一種多路水冷溫度控制系統(tǒng)及控制方法
【專利摘要】本發(fā)明公開一種多路水冷溫度控制系統(tǒng)，用于精確控制多個(gè)被控對(duì)象的溫度，其特征在于，該多路水冷溫度控制系統(tǒng)包括：溫度控制單元、分流器、支路水溫調(diào)節(jié)裝置、集流器、水冷溫度傳感器、對(duì)象溫度傳感器、測(cè)量模塊、以及控制模塊。與現(xiàn)有技術(shù)相比較，本發(fā)明所提供的多路水冷系統(tǒng)，不需要使用多個(gè)溫度控制單元裝置，且該系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)潔，可實(shí)現(xiàn)應(yīng)用于多個(gè)對(duì)象且各個(gè)對(duì)象有不同溫度循環(huán)液要求的應(yīng)用場(chǎng)合。
【專利說明】一種多路水冷溫度控制系統(tǒng)及控制方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種溫度控制設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種多路水冷溫度控制系統(tǒng)及控制方法。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體行業(yè)中，需要對(duì)某些關(guān)鍵的零部件進(jìn)行恒定溫度控制，比如光刻機(jī)中的投影物鏡。這些關(guān)鍵零部件有的熱負(fù)載大，有的熱負(fù)載波動(dòng)大，有的溫度控制精度要求高，目前行業(yè)中一般采用水冷方式來進(jìn)行溫度控制。該水冷溫度控制系統(tǒng)使用專用溫控設(shè)備通過提供溫度受控的循環(huán)液與關(guān)鍵零件發(fā)生熱交換的方式來控制關(guān)鍵零部件的溫度。
[0003]專利CN200910054733.2中提供了一種光刻機(jī)投影物鏡的水冷溫度控制系統(tǒng)，如圖1中所示。該裝置使用一種稱為溫度控制單元141(以下簡(jiǎn)稱TCU, Temperature ControlUnit)的裝置來提供溫度受控的循環(huán)液，該循環(huán)液被輸送至光刻機(jī)投影物鏡的水套151進(jìn)行熱交換，從而達(dá)到控制物鏡溫度的目的。該方案僅提出了針對(duì)單個(gè)對(duì)象(如物鏡水套)的水冷溫控方法，無法應(yīng)用于多個(gè)對(duì)象的水冷溫控應(yīng)用場(chǎng)合。
[0004]專利CN200910050404.0同樣提供了一種光刻機(jī)投影物鏡的水冷溫度控制系統(tǒng)，如圖2中所示。該裝置的改進(jìn)之處在于:將TCU提供的循環(huán)液經(jīng)分流器被分成多股支流，流經(jīng)多個(gè)對(duì)象，如投影物鏡、硅片臺(tái)、掩模臺(tái)等零部件，最終再由集流器合成一股流回TCU，從而實(shí)現(xiàn)了針對(duì)多個(gè)對(duì)象的水冷溫控。該專利重點(diǎn)解決了投影物鏡水冷溫控系統(tǒng)的時(shí)滯效應(yīng)和時(shí)間常數(shù)大現(xiàn)象所帶來的穩(wěn)定時(shí)間長(zhǎng)、控制精度不高等問題。然而，其方案的缺陷在于:針對(duì)多個(gè)對(duì)象的不同工況，使用同一個(gè)TCU，只能使用相同溫度的循環(huán)液，從而達(dá)不到最佳的溫控效果?？傊摲桨覆荒軕?yīng)用于多個(gè)對(duì)象且各對(duì)象有不同溫度的循環(huán)液要求的應(yīng)用場(chǎng)合。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]為了克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺陷，本發(fā)明提供一種多路水冷溫度控制系統(tǒng)及控制方法能應(yīng)用于多個(gè)對(duì)象，且能針對(duì)多個(gè)對(duì)象精確控溫。
