參數(shù)控制方法和參數(shù)控制系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】一種參數(shù)控制方法和參數(shù)控制系統(tǒng)。所述方法包括：建立待測參數(shù)間的關聯(lián)性，分別為每個待測參數(shù)設定初始閾值范圍；獲取每個待測參數(shù)的數(shù)值，并比較數(shù)值是否位于對應的初始閾值范圍內(nèi)；當數(shù)值超出對應的初始閾值范圍時，根據(jù)待測參數(shù)之間的關聯(lián)性，調(diào)整待測參數(shù)或者與待測參數(shù)相關的其它待測參數(shù)的初始閾值范圍。所述系統(tǒng)包括：設置模塊，建立待測參數(shù)間的關聯(lián)性，分別為每個待測參數(shù)設定初始閾值范圍；獲取模塊，獲取每個待測參數(shù)的數(shù)值；比較模塊，判斷數(shù)值是否位于對應的初始閾值范圍內(nèi)；優(yōu)化模塊，根據(jù)待測參數(shù)之間的關聯(lián)性，調(diào)整待測參數(shù)或者與待測參數(shù)相關的其它待測參數(shù)的初始閾值范圍。本發(fā)明可提高參數(shù)控制的精準度，最終降低生產(chǎn)成本。
【專利說明】參數(shù)控制方法和參數(shù)控制系統(tǒng)
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及集成電路制造【技術領域】，尤其涉及一種參數(shù)控制方法和參數(shù)控制系統(tǒng)。
【背景技術】
[0002]在企業(yè)的生產(chǎn)部門中，每天都要生產(chǎn)或加工大量產(chǎn)品，產(chǎn)品的性能和品質(zhì)關系到企業(yè)的命脈，對產(chǎn)品質(zhì)量進行技術的監(jiān)控和檢測分析顯得尤為重要。現(xiàn)有技術中集成電路制造工藝一般包括以下幾個階段:晶圓生產(chǎn)過程(FAB process)、晶圓出廠測試(waferacceptance test, WAT)過程、晶圓良率測試(circuit probing, CP)過程、芯片封裝(assembly)過程和芯片最終測試(final test, FT)過程,從而涉及到的參數(shù)類型包括:晶圓生產(chǎn)線參數(shù)(inline parameter)、晶圓出廠測試參數(shù)(WAT parameter)、晶圓良率測試參數(shù)(CPparameter)、封裝生產(chǎn)線參數(shù)(assembly house inline parameter)、芯片最終測試參數(shù)(FT parameter)。
[0003]為了降低產(chǎn)品品質(zhì)的變異，集成電路制造的整個生產(chǎn)過程都會應用統(tǒng)計過程控制(Statistical Process Control, SPC)技術進行控制。具體地,根據(jù)內(nèi)部客戶或外部客戶的需求預先為參數(shù)設定一個對應的規(guī)范取值(Spec’S)，或者根據(jù)統(tǒng)計計算或統(tǒng)計經(jīng)驗為參數(shù)設定一個對應的控制界限(control limits),以下將規(guī)范取值和控制界限統(tǒng)稱為閾值范圍；在對各階段的各參數(shù)對收集的各生產(chǎn)過程中的多個參數(shù)進行分析，將分析的數(shù)據(jù)以統(tǒng)計信號的形式提供給工程師，比如對生產(chǎn)過程中所收集的樣本數(shù)據(jù)做成控制圖、直方圖等，并使用對應的閾值范圍觀測生產(chǎn)過程中控制圖中數(shù)據(jù)點的波動情況，以監(jiān)控生產(chǎn)工藝過程，一旦有參數(shù)超過對應的閾值范圍，則發(fā)出相應的警報，從而工藝和生產(chǎn)人員會采取適當措施，實現(xiàn)生產(chǎn)過程的持續(xù)改進。
[0004]但是在SPC技術的實際應用中，存在以下問題:因為時間有限、數(shù)據(jù)有限或人員有限，導致在對參數(shù)進行分析時為監(jiān)控參數(shù)所設定的閾值范圍根本就是不合理的，有時甚至是錯誤的，這些問題都會導致生產(chǎn)的整體成本增加。如:閾值范圍太寬時，對于一些會產(chǎn)生問題的數(shù)據(jù)會監(jiān)測不到，最后會導致檢測合格的產(chǎn)品實際存在質(zhì)量問題，從而影響整個產(chǎn)品的投入使用；閾值范圍太窄時，會導致不必要的錯誤報警及進行不必要的處理工作，最終導致監(jiān)測不合格的產(chǎn)品實際不存在質(zhì)量問題，甚至導致好的晶圓被報廢掉，不但浪費人力成本，而且因錯誤報警導致的錯誤處理(如晶圓報廢)會帶來更大的經(jīng)濟損失。
[0005]更多關于統(tǒng)計控制的技術可以參考申請公布號為CN101782762A的中國專利申請。
[0006]因此，如何通過提供精準的參數(shù)控制來降低集成電路制造的成本就成為本領域技術人員亟待解決的問題之一。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明解決的問題是提供一種參數(shù)控制方法和參數(shù)控制系統(tǒng)，可以提高參數(shù)控制的精準度，最終降低生產(chǎn)成本。
[0008]為解決上述問題，本發(fā)明提供了一種參數(shù)控制方法，包括:
