶硅太陽能電池制造設(shè)備中，PECVD設(shè)備多采用在線型鍍膜 技術(shù)(In-line PECVD,在線鍍膜型等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備)。參考 圖3所示的In-line PECVD設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖，In-line PECVD設(shè)備一般 包括若干個真空密閉腔室，即圖中的預(yù)熱腔l、反應(yīng)腔2和冷卻腔3，打 開抽真空的閥門6，及真空密閉腔室的門閥Gl、 G2、 G3和G4的配合作 用，即可保持所述預(yù)熱腔l、反應(yīng)腔2和冷卻腔3中的真空狀態(tài)；該設(shè)備 還包括裝片臺7和卸片臺8、載板回收裝置9。這種In-line PECVD設(shè)備 的工作流程如xl—x9所示的載板搬運(yùn)方向，主要包括以下步驟
步驟S1、將硅片4放置于載板5上；
步驟S2、將載板5搬運(yùn)(通過輥輪或機(jī)械手等自動裝置)到預(yù)熱腔l 中，在預(yù)熱腔1進(jìn)行載板5的預(yù)熱處理流程，加熱載板5和硅片4;將載板5 搬運(yùn)到工藝腔2中，進(jìn)行沉積工藝。反應(yīng)完成后將載板5搬運(yùn)到冷卻腔3中 進(jìn)行冷卻處理，然后將載板5搬運(yùn)到卸片臺8上，將加工完成的硅片4取走；
步驟S3、載板5通過自動搬運(yùn)裝置9返回裝片臺7。
由于在生產(chǎn)線設(shè)備中，完成某項(xiàng)功能涉及多個受控器件的參與，各 個受控器件也可能參與到多項(xiàng)功能實(shí)現(xiàn)中，當(dāng)多個功能的實(shí)現(xiàn)涉及相關(guān) 受控器件的交互時，例如，對于預(yù)熱腔、反應(yīng)腔和冷卻腔而言，存在真 空壓力平衡、傳送裝置同步、各受控器件間門開關(guān)的交互問題，這種交 互處理將極大的影響生產(chǎn)線設(shè)備的運(yùn)行效率。
針對這個問題，本發(fā)明采用配置模塊配置各功能控制模塊所執(zhí)行的 動作及執(zhí)行序列，使各受控器件相互協(xié)作，從而提高生產(chǎn)線設(shè)備的運(yùn)行 效率。如配置模塊配置各功能控制模塊所執(zhí)行的動作及執(zhí)行序列的 一種 示例為
配置預(yù)熱腔功能控制模塊執(zhí)行Fll傳片、F12加熱、F13抽真空、F14 充大氣、F15送片的動作序列；
配置反應(yīng)腔功能控制模塊執(zhí)行F21傳片、F22加熱、F23抽真空、F24 工藝、F25吹掃、F26送片的動作序列配置冷卻腔功能控制模塊執(zhí)行F31傳片、F32冷卻、F33抽真空、F34 充大氣、F35送片的動作序列；
配置載板傳動功能控制模塊執(zhí)行F41載板裝載、F42載板卸載、F43 載板回收的動作序列。
在具體實(shí)現(xiàn)中，可以根據(jù)實(shí)際需求任意配置功能控制模塊不同的執(zhí) 行動作及執(zhí)行序列，例如，在上述預(yù)熱腔功能控制模塊、反應(yīng)腔功能控 制模塊及冷卻腔功能控制模塊的動作序列中添加送片后的傳片動作；或 者，改變反應(yīng)腔功能控制模塊中F24工藝和F25吹掃動作的先后順序等、 本發(fā)明對此無需加以限制。本發(fā)明正是通過這種功能控制模塊的可配置 性設(shè)計，從而方便功能的增刪及控制次序的調(diào)整，有效提高了控制的靈 活性和有效性。
在完成配置后啟動調(diào)度模塊，其讀取子模塊會根據(jù)制造需求、工藝 需求或測試需求等從配置模塊讀取當(dāng)前所需的功能控制模塊，及所需的 執(zhí)行動作及執(zhí)行序列；然后通過線程維護(hù)子模塊針對該功能控制模塊維 護(hù)相應(yīng)的線程。如圖4所示的In-line PECVD設(shè)備中調(diào)度模塊工作過程示意 圖，具體可以包括以下步驟
