專利名稱：用于真空處理系統(tǒng)的壓力控制的制作方法
用于真空處理系統(tǒng)的壓力控制用于處理工具(例如半導(dǎo)體處理工具)的壓力控制器通常執(zhí)行在 工具的一個(gè)或多個(gè)真空室中的壓力控制，以響應(yīng)于實(shí)際的壓力的測(cè)量結(jié)果。 目前，模擬通信鏈路被用作在這些壓力控制器與壓力傳感器之間進(jìn)行壓力 信號(hào)通信，其中該壓力傳感器實(shí)際上執(zhí)行壓力測(cè)量。在模擬通信鏈路被用作傳輸壓力信號(hào)時(shí)，在模擬信號(hào)的接收端處 需要濾波。這減少了系統(tǒng)的帶寬，其繼而會(huì)限制壓力控制的性能，特別地 在具有快速時(shí)間常數(shù)的真空系統(tǒng)中。在壓力控制系統(tǒng)中的壓力傳感器與壓 力控制器之間交換模擬信號(hào)時(shí)，由于非理想接地導(dǎo)致的噪聲也會(huì)是一個(gè)問 題。需要一種能夠避免這些負(fù)面效應(yīng)的壓力控制系統(tǒng)和方法。


圖1說明了根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的一種壓力控制系統(tǒng)，其通 過使用數(shù)字網(wǎng)絡(luò)在壓力傳感器與壓力控制器之間進(jìn)行壓力信號(hào)通信，來控 制真空處理室中的壓力；圖2說明了根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例的一種壓力控制系統(tǒng)，其 通過使用數(shù)字網(wǎng)絡(luò)在一對(duì)壓力傳感器與壓力控制器之間進(jìn)行壓力信號(hào)通 信，來控制真空處理室中的壓力。
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具體實(shí)施例方式公開了一種用于真空壓力控制的系統(tǒng)和方法，其中在測(cè)量壓力的 壓力傳感器與將所述壓力控制到所期望的設(shè)定點(diǎn)以響應(yīng)于這些壓力測(cè)量結(jié) 果的壓力控制器之間提供了數(shù)據(jù)通信鏈路。通過使用數(shù)據(jù)通信鏈路以在所 述壓力傳感器與所述壓力控制器之間進(jìn)行壓力信號(hào)通信，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)于地 噪聲的免疫，該地噪聲通常出現(xiàn)在系統(tǒng)，例如半導(dǎo)體處理工具中，并且它 將負(fù)面地影響壓力控制。此外，可以提高用于壓力測(cè)量和控制的有效的動(dòng) 態(tài)范圍。圖1說明了根據(jù)本公開的一個(gè)實(shí)施例的壓力控制系統(tǒng)100，其通 過使用數(shù)字通信網(wǎng)絡(luò)150以在壓力傳感器130與壓力控制器140之間進(jìn)行 壓力信號(hào)通信，來控制在工具120中的壓力。工具120可以是半導(dǎo)體處理 工具(作為示例)，但是其他類型處理工具也可以在本公開的范圍內(nèi)。數(shù)字通信網(wǎng)絡(luò)150可以是雙向(或兩路)網(wǎng)絡(luò)，其實(shí)現(xiàn)在壓力傳 感器130與壓力控制器140之間的有關(guān)壓力的信號(hào)和消息的雙路通信?；?者，通信網(wǎng)絡(luò)150可以是單路網(wǎng)絡(luò)，其中有關(guān)壓力的通信會(huì)僅沿著一個(gè)方
向發(fā)生，而保留沿著另一方向上的傳輸以唯一地用于內(nèi)務(wù)處理功能，例如 調(diào)零和錯(cuò)誤狀態(tài)。壓力傳感器130測(cè)量在工具120的一個(gè)或多個(gè)真空室內(nèi)的壓力。 在本公開的一個(gè)實(shí)施例中，壓力傳感器130可以是基于電容的壓力換能器， 但是其他類型的壓力傳感器也在本公開的范圍內(nèi)。例如，壓力傳感器130 可以是MKS儀器公司制造的壓力計(jì)。壓力控制器140從壓力傳感器130經(jīng)過數(shù)字通信網(wǎng)絡(luò)150來接收信號(hào)，該信號(hào)包括由壓力傳感器130所測(cè)量的壓力測(cè)量結(jié)果。壓力控制器