[0006]為了實(shí)現(xiàn)上述發(fā)明目的，本發(fā)明公開一種多路水冷溫度控制系統(tǒng)，用于精確控制多個(gè)被控對(duì)象的溫度，其特征在于，該多路水冷溫度控制系統(tǒng)包括:溫度控制單元，用于提供溫度精確受控的循環(huán)液，具有對(duì)循環(huán)液的泵送、加熱、制冷和精確控制出口循環(huán)液溫度的控制功能；分流器，與該溫度控制單元連接，可根據(jù)多個(gè)對(duì)象的流量需求將該循環(huán)液分為多個(gè)支路；支路水溫調(diào)節(jié)裝置，與該分流器連接，用于調(diào)節(jié)各個(gè)被控對(duì)象所對(duì)應(yīng)支路的循環(huán)液溫度，具有對(duì)循環(huán)液的加熱調(diào)節(jié)及混合功能，并且能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)加熱功率的精確輸出；集流器，與該溫度控制單元連接，用于將多個(gè)支路的循環(huán)液合并為一路并輸入該溫度控制單元；水冷溫度傳感器，采集各個(gè)對(duì)象相應(yīng)支路的入口水溫；對(duì)象溫度傳感器，采集各個(gè)被控對(duì)象的溫度；測(cè)量模塊，向水冷溫度傳感器及對(duì)象溫度傳感器輸出激勵(lì)，對(duì)傳感器測(cè)量信號(hào)進(jìn)行轉(zhuǎn)換；控制模塊，根據(jù)測(cè)量模塊測(cè)得的測(cè)量值，通過控制算法，驅(qū)動(dòng)溫度控制單元和各個(gè)支路水溫調(diào)節(jié)裝置工作。
[0007]更進(jìn)一步地，在每個(gè)支路裝有流量調(diào)節(jié)閥，可調(diào)節(jié)各個(gè)被控對(duì)象的循環(huán)液流量。該支路水溫調(diào)節(jié)裝置包括混合水箱和加熱器，加熱器可通過加熱周期和占空比來調(diào)節(jié)加熱功率。更進(jìn)一步地，包括通過控制各個(gè)支路的水溫調(diào)節(jié)裝置來控制各個(gè)支路的水溫的步驟。
[0008]更進(jìn)一步地，采用串級(jí)反饋控制方法控制支路水溫調(diào)節(jié)裝置。該串級(jí)反饋控制方法包括:a.根據(jù)被控對(duì)象的溫度設(shè)定值Tobja_SV和實(shí)際測(cè)量值Tobja_PV來計(jì)算偏差值Tob ja_err ；b.根據(jù)Tob ja_err計(jì)算該被控對(duì)象所對(duì)應(yīng)的水冷入口的溫度設(shè)定值Twater 1_SV ；c.根據(jù)該溫度設(shè)定值Twaterl_SV和水冷溫度實(shí)際測(cè)量值Twaterl_PV來計(jì)算偏差值Twaterl_err ；d.根據(jù)Twaterl_err計(jì)算被控對(duì)象所對(duì)應(yīng)的支路水溫調(diào)節(jié)裝置的加熱輸出信號(hào)；e.根據(jù)該加熱輸出信號(hào)控制該溫度調(diào)節(jié)模塊。該步驟b及d均采用PID算法計(jì)算。
[0009]與現(xiàn)有技術(shù)相比較，本發(fā)明所提供的多路水冷系統(tǒng)，不需要使用多個(gè)溫度控制單元裝置，且該系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)潔，可實(shí)現(xiàn)應(yīng)用于多個(gè)對(duì)象且各個(gè)對(duì)象有不同溫度循環(huán)液要求的應(yīng)用場(chǎng)合。
[0010]與此同時(shí)，本發(fā)明所提供的多路水冷控制方法，能夠減少被控對(duì)象的時(shí)間常數(shù)，能夠提高系統(tǒng)的工作頻率，能夠增強(qiáng)系統(tǒng)的抗干擾能力并且對(duì)負(fù)荷的變化具有一定的抗干擾能力。時(shí)間常數(shù)的減小，意味著控制通道的縮短，從而使控制作用更加及時(shí)，響應(yīng)速度更快，控制質(zhì)量必然得到提高。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0011]關(guān)于本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)與精神可以通過以下的發(fā)明詳述及所附圖式得到進(jìn)一步的了解。
[0012]圖1是現(xiàn)有技術(shù)中所使用的一種水冷溫度控制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖2是現(xiàn)有技術(shù)中所使用的另一種水冷溫度控制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖3是本發(fā)明所示出的水冷溫度控制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖4是本發(fā)明所示出的水冷溫度控制系統(tǒng)的控制流程示意圖。
