專利名稱：用于真空設(shè)備開門過程的充氣方法和充氣過程的控制裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明創(chuàng)新涉及電池片制造領(lǐng)域，主要是涉及一種用于真空設(shè)備開門過程的充氣方法和用于真空設(shè)備充氣過程的控制裝置，所述真空設(shè)備可以為鍍膜工序中的石英爐管等需要在真空環(huán)境條件下工作的設(shè)備。
背景技術(shù)：
鍍膜設(shè)備的石英爐管內(nèi)平時(shí)是真空狀態(tài)。在鍍膜工藝結(jié)束，需要開啟爐門時(shí)，系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)向爐管內(nèi)部充入氮?dú)?，?dāng)爐管內(nèi)的氣壓達(dá)到一個(gè)大氣壓才允許打開爐門。如圖I所示，現(xiàn)有技術(shù)中，用于控制真空設(shè)備充氣過程的裝置包括一個(gè)用于控制的PLC和用于檢測(cè)所述真空設(shè)備內(nèi)壓力的壓力傳感器，所述PLC接收來自壓力傳感器的信號(hào)，向爐門、進(jìn)氣閥和泄氣閥分別發(fā)出打開或者關(guān)閉的信號(hào)。為了便于使用PLC進(jìn)行精確控制，所述進(jìn)氣閥和泄氣閥均為電磁閥，或者為由電磁閥控制的其他氣動(dòng)閥，本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)該理解，在本·發(fā)明中，所述PLC與所述進(jìn)氣閥和泄氣閥連接的意思為，所述PLC的控制信號(hào)用于控制所述進(jìn)氣閥和泄氣閥的打開或關(guān)閉，從而實(shí)現(xiàn)與真空設(shè)備的進(jìn)氣或者泄氣管路的接通或斷開?，F(xiàn)有的充氣過程是這樣的鍍膜工藝結(jié)束，開始向爐管內(nèi)部充入氮?dú)?，?dāng)達(dá)到一個(gè)大氣壓時(shí)，泄壓閥動(dòng)作，與大氣連通，使?fàn)t管內(nèi)部的壓力保持在一個(gè)大氣壓，系統(tǒng)還會(huì)繼續(xù)向爐管內(nèi)充入氮?dú)猓钡綘t門打開。這樣在爐管內(nèi)氣壓達(dá)到一個(gè)大氣壓直到開爐門時(shí)，會(huì)造成一部分氮?dú)馔ㄟ^泄壓閥排向大氣，造成浪費(fèi)。并且，由于泄壓閥在每一次開爐門時(shí)都要?jiǎng)幼?，頻繁的動(dòng)作會(huì)使泄壓閥的密封效果減弱，造成漏氣，使?fàn)t管內(nèi)真空度達(dá)不到設(shè)定值，導(dǎo)致停機(jī)檢修。發(fā)明人發(fā)現(xiàn)現(xiàn)有技術(shù)存在重大的缺陷，每次打開爐門時(shí)，泄壓閥都要?jiǎng)幼?，使泄壓閥的密封效果減弱，造成漏氣，此外還會(huì)造成一部分氮?dú)饫速M(fèi)。泄壓閥的密封效果減弱后，影響爐管內(nèi)的真空度，嚴(yán)重的會(huì)造成停產(chǎn)，而且由于泄壓閥發(fā)生泄漏后不容易被檢測(cè)到，嚴(yán)
重影響生產(chǎn)。

發(fā)明內(nèi)容
針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷，本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是，減少氮?dú)饫速M(fèi)，并減少泄壓閥的動(dòng)作，延長(zhǎng)其使用壽命。為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案用于真空設(shè)備開門過程的充氣方法，包括以下步驟(I)打開與所述真空設(shè)備連接的進(jìn)氣閥向所述真空設(shè)備內(nèi)充氣；(2)當(dāng)所述真空設(shè)備內(nèi)的壓力達(dá)到第一預(yù)定值時(shí)，關(guān)閉所述進(jìn)氣閥，停止供氣；(3)打開所述真空設(shè)備。