專利名稱：信息處理裝置、信息處理方法、以及程序的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于使用了制造裝置的半導(dǎo)體制造工序等中的信息處理裝置等。
背景技術(shù)：
作為以往的半導(dǎo)體制造裝置存在如下等裝置以模塊為單位將裝置情況和指令顯 示在同一畫(huà)面上，從而能夠看著該裝置情況來(lái)輸入指令。(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。另外，作為以往的制造裝置具有所謂的分批直立型熱處理裝置(例如，參照專利 文獻(xiàn)2以及專利文獻(xiàn)3)。專利文獻(xiàn)1 日本專利文獻(xiàn)特開(kāi)2007-180582號(hào)公報(bào)(第1頁(yè)、第1圖等)；專利文獻(xiàn)2 日本專利文獻(xiàn)特許3543996號(hào)公報(bào)(第1頁(yè)、第1圖等)；專利文獻(xiàn)3 日本專利文獻(xiàn)特開(kāi)2002-25997號(hào)公報(bào)(第1頁(yè)、第1圖等)。

發(fā)明內(nèi)容
然而，在以往的信息處理裝置中，為了將可同步執(zhí)行的指令和可異步執(zhí)行的(例 如可并行執(zhí)行的)指令組合起來(lái)執(zhí)行連續(xù)的處理，需要制作用于控制的程序等，存在用戶 難以自由地組合1個(gè)以上的指令來(lái)執(zhí)行所期望的處理的問(wèn)題。本發(fā)明的信息處理裝置，包括指令存儲(chǔ)部，其能夠存儲(chǔ)指定了處理順序的1個(gè)以 上的指令；同步指定信息存儲(chǔ)部，其能夠存儲(chǔ)同步指定信息，所述同步指定信息是針對(duì)存儲(chǔ) 在所述指令存儲(chǔ)部中的各指令指定與其他指令同步執(zhí)行還是異步執(zhí)行的信息；以及指令執(zhí) 行部，其按照所述處理順序執(zhí)行被存儲(chǔ)在所述指令存儲(chǔ)部中的指令，以對(duì)于由存儲(chǔ)在所述 同步指定信息存儲(chǔ)部中的同步指定信息指定為同步執(zhí)行的指令，在緊接之前的指令結(jié)束之 后再執(zhí)行，而對(duì)于被指定為異步執(zhí)行的指令，不等待緊接之前的指令結(jié)束就執(zhí)行指令。根據(jù)這樣的構(gòu)成，通過(guò)存儲(chǔ)對(duì)指令指定是與其他指令同步執(zhí)行的指令還是異步執(zhí) 行的指令的信息，當(dāng)執(zhí)行將可同步的執(zhí)行的指令和可異步執(zhí)行的指令相組合的所期望的處 理時(shí)，用戶不需要描述用于控制同步、異步的程序。其結(jié)果是，用戶能夠容易地指定并執(zhí)行 將可同步的執(zhí)行的指令和可異步執(zhí)行的指令相組合的所期望的處理。另外，本發(fā)明的信息處理裝置，包括指令存儲(chǔ)部，其能夠存儲(chǔ)指定了處理順序的 1個(gè)以上的指令；畫(huà)面構(gòu)成部，其構(gòu)成用于接收同步指定信息的畫(huà)面，所述同步指定信息是 針對(duì)存儲(chǔ)在所述指令存儲(chǔ)部中的各指令指定與其他指令同步執(zhí)行還是異步執(zhí)行的信息；畫(huà) 面輸出部，其輸出所述畫(huà)面構(gòu)成部所構(gòu)成的畫(huà)面；指定接收部，其接收針對(duì)所述畫(huà)面輸出部 所輸出的畫(huà)面的各指令的所述同步指定信息；以及指令執(zhí)行部，其按照所述處理順序執(zhí)行 被存儲(chǔ)在所述指令存儲(chǔ)部中的指令，以對(duì)于由所述指定接收部所接收的同步指定信息指定 為同步執(zhí)行的指令，在緊接之前的指令結(jié)束之后再執(zhí)行，而對(duì)于被指定為異步執(zhí)行的指令， 不等待緊接之前的指令結(jié)束就執(zhí)行指令。根據(jù)這樣的構(gòu)成，通過(guò)輸入對(duì)指令指定是與其他指令同步執(zhí)行的指令還是異步執(zhí) 行的指令的信息，當(dāng)執(zhí)行將可同步的執(zhí)行的指令和可異步執(zhí)行的指令相組合的所期望的處理時(shí)，用戶不需要描述用于控制同步、異步的程序。其結(jié)果是，用戶能夠容易地指定并執(zhí)行 將可同步執(zhí)行的指令和可異步執(zhí)行的指令相組合的所期望的處理。并且，由于能夠?qū)Ξ?huà)面輸出部所輸出的畫(huà)面輸入指定指令是與其他指令同步執(zhí)行 還是異步執(zhí)行的信息，因此用戶能夠容易地指定并執(zhí)行將可同步執(zhí)行的指令和可異步執(zhí)行 的指令相組合的所期望的處理。另外，本發(fā)明的信息處理裝置是以下信息處理裝置在所述信息處理裝置中，所述 指令執(zhí)行部在緊接之前的、由同步指定信息指定為同步執(zhí)行的指令的執(zhí)行結(jié)束之后，執(zhí)行 由所述指定接收部所接收的同步指定信息指定為同步執(zhí)行的指令。根據(jù)這樣的構(gòu)成，能夠與異步指令的執(zhí)行是否結(jié)束無(wú)關(guān)地使需要同步的指令與緊 接之前的同步指令同步地執(zhí)行。根據(jù)本發(fā)明的信息處理裝置等，用戶能夠容易地執(zhí)行將可同步執(zhí)行的指令和可異 步執(zhí)行的指令相組合的所期望的處理。


圖1是實(shí)施方式中的信息處理裝置的框圖；圖2是具有該實(shí)施方式中的信息處理裝置的制造裝置管理系統(tǒng)的概念圖；圖3是表示該實(shí)施方式中的制造裝置200的一個(gè)例子的圖；圖4是說(shuō)明該實(shí)施方式中的信息處理裝置的動(dòng)作的流程圖；圖5是表示該實(shí)施方式中的指令管理表的圖；圖6是表示該實(shí)施方式中的畫(huà)面構(gòu)成信息的一個(gè)例子的圖；圖7是表示該實(shí)施方式中的信息處理裝置的顯示例的圖；圖8是表示該實(shí)施方式中的信息處理裝置的顯示例的圖；圖9是表示該實(shí)施方式中的同步指定信息管理表的一個(gè)例子的圖；圖10是表示該實(shí)施方式中的信息處理裝置的顯示例的圖；圖11是用于說(shuō)明該實(shí)施方式中的信息處理裝置的動(dòng)作的圖；圖12是表示實(shí)現(xiàn)根據(jù)該實(shí)施方式的信息處理裝置的計(jì)算機(jī)的外觀的一個(gè)例子的 示意圖；圖13是表示實(shí)現(xiàn)根據(jù)該實(shí)施方式的信息處理裝置的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的一個(gè)例子的 圖。
具體實(shí)施例方式以下，參照

信息處理裝置等的實(shí)施方式。另外，在實(shí)施方式中，由于標(biāo)注 了相同的符號(hào)的構(gòu)成要素進(jìn)行同樣的動(dòng)作，因此有時(shí)省略重復(fù)說(shuō)明。(實(shí)施方式)圖1是本實(shí)施方式中的信息處理裝置的框圖。另外，圖2是具有本實(shí)施方式中的信息處理裝置的制造裝置管理系統(tǒng)的概念圖。信息處理裝置10經(jīng)由通信線路等直接或間接地與制造裝置200連接以便能夠與 制造裝置200進(jìn)行信息的收發(fā)。信息處理裝置10是控制例如多個(gè)制造裝置200的動(dòng)作等的 裝置。信息處理裝置10和多個(gè)制造裝置200可以通過(guò)例如因特網(wǎng)或、無(wú)線或有線LAN等網(wǎng)絡(luò)來(lái)連接，也可以通過(guò)藍(lán)牙(注冊(cè)商標(biāo))等近距離無(wú)線通信來(lái)連接。另外，也可以用信號(hào)線 直接連接。另外，信息處理裝置10也可以被組合在任一個(gè)制造裝置200的內(nèi)部等中，可以 考慮信息處理裝置10是制造裝置200的一部分。另外，在此雖然以制造裝置200是1個(gè)的 情況為例進(jìn)行了說(shuō)明，但信息處理裝置10也可以與多個(gè)制造裝置200連接。多個(gè)制造裝置 200既可以是不同的制造裝置，也可以是相同的制造裝置，也可以是包含相同的制造裝置的