步驟401、啟動調(diào)度模塊；
步驟402、從配置模塊讀取所需功能控制模塊的執(zhí)行動作及執(zhí)行序
列；
假設(shè)在本例中讀取上述預(yù)熱腔功能控制模塊、反應(yīng)腔功能控制模塊、 冷卻腔功能控制模塊、載板傳動功能控制模塊的執(zhí)行動作及執(zhí)行序列； 下一步則可以針對各功能控制模塊分別啟動及維護(hù)相應(yīng)的線程，具體為
步驟403a、維護(hù)預(yù)熱腔功能控制模塊的線程T1;
步驟403b、維護(hù)反應(yīng)腔功能控制模塊的線程T2;
步驟403c、維護(hù)冷卻腔功能控制模塊的線程T3;
步驟403d、維護(hù)載板傳動功能控制模塊的線程T4。
在實(shí)際中，本領(lǐng)域技術(shù)人員采用任一種線程維護(hù)方式都是可行的， 例如，進(jìn)一步配置線程的優(yōu)先級，建立線程組等，本發(fā)明對此無需加以限制。
在這種情況下，各功能控制模塊的序列執(zhí)行子模塊即可在相應(yīng)的線 程中驅(qū)動相應(yīng)的受控器件按照所述執(zhí)行動作及執(zhí)行序列運(yùn)行。例如，預(yù)
熱腔功能控制模塊的序列執(zhí)行子模塊，在線程T1中驅(qū)動相應(yīng)的受控器件 執(zhí)行傳片、加熱、抽真空、充大氣、送片的動作序列；反應(yīng)腔功能控 制模塊的序列執(zhí)行子模塊，在線程T2中驅(qū)動相應(yīng)的受控器件執(zhí)行傳片、 加熱、抽真空、工藝、吹掃、送片的動作序列冷卻腔功能控制模塊的 序列執(zhí)行子模塊，在線程T3中驅(qū)動相應(yīng)的受控器件執(zhí)行傳片、冷卻、 抽真空、充大氣、送片的動作序列；載板傳動功能控制模塊的序列執(zhí)行 子模塊，在線程T4中驅(qū)動相應(yīng)的受控器件執(zhí)行載板裝載、載板卸載、 載板回收的動作序列。
從功能控制模塊控制底層的結(jié)構(gòu)來看，在本發(fā)明實(shí)施例中，每一個 功能控制模塊均可設(shè)置驅(qū)動層、物理層和功能層；其中，驅(qū)動層用于與 通訊卡進(jìn)行信息傳輸通訊，實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)線設(shè)備中相應(yīng)受控器件的功能驅(qū)動； 物理層用于按功能對驅(qū)動層進(jìn)行封裝，即按功能集成受控器件；功能層 用于實(shí)現(xiàn)功能的邏輯控制，完成規(guī)定的動作序列。
參考圖5，示出了本發(fā)明的一種生產(chǎn)線設(shè)備的控制裝置實(shí)施例2的結(jié) 構(gòu)圖，所述生產(chǎn)線設(shè)備包括多個受控器件，所述控制裝置位于工控機(jī)中， 通過通訊卡和所述生產(chǎn)線設(shè)備的各個受控器件相連，所述控制裝置可以 包括以下模塊
配置模塊501，用于配置各功能控制模塊驅(qū)動受控器件所執(zhí)行的動作 及執(zhí)行序列；
調(diào)度模塊502，包括以下子模塊
讀取子模塊5021,用于從配置模塊讀取所需功能控制模塊的執(zhí)行動 作及執(zhí)行序列；
線程維護(hù)子模塊5022,用于針對各個功能控制模塊維護(hù)相應(yīng)的線程； 以及，退出控制子模塊5023,用于在功能控制模塊退出運(yùn)行狀態(tài)時，停止 所述功能控制模塊的線程；
高效控制子模塊5024，用于在功能控制模塊執(zhí)行某個動作、某幾個 動作或整個動作序列的時間超過相應(yīng)的預(yù)設(shè)時間閾值時，產(chǎn)生報警信息 或提示信息；
運(yùn)行狀態(tài)控制子模塊5025,用于在功能控制模塊執(zhí)行某個動作、某 幾個動作或整個動作序列出錯時，產(chǎn)生報警信息或提示信息；