[0013]【具體實(shí)施方式】
[0014]下面結(jié)合附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的具體實(shí)施例。
[0015]本發(fā)明提出的一種多路水冷溫度控制系統(tǒng)，該多路水冷溫度控制系統(tǒng)通過集流器、分流器將TCU輸出的循環(huán)液分別提供給多個(gè)被控對(duì)象，實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)的低成本和資源的高效利用。通過TCU來降低循環(huán)液的溫度，并實(shí)現(xiàn)抗干擾能力強(qiáng)的精確溫控。通過各個(gè)支路水溫調(diào)節(jié)裝置來分別升高各路水冷的溫度，實(shí)現(xiàn)對(duì)各路水冷的溫度的獨(dú)立調(diào)節(jié)與控制。通過串級(jí)反饋控制算法來減小被控對(duì)象的時(shí)間常數(shù)，加快反應(yīng)速度，提高抗干擾能力和魯棒性。
[0016]本發(fā)明所示出的多路水冷溫度控制系統(tǒng)包括以下部件:溫度控制單元(Temperature Control Unit, T⑶)、分流器、支路水溫調(diào)節(jié)裝置、溫控對(duì)象、集流器、水冷溫度傳感器、對(duì)象溫度傳感器、測(cè)量模塊、控制模塊、水冷管路系統(tǒng)。其中溫度控制單元，提供溫度精確受控的循環(huán)液，具有對(duì)循環(huán)液的泵送、加熱、制冷等功能，且具有對(duì)出口循環(huán)液的精確溫度控制功能。分流器，根據(jù)多個(gè)對(duì)象的流量需求，將循環(huán)液分成多路，裝有針對(duì)每個(gè)支路的流量調(diào)節(jié)閥，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)各個(gè)對(duì)象的循環(huán)液流量進(jìn)行調(diào)節(jié)；支路水溫調(diào)節(jié)裝置，用于調(diào)節(jié)各個(gè)對(duì)象相應(yīng)水路的循環(huán)液溫度，具有對(duì)循環(huán)液的加熱調(diào)節(jié)及混合功能，且能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)加熱功率的精確輸出；溫控對(duì)象，為被控對(duì)象；集流器，將循環(huán)液從各個(gè)對(duì)象重新合成一路；水冷溫度傳感器，采集各個(gè)對(duì)象相應(yīng)水路的入口水溫，用于針對(duì)該路水冷的溫度控制；對(duì)象溫度傳感器，采集各個(gè)對(duì)象的溫度，用于針對(duì)各個(gè)對(duì)象的溫度控制；測(cè)量模塊，向水冷溫度傳感器及對(duì)象溫度傳感器輸出激勵(lì)，對(duì)傳感器測(cè)量信號(hào)進(jìn)行轉(zhuǎn)換；控制模塊，根據(jù)測(cè)量模塊測(cè)得的測(cè)量值，通過各個(gè)控制算法，驅(qū)動(dòng)TCU和各個(gè)支路水溫調(diào)節(jié)裝置工作；水冷管路系統(tǒng)，提供循環(huán)液流動(dòng)的管路。
[0017]以下將結(jié)合圖3詳細(xì)說明本發(fā)明所公開的多路水冷溫度控制系統(tǒng)。如圖3中所示，圖3是本發(fā)明所示出的水冷溫度控制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。該系統(tǒng)需要控溫的對(duì)象包括：物鏡210和腔體空氣212。
[0018]新風(fēng)從新風(fēng)入口 200，經(jīng)過濾器201進(jìn)入氣體管路，在風(fēng)機(jī)202的驅(qū)動(dòng)下在氣體管路內(nèi)循環(huán)。從風(fēng)機(jī)出來的氣體經(jīng)過進(jìn)風(fēng)管路203，進(jìn)入初級(jí)換熱器204和次級(jí)換熱器206，與溫度受控的循環(huán)水進(jìn)行熱交換，實(shí)現(xiàn)對(duì)氣體的溫控。受控的氣體經(jīng)過靜壓腔207和超高效過濾器208進(jìn)入腔體212。物鏡210沐浴在該受控的氣體內(nèi)。該氣體經(jīng)過回風(fēng)管路213，回到風(fēng)機(jī)202入口，被循環(huán)利用。