直ο信息處理裝置10包括指令存儲(chǔ)部101、畫(huà)面構(gòu)成部102、畫(huà)面輸出部103、指定接 收部104、同步指定信息存儲(chǔ)部105、以及指令執(zhí)行部106。指令存儲(chǔ)部101能夠存儲(chǔ)指定了處理順序的1個(gè)以上的指令。所謂的指令例如是 用于使信息處理裝置10執(zhí)行所期望的處理的命令等。另外，也可以將指令認(rèn)為是用于執(zhí)行 預(yù)定的處理的程序或執(zhí)行文件等。另外，指令中也可以包含對(duì)象信息等，所述對(duì)象信息是指 定成為由命令控制的對(duì)象的裝置或成為執(zhí)行命令的對(duì)象的裝置等的信息。另外，這些對(duì)象 信息等也可以與各指令對(duì)應(yīng)地被管理。在這樣的情況下，與不同的對(duì)象信息等相對(duì)應(yīng)的指 令即使指令部分相同也可以作為不同的指令來(lái)對(duì)待。被指定了處理順序的指令具體來(lái)說(shuō)意 味著指令的開(kāi)始執(zhí)行的順序被指定。指令的處理順序怎樣指定都可以，并且該處理順序怎 樣管理都可以。例如，既可以使用定義處理順序的管理表等來(lái)管理，也可以對(duì)指令賦予表示 處理順序的信息等。不考慮被存儲(chǔ)在指令存儲(chǔ)部101中的各指令是可以與其他的指令同步 執(zhí)行的指令還是可以異步執(zhí)行的指令。也不考慮將指令存儲(chǔ)到指令存儲(chǔ)部101的定時(shí)等。 例如，既可以在工場(chǎng)發(fā)貨時(shí)存儲(chǔ)指令，也可以為用戶能夠酌情存儲(chǔ)。指令存儲(chǔ)部101優(yōu)選的 是非易失性的存儲(chǔ)介質(zhì)，但是易失性的存儲(chǔ)介質(zhì)也可以實(shí)現(xiàn)。畫(huà)面構(gòu)成部102構(gòu)成用于接收同步指定信息的畫(huà)面，所述同步指定信息是對(duì)于存 儲(chǔ)在指令存儲(chǔ)部101中的各指令指定是與其他指令同步執(zhí)行還是異步執(zhí)行的信息。在此， 為了便于說(shuō)明，將被同步執(zhí)行的指令、換言之將同步地被執(zhí)行的指令稱作同步型指令、將異 步執(zhí)行的指令稱作異步型指令。同步執(zhí)行是指等待至其他預(yù)定的指令、例如緊接之前開(kāi) 始執(zhí)行的指令結(jié)束為止再執(zhí)行。另外，異步執(zhí)行是指不等待至其他預(yù)定的指令、例如緊接 之前開(kāi)始執(zhí)行的指令結(jié)束就執(zhí)行。同步型指令是與例如緊接之前執(zhí)行的指令同步地被執(zhí)行 的指令。同步型指令例如也可以認(rèn)為是不與其他指令同時(shí)執(zhí)行而排他地被執(zhí)行的指令。具 體來(lái)說(shuō)，同步型指令是在緊接之前開(kāi)始的指令的執(zhí)行結(jié)束之后執(zhí)行的指令。另外，在這里所 述的緊接之前開(kāi)始的指令可以認(rèn)為是前一個(gè)開(kāi)始執(zhí)行的同步型指令以及異步型指令中的 任一個(gè)?；蛘?，也可以將緊接之前開(kāi)始的指令僅限定為之前(即，前一個(gè))開(kāi)始執(zhí)行的同步 型指令、或者之前(即，前一個(gè))開(kāi)始執(zhí)行的異步型指令中的某一個(gè)。如此對(duì)于異步指令也 是同樣的。這里，以同步型指令為與緊接之前執(zhí)行的同步型指令同步地被執(zhí)行的指令、即在 緊接之前開(kāi)始的同步型指令的執(zhí)行結(jié)束之后被執(zhí)行的指令的情況為例進(jìn)行說(shuō)明。異步型指 令是不與緊接之前執(zhí)行的指令同步地執(zhí)行的指令。異步型指令具體來(lái)說(shuō)是不等待緊接之前 開(kāi)始執(zhí)行的指令等的處理結(jié)束就被執(zhí)行的指令。異步型指令例如是與基于其他指令而進(jìn)行 的處理并列地執(zhí)行的指令。例如，異步型指令可以與從緊接之前開(kāi)始執(zhí)行的指令開(kāi)始之后 到該指令結(jié)束之前的任意時(shí)刻、或預(yù)先設(shè)定的時(shí)刻或觸發(fā)對(duì)應(yīng)地開(kāi)始執(zhí)行。另外，例如，異 步型指令也可以在緊接之前開(kāi)始執(zhí)行的指令后馬上開(kāi)始執(zhí)行。同步指定信息具體來(lái)說(shuō)是指 定將存儲(chǔ)在指令存儲(chǔ)部101中的指令設(shè)為同步型指令還是設(shè)為異步型指令的信息。從結(jié)果上來(lái)說(shuō)，同步指定信息只要是針對(duì)各指令能夠指定是與其他的指令、例如緊接之前開(kāi)始執(zhí) 行的指令等同步執(zhí)行還是異步執(zhí)行的信息即可。例如，同步指定信息可以是擇一地指定各 指令是同步型指令以及異步型指令中的哪一個(gè)的信息。另外，同步指定信息可以是擇一地 指定各指令是不是同步型指令的信息，也可以是擇一地指定各指令是不是異步型指令的信 息。用于接收同步指定信息的畫(huà)面例如是作為同步指定信息的輸入界面來(lái)利用的畫(huà)面。在 這里所述的畫(huà)面例如也可以認(rèn)為是用于顯示畫(huà)面的位圖等的數(shù)據(jù)。具體來(lái)說(shuō)，畫(huà)面構(gòu)成部 102構(gòu)成以下的畫(huà)面顯示表示存儲(chǔ)在指令存儲(chǔ)部101中的各指令的信息(例如，顯示指令 的名稱、指令的編號(hào)、指令的處理順序、指令的字符串的一部分等識(shí)別信息等)，并且，還顯 示用于接收針對(duì)各指令的同步識(shí)別信息的輸入的區(qū)域(field)、按鈕、復(fù)選框(check box) 等輸入用對(duì)象等。畫(huà)面構(gòu)成部102例如從存儲(chǔ)有畫(huà)面構(gòu)成信息的未圖示的存儲(chǔ)部等讀出畫(huà) 面構(gòu)成信息，并利用該畫(huà)面構(gòu)成信息和管理存儲(chǔ)在指令存儲(chǔ)部101中的指令的信息等來(lái)構(gòu) 成畫(huà)面，其中所述畫(huà)面構(gòu)成信息是構(gòu)成用于接收同步指定信息的畫(huà)面的信息。畫(huà)面構(gòu)成信 息是例如HTML、線(鄴#泉)等的信息、用于構(gòu)成畫(huà)面的設(shè)定信息、畫(huà)面構(gòu)成程序等。畫(huà)面構(gòu) 成信息也可以認(rèn)為是模板(template)的信息。另外，畫(huà)面構(gòu)成部102并不一定針對(duì)存儲(chǔ)在 指令存儲(chǔ)部101中的所有的指令構(gòu)成用于接收同步指定信息的畫(huà)面，也可以只對(duì)一部分指 令構(gòu)成用于接收同步指定信息的畫(huà)面。通常，可以通過(guò)MPU或存儲(chǔ)器等來(lái)實(shí)現(xiàn)。畫(huà)面構(gòu)成 部102的處理步驟通常通過(guò)軟件實(shí)現(xiàn)，該軟件被存儲(chǔ)在ROM等存儲(chǔ)介質(zhì)中。但是，也可以通 過(guò)硬件(專用電路)來(lái)實(shí)現(xiàn)。畫(huà)面輸出部103輸出畫(huà)面構(gòu)成部102所構(gòu)成的畫(huà)面。畫(huà)面輸出部103輸出的畫(huà)面 構(gòu)成部102所構(gòu)成的畫(huà)面為如上所述的用于接收同步指定信息的輸入界面的畫(huà)面等。在這 里所述的輸出包括以下概念顯示到顯示器上、通過(guò)打印機(jī)印刷到紙張上等、發(fā)送到外部裝 置等?？梢哉J(rèn)為畫(huà)面輸出部103包括顯示器或打印機(jī)等輸出設(shè)備，也可以認(rèn)為不包括。輸 出部可以通過(guò)輸出設(shè)備的驅(qū)動(dòng)軟件、或者輸出設(shè)備的驅(qū)動(dòng)軟件和輸出設(shè)備等來(lái)實(shí)現(xiàn)。指定接收部104接收針對(duì)畫(huà)面輸出部103所輸出的畫(huà)面的同步指定信息。例如， 指定接收部104接收針對(duì)畫(huà)面輸出部103所輸出的如上所述的用于接收同步指定信息的輸 入界面的畫(huà)面等的、并針對(duì)存儲(chǔ)在指令存儲(chǔ)部101中的各指令的同步指定信息。具體來(lái)說(shuō)， 指定接收部104接收與操作鼠標(biāo)或鍵盤(pán)等來(lái)對(duì)畫(huà)面進(jìn)行的操作相對(duì)應(yīng)的同步指定信息。接 收同步指定信息是指例如從輸入單元接收、或接收從其他的儀器等發(fā)送的輸入信號(hào)、從存 儲(chǔ)介質(zhì)等讀出信息等。同步指定信息的輸入單元也可以是數(shù)字鍵、鍵盤(pán)、鼠標(biāo)、由菜單畫(huà)面 構(gòu)成的單元等。指定接收部104可以由數(shù)字鍵、鍵盤(pán)等輸入單元的設(shè)備驅(qū)動(dòng)器或菜單畫(huà)面 的控制軟件等來(lái)實(shí)現(xiàn)。另外，指定接收部104所接收的同步指定信息以例如將各同步指定 信息與所對(duì)應(yīng)的各指令對(duì)應(yīng)起來(lái)的方式被存儲(chǔ)到后述的同步指定信息存儲(chǔ)部105、或存儲(chǔ) 器、硬盤(pán)等存儲(chǔ)介質(zhì)(未圖示)中。同步指定信息以例如將指定接收部104所接收的各同步指定信息與所對(duì)應(yīng)的各 指令對(duì)應(yīng)起來(lái)的方式被存儲(chǔ)在同步指定信息存儲(chǔ)部105中。例如，將同步指定信息和所對(duì) 應(yīng)的指令作為一個(gè)記錄的2個(gè)屬性值來(lái)存儲(chǔ)。這里所述的存儲(chǔ)是包含暫時(shí)存儲(chǔ)的概念。同 步指定信息存儲(chǔ)部105優(yōu)選的是非易失性的存儲(chǔ)介質(zhì)，但是也可以由易失性的存儲(chǔ)介質(zhì)來(lái) 實(shí)現(xiàn)。指令執(zhí)行部106按照處理順序執(zhí)行存儲(chǔ)在指令存儲(chǔ)部101中的指令，以對(duì)于由指