該控制模塊還包括至少一個功能控制模塊503,包括序列執(zhí)行子模塊 5031,用于在相應(yīng)的線程中驅(qū)動相應(yīng)的受控器件按照所述執(zhí)行動作及執(zhí) 行序列運(yùn)4亍。
本實(shí)施例與圖2所示實(shí)施例的區(qū)別在于，本實(shí)施例進(jìn)一步增加了 控制功能控制模塊退出運(yùn)行狀態(tài)并停止相應(yīng)線程的退出控制子模塊；監(jiān) 控生產(chǎn)線設(shè)備運(yùn)行是否高效的高效控制子模塊及監(jiān)控生產(chǎn)線設(shè)備運(yùn)行是 否正常的運(yùn)行狀態(tài)控制子模塊，用以在控制過程中監(jiān)控各模塊的協(xié)調(diào)工 作狀態(tài)，并通過報警提示獲知獨(dú)立模塊在系統(tǒng)中的協(xié)作能力。在出現(xiàn)報 警提示后可以得知模塊在哪個執(zhí)行環(huán)節(jié)出錯，以及在何時的運(yùn)行不夠高 效等信息，使技術(shù)人員可以有針對性地調(diào)節(jié)相關(guān)模塊的功能的處理參數(shù) 和方法，從而達(dá)到實(shí)現(xiàn)功能的基礎(chǔ)上系統(tǒng)的效率最高，克服系統(tǒng)瓶頸無 法獲知、難以調(diào)整的技術(shù)缺陷，進(jìn)一步保證生產(chǎn)線設(shè)備的高效運(yùn)行。
需要說明的是，在本發(fā)明實(shí)施例中，所述退出控制子模塊、高效控 制子模塊和運(yùn)行狀態(tài)控制子模塊可以根據(jù)實(shí)際情況任意選用，如單選其
一，或兩兩組合均是可行的，本實(shí)施例旨在說明一種較為優(yōu)選的情況。 參考圖6所示的In-linePECVD設(shè)備中調(diào)度模塊工作過程示意圖，具體
可以包括以下步驟
步驟601、啟動調(diào)度模塊；
步驟602、從配置模塊讀取所需功能控制模塊的執(zhí)行動作及執(zhí)行序
列；
假設(shè)在本例中讀取上述預(yù)熱腔功能控制模塊、反應(yīng)腔功能控制模塊、冷卻腔功能控制模塊、載板傳動功能控制模塊的執(zhí)行動作及執(zhí)行序列；
下一步則可以針對各功能控制模塊分別啟動及維護(hù)相應(yīng)的線程，具體為
步驟603a、維護(hù)預(yù)熱腔功能控制模塊的線程T1;
步驟603b、維護(hù)反應(yīng)腔功能控制模塊的線程T2;
步驟603c、維護(hù)冷卻腔功能控制模塊的線程T3;
步驟603d、維護(hù)載板傳動功能控制模塊的線程T4。
在這種情況下，各功能控制模塊的序列執(zhí)行子模塊即可在相應(yīng)的線 程中驅(qū)動相應(yīng)的受控器件按照所述執(zhí)行動作及執(zhí)行序列運(yùn)行。例如，所 述預(yù)熱腔功能控制模塊的序列執(zhí)行子模塊，即可在線程T1中驅(qū)動相應(yīng)的 受控器件執(zhí)行傳片、加熱、抽真空、充大氣、送片的動作組合成的序 列；所述反應(yīng)腔功能控制模塊的序列執(zhí)行子模塊，即可在線程T2中驅(qū)動 相應(yīng)的受控器件執(zhí)行傳片、加熱、抽真空、工藝、吹掃、送片的動作 組合成的序列所述冷卻腔功能控制模塊的序列執(zhí)行子模塊，即可在線 程T3中驅(qū)動相應(yīng)的受控器件執(zhí)行傳片、冷卻、抽真空、充大氣、送片 的動作組合成的序列；所述載板傳動功能控制模塊的序列執(zhí)行子模塊， 即可在線程T4中驅(qū)動相應(yīng)的受控器件執(zhí)行載板裝載、載板卸載、載板 回收的動作組合成的序列。
步驟604、判斷各功能控制模塊的運(yùn)行狀態(tài)是否正常，即在功能控制 模塊執(zhí)行某個動作、某幾個動作或整個動作序列是否出錯，若是，則執(zhí) 行步驟609;否則執(zhí)行下一步；
步驟605、判斷各功能控制模塊的運(yùn)行是否高效，即在功能控制模塊 執(zhí)行某個動作、某幾個動作或整個動作序列的時間是否超過預(yù)設(shè)時間闊 值，若是，則執(zhí)行步驟609;否則執(zhí)行下一步；