140還從工具120接收通常在工具120之內(nèi)的工具控制器(未示出)所發(fā)送
的所期望的壓力設(shè)定點(diǎn)。響應(yīng)于所接收到的壓力測(cè)量結(jié)果信號(hào)和壓力設(shè)定
點(diǎn)，壓力控制器140控制工具120的真空室中的壓力以將壓力維持在從工 具120接收到的所期望的壓力設(shè)定點(diǎn)處。典型地，壓力控制器140包括閥 門，其打開和關(guān)閉以控制流入或流出真空室的流體的流速，由此控制在真 空室中的壓力。數(shù)字通信網(wǎng)絡(luò)150實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)100進(jìn)行的用于壓力控制的閉合環(huán)路 傳感器反饋的操作。作為示例，數(shù)字通信網(wǎng)絡(luò)150可以是私有網(wǎng)絡(luò)，例如 CAN(控制器局域網(wǎng))。私有數(shù)字網(wǎng)絡(luò)通常允許有規(guī)律的、周期性間隔的高 度可靠數(shù)據(jù)分組傳輸。期望CAN網(wǎng)絡(luò)能夠以大約10毫秒或更高的更新速 率進(jìn)行信號(hào)通信。對(duì)于壓力控制系統(tǒng)100，期望數(shù)字通信網(wǎng)絡(luò)150是孤立網(wǎng)絡(luò)，其 能夠?qū)π盘?hào)進(jìn)行通信，而基本上沒有來自任何其他網(wǎng)絡(luò)和在這些網(wǎng)絡(luò)中正 在進(jìn)行的任何其他處理的干擾。這樣，數(shù)字通信網(wǎng)絡(luò)150將能夠確定地傳 輸基本上沒有噪音的信號(hào)。盡管諸如CAN等的孤立的和專用的數(shù)字通信網(wǎng)絡(luò)150是所期望 的，但是在一些實(shí)施例中數(shù)字通信網(wǎng)絡(luò)150可以包括以下的一個(gè)或多個(gè) 以太網(wǎng)TCP (傳輸控制協(xié)議)/IP (互聯(lián)網(wǎng)協(xié)議)；設(shè)備網(wǎng)(DeviceNet); CAN (控制器局域網(wǎng))；UDP/IP (用戶數(shù)據(jù)報(bào)協(xié)議/互聯(lián)網(wǎng)協(xié)議)；RS (推薦標(biāo)準(zhǔn)) -232;和RS (推薦標(biāo)準(zhǔn))-485。壓力控制器140可以從工具120經(jīng)過工具級(jí)通信鏈路180來接收 控制信號(hào)(例如壓力設(shè)定點(diǎn))?？梢允褂每梢园ǖ幌抻贒net、 RS232 和以太網(wǎng)的系統(tǒng)來實(shí)現(xiàn)該通信鏈路180。在壓力傳感器130與工具120之間的通信也可以在分開的工具級(jí) 通信鏈路170上發(fā)生。雖然圖1將網(wǎng)絡(luò)170示出為以太網(wǎng)，但是除了以太 網(wǎng)之外的通信網(wǎng)絡(luò)也可用于實(shí)現(xiàn)工具級(jí)通信鏈路170。典型地，涉及系統(tǒng)診 斷信息的信號(hào)可以經(jīng)過工具級(jí)鏈路170來通信。這些信號(hào)可以包括信息和/或命令，其包括但不限于以下的內(nèi)容 壓力傳感器130的校準(zhǔn)和/或調(diào)零；壓力傳感器130的動(dòng)態(tài)范圍；和用于壓力控制系統(tǒng)100的診斷信息。診斷信息可以涉及以下因素，其包括但不限 于壓力傳感器的加熱器溫度；壓力傳感器130中的隔板的縮短；壓力傳 感器130的內(nèi)部的失??；壓力傳感器130的累積的漂移；壓力傳感器的調(diào)