作為優(yōu)選，在所述的步驟⑴中，由PLC向與其連接的所述進(jìn)氣閥發(fā)出使進(jìn)氣閥打開向所述真空設(shè)備內(nèi)充氣的信號(hào)；在所述的步驟(2)中，當(dāng)所述真空設(shè)備內(nèi)的壓力達(dá)到所述第一預(yù)定值時(shí)，用于檢測(cè)所述真空設(shè)備內(nèi)壓力的壓力傳感器使與其連接的電磁繼電器得電，打開連接在所述PLC與所述進(jìn)氣閥之間的所述電磁繼電器的常閉開關(guān)，并閉合連接在所述PLC與電源之間的所述電磁繼電器的常開開關(guān)；在所述的步驟(3)中，所述PLC與所述電源連通后，向用于控制所述真空設(shè)備的爐門打開或關(guān)閉的爐門開關(guān)發(fā)出打開的信號(hào)。作為優(yōu)選，還包括以下步驟(4)當(dāng)所述真空設(shè)備內(nèi)的壓力達(dá)到或者超過比所述第一預(yù)定值大的第二預(yù)定值時(shí)，打開與所述真空設(shè)備連接的泄壓閥。作為優(yōu)選，所述第一預(yù)定值為一個(gè)大氣壓。作為優(yōu)選，所述步驟⑴中所充入的氣體為氮?dú)?。本發(fā)明還提供了一種用于真空設(shè)備充氣過程的控制裝置，包括PLC、用于檢測(cè)所述真空設(shè)備內(nèi)的壓力的壓力傳感器和與所述壓力傳感器連接用于接收所述壓力傳感器在所述真空設(shè)備內(nèi)的壓力達(dá)到第一預(yù)定值時(shí)發(fā)出的第一信號(hào)的電磁繼電器；所述PLC通過所述電磁繼電器的常閉開關(guān)與所述真空設(shè)備的進(jìn)氣閥連接，所述PLC通過所述電磁繼電器的常開開關(guān)與電源連接，所述PLC還與用于控制所述真空設(shè)備的爐門開啟打開或關(guān)閉的爐門開關(guān)連接。作為優(yōu)選，所述壓力傳感器還和與所述真空設(shè)備相通的泄壓閥連接以接收所述壓力傳感器在所述真空設(shè)備內(nèi)的壓力的達(dá)到或超過比所述第一預(yù)定值大的第二預(yù)定值時(shí)發(fā)
出的第二信號(hào)。作為優(yōu)選，所述壓力傳感器還與所述PLC連接以接收通過所述PLC設(shè)置的所述第 一預(yù)定值和第二預(yù)定值。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果在于，本發(fā)明的真空設(shè)備充氣的方法，在打開爐門之前已經(jīng)關(guān)閉進(jìn)氣閥，可以避免不必要的氮?dú)饫速M(fèi)。由于泄壓閥只在真空設(shè)備內(nèi)的壓力過大時(shí)才動(dòng)作，可以使泄壓閥少動(dòng)作甚至不動(dòng)作，降低泄壓閥動(dòng)作頻率，可以延長(zhǎng)泄壓閥的壽命，消除泄壓閥密封性能降低的隱患，降低設(shè)備運(yùn)營(yíng)及維護(hù)成本。


圖I為現(xiàn)有技術(shù)的真空設(shè)備充氣過程的控制裝置的結(jié)構(gòu)框圖；圖2為本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的爐管的進(jìn)氣與泄氣管道的結(jié)構(gòu)框圖；圖3為本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的用于真空設(shè)備開門過程的充氣方法的流程圖；圖4為本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的真空設(shè)備充氣過程的控制裝置的組成框圖；圖5為本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例的真空設(shè)備充氣過程的控制裝置的用于泄壓過程時(shí)的組成框圖。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)描述，但不作為對(duì)本發(fā)明的限定。