專利名稱:用于泡生法晶體生長(zhǎng)設(shè)備的電源的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型涉及到電源,尤其涉及到用于泡生法晶體生長(zhǎng)設(shè)備的電源。
背景技術(shù):
目前,用于泡生法晶體生長(zhǎng)設(shè)備的電源在受到電網(wǎng)外部因素、藍(lán)寶石單晶生長(zhǎng)過程中的內(nèi)部因素的干擾以及控制計(jì)算系統(tǒng)電壓整定值的影響,輸出電壓不穩(wěn)定,從而影響到藍(lán)寶石單晶生長(zhǎng)的質(zhì)量。因?yàn)樗{(lán)寶石單晶的生長(zhǎng)質(zhì)量直接取決于加熱器電壓的穩(wěn)定性。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種可以獲得穩(wěn)定的輸出電壓的用于泡生法晶體生長(zhǎng)設(shè)備的電源。為解決上述技術(shù)問題,本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案為用于泡生法晶體生長(zhǎng)設(shè)備的電源,包括輸出控制單元、輸入電路、輸出電路、串設(shè)在輸入電路與輸出電路之間的輸出調(diào)整電路、數(shù)據(jù)處理單元、比例積分控制單元和控制校正單元,輸入電路和輸出電路分別與輸出調(diào)整單元相連,所述輸出調(diào)整電路的輸出端與輸出控制單元的控制端相連,輸出控制單元還與數(shù)據(jù)處理單元相連,數(shù)據(jù)處理單元還與控制校正單元相連,控制校正單元與比例積分控制單元,比例積分控制單元與輸出控制單元相連。所述的比例積分控制單元包括至少兩個(gè)比例積分電路。所述的輸出電路與輸出調(diào)整單元之間設(shè)置有輸出變壓器。所述的輸入電路上設(shè)置有輸入電流感應(yīng)單元,所述的輸出電路上設(shè)置有輸出電流感應(yīng)單元,輸入電流感應(yīng)電路和輸出電流感應(yīng)電路分別與數(shù)據(jù)處理單元相連。本實(shí)用新型的有益效果是本實(shí)用新型將設(shè)定的輸出電壓、電流和功率通過控制校正單元和比例積分控制單元送入輸出控制單元,將所述的電源,將輸入電路和輸出電路的采樣電流和電壓送入輸出控制單元,然后,由輸出控制單元控制輸出調(diào)整單元,及時(shí)地調(diào)整輸出電路的輸出電壓,使得輸出電壓穩(wěn)定輸出,保證了藍(lán)寶石單晶生長(zhǎng)的質(zhì)量。
圖1是本實(shí)用新型的電原理結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1、電源自動(dòng)化單元,2、輸入電壓指示單元,3、臨視輸入電壓?jiǎn)卧?、臨視輸入電流單元,5、輸出控制單元,6、工作站,7、存儲(chǔ)單元,8、控制校正單元,9、比例積分微分單元,10、輸出調(diào)整電路,11、輸入電流感應(yīng)單元,12、輸出電流感應(yīng)電路,13、設(shè)置單元,14、輸出變壓器,15、負(fù)載。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖,詳細(xì)描述本實(shí)用新型的具體實(shí)施方案。如圖1所示,本實(shí)用新型所述的用于泡生法晶體生長(zhǎng)設(shè)備的電源,包括輸出控制單元5、輸入電路、輸出電路、串設(shè)在輸入電路與輸出電路之間的輸出調(diào)整電路10、作為數(shù)據(jù)處理單元的工作站6、比例積分控制單元9以及控制校正單元8,輸入電路和輸出電路分別與輸出調(diào)整單元5相連,所述輸出調(diào)整電路5的輸出端與輸出控制單元10的控制端相連,輸出控制單元5還與工作站6相連,工作站6通過設(shè)定單元13和存儲(chǔ)單元7與控制校正單元8相連,控制校正單元8與比例積分控制單元9相連,比例積分控制單元9與輸出控制單元5相連;在本實(shí)施例中,所述的比例積分控制單元9包括兩級(jí)比例積分電路,所述的輸出電路與輸出調(diào)整單元10之間設(shè)置有輸出變壓器14 ;輸入電路上設(shè)置有輸入電流感應(yīng)單元11,輸出電路上設(shè)置有輸出電流感應(yīng)單元12,輸入電流感應(yīng)電路11和輸出電流感應(yīng)電路 12通過監(jiān)視輸入電流單元4與工作站6相連;所述的輸入電路通過臨視輸入電壓3與輸出控制單元5相連,同時(shí),輸出控制單元5將輸入電路的電壓送入輸入電壓指示單元2顯示; 所述的輸入電路通過電源自動(dòng)化單元1與三相交流輸入電源相連,所述的輸出電路與負(fù)載 15相連;所述的負(fù)載15為加熱器。 本實(shí)用新型的工作原理為工作站6根據(jù)工藝流程確定作為負(fù)載15的加熱器的電壓整定值,并以數(shù)字形式輸出,此后,電壓整定值將被轉(zhuǎn)換成模擬信號(hào)并被反饋到作為外部控制回路的第一路比例積分微分電路,由于單晶生長(zhǎng)過程中系統(tǒng)的電熱參數(shù)都會(huì)發(fā)生變化,第一路比例積分微分電路可避免控制信號(hào)受內(nèi)部因素的干擾,保證信號(hào)穩(wěn)定性,然后, 信號(hào)從第一路比例積分微分電路進(jìn)入到作為內(nèi)部控制回路的第二路比例積分微分,第二路比例積分微分可保證輸出電壓的穩(wěn)定性,避免其受電網(wǎng)外部干擾。
權(quán)利要求1.用于泡生法晶體生長(zhǎng)設(shè)備的電源,包括輸出控制單元、輸入電路和輸出電路以及串設(shè)在輸入電路與輸出電路之間的輸出調(diào)整電路,其特征在于該電源還包括有數(shù)據(jù)處理單元、比例積分控制單元和控制校正單元,所述的輸入電路和輸出電路分別與輸出調(diào)整單元相連,所述輸出調(diào)整電路的輸出端與輸出控制單元的控制端相連,輸出控制單元還與數(shù)據(jù)處理單元相連,數(shù)據(jù)處理單元還與控制校正單元相連,控制校正單元與比例積分控制單元,比例積分控制單元與輸出控制單元相連。
2.如權(quán)利要求1所述的電源,其特征在于所述的比例積分控制單元包括至少兩個(gè)比例積分電路。
3.如權(quán)利要求1所述的電源,其特征在于所述的輸出電路與輸出調(diào)整單元之間設(shè)置有輸出變壓器。
4.如權(quán)利要求1、2或3所述的電源,其特征在于所述的輸入電路上設(shè)置有輸入電流感應(yīng)單元,所述的輸出電路上設(shè)置有輸出電流感應(yīng)單元,輸入電流感應(yīng)電路和輸出電流感應(yīng)電路分別與數(shù)據(jù)處理單元相連。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種可以獲得穩(wěn)定的輸出電壓的用于泡生法晶體生長(zhǎng)設(shè)備的電源,包括輸出控制單元、輸入電路、輸出電路、串設(shè)在輸入電路與輸出電路之間的輸出調(diào)整電路、數(shù)據(jù)處理單元、比例積分控制單元和控制校正單元,輸入電路和輸出電路分別與輸出調(diào)整單元相連,所述輸出調(diào)整電路的輸出端與輸出控制單元的控制端相連,輸出控制單元還與數(shù)據(jù)處理單元相連,數(shù)據(jù)處理單元還與控制校正單元相連,控制校正單元與比例積分控制單元,比例積分控制單元與輸出控制單元相連。本實(shí)用新型的輸出電壓非常穩(wěn)定,大大提高了藍(lán)寶石單晶生長(zhǎng)的質(zhì)量。
文檔編號(hào)G05F1/46GK202331247SQ20112052206
公開日2012年7月11日 申請(qǐng)日期2011年12月14日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月14日
發(fā)明者伊戈?duì)枎炱澞舴? 伊戈?duì)柨聽柨? 劉春艷, 畢成, 胡春霞 申請(qǐng)人:蘇州優(yōu)晶光電科技有限公司