零范圍；和超過壓力傳感器130的滿刻度范圍。上述的閉合環(huán)路傳感器反饋系統(tǒng)除了支持從壓力傳感器130的輸 入之外，也可以將其配置為支持額外的傳感器輸入。例如，可以將壓力控 制系統(tǒng)IOO配置為接收來自FRC (流量比率控制器)的輸出，其向壓力控 制器140提供流量變化前饋信號(hào)。在本公開的一個(gè)實(shí)施例中，除了壓力測(cè)量結(jié)果信號(hào)之外的信號(hào)， 例如上述的診斷信息，也可以經(jīng)過數(shù)字通信網(wǎng)絡(luò)170，在壓力傳感器130 和壓力控制器140之間進(jìn)行通信。圖2說明了根據(jù)本公開的另一個(gè)實(shí)施例的壓力控制系統(tǒng)200，其 控制工具220的一個(gè)或多個(gè)真空處理室中的壓力。與在圖1中所說明的實(shí) 施例相比，除了在系統(tǒng)200中，數(shù)據(jù)網(wǎng)絡(luò)250用于在一對(duì)壓力傳感器(如 230-1和230-2所說明)與壓力控制器240壓力之間進(jìn)行信號(hào)通信之外，在 圖2中所說明的實(shí)施例以與圖1中所說明的實(shí)施例相同的方式工作。雖然 僅在圖2中說明了兩個(gè)傳感器，但是通常的，可以連接到數(shù)據(jù)網(wǎng)絡(luò)250的 壓力傳感器的數(shù)量N是可變的，即用戶可以靈活地從數(shù)字通信網(wǎng)絡(luò)250中 增加/刪除所期望的壓力傳感器230-1、 230-2..... 230畫i。在其中數(shù)字通信網(wǎng)絡(luò)是CAN網(wǎng)絡(luò)的實(shí)施例中，如下所述，對(duì)包 含壓力測(cè)量結(jié)果、診斷和其他的信息的分組傳輸可以以一種或多種方式出 現(xiàn)。在一個(gè)示例中，壓力傳感器可以向壓力控制器發(fā)送消息。示范性 的協(xié)議可以在技術(shù)上包括每10ms從壓力傳感器播出的CAN組1消息ID 0。 消息標(biāo)識(shí)符可以是無符號(hào)長(zhǎng)型，具有最低的六比特位，其是發(fā)送壓力傳感 器(如230-1和230-2所說明)的MacID?？梢詫]有被使用的所有其他比 特設(shè)置為O。這可以產(chǎn)生組l消息，其應(yīng)當(dāng)比任何普通(組2)設(shè)備網(wǎng)通信 (如果該組存在的話)具有更高的優(yōu)先權(quán)。這還可以確保對(duì)壓力傳感器的 消息之間的調(diào)停將由較低級(jí)別的驅(qū)動(dòng)器來處理而不需要額外的工作在本示例中，在消息中的分組可以包含消息ID (9位數(shù)據(jù)長(zhǎng)度)之后為數(shù)據(jù)本身。可以將以托為單位的讀數(shù)表示為四字節(jié)浮點(diǎn)數(shù)?？梢詫?以托為單位的滿刻度表示為四字節(jié)浮點(diǎn)數(shù)。狀態(tài)可以表示為八位無符號(hào)整 數(shù)。狀態(tài)指標(biāo)位可以包括但不限于以下的 [(BO]O)控制溫度的加熱器；
1)在調(diào)零范圍內(nèi)的壓力；
2)縮短的隔板；3)電子壓力計(jì)超過滿刻度范圍的110%;
4)調(diào)零超過20°/。(進(jìn)一步調(diào)零不允許)；5)電子壓力計(jì)內(nèi)部失敗(原因是例如加熱器失敗，和電源超出規(guī)
定)；6)累積的漂移超出了范圍；以及
7)在該時(shí)間沒有使用
0& 1位可以用于調(diào)零的需要?？梢孕薷脑趬毫刂崎y處的設(shè)備網(wǎng)驅(qū)動(dòng)器以禁止普通MacID過 濾。當(dāng)接收不具有閥的MacID的消息時(shí)可以通常將其丟棄。在本示例中， 具有其他MacID的消息為來自壓力計(jì)的讀數(shù)。MacID用于確定哪一個(gè)壓力 傳感器是高范圍通道以及哪一個(gè)壓力傳感器是低范圍通道。將具有未使用 的MacID的消息丟棄。例如，在閥處的默認(rèn)值可以為低通道是MacIDl而 高通道是MacID2。在閥中和在壓力傳感器上可以改變這些值。 40可以在壓力控制閥上讀取數(shù)據(jù)并且用其替代ADC (模擬到數(shù)字轉(zhuǎn) 換器)的讀數(shù)。ADC校準(zhǔn)數(shù)據(jù)可用于將以托為單位的壓力/范圍讀數(shù)轉(zhuǎn)換 為模擬的ADC原始計(jì)數(shù)。如果用于換能器的閥的范圍與分組的內(nèi)容不匹配，那么可以自動(dòng) 地更新滿刻度的范圍。也可以適當(dāng)?shù)卣{(diào)整交叉點(diǎn)。在另一個(gè)情況下，消息可以由在壓力控制器140中的閥來生成， 例如以開始對(duì)一個(gè)或多個(gè)壓力傳感器的調(diào)零。