以下以用于太陽電池生產(chǎn)過程中的鍍膜設(shè)備的石英爐管作為真空設(shè)備即本實(shí)施中的爐管I的例子進(jìn)行說明，本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)該理解，本發(fā)明所說的“真空設(shè)備”包括但不限于本實(shí)施中的爐管1，只要是打開時(shí)需要充入氣體的真空設(shè)備均可使用本發(fā)明的用于真空設(shè)備開門過程的充氣方法以及真空設(shè)備充氣過程的控制裝置。需要說明的是，在本發(fā)明及其實(shí)施例中，所述PLC與所述進(jìn)氣閥和泄氣閥連接應(yīng)理解為所述PLC的控制信號(hào)用于控制所述進(jìn)氣閥和泄氣閥的打開或關(guān)閉，從而實(shí)現(xiàn)與真空設(shè)備即本實(shí)施中的爐管I的進(jìn)氣管路或者泄氣管路的接通或斷開，S卩如果連接在進(jìn)氣管路或者泄氣管路中的為電磁閥，則所述PLC直接控制其開閉，如果連接在進(jìn)氣管路或者泄氣管路中的為其他形式的閥門，則每個(gè)閥門分別由一個(gè)電磁閥進(jìn)行控制，所述PLC通過電磁閥間接地控制進(jìn)氣管路或者泄氣管路的接通或斷開。同樣，所述壓力傳感器和泄壓閥之間連接也做同樣的理解，即壓力傳感器可以向泄壓閥發(fā)送打開或者關(guān)閉的信號(hào)，也可以向用于控制泄壓閥打開或關(guān)閉的電磁閥發(fā)送信號(hào)。圖2示出了本發(fā)明的用于真空設(shè)備開門過程的充氣方法的實(shí)施例的爐管的進(jìn)氣與泄氣管道的結(jié)構(gòu)。如圖2所示，爐管1(即真空設(shè)備)上設(shè)有爐門10，爐門10可以打開或關(guān)閉，由爐門開關(guān)(圖中未示出)控制。爐管I的一側(cè)通過進(jìn)氣閥2與氮?dú)夤?連接以向爐管I充入氮?dú)猓瑺t管I的另一側(cè)通過管道與真空泵6連接以把爐管I內(nèi)抽出真空，在爐 管I與真空泵6之間還設(shè)有防止氣體通過泄氣管道流入的單向閥7。爐管I還通過泄氣閥5與大氣連通，以便在爐管I內(nèi)的壓力超過預(yù)定值時(shí)通過泄氣閥5向外泄氣以降低爐管I內(nèi)的壓力。此外，為了檢測(cè)爐管I內(nèi)的壓力，還設(shè)有與爐管I連通的壓力傳感器4。當(dāng)爐管I內(nèi)充滿至少一個(gè)大氣壓的氮?dú)夂?，此時(shí)即使打開爐門10，空氣也不能進(jìn)入爐管1，可以打開爐門10，可以進(jìn)行作業(yè)，即把鍍膜完畢的硅片從爐管I取出或者把待鍍膜的硅片放入爐管I內(nèi)，作業(yè)完畢，關(guān)閉爐門10，通過真空泵6把爐管I抽成真空，可以進(jìn)行鍍膜作業(yè)。以下結(jié)合圖2、圖3說明本發(fā)明的實(shí)施例的用于真空設(shè)備即本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施中的爐管I開門過程的充氣方法，包括以下步驟(I)打開與真空設(shè)備即本實(shí)施中的爐管I連接的進(jìn)氣閥向真空設(shè)備即本實(shí)施中的爐管I內(nèi)充氣，在本實(shí)施例中，充入的為氮?dú)狻?2)當(dāng)真空設(shè)備即本實(shí)施中的爐管I內(nèi)的壓力達(dá)到第一預(yù)定值時(shí)，關(guān)閉進(jìn)氣閥，停止供氣，所述第一預(yù)定值即為真空設(shè)備即本實(shí)施中的爐管I可以打開時(shí)的壓力值，在本實(shí)施例中所述第一預(yù)定值為一個(gè)大氣壓，還可以根據(jù)需要選擇略大于一個(gè)大氣壓的值，如
