專利名稱：集成電路測(cè)試系統(tǒng)及集成電路測(cè)試系統(tǒng)的控制方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及集成電路測(cè)試技術(shù)，具體涉及ー種基于無線通訊模塊集成電路測(cè)試系統(tǒng)及基于無線通訊模塊集成電路測(cè)試系統(tǒng)的控制方法。
背景技術(shù)：
當(dāng)前傳統(tǒng)的集成電路測(cè)試分為中測(cè)和成測(cè)兩類，測(cè)試系統(tǒng)比較類似，均采用測(cè)試儀接收測(cè)試向量代碼，并控制探針臺(tái)或機(jī)械臂移動(dòng)測(cè)試負(fù)載板，接觸晶圓上的芯片Die或成品封裝好的芯片，進(jìn)行測(cè)試并接收測(cè)試結(jié)果，測(cè)試儀和探針臺(tái)、機(jī)械臂以及測(cè)試負(fù)載板的連接均采用排線的方式。上述測(cè)試系統(tǒng)在通訊方面使用排線，好處是成本較低，但也有不利之處，具體體現(xiàn)在每臺(tái)測(cè)試儀采用串行測(cè)試流程，僅能對(duì)接單臺(tái)探針臺(tái)、機(jī)械臂或測(cè)試負(fù)載板；且測(cè)試時(shí)由于測(cè)試儀排線ロ有限，針對(duì)引腳較多的芯片無法采用多路并行測(cè)試；因?yàn)榭紤]到排線有電氣損耗，長(zhǎng)度一般比較短，使得測(cè)試儀一般靠近探針臺(tái)等設(shè)備擺放，不利于空間管理，加大布線難度，且無法實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制。。

發(fā)明內(nèi)容
ー種集成電路測(cè)試系統(tǒng)，包括ー控制設(shè)備、一與所述控制設(shè)備相連的帶無線通訊模塊的測(cè)試儀、一與所述帶無線通訊模塊的測(cè)試儀相連的帶無線通訊模塊的負(fù)載板陣列、一與所述帶無線通訊模塊的負(fù)載板陣列相連的自動(dòng)測(cè)試機(jī)陣列、一與所述自動(dòng)測(cè)試機(jī)陣列相連的被測(cè)器件陣列，所述帶無線通訊模塊的負(fù)載板陣列包括N個(gè)帶無線通訊模塊的負(fù)載板，所述自動(dòng)測(cè)試機(jī)陣列包括N個(gè)自動(dòng)測(cè)試機(jī)，所述被測(cè)器件陣列包括N個(gè)被測(cè)器件，其中N > I。所述帶無線通訊模塊的測(cè)試儀的測(cè)試儀主控芯片中安裝了一第一無線通訊模塊驅(qū)動(dòng)程序，用來控制所述帶無線通訊模塊的測(cè)試儀的無線通訊模塊工作。
所述帶無線通訊模塊的負(fù)載板內(nèi)置負(fù)載板主控芯片，并在所述負(fù)載板主控芯片中安裝了一第二無線通訊模塊驅(qū)動(dòng)程序，用來控制所述帶無線通訊模塊的負(fù)載板的無線通訊模塊工作；所述自動(dòng)測(cè)試機(jī)為探針臺(tái)、機(jī)械臂或者其他可以完成自動(dòng)測(cè)試功能的設(shè)備；所述被測(cè)器件為晶圓、芯片或者其他可以用來被測(cè)的元器件；所述帶無線通訊模塊的測(cè)試儀和所述帶無線通訊模塊的負(fù)載板陣列內(nèi)置的無線通訊模塊為GPRS、WIFI、CDMA等實(shí)現(xiàn)無線通訊功能的無線通訊模塊；所述帶無線通訊模塊的負(fù)載板、所述自動(dòng)測(cè)試機(jī)與所述被測(cè)器件一一對(duì)應(yīng)進(jìn)行串聯(lián)。ー種集成電路測(cè)試系統(tǒng)的控制方法，包括以下步驟
給ー帶無線通訊模塊的測(cè)試儀、一帶無線通訊模塊的測(cè)試負(fù)載板陣列上電并初始化；所述帶無線通訊模塊的測(cè)試儀查詢對(duì)應(yīng)所述帶無線通訊模塊的測(cè)試負(fù)載板陣列是否可以進(jìn)行數(shù)據(jù)傳輸，是則運(yùn)行第四步，否則運(yùn)行第三步；
所述帶無線通訊模塊的測(cè)試儀發(fā)出警報(bào)信號(hào)，等待所述帶無線通訊模塊的測(cè)試負(fù)載板陣列可通訊，并運(yùn)行第二歩；
通過ー控制設(shè)備向所述帶無線通訊模塊的測(cè)試儀輸入指令及控制代碼；