7定接收部104所接收的同步指定信息指定為同步執(zhí)行的指令(即，同步型指令)，在緊接之 前的指令結(jié)束之后再執(zhí)行，而對(duì)于被指定為異步執(zhí)行的指令(即，異步型指令)，不等待緊 接之前的指令執(zhí)行結(jié)束就執(zhí)行。同步指定信息也可以從例如同步指定信息存儲(chǔ)部105等中 適當(dāng)?shù)刈x出。指令執(zhí)行部106以預(yù)先指定的處理順序開(kāi)始執(zhí)行被存儲(chǔ)在例如指令存儲(chǔ)部 101中的各指令。并且，對(duì)于同步型指令，在處理順序位于緊接之前的指令的執(zhí)行結(jié)束的時(shí) 間點(diǎn)上開(kāi)始執(zhí)行。另外，對(duì)于異步型指令，不等待至處理順序位于緊接之前的指令的結(jié)束 就開(kāi)始執(zhí)行。具體來(lái)說(shuō)，指令執(zhí)行部106可以在緊接之前的指令結(jié)束之后(例如，結(jié)束后馬 上)執(zhí)行異步指令。另外，也可以在緊接之前的指令結(jié)束之前執(zhí)行異步型指令。不考慮異 步型指令的結(jié)束定時(shí)和觸發(fā)等。指令執(zhí)行部106例如可以參照同步指定信息判斷與被指定 的處理順序?qū)?yīng)地執(zhí)行的指令是同步型指令還是異步型指令，并決定該開(kāi)始執(zhí)行的時(shí)刻來(lái) 執(zhí)行各指令。另外，指令執(zhí)行部106也可以參照同步指定信息，以還包含指定開(kāi)始執(zhí)行的定 時(shí)的信息的方式，寫(xiě)出被存儲(chǔ)在指令存儲(chǔ)部101中的被指定了處理順序的1以上的指令，并 執(zhí)行該寫(xiě)出的指令。另外，由于關(guān)于執(zhí)行同步型指令或異步型指令、或者結(jié)束同步型指令或 異步型指令的處理是公知技術(shù)，因此省略說(shuō)明。指令執(zhí)行部106通?？梢酝ㄟ^(guò)MPU或存儲(chǔ) 器等來(lái)實(shí)現(xiàn)。指令執(zhí)行部106的處理步驟通常由軟件實(shí)現(xiàn)，該軟件被存儲(chǔ)在ROM等的存儲(chǔ) 介質(zhì)中。但是，也可以通過(guò)硬件(專用電路)來(lái)實(shí)現(xiàn)。另外，也可以將與指令執(zhí)行部106的執(zhí)行結(jié)果對(duì)應(yīng)的控制信息等例如從信息處理 裝置10輸出或發(fā)送給制造裝置200等，或者將表示與指令執(zhí)行部106的執(zhí)行結(jié)果對(duì)應(yīng)的處 理情況的信息等顯示在監(jiān)視器等上。另外，由于進(jìn)行這樣的發(fā)送或顯示等的輸出的輸出部 等為公知技術(shù)，因此在此省略說(shuō)明。制造裝置200是對(duì)被處理襯底(例如有機(jī)膜用玻璃襯底或半導(dǎo)體晶片、液晶面板 襯底等)進(jìn)行預(yù)定的半導(dǎo)體制造工序的裝置。制造裝置200對(duì)被處理襯底進(jìn)行例如成膜處 理、蝕刻處理、熱氧化處理等各種處理。制造裝置200例如為有機(jī)EL顯示器用成膜裝置或半 導(dǎo)體晶片制造裝置等的制造裝置、液晶面板制造裝置、等離子體顯示器用面板制造裝置等。 制造裝置200內(nèi)可以設(shè)置有用于控制調(diào)節(jié)多個(gè)溫度或控制閥門(mén)等的、控制制造裝置200的 動(dòng)作等的1個(gè)以上的設(shè)備(未圖示)。也可以是上述的信息處理裝置10對(duì)這些設(shè)備等執(zhí)行 指令。圖3是表示制造裝置200的一個(gè)例子的圖。在此，制造裝置200以RLSA(Radial Line Slot Antenna，徑向線縫隙天線)等離子體CVD裝置為例進(jìn)行說(shuō)明，但是制造裝置200 也可以是其他的制造裝置。RLSA等離子體CVD裝置具有頂面開(kāi)口的圓筒形狀的處理容器300。頂面的開(kāi)口中 嵌入有噴淋板305。處理容器300和噴淋板305通過(guò)設(shè)置在處理容器300內(nèi)壁的階梯部和 噴淋板305的下表面外周部之間的0環(huán)310被密封，由此，形成實(shí)施等離子體處理的處理室 U。例如，處理容器300由鋁等金屬構(gòu)成，噴淋板305由鋁等金屬或者電介質(zhì)構(gòu)成，并且被電 接地。處理容器300的底部經(jīng)由絕緣體320設(shè)置有載放晶片W的基座(載放臺(tái))315?；?座315經(jīng)由整合器325a與高頻電源325b連接，通過(guò)從高頻電源325b輸出的高頻電力對(duì)處 理容器300的內(nèi)部施加預(yù)定的偏置電壓。另外，基座315經(jīng)由線圈330a與高壓直流電源 330b連接，通過(guò)從高壓直流電源330b輸出的直流電壓來(lái)靜電吸附襯底G。另外，基座315的內(nèi)部設(shè)有加熱器331，通過(guò)由加熱器用電源332提供的電力對(duì)晶片W進(jìn)行加熱。另外，基 座315的內(nèi)部設(shè)有為冷卻晶片W而提供冷卻水的冷卻套管335。噴淋板305在其上部被蓋板340覆蓋。在蓋板340的上表面設(shè)置有徑向線縫隙天 線345。徑向線縫隙天線345由形成有多個(gè)未圖示的縫隙的盤(pán)狀的縫隙板345a、支撐縫隙板 345的盤(pán)狀的天線主體345b、設(shè)置在縫隙板345a和天線主體345b之間并由氧化鋁(Al2O3) 等電介質(zhì)形成的相位延遲板345c來(lái)構(gòu)成。準(zhǔn)備有例如小型(small)和大型(large)等大 小不同的徑向線縫隙天線345、或者圖案A和圖案B等縫隙圖案等不同的徑向線縫隙天線 345，并且可以根據(jù)用途等來(lái)適當(dāng)取代。徑向線縫隙天線345經(jīng)由同軸導(dǎo)波管350在外部設(shè) 置有微波產(chǎn)生器355。處理容器300上安裝有真空泵(未圖示)，經(jīng)由氣體排出管360排出處理容器300 內(nèi)的氣體，由此處理室U被減壓至所期望的真空度。氣體供應(yīng)源365包括多個(gè)閥門(mén)V、多個(gè)質(zhì)量流量控制器MFC、供應(yīng)1種以上的第一 材料氣體以及1種以上的第二材料氣體的多個(gè)材料氣體供應(yīng)源365a。通過(guò)分別控制各閥 門(mén)V的開(kāi)閉以及各質(zhì)量流量控制器MFC的開(kāi)度，氣體供應(yīng)源365向處理容器300的內(nèi)部提 供所期望的濃度的氣體。如上所述，第一材料氣體通過(guò)第1流路370a從貫穿噴淋板305的 氣體導(dǎo)入管375被提供到處理室U的上方，并且第二材料氣體通過(guò)第2流路370b從一體型 氣體管380提供到比第1氣體更靠下方的位置。根據(jù)這樣的構(gòu)成，由從微波產(chǎn)生器355經(jīng) 由縫隙以及噴淋板305入射到處理室U內(nèi)的微波，由各種氣體生成等離子體，通過(guò)所生成的 等離子體在襯底上形成膜。制造裝置200還可以設(shè)置有未圖示的1個(gè)以上的控制部。另外，這些各控制部的 控制目標(biāo)(例如控制目標(biāo)物、壓力、溫度等成為控制目標(biāo)的項(xiàng)目)等既可以至少一部分相 同，也可以不同。控制部根據(jù)用于設(shè)定針對(duì)預(yù)先被設(shè)定的處理目標(biāo)物的處理?xiàng)l件等的方案 (Recipe)的參數(shù)值、或?qū)χ圃煅b置200預(yù)先設(shè)定的、通常用戶無(wú)法變更的靜態(tài)參數(shù)值等來(lái) 控制制造裝置200的各種動(dòng)作。