I.05,1. 1U. 2個(gè)大氣壓，以保證在開啟爐門時(shí)，空氣不會(huì)進(jìn)入真空設(shè)備內(nèi)。(3)打開所述真空設(shè)備即本實(shí)施中的爐管I的爐門10。與現(xiàn)有技術(shù)相比，在本實(shí)施例的進(jìn)行充氣的過程中，泄氣閥根本不需動(dòng)作，降低泄壓閥動(dòng)作頻率，可以延長(zhǎng)泄壓閥的壽命，消除泄壓閥密封性能降低的隱患，降低設(shè)備運(yùn)營(yíng)及維護(hù)成本。由于在打開爐門之前已經(jīng)關(guān)閉進(jìn)氣閥，避免在打開爐門及以后還在充氣，減少浪費(fèi)，節(jié)約能源及成本。作為優(yōu)選，本實(shí)施例的用于真空設(shè)備即本實(shí)施中的爐管I開門過程的充氣方法，還包括以下步驟(4)當(dāng)真空設(shè)備即本實(shí)施中的爐管I內(nèi)的壓力達(dá)到或者超過第二預(yù)定值時(shí)，打開與真空設(shè)備即本實(shí)施中的爐管I連接的泄壓閥，其中，第二預(yù)定值大于第一預(yù)定值。其中第二預(yù)定值即為設(shè)定的安全值，可以根據(jù)實(shí)際需要設(shè)定一個(gè)超過一個(gè)大氣壓的值，顯然，第二預(yù)定值應(yīng)當(dāng)大于第一預(yù)定值。當(dāng)真空設(shè)備即本實(shí)施中的爐管I (即圖2所示的爐管I)內(nèi)壓力超過設(shè)定的安全值時(shí)，打開泄壓閥。圖4為本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的真空設(shè)備充氣過程的控制裝置的組成框圖。如圖4所示，本實(shí)施中的爐管I充氣過程的控制裝置，包括PLC100、用于檢測(cè)真空設(shè)備即本實(shí)施中的爐管I內(nèi)的壓力的壓力傳感器4和與壓力傳感器4連接用于接收壓力傳感器4在真空的爐管I內(nèi)的壓力的達(dá)到第一預(yù)定值時(shí)發(fā)出的第一信號(hào)的電磁繼電器9 ;電磁繼電器9包括一常閉開關(guān)K2和一常開開關(guān)Kl ；PLC100通過電磁繼電器9的常閉開關(guān)K2與真空設(shè)備即本實(shí)施中的爐管I的進(jìn)氣閥2連接，PLClOO通過電磁繼電器9的常開開關(guān)Kl與用于提供高電平的電源連接，PLC100還與用于控制真空設(shè)備即本實(shí)施中的爐管I的爐門10的爐門開關(guān)11連接。在本 實(shí)施例中，所述第一信號(hào)即為PLC100發(fā)出的24V的高電平信號(hào)，使電磁繼電器9的線圈帶電，電磁繼電器9動(dòng)作，使其常閉開關(guān)K2打開，常開開關(guān)Kl閉
入
口 ο以下結(jié)合圖2、圖3和圖4詳細(xì)說明實(shí)施中的爐管I充氣過程的控制裝置的工作過程，在一個(gè)工作流程結(jié)束，需要打開爐管I的爐門10時(shí)，PLC100向進(jìn)氣閥2發(fā)出一個(gè)24V的高電平信號(hào)，進(jìn)氣閥2打開，向爐管I內(nèi)充入氮?dú)?。?dāng)壓力傳感器4檢測(cè)到爐管I內(nèi)的壓力達(dá)到第一預(yù)定值時(shí)，在本實(shí)施例中第一預(yù)定值為一個(gè)大氣壓，向電磁繼電器9發(fā)出一個(gè)24V的高電平的信號(hào)，即第一信號(hào)，電磁繼電器9得電后動(dòng)作,使電磁繼電器9的常開開關(guān)Kl閉合，常閉開關(guān)K2打開。其中，常閉開關(guān)K2打開時(shí)，切斷進(jìn)氣閥2的高電平信號(hào)，進(jìn)氣閥2關(guān)閉，停止供氣。常閉開關(guān)K2打開時(shí)，接通提供高電平的電源，使PLC100接收到一個(gè)24V的高電平信號(hào)，即PLC100認(rèn)為爐管I內(nèi)的壓力達(dá)到第一預(yù)定值。在本實(shí)施例中，之所以采用壓力傳感器4的高電平信號(hào)驅(qū)動(dòng)電磁繼電器9動(dòng)作而向PLC100提供表示爐管I內(nèi)的壓力達(dá)到第一預(yù)定值的高電平信號(hào)，而沒有采用直接讓壓力傳感器4的高電平信號(hào)輸入PLC100，是因?yàn)閴毫鞲衅?