[0019]針對(duì)該系統(tǒng)所設(shè)計(jì)的多路水冷系統(tǒng)包括：溫度控制單元I包括泵送、加熱、制冷等功能部件，提供溫度精確受控的循環(huán)液。該循環(huán)液經(jīng)過水管101，輸送到分流板102被分成三路。該分流板102還帶有流量閥2、3、4，能夠?qū)崿F(xiàn)各路水冷的流量調(diào)節(jié)。三路循環(huán)液分別通過水管103、104、105輸送到支路水溫調(diào)節(jié)裝置5、6、7 ;再通過水管106、107、108輸送到溫度測(cè)量工裝8、10、12。溫度測(cè)量工裝上帶有溫度傳感器9、11、13，能夠分別測(cè)量各路循環(huán)的水冷溫度。其中一路水冷經(jīng)過水管111輸送到物鏡210，再經(jīng)過水管114從物鏡210輸送到集流板115。另外兩路水冷經(jīng)過水管109、110輸送到初級(jí)換熱器204和次級(jí)換熱器206，再經(jīng)過水管112、113輸送到集流板115。通過集流板115重新合成一股的循環(huán)液，經(jīng)過水管116回到溫度控制單元1，被循環(huán)利用。本發(fā)明所提供的多路水冷系統(tǒng)不需要使用多個(gè)溫度控制單元裝置，且該系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)潔，可實(shí)現(xiàn)應(yīng)用于多個(gè)對(duì)象且各個(gè)對(duì)象有不同溫度循環(huán)液要求的應(yīng)用場(chǎng)合。
[0020]針對(duì)該系統(tǒng)所設(shè)計(jì)的控制系統(tǒng)包括：溫度傳感器9、11、13，能夠分別測(cè)量各路循環(huán)的水冷溫度。溫度傳感器205，能夠測(cè)量初級(jí)換熱器出口的氣體溫度。溫度傳感器209，能夠測(cè)量腔體內(nèi)氣體溫度。溫度傳感器211，能夠測(cè)量物鏡溫度。測(cè)量模塊14，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)溫度傳感器9、11、13、205、209、211的電源激勵(lì)、信號(hào)采集、信號(hào)放大、AD轉(zhuǎn)換。控制模塊包括測(cè)控系統(tǒng)15和電控箱16兩部分，測(cè)控系統(tǒng)15能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)測(cè)量信號(hào)的參量轉(zhuǎn)換、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)與顯示，通過各水冷溫控算法和對(duì)象溫控算法，計(jì)算溫度控制單元的溫度設(shè)定值和支路水溫調(diào)節(jié)裝置的設(shè)定值，通過電控箱16來驅(qū)動(dòng)支路水溫調(diào)節(jié)裝置。
[0021]該支路水溫調(diào)節(jié)裝置5、6、7包括混合水箱和加熱器。該加熱器能夠通過加熱周期和占空比來調(diào)節(jié)加熱功率。加熱周期和占空比由測(cè)控系統(tǒng)15計(jì)算得到，經(jīng)過電控箱16驅(qū)動(dòng)實(shí)現(xiàn)。
[0022]測(cè)量模塊14包括測(cè)量轉(zhuǎn)接板、高精度環(huán)境參量測(cè)量板卡等硬件電路。
[0023]測(cè)控系統(tǒng)15包括VME機(jī)箱、PPC、PC、網(wǎng)線等硬件，以及運(yùn)行于其上的測(cè)量驅(qū)動(dòng)軟件、控制驅(qū)動(dòng)軟件、TCU驅(qū)動(dòng)軟件、電控箱驅(qū)動(dòng)軟件、界面軟件等內(nèi)容。
[0024]為了精確地控制該多路水冷溫度控制系統(tǒng)，本發(fā)明提供一套控制方法。該控制方法針對(duì)每個(gè)對(duì)象進(jìn)行串級(jí)反饋控制。串級(jí)控制是提高過程控制品質(zhì)非常有效的方案之一，它的優(yōu)點(diǎn)在于:能夠減少被控對(duì)象的時(shí)間常數(shù)，提高系統(tǒng)的工作頻率，增強(qiáng)系統(tǒng)的抗干擾能力并且對(duì)負(fù)荷的變化具有一定的抗干擾能力。時(shí)間常數(shù)的減小，意味著控制通道的縮短，從而使控制作用更加及時(shí)，響應(yīng)速度更快，控制質(zhì)量必然得到提高。