所述時間閾值可以由配置模塊進(jìn)行配置。
步驟606、判斷是否要控制功能控制模塊退出運(yùn)行狀態(tài)，若是，則執(zhí) 行步驟607;否則，返回步驟604;
在實(shí)際中，可以控制某一個、某幾個或全部功能控制模塊退出運(yùn)行 狀態(tài)，在本例中假設(shè)為控制全部功能控制模塊退出運(yùn)動狀態(tài)。另外，在返回步驟604時，還可以才艮據(jù)具體情況設(shè)置一定的延時，如10ms。
步驟607、分別針對所述預(yù)熱腔功能控制模塊、反應(yīng)腔功能控制模塊、
冷卻腔功能控制模塊和載板傳動功能控制模塊設(shè)置退出狀態(tài)參數(shù)
mExit=l，表示當(dāng)前功能控制模塊退出運(yùn)行；并執(zhí)行步驟608;
步驟608、停止線程T1、 T2、 T3和T4;在這種情況下，整個調(diào)度模塊停止。
步驟609、進(jìn)行報警處理，產(chǎn)生報警信息或提示信息。
作為本發(fā)明的一種優(yōu)選實(shí)施例，所述預(yù)熱腔功能控制模塊、反應(yīng)腔 功能控制模塊或者冷卻腔功能控制模塊還可以包括以下子模塊
傳片前檢查子模塊，用于在執(zhí)行傳片動作前，檢測相應(yīng)的受控器件 是否滿足傳片動作執(zhí)行條件，若是，則執(zhí)行所述傳片動作；否則，等待 一定時間，直到相應(yīng)的受控器件滿足傳片動作執(zhí)行條件；
送片前檢查子模塊，用于在執(zhí)行送片動作前，檢測相應(yīng)的受控器件 是否滿足送片動作執(zhí)行條件，若是，則執(zhí)行所述送片動作；否則，等待 一定時間，直到相應(yīng)的受控器件滿足送片動作執(zhí)行條件。
以下結(jié)合圖7所示的預(yù)熱腔功能模塊的動作執(zhí)行過程對本發(fā)明實(shí)施 例進(jìn)一步說明。假設(shè)調(diào)度模塊所讀取的動作執(zhí)行序列為Fll傳片、F12 加熱、F13抽真空、F14送片、F15充大氣，控制該預(yù)熱腔功能控制模塊執(zhí) 行的過程為
步驟701、啟動預(yù)熱腔功能控制模塊；
步驟702、預(yù)置所述預(yù)熱腔功能控制模塊的高效標(biāo)識位為高效狀態(tài)， 即iTranfe產(chǎn)l;
步驟703、讀取所述預(yù)熱腔功能控制模塊的退出狀態(tài)參數(shù)，判斷當(dāng)前 模塊是否退出運(yùn)行，若是，則執(zhí)行步驟704退出運(yùn)行；否則執(zhí)行下一步；
步驟705、檢測相應(yīng)的受控器件是否滿足傳片動作執(zhí)行條件，若是， 則直接執(zhí)行步驟710;否則；執(zhí)行步驟706;
步驟706、等待一定時間，如10ms;步驟707、判斷等待是否超過用于評價模塊是否高效運(yùn)行的時間閾 值，如60ms;若是，則執(zhí)行步驟708將高效標(biāo)識位更改為非高效狀態(tài)，即 iTranfer=0;否則^l行步驟709將高效標(biāo)識位維護(hù)在高效狀態(tài)，即 iTranfer=l，并執(zhí)行下一步；
步驟710、執(zhí)行F11傳片、F12加熱、F13抽真空的動作序列； 由于序列是下一個動作是送片，因而在下一步啟動送片前的檢查。 步驟711、檢測相應(yīng)的受控器件是否滿足送片動作執(zhí)行條件，若是， 則直接執(zhí)行步驟716;否則執(zhí)行步驟712; 步驟712、等待一定時間，如10ms;
步驟713、判斷等待是否超過用于評價模塊是否高效運(yùn)行的時間閾 值，如60ms;若是，則執(zhí)行步驟714將高效標(biāo)識位更改為非高效狀態(tài)，即 iTranfer=0 ;否則執(zhí)行步驟715將高效標(biāo)識位維護(hù)在高效狀態(tài)，即 iTranfer=l,并執(zhí)行下一步；