例如在被設(shè)定有處理溫度的情況下，控制部根據(jù)未圖示的1 個(gè)以上的溫度檢測(cè)部檢測(cè)出的溫度來(lái)對(duì)加熱器等的輸出進(jìn)行所謂的反饋控制，將處理容器 300內(nèi)的溫度控制為通過(guò)設(shè)定值設(shè)定的溫度。另外，控制部控制處理容器300內(nèi)的壓力使其 成為通過(guò)設(shè)定值設(shè)定的壓力。這樣的控制例如也可以通過(guò)將預(yù)先存儲(chǔ)的基準(zhǔn)值作為控制的 目標(biāo)值來(lái)進(jìn)行。除此之外，控制部還進(jìn)行制造裝置200整體的控制，例如氣體流量的控制、 閥門(mén)開(kāi)閉控制等，但是由于這些控制是公知技術(shù)，因此在此省略說(shuō)明。上述的參數(shù)值被存儲(chǔ) 在未圖示的存儲(chǔ)器等存儲(chǔ)介質(zhì)中，并根據(jù)需要由控制部讀出。該存儲(chǔ)包括暫時(shí)存儲(chǔ)。不管如 何接收這些參數(shù)的值、如何存儲(chǔ)到存儲(chǔ)介質(zhì)等中。例如可以通過(guò)制造裝置200的未圖示的 接收部等將由用戶等輸入的參數(shù)值存儲(chǔ)到存儲(chǔ)介質(zhì)中。也可以利用制造裝置200的未圖示 的接收部接收從信息處理裝置10等其他裝置輸出的參數(shù)值并存儲(chǔ)到存儲(chǔ)介質(zhì)等中。另外， 代替進(jìn)行存儲(chǔ)，也可以為控制部直接接收參數(shù)值來(lái)對(duì)動(dòng)作進(jìn)行控制指定。另外，控制部也可 以將未圖示的溫度檢測(cè)部等檢測(cè)的信息經(jīng)由未圖示的輸出部等輸出給信息處理裝置10?？?制部通常可以通過(guò)MPU或存儲(chǔ)器等來(lái)實(shí)現(xiàn)?？刂撇康奶幚聿襟E通常通過(guò)軟件實(shí)現(xiàn)，該軟件 存儲(chǔ)在ROM等存儲(chǔ)介質(zhì)中。但是，也可以通過(guò)硬件(專用電路)來(lái)實(shí)現(xiàn)。接下來(lái)，利用圖4的流程圖說(shuō)明信息處理裝置的動(dòng)作。在此，為了使得說(shuō)明變得簡(jiǎn) 單，在指令是異步型指令的情況下，以馬上由指令執(zhí)行部106執(zhí)行該異步指令的情況為例進(jìn)行了說(shuō)明。另外，對(duì)于同步指令，以在緊接之前的同步指令的執(zhí)行結(jié)束之后開(kāi)始該同步指 令的執(zhí)行的情況為例進(jìn)行了說(shuō)明。(步驟S401)畫(huà)面構(gòu)成部102判斷是否構(gòu)成用于接收同步指定信息的畫(huà)面。畫(huà)面 構(gòu)成部102怎樣判斷是否構(gòu)成畫(huà)面都可以。例如可以在從用戶經(jīng)由未圖示的接收部等接收 了構(gòu)成畫(huà)面的指示的情況下，決定構(gòu)成用于接收同步指定信息的畫(huà)面。當(dāng)構(gòu)成畫(huà)面時(shí)，進(jìn)入 到步驟S402，當(dāng)不構(gòu)成畫(huà)面時(shí)，進(jìn)入到步驟S406。(步驟S402)畫(huà)面構(gòu)成部102構(gòu)成用于接收同步指定信息的畫(huà)面。例如，畫(huà)面構(gòu)成 部102獲取存儲(chǔ)在指令存儲(chǔ)部101中的指令的處理順序或指令的識(shí)別信息等信息，利用該 獲取的信息和從未圖示的存儲(chǔ)部讀出的畫(huà)面構(gòu)成信息來(lái)構(gòu)成用于接收同步指定信息的畫(huà)(步驟S403)畫(huà)面輸出部103輸出在步驟S402中構(gòu)成的畫(huà)面，例如進(jìn)行顯示。(步驟S404)指定接收部104接收在步驟S402中輸出的針對(duì)用于接收同步指定信 息的畫(huà)面的同步指定信息。具體來(lái)說(shuō)，指定接收部104接收針對(duì)存儲(chǔ)在指令存儲(chǔ)部101中 的各指令的同步指定信息。(步驟S405)指定接收部104將在步驟S404中接收的同步指定信息存儲(chǔ)到未圖示 的存儲(chǔ)器等存儲(chǔ)介質(zhì)等中。然后，返回到步驟S401。(步驟S406)指令執(zhí)行部106判斷是否執(zhí)行存儲(chǔ)在指令存儲(chǔ)部101中1個(gè)以上的 指令。指令執(zhí)行部106怎樣判斷是否執(zhí)行指令都可以。例如可以當(dāng)從用戶接收到執(zhí)行指令 的指示時(shí)判斷為執(zhí)行指令。另外，也可以當(dāng)從其他裝置等接收了執(zhí)行指令的指示時(shí)判斷為 執(zhí)行指令。當(dāng)執(zhí)行指令時(shí)，進(jìn)入到步驟S407，當(dāng)不執(zhí)行指令時(shí)，返回到步驟S401。(步驟S407)指令執(zhí)行部106判斷指定接收部104是否接收了同步指定信息。例 如判斷指定接收部104是否將同步指定信息存儲(chǔ)到用于存儲(chǔ)同步指定信息的存儲(chǔ)介質(zhì)等 中。當(dāng)已存儲(chǔ)時(shí)，進(jìn)入到步驟S408，當(dāng)沒(méi)有存儲(chǔ)時(shí)，返回到步驟S402。另外，替代返回到步 驟S402，也可以對(duì)沒(méi)有指定同步指定信息的錯(cuò)誤顯示進(jìn)行表示等之后，返回到步驟S401。(步驟S408)指令執(zhí)行部106將1代入到計(jì)數(shù)器K。(步驟S409)指令執(zhí)行部106從指令存儲(chǔ)部101中讀出第K個(gè)執(zhí)行的指令(以下 稱作第K個(gè)指令)。(步驟S410)指令執(zhí)行部106開(kāi)始執(zhí)行第K個(gè)指令。(步驟S411)指令執(zhí)行部106讀出在步驟S404中接收的、與第K個(gè)指令對(duì)應(yīng)的同 步指定信息，并判斷第κ個(gè)指令是否是同步型指令。當(dāng)是同步型指令時(shí)，進(jìn)入到步驟S412， 當(dāng)不是同步型指令時(shí)、即是異步型指令時(shí)，進(jìn)入到步驟S413。(步驟S412)指令執(zhí)行部106等待至前一個(gè)執(zhí)行的同步型指令、即緊接之前執(zhí)行的 同步型指令的執(zhí)行結(jié)束為止。當(dāng)執(zhí)行結(jié)束時(shí)，進(jìn)入到步驟S413。另外，指令執(zhí)行部106怎樣 判斷緊接之前的同步型指令的執(zhí)行是否結(jié)束都可以。當(dāng)同步型指令例如是用于控制其他裝 置(例如制造裝置200等)的指令時(shí)，也可以在接收到表示根據(jù)該指令的制造裝置200等 的動(dòng)作結(jié)束的信息等的情況下判斷為指令的執(zhí)行結(jié)束。(步驟S413)指令執(zhí)行部106使計(jì)數(shù)器K加1。(步驟S414)指令執(zhí)行部106判斷指令存儲(chǔ)部101中是否有第K個(gè)指令。當(dāng)有第 K個(gè)指令時(shí)，返回到步驟S409，當(dāng)沒(méi)有第K個(gè)指令時(shí)，進(jìn)入到步驟S415。