[0009]提供多個待測參數(shù)；
[0010]建立所述待測參數(shù)之間的關聯(lián)性，且分別為每個所述待測參數(shù)設定初始閾值范圍；
[0011]獲取每個待測參數(shù)的數(shù)值，并比較所述數(shù)值是否位于對應的初始閾值范圍內(nèi)；
[0012]當發(fā)生所述數(shù)值超出對應的初始閾值范圍時，進行優(yōu)化處理，所述優(yōu)化處理包括:根據(jù)待測參數(shù)之間的關聯(lián)性，調(diào)整所述待測參數(shù)或者與所述待測參數(shù)相關的其它待測參數(shù)的初始閾值范圍。
[0013]為解決上述問題，本發(fā)明還提供了一種參數(shù)控制系統(tǒng)，包括:
[0014]設置模塊，用于提供多個待測參數(shù)，建立所述待測參數(shù)之間的關聯(lián)性，且分別為每個所述待測參數(shù)設定初始閾值范圍；
[0015]獲取模塊，連接所述設置模塊，用于獲取每個所述待測參數(shù)的數(shù)值；
[0016]比較模塊，連接所述獲取模塊和所述設置模塊，用于判斷所述數(shù)值是否位于對應的初始閾值范圍內(nèi)；
[0017]優(yōu)化模塊，連接所述設置模塊和所述比較模塊，用于根據(jù)待測參數(shù)之間的關聯(lián)性，調(diào)整所述待測參數(shù)或者與所述待測參數(shù)相關的其它待測參數(shù)的初始閾值范圍，且將新的閾值范圍替換所述設置模塊中對應的初始閾值范圍。
[0018]與現(xiàn)有技術相比，本發(fā)明技術方案具有以下優(yōu)點:
[0019]I)本發(fā)明中充分考慮待測參數(shù)之間的關聯(lián)性，從而在獲取的數(shù)值超過對應的初始閾值范圍時，不僅可以調(diào)整該數(shù)值對應的初始閾值范圍，而且還可以調(diào)整與該數(shù)值相關的其它待測參數(shù)的初始閾值范圍，實現(xiàn)全局優(yōu)化，提高參數(shù)控制的精準度，最終降低生產(chǎn)成本。
[0020]2)可選方案中，將待測參數(shù)分為主要參數(shù)和一般參數(shù)，當超出范圍的所述數(shù)值是一般參數(shù)時，可以直接增大所述數(shù)值對應的初始閾值范圍，使所述數(shù)值位于新的閾值范圍內(nèi)，從而在不影響其它待測參數(shù)的前提下，簡化工藝，提高了成品率，降低了生產(chǎn)成本。
[0021]3)可選方案中，當相互關聯(lián)的所述主要參數(shù)的數(shù)值均位于對應的初始閾值范圍內(nèi)時，還可以調(diào)整所述主要參數(shù)的初始閾值范圍，使調(diào)整后所述主要參數(shù)的初始閾值范圍之間具有與所述主要參數(shù)相同的關聯(lián)性，從而進一步提高參數(shù)控制的精準度。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0022]圖1是本發(fā)明實施方式中參數(shù)控制方法的流程示意圖；
[0023]圖2是本發(fā)明實施方式中參數(shù)控制系統(tǒng)的結構示意圖；
[0024]圖3是圖2中優(yōu)化模塊的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0025]為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點能夠更加明顯易懂，下面結合附圖對本發(fā)明的【具體實施方式】做詳細的說明。
[0026]在下面的描述中闡述了很多具體細節(jié)以便于充分理解本發(fā)明，但是本發(fā)明還可以采用其他不同于在此描述的其它方式來實施，因此本發(fā)明不受下面公開的具體實施例的限制。
[0027]正如【背景技術】部分所述，現(xiàn)有的集成電路生產(chǎn)過程中，會采用SPC技術來監(jiān)控各個生產(chǎn)階段的關鍵參數(shù)，以降低產(chǎn)品品質(zhì)的變異。但是由于各個參數(shù)的閾值范圍最初通常是基于經(jīng)驗或者有限數(shù)據(jù)的統(tǒng)計計算結果來設定的，因此應用到實際生產(chǎn)過程中就會發(fā)生很多問題，甚至錯誤，從而嚴重影響產(chǎn)品的良率，且提高了產(chǎn)品的生產(chǎn)成本。類似地，在其他【技術領域】的參數(shù)控制中，也存在類似的問題。
[0028]針對上述問題，本發(fā)明提供了一種參數(shù)控制方法及參數(shù)控制系統(tǒng)，不僅為每個待測參數(shù)提供了對應的初始閾值范圍，而且還建立了各待測參數(shù)之間的關聯(lián)性，從而在發(fā)生待測參數(shù)的數(shù)值超過對應的初始閾值范圍時，就啟動優(yōu)化處理，即根據(jù)待測參數(shù)之間的關聯(lián)性，調(diào)整所述待測參數(shù)或者與所述待測參數(shù)相關的其它待測參數(shù)的初始閾值范圍，以在提聞控制精準度的如提下，提聞廣品的成品率，最終達到降低生廣成本的目的。
[0029]下面結合附圖進行詳細說明。
[0030]參考圖1所示，本實施方式一實施例提供了一種參數(shù)控制方法，包括:
[0031]步驟SI，提供多個待測參數(shù)，建立所述待測參數(shù)之間的關聯(lián)性，且分別為每個所述待測參數(shù)設定初始閾值范圍；