步驟716、繼續(xù)執(zhí)行F14送片、F15充大氣的動作序列；
步驟717、校驗(yàn)F11傳片、F12加熱、F13抽真空、F14送片、F15充大 氣的動作執(zhí)行是否正常，若是則返回步驟703;否則執(zhí)行步驟718,設(shè)置 運(yùn)行狀態(tài)參數(shù)為不正常狀態(tài)，并等待報警子模塊進(jìn)行報警處理。
綜上，本發(fā)明采用軟件控制方式代替現(xiàn)有控制系統(tǒng)中必須采用PLC 控制器來進(jìn)行的硬件控制方式，不僅降低了成本，還使得需求的變更及 版本的控制跟蹤方便；并且，對于各類功能的實(shí)現(xiàn)可靈活配置，不僅使 控制的靈活性增強(qiáng)，還增加了程序的易用性，減少了開發(fā)和維護(hù)的難度； 并可以在調(diào)度過程中監(jiān)控模塊的協(xié)調(diào)工作狀態(tài)，通過報警獲知獨(dú)立模塊 在系統(tǒng)中的協(xié)作能力。當(dāng)獲得模塊的缺陷時，可通過參數(shù)進(jìn)行系統(tǒng)的調(diào) 優(yōu)，達(dá)到實(shí)現(xiàn)功能的基礎(chǔ)上系統(tǒng)的效率最高，克服系統(tǒng)瓶頸無法獲知、 難以調(diào)整的技術(shù)缺陷。
需要說明的是，對于前述的各步驟流程，為了簡單描述，故將其都 表述為一系列的動作組合，但是本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該知悉，本發(fā)明并不 受所描述的動作順序的限制，因?yàn)橐罁?jù)本發(fā)明，某些步驟可以采用其他順序或者同時進(jìn)行。其次，本領(lǐng)域技術(shù)人員也應(yīng)該知悉，說明書中所描 述的實(shí)施例均屬于優(yōu)選實(shí)施例，所涉及的動作和模塊并不一定是本發(fā)明 所必須的。
參考圖8，示出了本發(fā)明的一種生產(chǎn)線設(shè)備的控制系統(tǒng)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)
圖，所述生產(chǎn)線設(shè)備包括多個受控器件84,所述控制系統(tǒng)可以包括 工控機(jī)81，用于控制生產(chǎn)線設(shè)備運(yùn)行；
通訊卡82,位于工控機(jī)中，用于在工控機(jī)與生產(chǎn)線設(shè)備的受控器件 之間進(jìn)行通訊；
控制裝置83,位于工控機(jī)中，通過通訊卡和各個受控器件相連，所 述控制裝置包括
配置模塊831,用于配置各功能控制模塊驅(qū)動受控器件所執(zhí)行的動作 及執(zhí)行序列；
調(diào)度模塊832，包括讀取子模塊8321和線程維護(hù)子模塊8322,所述 讀取子模塊用于從配置模塊讀取所需功能控制模塊的執(zhí)行動作及執(zhí)行序
列；所述線程維護(hù)子模塊用于針對各個功能控制模塊維護(hù)相應(yīng)的線程； 以及，
至少一個功能控制模塊833，包括序列執(zhí)行子模塊8331,用于在相 應(yīng)的線程中驅(qū)動相應(yīng)的受控器件按照所述執(zhí)行動作及執(zhí)行序列運(yùn)行。
作為另一實(shí)施例，所述調(diào)度模塊832還可以包括以下子模塊
退出控制子模塊8323，用于控制功能控制模塊退出運(yùn)行狀態(tài)，并停 止退出運(yùn)行狀態(tài)的功能控制模塊的線程。
和/或，高效控制子模塊8324，用于在功能控制模塊執(zhí)行某個動作、 某幾個動作或整個動作序列的時間超過預(yù)設(shè)時間閾值時，產(chǎn)生報警信息 或提示信息。
和/或，運(yùn)行狀態(tài)控制子模塊8325,用于在功能控制模塊執(zhí)行某個動 作、某幾個動作或整個動作序列出錯時，產(chǎn)生報警信息或提示信息。