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(步驟S415)指令執(zhí)行部106判斷所有的指令的執(zhí)行是否結(jié)束。當(dāng)結(jié)束了時(shí)，進(jìn)入 到步驟S401，當(dāng)沒(méi)有結(jié)束時(shí)，返回到步驟S415。另外，在圖4的流程圖中，通過(guò)切斷電源或處理結(jié)束的中斷(割込來(lái)結(jié)束處理。以下，說(shuō)明本實(shí)施方式中的信息處理裝置的具體動(dòng)作。在此，作為例子對(duì)以下的 情況進(jìn)行說(shuō)明制造裝置200具備用于進(jìn)行閥門(mén)的開(kāi)閉或溫度調(diào)節(jié)等的、具有未圖示的 “DRP1 ”、“VBl-Pl”、“VB2-P1”、“VB3-P1” “TMP1”、“TMP2” 等識(shí)別信息的設(shè)備等，并且信息處 理裝置10對(duì)這些設(shè)備執(zhí)行指令。圖5是表示用于管理存儲(chǔ)在指令存儲(chǔ)部101中的指令的指令管理表的圖。在此， 以存儲(chǔ)在指令管理表中的多個(gè)指令構(gòu)成作為用于執(zhí)行一系列的處理的組(set)的、所謂的 宏(macro)的情況為例進(jìn)行說(shuō)明。指令管理表具有被稱作“ID”、“宏名”、“順序”、“設(shè)備名”、 “指令”的項(xiàng)目?！癐D”是用于管理指令記錄的識(shí)別信息?！昂昝?，，是識(shí)別各指令所屬的宏的信息?！绊樞颉北硎局噶畹奶幚眄樞颉！爸噶睢北?示用于確定指令的指令的名稱。各指令的名稱與指令一一對(duì)應(yīng)。另外，也可以將“指令”認(rèn) 為是指令本身。該指令管理表例如存儲(chǔ)在未圖示的存儲(chǔ)器等的存儲(chǔ)介質(zhì)中。圖6是用于表示當(dāng)構(gòu)成用于接收同步指定信息的畫(huà)面時(shí)所使用的畫(huà)面構(gòu)成信息 的一個(gè)例子的圖。畫(huà)面構(gòu)成信息被存儲(chǔ)在未圖示的存儲(chǔ)部等中。假設(shè)畫(huà)面構(gòu)成信息為用于 定義畫(huà)面的布局(layout)的樣式文件(style file)、換言之樣板(template)，所述畫(huà)面是 用于接收針對(duì)存儲(chǔ)在指令存儲(chǔ)部101中的各指令的同步指定信息的畫(huà)面。在該畫(huà)面構(gòu)成信 息中，“[]，，表示變量，“[]，，中的字符串與圖5所示的項(xiàng)目名對(duì)應(yīng)。例如“[指令]”與圖3 的“指令”的項(xiàng)目對(duì)應(yīng)。另外，復(fù)選框61是用于接收表示指令為同步型的同步指定信息的 顯示用對(duì)象(object)、復(fù)選框62是用于接收表示指令為異步型的同步指定信息的顯示用 對(duì)象。以在旁邊標(biāo)注有“#1”的由虛線包圍的區(qū)域表示以由該虛線包圍的區(qū)域的信息重 復(fù)顯示相當(dāng)于圖5所示的指令管理表中的記錄的數(shù)目的次數(shù)。這樣的樣式文件例如可以由 HTML等來(lái)構(gòu)成。首先，用戶操作鼠標(biāo)或鍵盤(pán)等從信息處理裝置10的菜單等針對(duì)信息處理裝置10 下達(dá)以下指示將用于針對(duì)構(gòu)成“宏名”為“第一處理”的宏的指令輸入同步指定信息的畫(huà) 面顯示在監(jiān)視器(未圖示)上。畫(huà)面構(gòu)成部102讀出存儲(chǔ)在未圖示的存儲(chǔ)部等中的如圖6所示的那樣的畫(huà)面構(gòu)成 信息，利用該畫(huà)面構(gòu)成信息和關(guān)于通過(guò)圖5所示的指令管理表管理的指令的信息，構(gòu)成用 于接收同步指定信息的畫(huà)面。具體來(lái)說(shuō)，畫(huà)面構(gòu)成部102對(duì)于從未圖示的存儲(chǔ)部讀出的如 圖6所示的畫(huà)面構(gòu)成信息所表示的樣式文件，按照記錄的順序依次配置從圖5的指令管理 表讀出的項(xiàng)目的值，構(gòu)成用于接收同步指定信息的畫(huà)面。然后，畫(huà)面輸出部103將畫(huà)面構(gòu)成 部102構(gòu)成的畫(huà)面顯示在監(jiān)視器等上。圖7表示顯示例。另外，對(duì)于不需要接收同步、異步 的指定的指令等(例如確定是要異步執(zhí)行的指令等)，在圖5所示的指令管理表中預(yù)先還設(shè) 定表示不需要接收同步、異步的指定的項(xiàng)目，當(dāng)在該項(xiàng)目中輸入有表示不需要接收同步、異 步的指定的信息時(shí)，對(duì)于這樣的指令也可以不顯示用于接收同步指定信息的畫(huà)面等。或者， 對(duì)于這樣的指令也可以不顯示復(fù)選框61等。接下來(lái)，一旦用戶操作鼠標(biāo)等，將指示器(pointer)移動(dòng)到如圖7所示的接收同步指定信息的畫(huà)面的與各指令對(duì)應(yīng)的復(fù)選框61或復(fù)選框62上，并且點(diǎn)擊鼠標(biāo)的按鈕等，則指 定接收部104接收與被點(diǎn)擊的復(fù)選框?qū)?yīng)的同步指定信息。例如，當(dāng)點(diǎn)擊了復(fù)選框61時(shí)， 指定接收部104針對(duì)與被點(diǎn)擊的復(fù)選框61相同行的指令，接收指定是同步型指令的同步指 定信息。另外，當(dāng)點(diǎn)擊了復(fù)選框62時(shí)，指定接收部104針對(duì)與被點(diǎn)擊的復(fù)選框62相同行 的指令接收指定是異步型指令的同步指定信息。另外，在被點(diǎn)擊的復(fù)選框中顯示選中標(biāo)記 (check mark)。圖8表示接收了同步指定信息的輸入的情況下的顯示例。在圖8中，例如， 關(guān)于處理順序?yàn)椤?”的指令、即控制對(duì)象的設(shè)備為“VB1-P1”的指令“打開(kāi)(OPEN) ”，對(duì)指定 是同步型指令的同步指定信息進(jìn)行接收。另外，關(guān)于處理順序?yàn)椤?”的指令、即控制對(duì)象的 設(shè)備為“VB2-P1”的指令“打開(kāi)”，對(duì)指定是異步型指令的同步指定信息進(jìn)行接收。接下來(lái)，用戶操作鼠標(biāo)等，按下如圖7所示的用于接收同步指定信息的畫(huà)面的“確 定”按鈕70等、或者進(jìn)行同樣的菜單操作等，由此同步指定信息的接收結(jié)束，指定接收部 104將接收到的同步指定信息存儲(chǔ)在同步指定信息存儲(chǔ)部105等中。圖9是用于管理指定接收部104接收的存儲(chǔ)在同步指定信息存儲(chǔ)部105等中的同 步指定信息的同步指定信息管理表。同步指定信息管理表具有被稱作“ID”、“同步”、“異步” 的項(xiàng)目?！癐D”是用于確定指令的識(shí)別信息，相當(dāng)于圖5的“ID”。“同步”是表示與相同記錄 的“ID”對(duì)應(yīng)的指令為同步型指令的信息，如果值為“1”，則表示圖5所示的指令管理表中的 “ID”的值相同的記錄的指令為同步型?！爱惒健笔潜硎九c相同記錄的“ID”對(duì)應(yīng)的指令為異 步型指令的信息，如果值為“ 1 ”，則表示圖5所示的指令管理表中的“ ID”的值相同的記錄 的指令為異步型。另外，如果兩者的值為“_”，則表示同步指定信息為“未指定”。針對(duì)在與 圖8的“同步”對(duì)應(yīng)的復(fù)選框61中具有選中標(biāo)記的指令，作為與圖5所示的指令管理表所 表示的該指令的“ID”值具有相同的“ID”值的圖9的同步指定信息管理表中的記錄的“同 步”項(xiàng)目值而存儲(chǔ)“1”。另外，針對(duì)在與圖8中的“異步”對(duì)應(yīng)的復(fù)選框62中具有選中標(biāo)記 的指令，作為與圖5所示的指令管理表所表示的該指令的“ID”值具有相同的“ID”值的圖 9的同步指定信息管理表中的記錄的“異步”項(xiàng)目值而存儲(chǔ)“1”。另外，“同步”以及“異步” 的項(xiàng)目值“_”表示沒(méi)有存儲(chǔ)項(xiàng)目值。同步指定信息管理表例如只要存儲(chǔ)在未圖示的存儲(chǔ)器 等的存儲(chǔ)部或指令存儲(chǔ)部101等中并進(jìn)行管理即可。另外，在此，雖然以稱作“ID”的項(xiàng)目 將上述的指令管理表和同步指定信息管理表的記錄對(duì)應(yīng)了起來(lái)，但是也可以用一個(gè)管理表 來(lái)整理并管理上述的指令管理表和同步指定信息管理表。接下來(lái)，假設(shè)用戶操作菜單等，向信息處理裝置10下達(dá)顯示指定同步指定信息后 的結(jié)果的指示。畫(huà)面輸出部103利用圖5所示的指令管理表以及圖9所示的同步指定信息 管理表的信息將指定同步指定信息后的指令的列表顯示在監(jiān)視器等上。圖10表示顯示例。 在圖10中，“步驟信息”是將圖5的“順序”的值和表示是指令的信息(這里是被稱作“動(dòng) 作”的字符串)相結(jié)合的項(xiàng)目。例如“2.動(dòng)作”表示是被處理的“順序”為第“2”個(gè)的指令。 “設(shè)備”、“指令”分別相當(dāng)于圖5的“設(shè)備”、“指令”?！捌渌敿?xì)情況”是表示指令是否為同 步型指令的項(xiàng)目，由于在圖9中當(dāng)“同步”的項(xiàng)目值為“1”時(shí)表示是同步型指令，因此，“其 他詳細(xì)情況”的項(xiàng)目值被顯示成“等待”?！岸〞r(shí)超時(shí)”是表示是否利用定時(shí)超時(shí)來(lái)判斷指令 的結(jié)束的項(xiàng)目，由于在圖9中當(dāng)“異步”的項(xiàng)目值為“1”時(shí)表示是異步型指令，因此該項(xiàng)目 值被顯示成“不等待結(jié)束”。