[0032]步驟S2，對所述待測參數(shù)進行分類，將與其它待測參數(shù)存在關聯(lián)性的待測參數(shù)設置為主要參數(shù)，剩余待測參數(shù)設置為一般參數(shù)；
[0033]步驟S3，獲取每個待測參數(shù)的數(shù)值，并比較所述數(shù)值是否位于對應的初始閾值范圍內(nèi)；
[0034]步驟S4,當發(fā)生所述數(shù)值超出對應的初始閾值范圍時，進行報警；
[0035]步驟S5，判斷超出范圍的所述數(shù)值是主要參數(shù)還是一般參數(shù)；
[0036]步驟S6，當所述數(shù)值是一般參數(shù)時，增大所述數(shù)值對應的初始閾值范圍，使所述數(shù)值位于新的閾值范圍內(nèi)；
[0037]步驟S7，當所述數(shù)值是主要參數(shù)時，根據(jù)所述待測參數(shù)的關聯(lián)性，調(diào)整所述數(shù)值對應的初始閾值范圍或者與所述數(shù)值相關的其它待測參數(shù)的初始閾值范圍。
[0038]本實施例在獲取待測參數(shù)的數(shù)值之前，先為每個待測參數(shù)設定對應的初始閾值范圍，建立待測參數(shù)之間的關聯(lián)性，并根據(jù)關聯(lián)性將待測參數(shù)分為主要參數(shù)和一般參數(shù)，從而當發(fā)生待測參數(shù)的數(shù)值超過對應的初始閾值范圍時，不僅進行報警，而且判斷超出范圍的數(shù)值的類型，從而采取不同的措施。具體地，當所述數(shù)值是一般參數(shù)時，由于該待測參數(shù)對其它待測參數(shù)沒有影響，因此可以直接增大所述數(shù)值對應的初始閾值范圍，至少使所述數(shù)值位于新的閾值范圍內(nèi)，從而可以保證后續(xù)工藝的順序進行；當所述數(shù)值是主要參數(shù)時，則根據(jù)所述待測參數(shù)的關聯(lián)性，調(diào)整所述數(shù)值對應的初始閾值范圍或者與所述數(shù)值對應的其它待測參數(shù)的初始閾值范圍，以減少報警的發(fā)生次數(shù)，提高產(chǎn)品的成品率，最終在提高控制精準度的前提下，降低了生產(chǎn)成本。
[0039]為了簡單起見，以下以對集成電路生產(chǎn)過程中的參數(shù)進行數(shù)據(jù)處理為例進行說明，但其不限制本發(fā)明的保護范圍。
[0040]首先，確定集成電路生產(chǎn)過程中需要檢測的各個參數(shù)(即待測參數(shù))。本實施例中所述待測參數(shù)可以包括晶圓生產(chǎn)線參數(shù)、晶圓出廠測試參數(shù)、晶圓良率測試參數(shù)、封裝生產(chǎn)線參數(shù)、芯片最終測試參數(shù)和終端客戶反饋參數(shù)中的一種或多種，其分別對應FAB過程、WAT過程、CP過程、Assembly過程和FT過程。需要說明的是，上述各個參數(shù)指的是一具體生產(chǎn)過程中的參數(shù)總稱，其又可以包括多個具體參數(shù)。如:晶圓出廠測試參數(shù)可以包括MOS管的電阻值和飽和漏電流等。
[0041]接著，分別為每個所述待測參數(shù)設定初始閾值范圍，并建立所述待測參數(shù)之間的關聯(lián)性。
[0042]所述初始閾值范圍可以包括一端或多段取值范圍，也可以僅包括上限或下限，還可以是一個或多個離散的數(shù)值點等，只要限定了具體可取的值即可。
[0043]本實施例中設定初始閾值范圍的方法與現(xiàn)有技術相同，具體可以基于經(jīng)驗或者有限數(shù)據(jù)的統(tǒng)計結果，在此不再贅述。
[0044]所述待測參數(shù)之間的關聯(lián)性可以包括兩個或兩個以上待測參數(shù)之間的關系，如:正比、反比、和、差、指數(shù)、冪函數(shù)、對數(shù)等。所述關聯(lián)性既可以是本領域技術人員公知的理論關系，也可以是由統(tǒng)計數(shù)據(jù)分析得出的關系。
[0045]接著，根據(jù)待測參數(shù)之間的關聯(lián)性，對所述待測參數(shù)進行分類。
[0046]具體地，將與其它待測參數(shù)存在關聯(lián)性的待測參數(shù)設置為主要參數(shù)，即主要參數(shù)可以與前一生產(chǎn)過程中的一個或多個待測參數(shù)、后一生產(chǎn)過程中的一個或多個待測參數(shù)、同一生產(chǎn)過程中其它待測參數(shù)存在任意的關系；與其它待測參數(shù)沒有任何關聯(lián)性的待測參數(shù)則被設置為一般參數(shù)，如=FAB過程中的缺陷個數(shù)。
[0047]接著，獲取每個待測參數(shù)的數(shù)值。
[0048]本實施例可以采用現(xiàn)有的檢測設備去分別自動檢測待測參數(shù)的數(shù)值，也可以人工去檢測待測參數(shù)的數(shù)值，其對于本領域的技術人員是熟知的，在此不再贅述。
[0049]接著，比較獲取的數(shù)值是否位于對應的初始閾值范圍內(nèi)。
[0050]當初始閾值范圍包括一段或多段取值時，只要所述數(shù)值位于所述取值內(nèi)，則所述數(shù)值位于該初始閾值范圍內(nèi)；當初始閾值范圍僅包括上限時，只要所述數(shù)值小于或等于所述上限，則所述數(shù)值位于該初始閾值范圍內(nèi)；當初始閾值范圍僅包括下限時，只要所述數(shù)值大于或等于所述下限，則所述數(shù)值位于該初始閾值范圍內(nèi)；當初始閾值范圍僅包括一個或多個離散數(shù)值點時，只要所述數(shù)值與其中一個離散數(shù)值點相同，則所述數(shù)值位于該初始閾值范圍內(nèi)。