作為 一種示例，當(dāng)所述生產(chǎn)線設(shè)備為等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備(PECVD)時，所述控制裝置可以包括以下功能控制模塊
預(yù)熱腔功能控制模塊，其中的序列執(zhí)行子模塊，用于在相應(yīng)的線程 中驅(qū)動相應(yīng)的受控器件執(zhí)行傳片、加熱、抽真空、充大氣、送片的動 作組合成的序列；
反應(yīng)腔功能控制模塊，其中的序列執(zhí)行子模塊，用于在相應(yīng)的線程 中驅(qū)動相應(yīng)的受控器件執(zhí)行傳片、加熱、抽真空、工藝、吹掃、送片 的動作組合成的序列
冷卻腔功能控制模塊，其中的序列執(zhí)行子模塊，用于在相應(yīng)的線程 中驅(qū)動相應(yīng)的受控器件執(zhí)行傳片、冷卻、抽真空、充大氣、送片的動 作組合成的序列；
載板傳動功能控制模塊，其中的序列執(zhí)行子模塊，用于在相應(yīng)的線 程中驅(qū)動相應(yīng)的受控器件執(zhí)行載板裝載、載板卸載、載板回收的動作 組合成的序列。
優(yōu)選的是，所述預(yù)熱腔功能控制模塊、反應(yīng)腔功能控制模塊或者冷 卻腔功能控制模塊還可以包括
傳片前檢查子模塊，用于在執(zhí)行傳片動作前，檢測相應(yīng)的受控器件 是否滿足傳片動作執(zhí)行條件，若是，則執(zhí)行所述傳片動作；否則，等待 一定時間，直到相應(yīng)的受控器件滿足傳片動作執(zhí)行條件；
送片前檢查子模塊，用于在執(zhí)行送片動作前，檢測相應(yīng)的受控器件 是否滿足送片動作執(zhí)行條件，若是，則執(zhí)行所述送片動作；否則，等待 一定時間，直到相應(yīng)的受控器件滿足送片動作執(zhí)行條件。
需要說明的是，本發(fā)明的工控機(jī)可以為任一種生產(chǎn)線設(shè)備的主控計 算機(jī)，通訊卡可以采用任一種實(shí)現(xiàn)主控計算機(jī)與受控器件信息交互的通 訊器件，本發(fā)明對此不作限制。
本說明書中的各個實(shí)施例均采用遞進(jìn)的方式描述，每個實(shí)施例重點(diǎn) 說明的都是與其他實(shí)施例的不同之處，各個實(shí)施例之間相同相似的部分 互相參見即可。
以上對本發(fā)明所提供的一種生產(chǎn)線設(shè)備的控制裝置及應(yīng)用這種控制裝置的生產(chǎn)線設(shè)備控制系統(tǒng)進(jìn)行了詳細(xì)介紹，本文中應(yīng)用了具體個例對 本發(fā)明的原理及實(shí)施方式進(jìn)行了闡述，以上實(shí)施例的說明只是用于幫助
理解本發(fā)明的方法及其核心思想；同時，對于本領(lǐng)域的一般技術(shù)人員，
依據(jù)本發(fā)明的思想，在具體實(shí)施方式
及應(yīng)用范圍上均會有改變之處，綜 上所述，本說明書內(nèi)容不應(yīng)理解為對本發(fā)明的限制。
權(quán)利要求
1、一種生產(chǎn)線設(shè)備的控制裝置，所述生產(chǎn)線設(shè)備包括多個受控器件，其特征在于，所述控制裝置位于工控機(jī)中，通過通訊卡和各個受控器件相連，所述控制裝置包括配置模塊，用于配置各功能控制模塊驅(qū)動受控器件所執(zhí)行的動作及執(zhí)行序列；調(diào)度模塊，包括讀取子模塊和線程維護(hù)子模塊，所述讀取子模塊用于從配置模塊讀取所需功能控制模塊的執(zhí)行動作及執(zhí)行序列；所述線程維護(hù)子模塊用于針對各個功能控制模塊維護(hù)相應(yīng)的線程；至少一個功能控制模塊，包括序列執(zhí)行子模塊，用于在相應(yīng)的線程中驅(qū)動相應(yīng)的受控器件按照所述執(zhí)行動作及執(zhí)行序列運(yùn)行。
2、 如權(quán)利要求l所述的裝置，其特征在于，所述調(diào)度模塊還包括 退出控制子模塊，用于控制功能控制模塊退出運(yùn)行狀態(tài)，并停止退出運(yùn) 行狀態(tài)的功能控制模塊的線程。