消息標(biāo)識(shí)符可以是無符號(hào)長(zhǎng) 型，其最低的六位是指定壓力計(jì)的MacID?？梢缘?位設(shè)置為l但是所有 其他(未使用的)位可以設(shè)置為零。這產(chǎn)生組1消息ID 1。具有與該消息匹配的MacID的壓力傳感器可以調(diào)零?？梢蕴峁┠J(rèn)目標(biāo)值0%，即使需 要傳統(tǒng)的零(假定的0%)。在本示例中，消息分組可以包含消息ID (4位的數(shù)據(jù)長(zhǎng)度)和數(shù) 據(jù)本身?？梢詫⒘隳繕?biāo)表示作為四字節(jié)浮點(diǎn)數(shù)的滿刻度的百分比。在上述示例中，添加到壓力計(jì)的接口的命令可以包括但不限于進(jìn)入數(shù)字壓力計(jì)模式；得至lj/設(shè)置壓力計(jì)的MacID;添加到控制閥的串行接口的命令可以包括但不限于進(jìn)入數(shù)字壓力計(jì)模式；得到/設(shè)置高或低通道壓力傳感器的MacID;報(bào)告高或低通道壓力傳感器的狀態(tài)；并且執(zhí)行具有或沒有目標(biāo)的在高或低通道壓力傳感器上的調(diào)零?？偠灾?，已經(jīng)描述了在一個(gè)或多個(gè)壓力傳感器和壓力控制器之 間提供數(shù)字通信鏈路的系統(tǒng)和方法，使得在壓力傳感器和壓力控制器之間 以IO毫秒或更高的更新速率提供沒有噪聲并且高動(dòng)態(tài)范圍的信號(hào)。數(shù)據(jù)通 信鏈路允許改善的壓力控制穩(wěn)定性和動(dòng)態(tài)范圍。雖然一些實(shí)施例已經(jīng)描述了用于控制真空處理系統(tǒng)中的壓力的系 統(tǒng)和方法，但是應(yīng)當(dāng)理解在這些實(shí)施例中暗示的概念可以用在其他的實(shí)施 例。本申請(qǐng)的保護(hù)范圍僅由以下的權(quán)利要求來限制。在這些權(quán)利要求中，參照單數(shù)的元件并不旨在意味著"一個(gè)并且 僅有一個(gè)"除非具體地說明，而是"一個(gè)或多個(gè)"。本公開中的所描述的各 種實(shí)施例的元件的所有結(jié)構(gòu)和功能的等價(jià)物對(duì)本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說 是已知的或?qū)⒁弥?，將其作為參考明確地在本文引用，并且旨在通過 權(quán)利要求來包括。此外，在此公開的內(nèi)容并不旨在用于公眾，不管是否在 權(quán)利要求中明確地引用這種公開。除非通過使用短語(yǔ)"用于……的裝置" 明確地記載要素，或?qū)τ诜椒?quán)利要求來說，通過使用短語(yǔ)"用于……的 步驟"記載要素，否則沒有根據(jù)35 U.S.C. § 112的條款第六段來解釋的權(quán) 利要求要素。
權(quán)利要求
1、一種壓力控制系統(tǒng)，包括壓力傳感器，將其配置為測(cè)量處理工具中的真空室之內(nèi)的壓力；壓力控制器，將其配置為控制所述真空室之內(nèi)的壓力；以及所述壓力傳感器與所述壓力控制器之間的數(shù)字通信網(wǎng)絡(luò)，將所述數(shù)字網(wǎng)絡(luò)配置為在所述壓力傳感器與所述壓力控制器之間對(duì)信號(hào)進(jìn)行通信；其中，所述壓力控制器響應(yīng)于由所述壓力傳感器進(jìn)行的且通過所述數(shù)字通信網(wǎng)絡(luò)發(fā)送到所述壓力控制器的壓力測(cè)量結(jié)果，以控制所述真空室之內(nèi)的壓力，從而將所述真空室中的壓力維持在從所述處理工具接收到的壓力設(shè)定點(diǎn)處。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力控制系統(tǒng)，其中，所述數(shù)字通信網(wǎng)絡(luò)包 括專用數(shù)字通信網(wǎng)絡(luò)。