[0025]控制系統(tǒng)根據(jù)物鏡的溫度設(shè)定值Tlens_SV和實(shí)際測(cè)量值Tlens_PV來計(jì)算偏差值Tlens_err,然后將Tlens_err輸入控制算法來計(jì)算物鏡對(duì)應(yīng)的水冷入口的溫度設(shè)定值Twater 1_SV。根據(jù)Twater 1_SV和水冷溫度實(shí)際測(cè)量值Twater 1_PV來計(jì)算偏差值Twater 1_err,然后將Twaterl_err輸入控制算法來計(jì)算物鏡對(duì)應(yīng)的支路水溫調(diào)節(jié)裝置的加熱輸出信號(hào) Hl。同樣的方法,控制系統(tǒng)分別計(jì)算 Thexl_err、Twater2_SV、Twater2_err、H2、Thex2_err、Twater3_SV> Twater3_err> H3?？刂葡到y(tǒng)根據(jù) Twater 1_SV、Twater2_SV> Twater3_SV,根據(jù)相應(yīng)策略來輸出T⑶的設(shè)定值TCU_SV，從而驅(qū)動(dòng)T⑶工作。控制系統(tǒng)根據(jù)H1、H2、H3，分別驅(qū)動(dòng)各個(gè)支路水溫調(diào)節(jié)裝置工作。TCU根據(jù)TCU_SV，通過專用的控制算法來驅(qū)動(dòng)泵送、加熱、制冷等功能部件，實(shí)現(xiàn)對(duì)TCU出口循環(huán)液溫度的精確控制。
[0026]計(jì)算Twater 1_SV、Twater2_SV、Twater3_SV等所采用的控制算法為PID算法。
[0027]計(jì)算H1、H2、H3等所采用的控制算法為PID算法。
[0028]計(jì)算TCU_SV 的策略為:取 Twater 1_SV、Twater2_SV、Twater3_SV 中的最低值，并減去一定的偏差值Kj。該偏差值可以根據(jù)Twaterl_SV、Twater2_SV、Twater3_SV所處的不同溫度范圍而不同。
[0029]該控制方法的具體的溫控流程，如圖4中所示?？刂葡到y(tǒng)根據(jù)被控溫物體a的溫度設(shè)定值Tob ja_SV和由對(duì)象a的溫度傳感器305所獲得的實(shí)際測(cè)量值Tob ja_PV來計(jì)算偏差值Tobja_err,然后將Tobja_err輸入對(duì)象a溫控算法301來計(jì)算被控溫物體a對(duì)應(yīng)的水冷入口的溫度設(shè)定值Twatera_SV。根據(jù)Twatera_SV和由水冷I溫度傳感器304所獲得的水冷溫度實(shí)際測(cè)量值Twatera_PV來計(jì)算偏差值Twatera_err,然后將Twatera_err輸入水冷I溫控算法302來計(jì)算被控溫物體a對(duì)應(yīng)的支路水溫調(diào)節(jié)裝置303的加熱輸出信號(hào)Hl0 同樣的方法，控制系統(tǒng)分別計(jì)算 Thexl_err、Twater2_SV、Twater2_err、H2、Thex2_err、Twater3_SV、Twater3_err、H3。控制系統(tǒng)根據(jù) Twater 1_SV、Twater2_SV、Twater3_SV,根據(jù)T⑶控制算法600來輸出T⑶的設(shè)定值TCU_SV，從而驅(qū)動(dòng)T⑶工作?？刂葡到y(tǒng)根據(jù)H1、H2、H3，分別驅(qū)動(dòng)各個(gè)支路水溫調(diào)節(jié)裝置工作。T⑶根據(jù)TCU_SV，通過專用的控制算法來驅(qū)動(dòng)泵送、加熱、制冷等功能部件，實(shí)現(xiàn)對(duì)TCU出口循環(huán)液溫度的精確控制。
[0030]本發(fā)明所提供的針對(duì)該多路水冷溫度控制系統(tǒng)的控制方法，能夠減少被控對(duì)象的時(shí)間常數(shù)，能夠提高系統(tǒng)的工作頻率，能夠增強(qiáng)系統(tǒng)的抗干擾能力并且對(duì)負(fù)荷的變化具有一定的抗干擾能力。時(shí)間常數(shù)的減小，意味著控制通道的縮短，從而使控制作用更加及時(shí)，響應(yīng)速度更快，控制質(zhì)量必然得到提高。