[0051]接著，當至少有一個所述數(shù)值超出對應的初始閾值范圍內(nèi)，進行報警。
[0052]具體地，所述報警可以包括:文字報警、語音報警和燈光報警中的一種或多種，用于及時通知檢測人員。
[0053]優(yōu)選地，為了防止由于檢測設備自身的問題或者檢測人員的問題而造成檢測錯誤，因此本實施例可以在報警之后，通過重新檢測確認所述數(shù)值是否超出對應的初始閾值范圍，從而進一步提高控制的準確性。
[0054]在一個具體例子中，當所述參數(shù)包括:第一參數(shù)、第二參數(shù)和第三參數(shù)，所述第三參數(shù)分別與所述第一參數(shù)和所述參數(shù)具有關聯(lián)性；所述第一參數(shù)的初始閾值范圍包括第一部分和第二部分，所述第二參數(shù)的初始閾值范圍包括第三部分和第四部分，當只有所述第一參數(shù)位于第二部分且所述第二參數(shù)位于第三部分，所述第三參數(shù)超出對應的初始閾值范圍時，通過邏輯與運算進行第三參數(shù)的報警。具體地，可以將第一參數(shù)的數(shù)值位于第一部分時定義為第一參數(shù)的取值為1，將第一參數(shù)的數(shù)值位于第二部分時定義為第一參數(shù)的取值為O，將第二參數(shù)的數(shù)值位于第三部分時定義為第二參數(shù)為O，將第二參數(shù)的數(shù)值位于第四部分時定義為第二參數(shù)為1，第三參數(shù)的取值為第一參數(shù)的取值和第二參數(shù)的取值的邏輯與，且定義當?shù)谌齾?shù)的取值為I時觸發(fā)報警。
[0055]當確認所述數(shù)值超過對應的初始閾值范圍時，需要對初始閾值范圍進行優(yōu)化處理，具體如下。
[0056]接著，根據(jù)前面的分類信息，判斷超出范圍的所述數(shù)值是主要參數(shù)還是一般參數(shù)。
[0057]由于一般參數(shù)對其它待測參數(shù)沒有影響，即對產(chǎn)品的成品率沒有影響，因此當超出范圍的所述數(shù)值是一般參數(shù)時，可以直接增大該一般參數(shù)的初始閾值范圍，使所述一般參數(shù)的數(shù)值位于新的閾值范圍內(nèi)，從而可以避免所述一般參數(shù)仍為該數(shù)值時發(fā)生報警，在不影響產(chǎn)品成品率的前提下，簡化了控制步驟，節(jié)省了人力成本。
[0058]由于主要參數(shù)與其它待測參數(shù)有影響，因此會直接或間接影響產(chǎn)品的成品率，因此此時需要根據(jù)待測參數(shù)之間的關聯(lián)性，調(diào)整所述待測參數(shù)或者與所述待測參數(shù)相關的其它待測參數(shù)的初始閾值范圍。
[0059]在第一個具體例子中，所述主要參數(shù)至少包括:第一級參數(shù)和第二級參數(shù)，所述第二級參數(shù)晚于所述第一級參數(shù)獲取，且所述第一級參數(shù)和第二級參數(shù)具有關聯(lián)性；當發(fā)生第一級參數(shù)的數(shù)值超出對應的初始閾值范圍時，所述優(yōu)化處理包括前向反饋處理，所述前向反饋處理包括:
[0060]提取與超出范圍的所述數(shù)值具有關聯(lián)性的第二級參數(shù)的數(shù)值；
[0061]判斷提取的所述第二級參數(shù)的數(shù)值是否位于對應的初始閾值范圍內(nèi)；
[0062]當是時，增大所述第一級參數(shù)的數(shù)值對應的初始閾值范圍；
[0063]當否時，縮小與所述第一級參數(shù)的數(shù)值相關聯(lián)的其它未超出范圍的主要參數(shù)對應的初始閾值范圍。
[0064]上述具體例子中，先獲取的第一級參數(shù)的數(shù)值超過對應的初始閾值范圍，當后續(xù)與其相關的第二級參數(shù)的數(shù)值位于對應的初始閾值范圍時，則說明所述第一級參數(shù)的初始閾值范圍設定的太小了，可以適當增大所述第一級參數(shù)的初始閾值范圍，從而使所述第一級參數(shù)的數(shù)值位于新的初始閾值范圍內(nèi)時，仍可以保證第二級參數(shù)的數(shù)值不超過其對應的初始閾值范圍，最終可以提高控制的精準度，降低因第一級參數(shù)的報警而產(chǎn)生的生產(chǎn)成本；而當?shù)诙墔?shù)的數(shù)值也超過對應的初始閾值范圍時，則第一級參數(shù)的數(shù)值超范圍可能是由于與第一級參數(shù)相關聯(lián)的其它主要參數(shù)的初始閾值范圍太松造成的，因此可以通過縮小與所述第一級參數(shù)的數(shù)值相關聯(lián)的其它未超出范圍的主要參數(shù)對應的初始閾值范圍，以使所述第一級參數(shù)的數(shù)值位于對應的初始閾值范圍內(nèi)。
[0065]此外，在縮小與所述數(shù)值相關聯(lián)得到其它未超出范圍的主要參數(shù)對應的初始閾值范圍的同時，還可以根據(jù)具體的情況，增大或縮小所述第一級參數(shù)的數(shù)值對應的初始閾值范圍。