3、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的壓力控制系統(tǒng)，其中，將所述專用數(shù)字通信 網(wǎng)絡(luò)配置為以周期性時(shí)間間隔通過分組傳輸來發(fā)送所述信號(hào)。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力控制系統(tǒng)，其中，所述數(shù)字通信網(wǎng)絡(luò)包 括孤立的數(shù)字通信網(wǎng)絡(luò)，將其配置為基本上不受任何其他網(wǎng)絡(luò)干擾地傳輸 信號(hào)。
5、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力控制系統(tǒng)，其中，將所述數(shù)字通信網(wǎng)絡(luò) 配置為確定性地傳輸基本上沒有噪聲的信號(hào)。
6、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力控制系統(tǒng)，其中，所述處理工具包括半 導(dǎo)體處理工具。
7、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力控制系統(tǒng)，其中，還將所述數(shù)字通信網(wǎng) 絡(luò)配置為在所述壓力傳感器與所述壓力控制器之間對(duì)與以下中的至少一個(gè)相關(guān)的信號(hào)進(jìn)行通信用于所述壓力控制系統(tǒng)的診斷信息；所述壓力傳感器的校準(zhǔn)和調(diào)零；以及所述壓力傳感器的動(dòng)態(tài)范圍。
8、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的壓力控制系統(tǒng)，其中，所述診斷信息與以下中的至少一個(gè)相關(guān)所述壓力傳感器的加熱器溫度；在所述壓力傳感器中的隔板的縮短；所述壓力傳感器的內(nèi)部失??；所述壓力傳感器的累積的漂 移；所述壓力傳感器的調(diào)零范圍；和超過所述壓力傳感器的滿刻度范圍。
9、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力控制系統(tǒng)，其中，將所述數(shù)字通信網(wǎng)絡(luò) 配置為以大約10毫秒或更高的信號(hào)更新速度對(duì)所述信號(hào)進(jìn)行通信。
10、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力控制系統(tǒng)，其中，所述數(shù)字通信網(wǎng)絡(luò) 包括以下中的至少一個(gè)以太網(wǎng)TCP (傳輸控制協(xié)議)/IP (互聯(lián)網(wǎng)協(xié)議)； 設(shè)備網(wǎng)；CAN (控制器局域網(wǎng))；UDP/IP (用戶數(shù)據(jù)報(bào)協(xié)議/互聯(lián)網(wǎng)協(xié)議)；RS (推薦標(biāo)準(zhǔn))-232;和RS (推薦標(biāo)準(zhǔn))-485。
11、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力控制系統(tǒng)，其中，所述壓力傳感器包 括基于電容的壓力換能器。
12、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力控制系統(tǒng)，還包括耦合到所述數(shù)字通 信網(wǎng)絡(luò)的質(zhì)量流量計(jì)，將所述質(zhì)量流量控制器配置為測(cè)量流入和流出所述 真空室的流體的流速并且將代表所測(cè)量的流速的信號(hào)傳輸至所述壓力控制 器。
13、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力控制系統(tǒng)，其中，所述數(shù)字通信網(wǎng)絡(luò)包括以下中的至少一個(gè)單路通信網(wǎng)絡(luò)，將其配置為沿著單一方向發(fā)送壓力相關(guān)的信號(hào)；以及 雙向通信網(wǎng)絡(luò)，將其配置為沿著兩個(gè)相反的方向傳輸壓力相關(guān)的信號(hào)。