的高電平信號(hào)的電壓值不夠穩(wěn)定，可能低于24V，從而可能向PLC100提供錯(cuò)誤的信號(hào)，即壓力傳感器4的高電平信號(hào)達(dá)不到PLC100所需要的電壓值時(shí)，雖然爐管I內(nèi)的壓力達(dá)到第一預(yù)定值，PLC100不能得到正確的信號(hào)，不會(huì)關(guān)閉進(jìn)氣閥2，氣體繼續(xù)進(jìn)入，壓力增大，從而引發(fā)事故。而電磁繼電器9能夠正常工作的電壓范圍較大，受壓力傳感器4的電壓波動(dòng)的影響較小。此外，如圖4所示，本實(shí)施例中，第一預(yù)定值的大小可通過PLC100設(shè)定，并通過PLC100傳送給壓力傳感器4。在上述爐管I充氣過程中，當(dāng)爐管I內(nèi)的壓力達(dá)到設(shè)定的第一預(yù)定值時(shí)，就關(guān)閉進(jìn)氣閥2，避免了氮?dú)饫速M(fèi)。與現(xiàn)有技術(shù)相比，在正常充氣的情況下，根本不使用泄壓閥，避免了泄壓閥的磨損、泄漏，延長(zhǎng)其使用壽命，降低設(shè)備運(yùn)營(yíng)及維護(hù)成本。圖5為本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例的真空設(shè)備即本實(shí)施中的爐管I充氣過程的控制裝置的用于泄壓過程時(shí)的組成框圖。在本實(shí)施例中，壓力傳感器4還和與真空設(shè)備即本實(shí)施中的爐管I相通的泄壓閥5連接以接收壓力傳感器4在爐管I的壓力達(dá)到或超過第二預(yù)定值時(shí)發(fā)出的第二信號(hào)。所謂的第二預(yù)定值即為保證所述真空設(shè)備安全的最大壓力值，顯然第二預(yù)定值大于第一預(yù)定值。所述的第二信號(hào)即當(dāng)爐管I內(nèi)的壓力達(dá)到第二預(yù)定值時(shí)，壓力傳感器4向泄壓閥5發(fā)送的打開信號(hào)，泄壓閥5接收到該第二信號(hào)后開始泄壓。當(dāng)發(fā)生故障時(shí)，爐管I內(nèi)壓力在達(dá)到第一預(yù)定值后，進(jìn)氣閥2并未關(guān)閉，爐管I的壓力繼續(xù)升高，當(dāng)達(dá)到第二預(yù)定值時(shí)，泄壓閥5動(dòng)作，進(jìn)行泄壓，確保安全。由以上工作過程可以看出，泄壓閥5只在爐管I過壓時(shí)才動(dòng)作，大大降低了動(dòng)作頻率，保證了設(shè)備的正常工作，降低了成本。如圖5所示，本實(shí)施例中，所述第二信號(hào)還傳送到PLC100，使PLC100得到爐管I過壓的信息，并使進(jìn)氣閥2關(guān)閉，避免壓力繼續(xù)增大。當(dāng)然，當(dāng)爐管I的壓力超過第二預(yù)定值時(shí)，壓力傳感器4也會(huì)向泄壓閥5發(fā)送打開的信號(hào)，使泄壓閥5打開泄壓。本發(fā)明的用于真空設(shè)備開門過程的充氣方法和用于真空設(shè)備充氣過程的控制裝置，通過對(duì)真空設(shè)備開門過程的充氣方法及控制裝置的改變，減少了氮?dú)饫速M(fèi)，并且減少了泄壓閥的動(dòng)作，延長(zhǎng)其使用壽命，降低設(shè)備運(yùn)營(yíng)及維護(hù)成本。 當(dāng)然，以上所述是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.用于真空設(shè)備開門過程的充氣方法，其特征在于，包括以下步驟 (1)打開與所述真空設(shè)備連接的進(jìn)氣閥向所述真空設(shè)備內(nèi)充氣； (2)當(dāng)所述真空設(shè)備內(nèi)的壓力達(dá)到第一預(yù)定值時(shí)，關(guān)閉所述進(jìn)氣閥，停止供氣； (3)打開所述真空設(shè)備。
2.如權(quán)利要求I所述的用于真空設(shè)備開門過程的充氣方法，其特征在于， 在所述的步驟(I)中，由PLC向與其連接的所述進(jìn)氣閥發(fā)出使進(jìn)氣閥打開向所述真空設(shè)備內(nèi)充氣的信號(hào)； 在所述的步驟(2)中，當(dāng)所述真空設(shè)備內(nèi)的壓力達(dá)到所述第一預(yù)定值時(shí)，用于檢測(cè)所述真空設(shè)備內(nèi)壓力的壓力傳感器使與其連接的電磁繼電器得電，打開連接在所述PLC與所述進(jìn)氣閥之間的所述電磁繼電器的常閉開關(guān)，并閉合連接在所述PLC與電源之間的所述電磁繼電器的常開開關(guān)； 在所述的步驟(3)中，所述PLC與所述電源連通后，向用于控制所述真空設(shè)備的爐門打開或關(guān)閉的爐門開關(guān)發(fā)出打開的信號(hào)。