3、 如權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于，所述調(diào)度模塊還包括高效控制子模塊，用于在功能控制模塊執(zhí)行某個動作、某幾個動作或整個動作序列的時間超過相應(yīng)的預(yù)設(shè)時間閾值時，產(chǎn)生報警信息或提示信 臺
4、 如權(quán)利要求3所述的裝置，其特征在于，所述調(diào)度模塊還包括 運(yùn)行狀態(tài)控制子模塊，用于在功能控制模塊執(zhí)行某個動作、某幾個動作 或整個動作序列出錯時，產(chǎn)生報警信息或提示信息。
5、 如權(quán)利要求l、 2、 3或4所述的裝置，其特征在于，所述生產(chǎn)線 設(shè)備為等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備，所述裝置包括以下功能控制模塊預(yù)熱腔功能控制模塊，其中的序列執(zhí)行子模塊，用于在相應(yīng)的線程 中驅(qū)動相應(yīng)的受控器件執(zhí)行傳片、加熱、抽真空、充大氣、送片的動 作組合成的序列；反應(yīng)腔功能控制模塊，其中的序列執(zhí)行子模塊，用于在相應(yīng)的線程 中驅(qū)動相應(yīng)的受控器件執(zhí)行傳片、加熱、抽真空、工藝、吹掃、送片的動作組合成的序列冷卻腔功能控制模塊，其中的序列執(zhí)行子模塊，用于在相應(yīng)的線程 中驅(qū)動相應(yīng)的受控器件執(zhí)行傳片、冷卻、抽真空、充大氣、送片的動 作組合成的序列；載板傳動功能控制模塊，其中的序列執(zhí)行子模塊，用于在相應(yīng)的線 程中驅(qū)動相應(yīng)的受控器件執(zhí)行載板裝載、載板卸載、載板回收的動作 組合成的序列。
6、 如權(quán)利要求5所述的裝置，其特征在于，所述預(yù)熱腔功能控制模 塊、反應(yīng)腔功能控制模塊或者冷卻腔功能控制模塊還包括傳片前檢查子模塊，用于在執(zhí)行傳片動作前，檢測相應(yīng)的受控器件 是否滿足傳片動作執(zhí)行條件，若是，則執(zhí)行所述傳片動作；否則，等待 一定時間，直到相應(yīng)的受控器件滿足傳片動作執(zhí)行條件；送片前檢查子模塊，用于在執(zhí)行送片動作前，檢測相應(yīng)的受控器件 是否滿足送片動作執(zhí)行條件，若是，則執(zhí)行所述送片動作；否則，等待 一定時間，直到相應(yīng)的受控器件滿足送片動作執(zhí)行條件。
7、 一種生產(chǎn)線設(shè)備的控制系統(tǒng)，所述生產(chǎn)線設(shè)備包括多個受控器件， 其特征在于，所述控制系統(tǒng)包括工控機(jī)，用于控制生產(chǎn)線設(shè)備運(yùn)行；通訊卡，位于工控機(jī)中，用于在工控機(jī)與生產(chǎn)線設(shè)備的受控器件之 間進(jìn)行通訊；控制裝置，位于工控機(jī)中，通過通訊卡和各個受控器件相連，所述 控制裝置包括配置模塊,用于配置各功能控制模塊驅(qū)動受控器件所執(zhí)行的動作及 執(zhí)行序列；調(diào)度模塊，包括讀取子模塊和線程維護(hù)子模塊，所述讀取子模塊用 于從配置模塊讀取所需功能控制模塊的執(zhí)行動作及執(zhí)行序列；所述線程 維護(hù)子模塊用于針對各個功能控制模塊維護(hù)相應(yīng)的線程；以及，至少一個功能控制模塊，包括序列執(zhí)行子模塊，用于在相應(yīng)的線程中驅(qū)動相應(yīng)的受控器件按照所述執(zhí)行動作及執(zhí)行序列運(yùn)行。
8、 如權(quán)利要求7所述的裝置，其特征在于，所述調(diào)度模塊還包括 退出控制子模塊，用于控制功能控制模塊退出運(yùn)行狀態(tài)，并停止退出運(yùn) 行狀態(tài)的功能控制模塊的線程。