14、 一種壓力控制系統(tǒng)，包括-數(shù)字通信網(wǎng)絡(luò)，將其配置為在耦合到所述網(wǎng)絡(luò)的設(shè)備之間對(duì)信號(hào)進(jìn)行通信；耦合到所述數(shù)字通信網(wǎng)絡(luò)的多個(gè)(N)壓力傳感器，將所述多個(gè)壓力傳 感器中的每一個(gè)均配置為測(cè)量處理工具中的真空室之內(nèi)的壓力；以及耦合到所述數(shù)字通信網(wǎng)絡(luò)的壓力控制器，將所述壓力控制器配置為從 所述工具接收壓力設(shè)定點(diǎn)并且響應(yīng)于所接收到的設(shè)定點(diǎn)并響應(yīng)于由每個(gè)壓 力傳感器進(jìn)行的且通過所述數(shù)字通信網(wǎng)絡(luò)從每個(gè)壓力傳感器發(fā)送到所述壓 力控制器的壓力測(cè)量結(jié)果來控制所述真空室之內(nèi)的壓力，由此將所述真空 室中的壓力維持在所述設(shè)定點(diǎn)處。
15、 根據(jù)權(quán)利要求14所述的壓力控制系統(tǒng)，其中，壓力傳感器的數(shù)量 N是可變的。
16、 根據(jù)權(quán)利要求14所述的壓力控制系統(tǒng)，其中，將所述數(shù)字通信網(wǎng) 絡(luò)配置為以周期性時(shí)間間隔通過分組傳輸來發(fā)送所述信號(hào)。
17、 一種系統(tǒng)，包括工具，其包括真空處理室和工具控制器，將所述工具控制器配置為生 成工具控制信號(hào)，所述工具控制信號(hào)包括提供用于所述真空處理室的壓力 設(shè)定點(diǎn)的至少一個(gè)信號(hào)；壓力傳感器，將其配置為測(cè)量所述真空處理室之內(nèi)的壓力；以及壓力控制器，將其經(jīng)過數(shù)字通信網(wǎng)絡(luò)耦合到所述壓力傳感器，將所述 壓力控制器配置為響應(yīng)于通過所述數(shù)字網(wǎng)絡(luò)從所述壓力傳感器接收的壓力 測(cè)量結(jié)果并響應(yīng)于由所述工具控制器提供的所述壓力設(shè)定點(diǎn)來控制所述真 空室之內(nèi)的壓力，由此將所述真空室中的壓力維持在所述設(shè)定點(diǎn)處；其中，將所述數(shù)字通信網(wǎng)絡(luò)配置為在所述壓力傳感器與所述壓力控制 器之間對(duì)壓力信號(hào)進(jìn)行通信。
18、 根據(jù)權(quán)利要求17所述的系統(tǒng)，還包括在所述工具控制器與所述壓 力控制器之間的工具級(jí)通信鏈路，并且其中，將所述工具控制器配置為通過所述工具級(jí)通信鏈路將所述壓力設(shè)定點(diǎn)發(fā)送到所述壓力控制器。
19、 一種控制在工具中的真空室中的壓力的方法，所述方法包括 測(cè)量所述真空室中的壓力；從所述工具接收用于所述真空室的壓力設(shè)定點(diǎn)；通過數(shù)字通信網(wǎng)絡(luò)將所述壓力測(cè)量結(jié)果和所述壓力設(shè)定點(diǎn)發(fā)送到壓力 控制器；以及所述壓力控制器響應(yīng)于所接收到的壓力測(cè)量結(jié)果和壓力設(shè)定點(diǎn)來控制 所述真空室中的壓力，從而將所述真空室中的壓力維持在所述壓力設(shè)定點(diǎn) 處。
全文摘要
一種壓力控制系統(tǒng)，包括在壓力傳感器與壓力控制器之間的數(shù)字通信網(wǎng)絡(luò)。將所述數(shù)字通信網(wǎng)絡(luò)配置為在所述壓力傳感器與所述壓力控制器之間進(jìn)行信號(hào)通信。將所述壓力傳感器配置為測(cè)量處理工具的真空室之內(nèi)的壓力。所述壓力控制器響應(yīng)于壓力測(cè)量結(jié)果，所述壓力測(cè)量結(jié)果由所述壓力傳感器測(cè)量并且經(jīng)過所述數(shù)字通信網(wǎng)絡(luò)發(fā)送到壓力控制器，以控制所述真空室之內(nèi)的壓力，從而將所述真空室中的壓力維持在從所述工具接收到的壓力設(shè)定點(diǎn)。
文檔編號(hào)G05D16/20GK101681175SQ200880007490
公開日2010年3月24日 申請(qǐng)日期2008年3月3日 優(yōu)先權(quán)日2007年3月6日
發(fā)明者D·J.·戈?duì)柕侣? D·張伯倫, G·希爾 申請(qǐng)人:Mks儀器公司