所述帶無線通訊模塊的測(cè)試儀接收所述輸入指令及所述控制代碼并將其轉(zhuǎn)化為測(cè)試向量后通過無線通訊信號(hào)發(fā)送給所述帶無線通訊模塊的測(cè)試負(fù)載板陣列；所述帶無線通訊模塊的測(cè)試負(fù)載板陣列接收到所述帶無線通訊模塊的測(cè)試儀傳來的信息，解析后控制所述自動(dòng)測(cè)試機(jī)陣列進(jìn)行測(cè)試工作，結(jié)果通過無線通訊信號(hào)反饋給所述帶無線通訊模塊的測(cè)試儀；
所述帶無線通訊模塊的測(cè)試儀接收到所述帶無線通訊模塊的測(cè)試負(fù)載板陣列反饋的信息，整理成測(cè)試結(jié)果等信息并保存，同時(shí)向所述控制設(shè)備發(fā)送測(cè)試完成信息。所述帶無線通訊模塊的測(cè)試儀和所述帶無線通訊模塊的負(fù)載板陣列通過無線通訊模塊進(jìn)行數(shù)據(jù)傳輸，所述帶無線通訊模塊的測(cè)試儀運(yùn)用內(nèi)置的無線通訊模塊發(fā)送指令控制所述帶無線通訊模塊的測(cè)試負(fù)載板陣列，所述帶無線通訊模塊的測(cè)試負(fù)載板根據(jù)命令控制所述自動(dòng)測(cè)試機(jī)陣列測(cè)試所述被測(cè)器件陣列，并將檢測(cè)信息通過自帶的無線通訊模塊反饋給所述帶無線通訊模塊的測(cè)試儀，所述帶無線通訊模塊的測(cè)試儀將檢測(cè)信息進(jìn)行分析后存儲(chǔ)。相對(duì)現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明集成電路測(cè)試系統(tǒng)及集成電路測(cè)試系統(tǒng)控制方法通過無線通訊信號(hào)取代傳統(tǒng)的排線進(jìn)行控制信息的傳輸，具有更好的靈活性，避免了高速信號(hào)傳輸?shù)乃p錯(cuò)誤，提高了測(cè)試結(jié)果輸出的正確性。此外，由于可以遠(yuǎn)程控制，避免了因測(cè)試エ廠廠房空間帶來的布線難度，也解決了因?yàn)榕啪€管腳有限引入的無法并行測(cè)試多個(gè)芯片的問題，充分發(fā)揮了測(cè)試的高效率，極大的節(jié)省了測(cè)試成本。


圖I為本發(fā)明技術(shù)方案框圖。圖2為本發(fā)明流程圖。圖3為本發(fā)明較佳實(shí)施方式框圖。圖4為本發(fā)明較佳實(shí)施方式流程圖。
具體實(shí)施例方式請(qǐng)參閱圖3，本發(fā)明集成電路測(cè)試系統(tǒng)較佳實(shí)施方式包括ー控制設(shè)備、一與該控制設(shè)備相連的帶GPRS模塊的測(cè)試儀、一與該帶GPRS模塊的測(cè)試儀相連的帶GPRS模塊的負(fù)載板陣列、一與該帶GPRS模塊的負(fù)載板陣列相連的機(jī)械臂陣列、一與該機(jī)械臂陣列相連的芯片陣列，該帶GPRS模塊的負(fù)載板陣列包括N個(gè)帶GPRS模塊的負(fù)載板，該機(jī)械臂陣列包括N個(gè)機(jī)械臂，該芯片陣列包括N個(gè)芯片，其中NS I。該帶GPRS模塊的測(cè)試儀的測(cè)試儀主控芯片中安裝了一第一 GPRS模塊驅(qū)動(dòng)程序，用來控制該帶GPRS模塊的測(cè)試儀的GPRS模塊工作；該帶GPRS模塊的負(fù)載板內(nèi)置負(fù)載板主控芯片，并在該負(fù)載板主控芯片中安裝了一第二 GPRS模塊驅(qū)動(dòng)程序，用來控制該帶GPRS模塊的負(fù)載板的GPRS模塊工作；該機(jī)械臂可以替換為探針臺(tái)等可以完成自動(dòng)測(cè)試功能的設(shè)備；該芯片可以替換為晶圓等可以用來被測(cè)的元器件；該帶GPRS模塊的測(cè)試儀和該帶GPRS模塊的負(fù)載板陣列內(nèi)置的GPRS模塊可以替換為WIFI、CDMA等實(shí)現(xiàn)無線通訊功能的無線通訊模塊；該帶GPRS模塊的負(fù)載板、該機(jī)械臂與該芯片一一對(duì)應(yīng)進(jìn)行串聯(lián)。請(qǐng)參看圖4，本發(fā)明ー種集成電路測(cè)試系統(tǒng)的控制方法，包括以下步驟
第一歩、給ー帶GPRS模塊的測(cè)試儀、一帯GPRS模塊的測(cè)試負(fù)載板陣列上電并初始化； 第二步、該帶GPRS模塊的測(cè)試儀查詢對(duì)應(yīng)該帶GPRS模塊的測(cè)試負(fù)載板陣列是否可以
進(jìn)行數(shù)據(jù)傳輸，是則運(yùn)行第四步，否則運(yùn)行第三步；
第三步、該帶GPRS模塊的測(cè) 試儀發(fā)出警報(bào)信號(hào)，等待該帶GPRS模塊的測(cè)試負(fù)載板陣列可通訊，并運(yùn)行第二步；