[0066]在第二個具體例子中，所述主要參數(shù)至少包括:第二級參數(shù)和第三級參數(shù)，所述第三級參數(shù)晚于所述第二級參數(shù)獲取，且所述第二級參數(shù)和第三級參數(shù)具有關聯(lián)性；當發(fā)生第三級參數(shù)的數(shù)值超出對應的初始閾值范圍時，所述優(yōu)化處理包括后向反饋處理，所述后向反饋處理包括:[0067]提取與所述數(shù)值具有關聯(lián)性的第二級參數(shù)；
[0068]縮小提取的所述第二級參數(shù)對應的初始閾值范圍。
[0069]上述具體例子中，后獲取的第三級參數(shù)的數(shù)值超過對應的初始閾值范圍，則無論與所述數(shù)值具有關聯(lián)性的第二級參數(shù)的數(shù)值是否超過對應的初始閾值范圍，都說明所述第二級參數(shù)的初始閾值范圍太寬了，因此需要縮小與所述第三級參數(shù)的數(shù)值具有關聯(lián)性的第二級參數(shù)對應的初始閾值范圍。
[0070]此外，在縮小所述第二級參數(shù)對應的初始閾值范圍的同時，也可以根據(jù)具體情況增大或縮小所述第三級參數(shù)對應的初始閾值范圍。
[0071]在第三個具體例子中，所述主要參數(shù)包括:第一級參數(shù)、第二級參數(shù)和第三級參數(shù)，所述第二級參數(shù)晚于所述第一級參數(shù)獲取，所述第三級參數(shù)晚于所述第二級參數(shù)獲取，且所述第一級參數(shù)和第二級參數(shù)具有關聯(lián)性，所述第二級參數(shù)和所述第三級參數(shù)具有關聯(lián)性；當所述第二級參數(shù)的數(shù)值超出對應的初始閾值范圍時，所述優(yōu)化處理包括:
[0072]提取與所述數(shù)值具有關聯(lián)性的第一級參數(shù)和第三級參數(shù)；
[0073]判斷提取的所述第三級參數(shù)是否位于對應的初始閾值范圍內(nèi)；
[0074]當是時，增大所述數(shù)值的初始閾值范圍；當否時，縮小與所述數(shù)值相關的其它第二級參數(shù)的初始閾值范圍；
[0075]判斷提取的所述第一級參數(shù)是否位于對應的初始閾值范圍內(nèi)；
[0076]當否時，如果增大所述數(shù)值的初始閾值范圍，則增大或維持所述第一級參數(shù)的初始閾值范圍；如果減小或維持所述數(shù)值的初始閾值范圍，則縮小或維持所述第一級參數(shù)的初始閾值范圍。
[0077]上述具體例子中，綜合了第一個具體例子和第二個具體例子的情況，在此不再贅述。
[0078]本實施例中以MOS管尺寸作為晶圓生產(chǎn)線參數(shù)、MOS管阻值和MOS管的飽和漏電流作為晶圓出廠測試參數(shù)、MOS管的電源電流作為晶圓良率測試參數(shù)、芯片的電源電流作為封裝生產(chǎn)線參數(shù)、芯片的功耗作為芯片最終測試參數(shù)，且MOS管尺寸分別與MOS管阻值和MOS管的飽和漏電流成反比，MOS管的電源電流分別與MOS管阻值和MOS管的飽和漏電流成正比，芯片的電源電流與MOS管的電源電流成正比，芯片的功耗與芯片的電源電流成正比。在出現(xiàn)以下情況時:
[0079]I)當僅MOS管的尺寸超過對應的初始閾值范圍時，則由于MOS管的尺寸與MOS管阻值和MOS管的飽和漏電流成反比，而MOS管阻值和MOS管的飽和漏電流均位于對應的初始閾值范圍內(nèi)，因此可以直接增大MOS管的尺寸對應的初始閾值范圍。
[0080]2)當MOS管的電源電流和芯片的電源電流均超過對應的初始閾值范圍時，由于MOS管的電源電流和芯片的電源電流成正比，且MOS管的電源電流分別與MOS管阻值和MOS管的飽和漏電流成正比，因此MOS管阻值或/和MOS管的飽和漏電流的初始閾值范圍太寬直接導致MOS管的電源電流超過對應的初始閾值范圍，進而又導致芯片的電源電流超過對應的初始閾值范圍，因此可以縮小MOS管阻值或/和MOS管的飽和漏電流對應的初始閾值范圍。此外，還可以根據(jù)具體情況，增大、保持或縮小所述MOS管的電源電流的初始閾值范圍。
[0081]進一步地，在縮小MOS管阻值或/和MOS管的飽和漏電流對應的初始閾值范圍的同時，還可以縮小MOS管尺寸的初始閾值范圍；在增大或縮小MOS管的電源電流的同時，還可以增大或縮小芯片的電源電流。
[0082]需要說明的是，由于芯片的功耗是由用戶的需求決定的，因此芯片功耗的初始閾值范圍一旦確定，一般就不會再發(fā)生變化。
[0083]3)當僅芯片的功耗超過對應的初始閾值范圍時，由于芯片的功耗和芯片的電源電流成正比，因此需要縮小芯片的電源電流的初始閾值范圍。此外，在縮小芯片的電源電流的初始閾值范圍的同時，由于芯片的電源電流與MOS管的電源電流成正比，還可以進一步縮小MOS管的電源電流對應的初始閾值范圍，進而還可以進一步縮小MOS管阻值、MOS管的飽和漏電流或/和MOS管尺寸對應的初始閾值范圍。
[0084]4)當MOS管的電源電流和MOS管的飽和漏電流均超過對應的初始閾值范圍時，由于MOS管的電源電流分別與MOS管阻值、MOS管的飽和漏電流和芯片的電源電流成正比，且芯片的電源電流位于對應的初始閾值范圍內(nèi)，因此可以直接增大MOS管的電源電流；又由于MOS管的飽和漏電流超過對應的初始閾值范圍，因此可以增大或維持所述MOS管的飽和漏電流的初始閾值范圍。
[0085]需要說明的是，以上僅為舉例，只要是根據(jù)待測參數(shù)之間的關聯(lián)性進行的合理調(diào)整都在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。