接下來(lái)，假設(shè)用戶向指示信息處理裝置10下達(dá)了執(zhí)行存儲(chǔ)在指令存儲(chǔ)部101中的指令的指示。首先，最初指令執(zhí)行部106從指令存儲(chǔ)部101讀出如圖5所示的指令管理表的“順 序”為“1”的記錄的指令。然后開(kāi)始執(zhí)行所讀出的指令。在此，例如讀出圖5所示的被稱作 “起動(dòng)”的指令，并對(duì)被稱作“DRP1”的設(shè)備執(zhí)行所讀出的指令。接下來(lái)，指令執(zhí)行部106從指令存儲(chǔ)部101讀出在用圖5所示的指令管理表管理 的指令中“順序”的值為緊接之前讀出的指令的“順序”的下一個(gè)順序的指令。然后，參照 圖8所示的同步指定信息管理表，對(duì)于讀出的指令判斷是同步型指令還是異步型指令。例 如，在此從指令管理表中讀出作為處理順序?yàn)榈?個(gè)的指令的、對(duì)于“VB1-P1”的“打開(kāi)”指 令。另外，從指令管理表讀出作為與該指令對(duì)應(yīng)的“ID”的“002”。然后，判斷圖9所示的同 步指定信息管理表中的“ ID”項(xiàng)目為“002”的記錄的“同步”或者“異步”的項(xiàng)目中的哪一 個(gè)為“1”。在此，由于“同步”為“1”，因此指令執(zhí)行部106判斷接下來(lái)執(zhí)行的對(duì)于“VB1-P1” 的“打開(kāi)”指令為同步型指令。因此，指令執(zhí)行部106判斷緊接之前執(zhí)行的對(duì)于被稱作“DRP1”的設(shè)備的“打開(kāi)”指 令是否結(jié)束，當(dāng)結(jié)束了時(shí)，執(zhí)行對(duì)于下一個(gè)“VB1-P1”的“打開(kāi)”指令。當(dāng)沒(méi)有結(jié)束時(shí)，等待 至結(jié)束為止再執(zhí)行對(duì)于“VB1-P1 ”的“打開(kāi)”指令。在此，假設(shè)對(duì)于“DRP1”的“打開(kāi)”指令的執(zhí)行結(jié)束，并且由指令執(zhí)行部106開(kāi)始執(zhí) 行了作為同步型指令的對(duì)于“VB1-P1”的“打開(kāi)”指令。指令執(zhí)行部106從指令存儲(chǔ)部101讀出對(duì)于“VB2-P1”的“打開(kāi)”指令，其中所述 對(duì)于“VB2-P1”的“打開(kāi)”指令是在用圖5所示的指令管理表管理的指令中作為“順序”的 值為緊接之前讀出的“順序”為“2”的指令的下一個(gè)順序的指令。另外，從指令管理表中讀 出作為與該指令對(duì)應(yīng)的“ID”的“003”。然后，指令執(zhí)行部106與上述同樣地利用讀出的“ID”和同步指定信息管理表來(lái)判 斷對(duì)于該“VB2-P1”的“打開(kāi)”指令是同步型指令還是異步型指令。在此，在同步指定信息 管理表中，由于“ID”為“003”的記錄的“同步”的項(xiàng)目值為“1”，因此判斷為同步型指令。因此，指令執(zhí)行部106等待至緊接之前執(zhí)行的對(duì)于被稱作“VB1-P1 ”的設(shè)備的“打 開(kāi)”指令的結(jié)束，再開(kāi)始執(zhí)行接下來(lái)的對(duì)于“VB2-P1”的“打開(kāi)”指令。指令執(zhí)行部106從指令存儲(chǔ)部101讀出對(duì)于“TMP1”的“起動(dòng)”指令，其中所述對(duì) 于“TMP1”的“起動(dòng)”指令是在用圖5所示的指令管理表管理的指令中作為“順序”的值為 緊接之前讀出的“順序”為“3”的指令的下一個(gè)順序的指令。另外，從指令管理表中讀出作 為與該指令對(duì)應(yīng)的“ID”的“004”。然后，指令執(zhí)行部106與上述同樣地參照讀出的“ID”和同步指定信息管理表來(lái)判 斷對(duì)于該被稱作“TMP1”的設(shè)備的“起動(dòng)”指令是同步型指令還是異步型指令。在此，在同 步指定信息管理表中，由于“ID”為“004”的記錄的“異步”的項(xiàng)目值為“1”，因此判斷為異 步型指令。因此，指令執(zhí)行部106不等待緊接之前執(zhí)行的對(duì)于被稱作“VB2-P1 ”的設(shè)備的“打 開(kāi)”指令的結(jié)束，就執(zhí)行接下來(lái)的對(duì)于被稱作“TMP1”的設(shè)備的“起動(dòng)”指令。另外，同樣地，關(guān)于對(duì)“順序”為“5”的被稱作“TMP2”的設(shè)備的被稱作“起動(dòng)”的 指令，由于與該指令對(duì)應(yīng)的“異步”的項(xiàng)目值為“1”，因此指令執(zhí)行部106也將其判斷為是異 步型指令，并且不等待緊接之前執(zhí)行的對(duì)于被稱作“TMP1”的設(shè)備的“起動(dòng)”指令結(jié)束，就執(zhí)行對(duì)于被稱作“TMP2”的設(shè)備的“起動(dòng)”指令。接下來(lái)，與上述的對(duì)于被稱作“VB2-P1”的設(shè)備的“打開(kāi)”指令的情況同樣地，指令 執(zhí)行部106針對(duì)“順序”為“6”的對(duì)于被稱作“VB1-P3”的設(shè)備的“打開(kāi)”指令，由于與該指 令對(duì)應(yīng)的“同步”的項(xiàng)目值為“1”，因此判斷為是同步型指令。然后，判斷緊接之前執(zhí)行的作 為同步型指令的對(duì)于被稱作“VB2-P1”的設(shè)備的“打開(kāi)”指令是否結(jié)束，當(dāng)結(jié)束了時(shí)，執(zhí)行對(duì) 于被稱作“VB1-P3”的設(shè)備的“打開(kāi)”。當(dāng)沒(méi)有結(jié)束時(shí)，等待至對(duì)于被稱作“VB2-P1”的設(shè)備 的“打開(kāi)”指令結(jié)束再執(zhí)行對(duì)于被稱作“VB1-P3”的設(shè)備的“打開(kāi)”指令。以下，與上述的同樣地執(zhí)行存儲(chǔ)在指令存儲(chǔ)部101中的指令。在這里，利用圖11說(shuō)明執(zhí)行上述的存儲(chǔ)在指令存儲(chǔ)部101中的各指令的定時(shí)。在 此，“DRP1”、“VB1-P1”、“VB2-P1”、“TMP1”、“TMP2” “VB3-P1 ” 為成為指令的執(zhí)行對(duì)象的設(shè)備 200a 200f，各設(shè)備200a 200f在根據(jù)各指令的控制結(jié)束之后，對(duì)信息處理裝置10返回 表示指令的執(zhí)行已完成的結(jié)束響應(yīng)。例如，當(dāng)從作為設(shè)備200a的“DRP1”向信息處理裝置10發(fā)送了針對(duì)“起動(dòng)”的指 令的執(zhí)行的結(jié)束響應(yīng)時(shí)，執(zhí)行對(duì)于作為設(shè)備200b的“VB1-P1”的“打開(kāi)”指令。另外，當(dāng)從 "VBl-Pl"向信息處理裝置10發(fā)送了針對(duì)“打開(kāi)”指令的執(zhí)行的結(jié)束響應(yīng)時(shí)，執(zhí)行對(duì)于作為 設(shè)備200c的“VB2-P1”的“打開(kāi)”指令。另外，當(dāng)從“VB2-P1”向信息處理裝置10發(fā)送了針 對(duì)“打開(kāi)”指令的執(zhí)行的結(jié)束響應(yīng)時(shí)，執(zhí)行對(duì)于作為設(shè)備200f的“VB3-P1”的“打開(kāi)”指令。 由此，設(shè)備200a 200c以及設(shè)備200f被同步地、連續(xù)地控制。另外，在執(zhí)行對(duì)于“VB2-P1 ”的“打開(kāi)”指令之后，不等待來(lái)自“VB2-P1 ”的對(duì)于“打 開(kāi)”指令的結(jié)束響應(yīng)，就馬上執(zhí)行對(duì)于作為設(shè)備200d的“TMP1 ”的“起動(dòng)”指令。另外，同樣地，在緊接執(zhí)行對(duì)于“TMP1”的“起動(dòng)”指令之后，不等待來(lái)自“TMP1”的 對(duì)于“起動(dòng)”指令的結(jié)束響應(yīng)，就馬上執(zhí)行對(duì)于作為設(shè)備200e的“TMP2”的“起動(dòng)”指令。其結(jié)果是，能夠使設(shè)備200d和設(shè)備200e與其他的設(shè)備并列地動(dòng)作。