第四步、通過ー控制設(shè)備向該帶GPRS模塊的測(cè)試儀輸入指令及控制代碼；
第五步、該帶GPRS模塊的測(cè)試儀接收該輸入指令及該控制代碼并將其轉(zhuǎn)化為測(cè)試向量后通過GPRS發(fā)送給該帶GPRS模塊的測(cè)試負(fù)載板陣列；
第六步、該帶GPRS模塊的測(cè)試負(fù)載板陣列接收到該帶GPRS模塊的測(cè)試儀傳來的信息，解析后控制該機(jī)械臂陣列進(jìn)行測(cè)試工作，結(jié)果通過GPRS反饋給該帶GPRS模塊的測(cè)試儀；第七步、該帶GPRS模塊的測(cè)試儀接收到該帶GPRS模塊的測(cè)試負(fù)載板陣列反饋的信息，整理成測(cè)試結(jié)果等信息并保存，同時(shí)向該控制設(shè)備發(fā)送測(cè)試完成信息。該帶GPRS模塊的測(cè)試儀和該帶GPRS模塊的負(fù)載板陣列通過GPRS模塊進(jìn)行數(shù)據(jù)傳輸，該帶GPRS模塊的測(cè)試儀運(yùn)用內(nèi)置的GPRS模塊發(fā)送指令控制該帶GPRS模塊的測(cè)試負(fù)載板陣列，該帶GPRS模塊的測(cè)試負(fù)載板根據(jù)命令控制該機(jī)械臂陣列測(cè)試該芯片陣列，并將檢測(cè)信息通過自帶的GPRS模塊反饋給該帶GPRS模塊的測(cè)試儀，該帶GPRS模塊的測(cè)試儀將檢測(cè)信息進(jìn)行分析后存儲(chǔ)。本發(fā)明集成電路測(cè)試系統(tǒng)及集成電路測(cè)試系統(tǒng)控制方法避免了高速信號(hào)傳輸?shù)乃p錯(cuò)誤，提高了測(cè)試結(jié)果輸出的正確性。此外，由于可以遠(yuǎn)程控制，避免了因測(cè)試エ廠廠房空間帶來的布線難度，也解決了因?yàn)榕啪€管腳有限引入的無法并行測(cè)試多個(gè)芯片的問題，充分發(fā)揮了測(cè)試的高效率，極大的節(jié)省了測(cè)試成本。
權(quán)利要求
1.一種集成電路測(cè)試系統(tǒng)，包括一控制設(shè)備、一與所述控制設(shè)備相連的帶無線通訊模塊的測(cè)試儀、一與所述帶無線通訊模塊的測(cè)試儀相連的帶無線通訊模塊的負(fù)載板陣列、一與所述帶無線通訊模塊的負(fù)載板陣列相連的自動(dòng)測(cè)試機(jī)陣列、一與所述自動(dòng)測(cè)試機(jī)陣列相連的被測(cè)器件陣列，所述帶無線通訊模塊的負(fù)載板陣列包括N個(gè)帶無線通訊模塊的負(fù)載板，所述自動(dòng)測(cè)試機(jī)陣列包括N個(gè)自動(dòng)測(cè)試機(jī)，所述被測(cè)器件陣列包括N個(gè)被測(cè)器件，其中N > I。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種集成電路測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于所述帶無線通訊模塊的測(cè)試儀的測(cè)試儀主控芯片中安裝了一第一無線通訊模塊驅(qū)動(dòng)程序，用來控制所述帶無線通訊模塊的測(cè)試儀的無線通訊模塊工作。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種集成電路測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于所述帶無線通訊模塊的負(fù)載板內(nèi)置負(fù)載板主控芯片，并在所述負(fù)載板主控芯片中安裝了一第二無線通訊模塊驅(qū)動(dòng)程序，用來控制所述帶無線通訊模塊的負(fù)載板的無線通訊模塊工作。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種集成電路測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于所述帶無線通訊模塊的負(fù)載板、所述自動(dòng)測(cè)試機(jī)與所述被測(cè)器件一一對(duì)應(yīng)進(jìn)行串聯(lián)。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種集成電路測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于所述自動(dòng)測(cè)試機(jī)為探針臺(tái)。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種集成電路測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于所述自動(dòng)測(cè)試機(jī)為機(jī)械臂。