[0086]此外，當相互關聯(lián)的所述主要參數(shù)的數(shù)值均位于對應的初始閾值范圍內(nèi)時，還包括:調(diào)整所述主要參數(shù)的初始閾值范圍，使調(diào)整后所述主要參數(shù)的初始閾值范圍之間具有與所述主要參數(shù)相同的關聯(lián)性。如:主要參數(shù)A和主要參數(shù)B成線性關系，主要參數(shù)A的初始閾值范圍為[Al, A2],主要參數(shù)B的初始閾值范圍為[BI, B2]。當主要參數(shù)A的數(shù)值為A0,主要參數(shù)B的數(shù)值為Btl,且Atl= (A1+A2) /2時，則通過調(diào)整主要參數(shù)A、主要參數(shù)B或與主要參數(shù)A、B相關聯(lián)的其它主要參數(shù)的初始閾值范圍，使Btl等于或盡可能接近于(B1+B2)/2，即使得待測參數(shù)的閾值范圍與待測參數(shù)之間的關聯(lián)性保持一致，實現(xiàn)理論與實際的統(tǒng)一。
[0087]至此完成優(yōu)化處理，部分待測參數(shù)仍與初始閾值范圍相對應，而部分待測參數(shù)可能與新的閾值范圍相對應。接著就可以以優(yōu)化處理后的閾值范圍繼續(xù)對待測參數(shù)進行數(shù)值獲取和檢測，其具體過程同上，在此不再贅述。
[0088]本實施例中參數(shù)控制方法是一種全局優(yōu)化，以實際獲取的數(shù)值為依據(jù)，全面考慮待測參數(shù)之間的關聯(lián)性，而不僅僅局限于單一的待測參數(shù)，通過前向反饋處理、后向反饋處理以及同級反饋處理等，更深入分析報警的待測參數(shù)與前后過程中待測參的關系，以最終造成的實際后果為標準來決定是否需要對所有有關聯(lián)的待測參數(shù)的初始閾值范圍進行調(diào)整，使各待測參數(shù)對應正確的閾值范圍，從而提高了統(tǒng)計控制的精準度，減小了誤報警的發(fā)生，提高了產(chǎn)品的成品率，大大降低了生產(chǎn)成本。
[0089]相應地,參考圖2所示,本實施方式還提供了一種參數(shù)控制系統(tǒng),包括:
[0090]設置模塊100，用于提供多個待測參數(shù)，建立所述待測參數(shù)之間的關聯(lián)性，且分別為每個所述待測參數(shù)設定初始閾值范圍；
[0091]分類模塊200，連接所述設置模塊100，用于對所述待測參數(shù)進行分類，將與其它待測參數(shù)存在關聯(lián)性的待測參數(shù)設置為主要參數(shù)，剩余待測參數(shù)設置為一般參數(shù)；
[0092]獲取模塊300，連接所述設置模塊100，用于獲取每個所述待測參數(shù)的數(shù)值；[0093]比較模塊400，連接所述獲取模塊300和所述設置模塊100，用于判斷所述數(shù)值是否位于對應的初始閾值范圍內(nèi)；
[0094]報警模塊500，連接所述比較模塊400，用于當發(fā)生所述數(shù)值超出對應的初始閾值范圍時，進行報警；
[0095]優(yōu)化模塊600，連接所述設置模塊100、所述分類模塊200和所述比較模塊400，用于根據(jù)待測參數(shù)之間的關聯(lián)性，調(diào)整所述待測參數(shù)或者與所述待測參數(shù)相關的其它待測參數(shù)的初始閾值范圍，且將新的閾值范圍替換所述設置模塊100中對應的初始閾值范圍。
[0096]所述待測參數(shù)可以包括:晶圓生產(chǎn)線參數(shù)、晶圓出廠測試參數(shù)、晶圓良率測試參數(shù)、封裝生產(chǎn)線參數(shù)、芯片最終測試參數(shù)和終端客戶反饋參數(shù)中的一種或多種。
[0097]優(yōu)選地，所述參數(shù)控制系統(tǒng)還可以包括:確認模塊(圖中未示出)，連接所述比較模塊400和所述優(yōu)化模塊600，用于通過重新檢測確認所述數(shù)值是否超出對應的初始閾值范圍，且將確認信息發(fā)送給所述優(yōu)化模塊600，從而進一步提高檢測的準確性。
[0098]具體地,參考圖3所示,所述優(yōu)化模塊600包括:
[0099]判斷單元610，連接所述比較模塊400和所述分類模塊200，用于判斷超出范圍的
所述數(shù)值是主要參數(shù)還是一般參數(shù)；
[0100]調(diào)整單元630，連接所述判斷單元610和所述設置模塊100，當所述數(shù)值是一般參數(shù)時，增大所述數(shù)值對應的初始閾值范圍，使所述數(shù)值位于新的閾值范圍內(nèi)；當所述數(shù)值是主要參數(shù)時，根據(jù)所述待測參數(shù)的關聯(lián)性，調(diào)整所述數(shù)值或者與所述數(shù)值相關的其它待測參數(shù)的初始閾值范圍；
[0101]替換單元650，連接所述設置單元100和所述調(diào)整單元630，用于將新的閾值范圍替換所述設置模塊100中對應的初始閾值范圍。
[0102]在第一個具體例子中，所述設置模塊100中至少包括具有關聯(lián)性的第一級參數(shù)和第二級參數(shù)，所述分類模塊200將所述第一級參數(shù)和所述第二級參數(shù)設置為主要參數(shù)，所述獲取模塊300獲取所述第二級參數(shù)數(shù)值的時間晚于獲取所述第一級參數(shù)數(shù)值的時間，所述比較模塊400判斷得知所述第一級參數(shù)數(shù)值超出對應的初始閾值范圍；所述優(yōu)化模塊600還包括:
[0103]提取單元(圖中未示出)，連接所述設置模塊100和所述比較模塊400，用于從設置模塊100中提取與超出范圍的所述數(shù)值具有關聯(lián)性的第二級參數(shù)的數(shù)值；
[0104]所述判斷單元610連接所述提取單元，還用于判斷提取的所述第二級參數(shù)的數(shù)值是否位于對應的初始閾值范圍內(nèi)；
[0105]當是時，所述調(diào)整單元630增大所述數(shù)值對應的初始閾值范圍；
[0106]當否時，所述調(diào)整單元630縮小與所述數(shù)值相關聯(lián)的其它未超出范圍的主要參數(shù)對應的初始閾值范圍。
[0107]此外，所述調(diào)整單元630在縮小與所述數(shù)值相關聯(lián)得到其它未超出范圍的主要參數(shù)對應的初始閾值范圍的同時，還調(diào)整所述數(shù)值對應的初始閾值范圍。
[0108]在第二具體例子中，所述設置模塊100中至少包括具有關聯(lián)性的第一級參數(shù)和第二級參數(shù)，所述分類模塊200將所述第一級參數(shù)和所述第二級參數(shù)設置為主要參數(shù)，所述獲取模塊300獲取所述第二級參數(shù)數(shù)值的時間晚于獲取所述第一級參數(shù)數(shù)值的時間，所述比較模塊400判斷得知所述第二級參數(shù)數(shù)值超出對應的初始閾值范圍；所述優(yōu)化模塊600還包括:
[0109]提取單元(圖中未示出)，連接所述設置模塊100和所述比較模塊400，用于從設置模塊100中提取與超出范圍的所述數(shù)值具有關聯(lián)性的第一級參數(shù)的數(shù)值；
[0110]所述調(diào)整單元630連接所述提取單元，還用于縮小提取的所述第一級參數(shù)對應的初始閾值范圍。
[0111]在第三個具體例子中，所述設置模塊100中至少包括具有關聯(lián)性的第一級參數(shù)、第二級參數(shù)和第三級參數(shù)，所述分類模塊200將所述第一級參數(shù)、所述第二級參數(shù)和所述第三級參數(shù)設置為主要參數(shù)，所述獲取模塊300依次獲取第一級參數(shù)的數(shù)值、第二級參數(shù)的數(shù)值和第三級參數(shù)的數(shù)值，所述比較模塊400判斷得知所述第二級參數(shù)數(shù)值超出對應的初始閾值范圍；所述優(yōu)化模塊600還包括:
[0112]提取單元(圖中未示出)，連接所述設置模塊100和所述比較模塊400，用于從設置模塊100中提取與超出范圍的所述數(shù)值具有關聯(lián)性的第一級參數(shù)和第三級參數(shù)；
[0113]所述判斷單元610連接所述提取單元，還用于判斷提取的所述第三級參數(shù)是否位于對應的初始閾值范圍內(nèi)；
[0114]當是時，所述調(diào)整單元630增大所述數(shù)值的初始閾值范圍；當否時，所述調(diào)整單元630縮小與所述數(shù)值相關的其它第二級參數(shù)的初始閾值范圍；
[0115]所述判斷單元610還用于判斷提取的所述第一級參數(shù)是否位于對應的初始閾值范圍內(nèi)；
[0116]當否時，所述調(diào)整單元630如果增大所述數(shù)值的初始閾值范圍，則所述調(diào)整單元630增大或維持所述第一級參數(shù)的初始閾值范圍；所述調(diào)整單元630如果減小或維持所述數(shù)值的初始閾值范圍，所述調(diào)整單元630則縮小或維持所述第一級參數(shù)的初始閾值范圍。
[0117]此外，當相互關聯(lián)的所述主要參數(shù)的數(shù)值均位于對應的初始閾值范圍內(nèi)時，所述優(yōu)化模塊600還調(diào)整所述主要參數(shù)的初始閾值范圍，使調(diào)整后所述主要參數(shù)的初始閾值范圍之間具有與所述主要參數(shù)相同的關聯(lián)性。
[0118]所述參數(shù)控制系統(tǒng)中各模塊的具體工作過程可以參考上述參數(shù)控制方法的相關描述，在此不做贅述。
[0119]具體地，所述參數(shù)控制系統(tǒng)中各模塊可以是單片機、ARM、FPGA (FieldProgrammable Gata Array,現(xiàn)場可編程門陣列)、ASIC(Application Specific IntegratedCircuit,特定用途集成電路)、SOC (System on a Chip,片上系統(tǒng))、CPU (CentralProcessing Unit,中央處理機)、MCU(Micro Controller Units,微控制單兀)、DSP(DigitalSignal Processor,數(shù)字信號處理器)或 PLC (Programmable Logic Controller,可編程邏輯控制器)中的一種或多種器件的任意組合。
[0120]本實施例同樣可以提高參數(shù)控制的準確率，降低誤檢的概率，在保證產(chǎn)品質(zhì)量合格的前提下，提高了產(chǎn)品的成品率，且降低了生產(chǎn)成本。