[0031]本說明書中所述的只是本發(fā)明的較佳具體實(shí)施例，以上實(shí)施例僅用以說明本發(fā)明的技術(shù)方案而非對(duì)本發(fā)明的限制。凡本領(lǐng)域技術(shù)人員依本發(fā)明的構(gòu)思通過邏輯分析、推理或者有限的實(shí)驗(yàn)可以得到的技術(shù)方案，皆應(yīng)在本發(fā)明的范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種多路水冷溫度控制系統(tǒng)，用于精確控制多個(gè)被控對(duì)象的溫度，其特征在于，所述多路水冷溫度控制系統(tǒng)包括： 溫度控制單元，用于提供溫度精確受控的循環(huán)液，具有對(duì)循環(huán)液的泵送、加熱、制冷和精確控制出口循環(huán)液溫度的控制功能； 分流器，與所述溫度控制單元連接，可根據(jù)多個(gè)對(duì)象的流量需求將所述循環(huán)液分為多個(gè)支路； 支路水溫調(diào)節(jié)裝置，與所述分流器連接，用于調(diào)節(jié)各個(gè)被控對(duì)象所對(duì)應(yīng)支路的循環(huán)液溫度，具有對(duì)循環(huán)液的加熱調(diào)節(jié)及混合功能，并且能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)加熱功率的精確輸出； 集流器，與所述溫度控制單元連接，用于將多個(gè)支路的循環(huán)液合并為一路并輸入所述溫度控制單元； 水冷溫度傳感器，采集各個(gè)對(duì)象相應(yīng)支路的入口水溫； 對(duì)象溫度傳感器，采集各個(gè)被控對(duì)象的溫度； 測(cè)量模塊，向水冷溫度傳感器及對(duì)象溫度傳感器輸出激勵(lì)，對(duì)傳感器測(cè)量信號(hào)進(jìn)行轉(zhuǎn)換； 控制模塊，根據(jù)測(cè)量模塊測(cè)得的測(cè)量值，通過控制算法，驅(qū)動(dòng)溫度控制單元和各個(gè)支路水溫調(diào)節(jié)裝置工作。
2.如權(quán)利要求I所述的多路水冷溫度控制系統(tǒng)，其特征在于在每個(gè)支路裝有流量調(diào)節(jié)閥，可調(diào)節(jié)各個(gè)被控對(duì)象的循環(huán)液流量。
3.如權(quán)利要求I所述的多路水冷溫度控制系統(tǒng)，其特征在于，所述支路水溫調(diào)節(jié)裝置包括混合水箱和加熱器,加熱器可通過加熱周期和占空比來調(diào)節(jié)加熱功率。
4.一種采用如權(quán)利要求I所述的多路水冷溫度控制系統(tǒng)的控制方法，其特征在于其中包括通過控制各個(gè)支路的水溫調(diào)節(jié)裝置來控制各個(gè)支路的水溫的步驟。
5.如權(quán)利要求4所述的多路水冷溫度控制方法，其特征在于，采用串級(jí)反饋控制方法控制支路水溫調(diào)節(jié)裝置。
6.如權(quán)利要求5所述的多路水冷溫度控制方法，其特征在于，所述串級(jí)反饋控制方法包括： a.根據(jù)被控對(duì)象的溫度設(shè)定值Tobja_SV和實(shí)際測(cè)量值Tob ja_PV來計(jì)算偏差值Tobja—err ；b.根據(jù)Tobja_err計(jì)算所述被控對(duì)象所對(duì)應(yīng)的水冷入口的溫度設(shè)定值Twater1_SV ； c.根據(jù)所述溫度設(shè)定值Twater1_SV和水冷溫度實(shí)際測(cè)量值Twater 1_PV來計(jì)算偏差值Twaterl_err ； d.根據(jù)Twaterlerr計(jì)算被控對(duì)象所對(duì)應(yīng)的支路水溫調(diào)節(jié)裝置的加熱輸出信號(hào)； e.根據(jù)所述加熱輸出信號(hào)控制所述溫度調(diào)節(jié)模塊。
7.如權(quán)利要求6所述的多路水冷溫度控制方法，其特征在于，所述步驟b及d均采用PID算法計(jì)算。
【文檔編號(hào)】G05D23/30GK103838274SQ201210475503
【公開日】2014年6月4日 申請(qǐng)日期:2012年11月22日 優(yōu)先權(quán)日:2012年11月22日
【發(fā)明者】樊瑞英, 李洋 申請(qǐng)人:上海微電子裝備有限公司