以上，根據(jù)本實(shí)施方式，由于能夠?qū)Ξ?huà)面輸出部103所輸出的畫(huà)面輸入指定指令 執(zhí)行部106所執(zhí)行的指令是與其他的指令同步執(zhí)行的指令還是異步執(zhí)行的指令的信息，因 此用戶能夠容易地指定將可同步的執(zhí)行的指令和可異步執(zhí)行的指令相組合的所期望的處 理并執(zhí)行。另外，在上述實(shí)施方式中，雖然說(shuō)明了將指定接收部104針對(duì)畫(huà)面輸出部103所 輸出的畫(huà)面的各指令接收的同步指定信息存儲(chǔ)在同步指定信息存儲(chǔ)部105等中的情況，但 是在本發(fā)明中，也可以將預(yù)先與指令對(duì)應(yīng)起來(lái)的同步指定信息存儲(chǔ)在同步指定信息存儲(chǔ)部 105中。并且，指令執(zhí)行部106也可以根據(jù)預(yù)先存儲(chǔ)的同步指定信息來(lái)判斷是否同步執(zhí)行指 令。另外，該被存儲(chǔ)的同步指定信息也可以不是針對(duì)畫(huà)面輸出部103所輸出的畫(huà)面的各指 令接收的同步指定信息，例如也可以從未圖示的接收部等中接收存儲(chǔ)有如圖9所示的那樣 將同步指定信息和指令對(duì)應(yīng)起來(lái)的信息的文件等。該將同步指定信息和指令對(duì)應(yīng)起來(lái)的信 息采用任何形式都可以，例如，既可以是利用制位符(tab)或空格等來(lái)劃分對(duì)應(yīng)的同步指 定信息和指令的組合并將其配置在不同的行的文本信息等，也可以是圖9或圖10的顯示例 所示的表形式的數(shù)據(jù)。另外，在這樣的表形式的數(shù)據(jù)中，既可以如作為通常的表計(jì)算軟件的 所謂的電子表格(spreadsheet)那樣將各數(shù)據(jù)輸入到單元格(cell)等中，也可以是利用制 位符或空格等來(lái)劃分?jǐn)?shù)據(jù)的列、并且利用換行代碼等來(lái)劃分?jǐn)?shù)據(jù)的行的信息。
另外，在上述實(shí)施方式中，作為指令中的一個(gè)而存在叫做“等待至異步動(dòng)作的1個(gè) 以上的指令結(jié)束為止”的指令。當(dāng)存在該指令時(shí)，等待至之前動(dòng)作的1個(gè)以上的異步指令結(jié) 束為止，然后進(jìn)行執(zhí)行下一個(gè)指令的處理。另外，在上述各實(shí)施方式中，各處理(各功能)可以通過(guò)由單一裝置(系統(tǒng))進(jìn)行 集中處理來(lái)實(shí)現(xiàn)，或者，可以通過(guò)由多個(gè)裝置進(jìn)行分散處理來(lái)實(shí)現(xiàn)。另外，在上述各實(shí)施方式中，雖然說(shuō)明了信息處理裝置獨(dú)立(Stand-alone)的情 況，信息處理裝置既可以是獨(dú)立的裝置，也可以是服務(wù)器和客戶端系統(tǒng)中的服務(wù)器裝置。當(dāng) 是后者時(shí)，輸出部或接收部經(jīng)由通信線路接收輸入或者輸出畫(huà)面。另外，在上述各實(shí)施方式中，各構(gòu)成要素可以由專用的硬件構(gòu)成，或者，對(duì)于可由 軟件實(shí)現(xiàn)的構(gòu)成要素也可以通過(guò)執(zhí)行程序來(lái)實(shí)現(xiàn)。例如，可以由MPU等程序執(zhí)行部讀出并 執(zhí)行記錄在硬盤(pán)或半導(dǎo)體存儲(chǔ)器等記錄介質(zhì)中的軟件/程序來(lái)實(shí)現(xiàn)各構(gòu)成要素。另外，實(shí)現(xiàn)上述各實(shí)施方式中的信息處理裝置的軟件是如下程序。即，該程序是用 于使計(jì)算機(jī)作為按照處理順序執(zhí)行被存儲(chǔ)的指定了所述處理順序的1個(gè)以上的指令的指 令執(zhí)行部而發(fā)揮功能的程序，以便針對(duì)被存儲(chǔ)的指定了處理順序的1個(gè)以上的指令，根據(jù) 被存儲(chǔ)的同步指定信息，對(duì)于被指定為同步執(zhí)行的指令，在緊接之前的指令結(jié)束之后再執(zhí) 行，對(duì)于被指定為異步執(zhí)行的指令，不等待緊接之前的指令結(jié)束就執(zhí)行指令，其中，所述同 步指定信息是指定與其他指令同步執(zhí)行還是異步執(zhí)行的信息。另外，該程序使計(jì)算機(jī)作為畫(huà)面構(gòu)成部、畫(huà)面輸出部、指定接收部、以及指令執(zhí)行 部來(lái)發(fā)揮功能，其中，所述畫(huà)面構(gòu)成部構(gòu)成用于接收同步指定信息的畫(huà)面，所述同步指定信 息是針對(duì)被存儲(chǔ)的指定了處理順序的1個(gè)以上的各指令指定與其他指令同步執(zhí)行還是異 步執(zhí)行的信息；所述畫(huà)面輸出部輸出在所述畫(huà)面構(gòu)成步驟中所構(gòu)成的畫(huà)面；所述指定接收 部接收針對(duì)在所述畫(huà)面輸出步驟中所輸出的畫(huà)面的各指令的所述同步指定信息；所述指令 執(zhí)行部按照所述處理順序執(zhí)行所述被存儲(chǔ)的指令，以對(duì)于由在所述指定接收步驟中所接收 的同步指定信息指定為同步執(zhí)行的指令，在緊接之前的指令結(jié)束之后再執(zhí)行，而對(duì)于被指 定為異步執(zhí)行的指令，不等待緊接之前的指令結(jié)束就執(zhí)行指令。另外，在上述程序中，上述程序所實(shí)現(xiàn)的功能不包含只能用硬件來(lái)實(shí)現(xiàn)的功能。例 如，獲取信息的獲取部或輸出信息的輸出部等中的調(diào)制解調(diào)器或接口卡等的只能用硬件實(shí) 現(xiàn)的功能不被包含在上述程序所實(shí)現(xiàn)的功能中。另外，執(zhí)行該程序的計(jì)算機(jī)既可以是一個(gè)也可以是多個(gè)。即，既可以進(jìn)行集中處 理，也可以進(jìn)行分散處理。圖12是表示執(zhí)行上述程序來(lái)實(shí)現(xiàn)根據(jù)上述實(shí)施方式的信息處理裝置的計(jì)算機(jī)的 外觀的一個(gè)例子的示意圖。上述實(shí)施方式通過(guò)計(jì)算機(jī)硬件以及在該計(jì)算機(jī)硬件上執(zhí)行的計(jì) 算機(jī)程序來(lái)實(shí)現(xiàn)。在圖12中，計(jì)算機(jī)系統(tǒng)500包括計(jì)算機(jī)501、鍵盤(pán)502、鼠標(biāo)503、監(jiān)視器504，其中 所述計(jì)算機(jī)501包括CD-ROM (Compact Disk Read Only Memory，光盤(pán)只讀存儲(chǔ)器)驅(qū)動(dòng)器 505、FD (Flexible Disk，軟盤(pán))驅(qū)動(dòng)器 506。圖13是表示計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的圖。在圖13中，計(jì)算機(jī)501除了⑶-ROM驅(qū)動(dòng)器505、FD 驅(qū)動(dòng)器506之外，還包括MPU (Micro Processing Unit，微處理單元)511 ；用于存儲(chǔ)啟動(dòng)程 序(boot up program)等程序的 ROM (Read Only Memory，只讀存儲(chǔ)器)512 ；與 MPU 511 連
15接并暫時(shí)存儲(chǔ)應(yīng)用程序的命令并且提供暫時(shí)存儲(chǔ)空間的RAM (Random Access Memory，隨機(jī) 存取存儲(chǔ)器)513;存儲(chǔ)應(yīng)用程序、系統(tǒng)程序、以及數(shù)據(jù)的硬盤(pán)514;以及將MPU 51UR0M 512 等彼此連接起來(lái)的總線515。另外，計(jì)算機(jī)501也可以包含提供對(duì)LAN的連接的未圖示的網(wǎng)卡。使計(jì)算機(jī)系統(tǒng)500執(zhí)行根據(jù)上述實(shí)施方式的信息處理裝置的功能的程序也可以 被存儲(chǔ)在⑶-ROM 521或FD 522中，并被插入⑶-ROM驅(qū)動(dòng)器505或FD驅(qū)動(dòng)器506中，進(jìn)而 被轉(zhuǎn)送到硬盤(pán)514中。取而代之，該程序也可以經(jīng)由未圖示的網(wǎng)卡發(fā)送給計(jì)算機(jī)501并存 儲(chǔ)在硬盤(pán)514中。程序在執(zhí)行時(shí)從RAM 513加載。另外，程序也可以直接從⑶-ROM 521或 FD 522或者網(wǎng)絡(luò)加載。程序可以不一定包含使計(jì)算機(jī)501執(zhí)行根據(jù)上述實(shí)施方式的信息處理裝置的功 能的操作系統(tǒng)(OS)、或者第三方程序等。程序也可以只包含命令部分，所述命令以被控制的 方式調(diào)用合適的功能(模塊)來(lái)獲得所期望的結(jié)果。由于計(jì)算機(jī)系統(tǒng)500如何進(jìn)行動(dòng)作是 公知的，因此省略詳細(xì)說(shuō)明。本發(fā)明不限于以上的實(shí)施方式，也可以進(jìn)行各種變形，勿庸置疑這些變形也被包 含在本發(fā)明的范圍內(nèi)。產(chǎn)業(yè)上的實(shí)用性如上所述，本發(fā)明涉及的信息處理裝置等適于用作半導(dǎo)體制造工序等中所使用的 信息處理裝置，特別是作為執(zhí)行包含有同步執(zhí)行指令和異步執(zhí)行指令的指令的信息處理裝 置等來(lái)說(shuō)是有用的。