3.如權(quán)利要求I或2所述的用于真空設(shè)備開門過程的充氣方法，其特征在于，還包括以下步驟 (4)當(dāng)所述真空設(shè)備內(nèi)的壓力達(dá)到或者超過比所述第一預(yù)定值大的第二預(yù)定值時(shí)，打開與所述真空設(shè)備連接的泄壓閥。
4.如權(quán)利要求3所述的用于真空設(shè)備開門過程的充氣方法，其特征在于，所述步驟(4)中，由用于檢測(cè)所述真空設(shè)備內(nèi)的壓力的壓力傳感器向與所述真空設(shè)備連接的所述泄壓閥發(fā)出打開的信號(hào)。
5.如權(quán)利要求I所述的用于真空設(shè)備開門過程的充氣方法，其特征在于，所述第一預(yù)定值為一個(gè)大氣壓。
6.如權(quán)利要求I所述的用于真空設(shè)備開門過程的充氣方法，其特征在于，所述步驟(I)中所充入的氣體為氮?dú)狻?br> 7.真空設(shè)備充氣過程的控制裝置，其特征在于，包括PLC、用于檢測(cè)所述真空設(shè)備內(nèi)的壓力的壓力傳感器和與所述壓力傳感器連接用于接收所述壓力傳感器在所述真空設(shè)備內(nèi)的壓力達(dá)到第一預(yù)定值時(shí)發(fā)出的第一信號(hào)的電磁繼電器； 所述PLC通過所述電磁繼電器的常閉開關(guān)與所述真空設(shè)備的進(jìn)氣閥連接，所述PLC通過所述電磁繼電器的常開開關(guān)與電源連接，所述PLC還與用于控制所述真空設(shè)備的爐門打開或關(guān)閉的爐門開關(guān)連接。
8.如權(quán)利要求7所述的用于真空設(shè)備充氣過程的控制裝置，其特征在于，所述壓力傳感器還和與所述真空設(shè)備相通的泄壓閥連接以接收所述壓力傳感器在所述真空設(shè)備內(nèi)的壓力的達(dá)到或超過比所述第一預(yù)定值大的第二預(yù)定值時(shí)發(fā)出的第二信號(hào)。
9.如權(quán)利要求8所述的用于真空設(shè)備充氣過程的控制裝置，其特征在于，所述壓力傳感器還與所述PLC連接以接收通過所述PLC設(shè)置的所述第一預(yù)定值和第二預(yù)定值。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種用于真空設(shè)備開門過程的充氣方法及充氣過程的控制裝置。所述充氣方法包括以下步驟(1)打開與所述真空設(shè)備連接的進(jìn)氣閥向所述真空設(shè)備內(nèi)充氣；(2)當(dāng)所述真空設(shè)備內(nèi)的壓力達(dá)到第一預(yù)定值時(shí)，關(guān)閉所述進(jìn)氣閥，停止供氣；(3)打開所述真空設(shè)備。本發(fā)明用于真空設(shè)備開門過程的充氣方法及充氣過程的控制裝置，在打開爐門之前已經(jīng)關(guān)閉進(jìn)氣閥，可以避免不必要的氮?dú)饫速M(fèi)。由于泄壓閥只在真空設(shè)備內(nèi)的壓力過大時(shí)才動(dòng)作，可以使泄壓閥少動(dòng)作甚至不動(dòng)作，降低泄壓閥動(dòng)作頻率，可以延長(zhǎng)泄壓閥的壽命，消除泄壓閥密封性能降低的隱患，降低設(shè)備運(yùn)營(yíng)及維護(hù)成本。
文檔編號(hào)G05D16/04GK102956743SQ20111024899
公開日2013年3月6日 申請(qǐng)日期2011年8月26日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月26日
發(fā)明者姚小明, 武超 申請(qǐng)人:洛陽尚德太陽能電力有限公司, 無錫尚德太陽能電力有限公司