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種集成電路測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于所述被測(cè)器件為晶圓。
8.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種集成電路測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于所述被測(cè)器件為芯片。
9.一種集成電路測(cè)試系統(tǒng)的控制方法，包括以下步驟 給一帶無線通訊模塊的測(cè)試儀、一帶無線通訊模塊的測(cè)試負(fù)載板陣列上電并初始化； 所述帶無線通訊模塊的測(cè)試儀查詢對(duì)應(yīng)所述帶無線通訊模塊的測(cè)試負(fù)載板陣列是否可以進(jìn)行數(shù)據(jù)傳輸，是則運(yùn)行第四步，否則運(yùn)行第三步； 所述帶無線通訊模塊的測(cè)試儀發(fā)出警報(bào)信號(hào)，等待所述帶無線通訊模塊的測(cè)試負(fù)載板陣列可通訊，并運(yùn)行第二步； 通過一控制設(shè)備向所述帶無線通訊模塊的測(cè)試儀輸入指令及測(cè)試代碼； 所述帶無線通訊模塊的測(cè)試儀接收所述輸入指令及所述測(cè)試代碼并將其轉(zhuǎn)化為測(cè)試向量后通過無線通訊通信發(fā)送給所述帶無線通訊模塊的測(cè)試負(fù)載板陣列； 所述帶無線通訊模塊的測(cè)試負(fù)載板陣列接收到所述帶無線通訊模塊的測(cè)試儀傳來的信息，解析后控制所述自動(dòng)測(cè)試機(jī)陣列進(jìn)行工作，結(jié)果通過無線通訊通信反饋給所述帶無線通訊模塊的測(cè)試儀； 所述帶無線通訊模塊的測(cè)試儀接收到所述帶無線通訊模塊的測(cè)試負(fù)載板陣列反饋的信息，整理成測(cè)試結(jié)果等信息并保存，同時(shí)向所述控制設(shè)備發(fā)送測(cè)試完成信息。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的一種集成電路測(cè)試系統(tǒng)的控制方法，其特征在于所述帶無線通訊模塊的測(cè)試儀和所述帶無線通訊模塊的負(fù)載板陣列通過無線通訊模塊進(jìn)行數(shù)據(jù)傳輸，所述帶無線通訊模塊的測(cè)試儀運(yùn)用內(nèi)置的無線通訊模塊發(fā)送指令控制所述帶無線通訊模塊的測(cè)試負(fù)載板陣列，所述帶無線通訊模塊的測(cè)試負(fù)載板根據(jù)命令控制所述自動(dòng)測(cè)試機(jī)陣列測(cè)試所述被測(cè)器件陣列，并將檢測(cè)信息通過自帶的無線通訊模塊反饋給所述帶無線通訊模塊的測(cè)試儀，所述帶無線通訊模塊的測(cè)試儀將檢測(cè)信息進(jìn)行分析后存儲(chǔ)。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種集成電路測(cè)試系統(tǒng)，包括一控制設(shè)備、一與所述控制設(shè)備相連的測(cè)試儀、一與所述測(cè)試儀相連的負(fù)載板、一與所述負(fù)載板相連的自動(dòng)測(cè)試機(jī)、一與所述自動(dòng)測(cè)試機(jī)相連的被測(cè)器件。本發(fā)明還公開了一種集成電路測(cè)試系統(tǒng)的控制方法，本發(fā)明的實(shí)現(xiàn)，解決了測(cè)試儀和測(cè)試負(fù)載板之間的布線問題，降低了測(cè)試成本，提高了測(cè)試效率及測(cè)試結(jié)果輸出的正確性。
文檔編號(hào)G05B19/04GK102854455SQ20121035424
公開日2013年1月2日 申請(qǐng)日期2012年9月21日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月21日
發(fā)明者徐正元 申請(qǐng)人:成都市中州半導(dǎo)體科技有限公司