9、 如權(quán)利要求8所述的裝置，其特征在于，所述調(diào)度模塊還包括高效控制子模塊，用于在功能控制模塊執(zhí)行某個動作、某幾個動作或整個動作序列的時間超過相應(yīng)的預(yù)設(shè)時間閾值時，產(chǎn)生報警信息或提示信 自
10、 如權(quán)利要求9所述的裝置，其特征在于，所述調(diào)度模塊還包括 運(yùn)行狀態(tài)控制子模塊，用于在功能控制模塊執(zhí)行某個動作、某幾個動作 或整個動作序列出錯時，產(chǎn)生報警信息或提示信息。
11、 如權(quán)利要求7、 8、 9或10所述的裝置，其特征在于，所述生產(chǎn) 線設(shè)備為等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備，所述控制裝置包括以下功能控 制模塊預(yù)熱腔功能控制模塊，其中的序列執(zhí)行子模塊，用于在相應(yīng)的線程 中驅(qū)動相應(yīng)的受控器件執(zhí)行傳片、加熱、抽真空、充大氣、送片的動 作組合成的序列；反應(yīng)腔功能控制模塊，其中的序列執(zhí)行子模塊，用于在相應(yīng)的線程 中驅(qū)動相應(yīng)的受控器件執(zhí)行傳片、加熱、抽真空、工藝、吹掃、送片 的動作組合成的序列冷卻腔功能控制模塊，其中的序列執(zhí)行子模塊，用于在相應(yīng)的線程 中驅(qū)動相應(yīng)的受控器件執(zhí)行傳片、冷卻、抽真空、充大氣、送片的動 作組合成的序列；載板傳動功能控制模塊，其中的序列執(zhí)行子模塊，用于在相應(yīng)的線 程中驅(qū)動相應(yīng)的受控器件執(zhí)行載板裝載、載板卸載、載板回收的動作 組合成的序列。
12、 如權(quán)利要求11所迷的裝置，其特征在于，所述預(yù)熱腔功能控制 模塊、反應(yīng)腔功能控制模塊或者冷卻腔功能控制模塊還包括傳片前檢查子模塊，用于在執(zhí)行傳片動作前，檢測相應(yīng)的受控器件是否滿足傳片動作執(zhí)行條件，若是，則執(zhí)行所述傳片動作；否則，等待 一定時間，直到相應(yīng)的受控器件滿足傳片動作執(zhí)行條件；送片前檢查子模塊，用于在執(zhí)行送片動作前，檢測相應(yīng)的受控器件 是否滿足送片動作執(zhí)行條件，若是，則執(zhí)行所述送片動作；否則，等待 一定時間，直到相應(yīng)的受控器件滿足送片動作執(zhí)行條件。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種生產(chǎn)線設(shè)備的控制裝置，所述生產(chǎn)線設(shè)備包括多個受控器件，所述控制裝置位于工控機(jī)中，通過通訊卡和各個受控器件相連，所述控制裝置包括配置模塊，用于配置各功能控制模塊驅(qū)動受控器件所執(zhí)行的動作及執(zhí)行序列；調(diào)度模塊，包括讀取子模塊和線程維護(hù)子模塊，所述讀取子模塊用于從配置模塊讀取所需功能控制模塊的執(zhí)行動作及執(zhí)行序列；所述線程維護(hù)子模塊用于針對各個功能控制模塊維護(hù)相應(yīng)的線程；至少一個功能控制模塊，包括序列執(zhí)行子模塊，用于在相應(yīng)的線程中驅(qū)動相應(yīng)的受控器件按照所述執(zhí)行動作及執(zhí)行序列運(yùn)行。本發(fā)明可以在降低成本的基礎(chǔ)上，減小開發(fā)和維護(hù)難度，提高模塊控制的靈活性，保證生產(chǎn)線設(shè)備的高效運(yùn)行。
文檔編號G05B19/418GK101424945SQ20081024009
公開日2009年5月6日 申請日期2008年12月18日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月18日
發(fā)明者付金生 申請人:北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司