1權(quán)利要求
一種信息處理裝置，包括指令存儲(chǔ)部，其能夠存儲(chǔ)指定了處理順序的1個(gè)以上的指令；同步指定信息存儲(chǔ)部，其能夠存儲(chǔ)同步指定信息，所述同步指定信息是針對(duì)存儲(chǔ)在所述指令存儲(chǔ)部中的各指令指定與其他指令同步執(zhí)行還是異步執(zhí)行的信息；以及指令執(zhí)行部，其按照所述處理順序執(zhí)行被存儲(chǔ)在所述指令存儲(chǔ)部中的指令，以對(duì)于由存儲(chǔ)在所述同步指定信息存儲(chǔ)部中的同步指定信息指定為同步執(zhí)行的指令，在緊接之前的指令結(jié)束之后再執(zhí)行，而對(duì)于被指定為異步執(zhí)行的指令，不等待緊接之前的指令結(jié)束就執(zhí)行指令。
2.一種信息處理裝置，包括指令存儲(chǔ)部，其能夠存儲(chǔ)指定了處理順序的1個(gè)以上的指令；畫(huà)面構(gòu)成部，其構(gòu)成用于接收同步指定信息的畫(huà)面，所述同步指定信息是針對(duì)存儲(chǔ)在 所述指令存儲(chǔ)部中的各指令指定與其他指令同步執(zhí)行還是異步執(zhí)行的信息；畫(huà)面輸出部，其輸出所述畫(huà)面構(gòu)成部所構(gòu)成的畫(huà)面；指定接收部，其接收所述畫(huà)面輸出部所輸出的畫(huà)面的針對(duì)各指令的所述同步指定信 息；以及指令執(zhí)行部，其按照所述處理順序執(zhí)行被存儲(chǔ)在所述指令存儲(chǔ)部中的指令，以對(duì)于由 所述指定接收部所接收的同步指定信息指定為同步執(zhí)行的指令，在緊接之前的指令結(jié)束之 后再執(zhí)行，而對(duì)于被指定為異步執(zhí)行的指令，不等待緊接之前的指令結(jié)束就執(zhí)行指令。
3.如權(quán)利要求2所述的信息處理裝置，其中，所述指令執(zhí)行部在緊接之前的、由同步指定信息指定為同步執(zhí)行的指令的執(zhí)行結(jié)束之 后，執(zhí)行由所述指定接收部所接收的同步指定信息指定為同步執(zhí)行的指令。
4.一種信息處理方法，所述方法是利用指令存儲(chǔ)部、同步指定信息存儲(chǔ)部、以及指令執(zhí) 行部進(jìn)行的信息處理方法，其中，所述指令存儲(chǔ)部能夠存儲(chǔ)指定了處理順序的1個(gè)以上的 指令，所述同步指定信息存儲(chǔ)部能夠存儲(chǔ)同步指定信息，所述同步指定信息是針對(duì)存儲(chǔ)在 所述指令存儲(chǔ)部中的各指令指定與其他指令同步執(zhí)行還是異步執(zhí)行的信息，其中，所述信息處理方法包括指令執(zhí)行步驟，在所述指令執(zhí)行步驟中，所述指令執(zhí)行部按照所述處理順序執(zhí)行被存儲(chǔ)在所述指令存 儲(chǔ)部中的指令，以對(duì)于由存儲(chǔ)在所述同步指定信息存儲(chǔ)部中的同步指定信息指定為同步執(zhí) 行的指令，在緊接之前的指令結(jié)束之后再執(zhí)行，而對(duì)于被指定為異步執(zhí)行的指令，不等待緊 接之前的指令結(jié)束就執(zhí)行指令。
5.一種信息處理方法，所述方法是利用能夠存儲(chǔ)指定了處理順序的1個(gè)以上的指令的 指令存儲(chǔ)部、畫(huà)面構(gòu)成部、畫(huà)面輸出部、指定接收部、以及指令執(zhí)行部來(lái)進(jìn)行的信息處理方 法，并且，所述信息處理方法包括畫(huà)面構(gòu)成步驟，其中所述畫(huà)面構(gòu)成部構(gòu)成用于接收同步指定信息的畫(huà)面，所述同步指 定信息是針對(duì)存儲(chǔ)在所述指令存儲(chǔ)部中的各指令指定與其他指令同步執(zhí)行還是異步執(zhí)行 的信息；畫(huà)面輸出步驟，其中所述畫(huà)面輸出部輸出在所述畫(huà)面構(gòu)成步驟構(gòu)成的畫(huà)面；指定接收步驟，其中所述指定接收部接收針對(duì)在所述畫(huà)面輸出步驟中輸出的畫(huà)面的各 指令的所述同步指定信息；以及指令執(zhí)行步驟，其中所述指令執(zhí)行部按照所述處理順序執(zhí)行被存儲(chǔ)在所述指令存儲(chǔ)部 中的指令，以對(duì)于在所述指定接收步驟中所接收的同步指定信息指定為同步執(zhí)行的指令， 在緊接之前的指令結(jié)束之后再執(zhí)行，而對(duì)于被指定為異步執(zhí)行的指令，不等待之前的指令 結(jié)束就執(zhí)行指令。
6.一種程序，使得計(jì)算機(jī)作為按照處理順序執(zhí)行被存儲(chǔ)的指定了處理順序的1個(gè)以上 的指令的指令執(zhí)行部來(lái)發(fā)揮功能，以對(duì)于由存儲(chǔ)的同步指定信息指定為同步執(zhí)行的指令， 在緊接之前的指令結(jié)束之后再執(zhí)行，而對(duì)于被指定為異步執(zhí)行的指令，不等待緊接之前的 指令結(jié)束就執(zhí)行指令，其中，所述同步指定信息是針對(duì)被存儲(chǔ)的指定了處理順序的1個(gè)以 上的指令指定與其他指令同步執(zhí)行還是異步執(zhí)行的信息。
7.一種程序，所述程序使計(jì)算機(jī)作為畫(huà)面構(gòu)成部、畫(huà)面輸出部、指定接收部、以及指令 執(zhí)行部來(lái)發(fā)揮功能，其中，所述畫(huà)面構(gòu)成部構(gòu)成用于接收同步指定信息的畫(huà)面，所述同步指定信息是針對(duì)被存儲(chǔ) 的指定了處理順序的1個(gè)以上的指令指定與其他指令同步執(zhí)行還是異步執(zhí)行的信息； 所述畫(huà)面輸出部輸出在所述畫(huà)面構(gòu)成步驟中構(gòu)成的畫(huà)面；所述指定接收部接收針對(duì)在所述畫(huà)面輸出步驟中輸出的畫(huà)面的各指令的所述同步指定信息；所述指令執(zhí)行部按照所述處理順序執(zhí)行被存儲(chǔ)在所述指令存儲(chǔ)部中的指令，以對(duì)于由 在所述指定接收步驟中接收的同步指定信息指定為同步執(zhí)行的指令，在緊接之前的指令結(jié) 束之后再執(zhí)行，而對(duì)于被指定為異步執(zhí)行的指令，不等待緊接之前的指令結(jié)束就執(zhí)行指令。
全文摘要
本發(fā)明解決了以往存在無(wú)法容易地將可同步執(zhí)行的指令和可異步執(zhí)行的指令相結(jié)合執(zhí)行所期望的處理的問(wèn)題。本發(fā)明的信息處理裝置，包括畫(huà)面構(gòu)成部(102)，其構(gòu)成用于接收同步指定信息的畫(huà)面，所述同步指定信息是針對(duì)存儲(chǔ)在指令存儲(chǔ)部(101)中的指定了處理順序的各指令指定與其他指令同步執(zhí)行還是異步執(zhí)行的信息；畫(huà)面輸出部(103)，其輸出所構(gòu)成的畫(huà)面；指定接收部(104)，其接收針對(duì)所輸出的畫(huà)面的各指令的同步指定信息；以及指令執(zhí)行部(106)，其按照處理順序執(zhí)行被存儲(chǔ)在指令存儲(chǔ)部(101)中的指令，以對(duì)于由同步指定信息指定為同步執(zhí)行的指令，在緊接之前的指令結(jié)束之后再執(zhí)行，而對(duì)于被指定為異步執(zhí)行的指令，不等待緊接之前的指令結(jié)束就執(zhí)行指令。
文檔編號(hào)G05B19/418GK101933119SQ20088012606
公開(kāi)日2010年12月29日 申請(qǐng)日期2008年12月17日 優(yōu)先權(quán)日2008年2月1日
發(fā)明者西村優(yōu) 申請(qǐng)人:東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社