[0121]雖然本發(fā)明已以較佳實施例披露如上，然而并非用以限定本發(fā)明。任何熟悉本領域的技術人員，在不脫離本發(fā)明技術方案范圍情況下，都可利用上述揭示的方法和技術內(nèi)容對本發(fā)明技術方案作出許多可能的變動和修飾，或修改為等同變化的等效實施例。因此，凡是未脫離本發(fā)明技術方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術實質(zhì)對以上實施例所做的任何簡單修改、等同變化及修飾，均仍屬于本發(fā)明技術方案保護的范圍內(nèi)。
【權利要求】
1.一種參數(shù)控制方法,其特征在于,包括: 提供多個待測參數(shù)； 建立所述待測參數(shù)之間的關聯(lián)性，且分別為每個所述待測參數(shù)設定初始閾值范圍； 獲取每個待測參數(shù)的數(shù)值，并比較所述數(shù)值是否位于對應的初始閾值范圍內(nèi)； 當發(fā)生所述數(shù)值超出對應的初始閾值范圍時，進行優(yōu)化處理，所述優(yōu)化處理包括:根據(jù)待測參數(shù)之間的關聯(lián)性，調(diào)整所述待測參數(shù)或者與所述待測參數(shù)相關的其它待測參數(shù)的初始閾值范圍。
2.如權利要求1所述的參數(shù)控制方法，其特征在于，在進行優(yōu)化處理之前，還包括:通過重新檢測確認所述數(shù)值是否超出對應的初始閾值范圍。
3.如權利要求1或2所述的參數(shù)控制方法，其特征在于，當發(fā)生所述數(shù)值超出對應的初始閾值范圍時，還包括:進行報警。
4.如權利要求1所述的參數(shù)控制方法,其特征在于,還包括:對所述待測參數(shù)進行分類，將與其它待測參數(shù)存在關聯(lián)性的待測參數(shù)設置為主要參數(shù)，剩余待測參數(shù)設置為一般參數(shù)； 所述優(yōu)化處理包括: 判斷超出范圍的所述數(shù)值是主要參數(shù)還是一般參數(shù)； 當所述數(shù)值是一般參數(shù)時，增大所述數(shù)值對應的初始閾值范圍，使所述數(shù)值位于新的閾值范圍內(nèi)； 當所述數(shù)值是主要參數(shù)時，根據(jù)所述待測參數(shù)的關聯(lián)性，調(diào)整所述數(shù)值對應的初始閾值范圍或者與所述數(shù)值相關的其它待測參數(shù)的初始閾值范圍。
5.如權利要求4所述的參數(shù)控制方法，其特征在于，所述主要參數(shù)至少包括:第一級參數(shù)和第二級參數(shù)，所述第二級參數(shù)晚于所述第一級參數(shù)獲取，且所述第一級參數(shù)和第二級參數(shù)具有關聯(lián)性；當發(fā)生第一級參數(shù)的數(shù)值超出對應的初始閾值范圍時，所述優(yōu)化處理包括前向反饋處理，所述前向反饋處理包括: 提取與超出范圍的所述數(shù)值具有關聯(lián)性的第二級參數(shù)的數(shù)值； 判斷提取的所述第二級參數(shù)的數(shù)值是否位于對應的初始閾值范圍內(nèi)； 當是時，增大所述數(shù)值對應的初始閾值范圍； 當否時，縮小與所述數(shù)值相關聯(lián)的其它未超出范圍的主要參數(shù)對應的初始閾值范圍。
6.如權利要求5所述的參數(shù)控制方法，其特征在于，還包括:在縮小與所述數(shù)值相關聯(lián)得到其它未超出范圍的主要參數(shù)對應的初始閾值范圍的同時，調(diào)整所述數(shù)值對應的初始閾值范圍。
7.如權利要求4所述的參數(shù)控制方法，其特征在于，所述主要參數(shù)至少包括:第二級參數(shù)和第三級參數(shù)，所述第三級參數(shù)晚于所述第二級參數(shù)獲取，且所述第二級參數(shù)和第三級參數(shù)具有關聯(lián)性；當發(fā)生第三級參數(shù)的數(shù)值超出對應的初始閾值范圍時，所述優(yōu)化處理包括后向反饋處理，所述后向反饋處理包括: 提取與所述數(shù)值具有關聯(lián)性的第二級參數(shù)； 縮小提取的所述第三級參數(shù)對應的初始閾值范圍。
8.如權利要求1所述的參數(shù)控制方法，其特征在于，所述待測參數(shù)包括:晶圓生產(chǎn)線參數(shù)、晶圓出廠測試參數(shù)、晶圓良率測試參數(shù)、封裝生產(chǎn)線參數(shù)、芯片最終測試參數(shù)和終端客戶反饋參數(shù)中的一種或多種。
9.如權利要求3所述的參數(shù)控制方法,其特征在于,所述參數(shù)包括:第一參數(shù)、第二參數(shù)和第三參數(shù)，所述第三參數(shù)分別與所述第一參數(shù)和所述參數(shù)具有關聯(lián)性；所述第一參數(shù)的初始閾值范圍包括第一部分和第二部分，所述第二參數(shù)的初始閾值范圍包括第三部分和第四部分，當只有所述第一參數(shù)位于第二部分且所述第二參數(shù)位于第三部分，所述第三參數(shù)超出對應的初始閾值范圍時，通過邏輯與運算進行第三參數(shù)的報警。
10.如權利要求4所述的參數(shù)控制方法,其特征在于,所述主要參數(shù)包括:第一級參數(shù)、第二級參數(shù)和第三級參數(shù)，所述第二級參數(shù)晚于所述第一級參數(shù)獲取，所述第三級參數(shù)晚于所述第二級參數(shù)獲取，且所述第一級參數(shù)和第二級參數(shù)具有關聯(lián)性，所述第二級參數(shù)和所述第三級參數(shù)具有關聯(lián)性；當所述第二級參數(shù)的數(shù)值超出對應的初始閾值范圍時，所述優(yōu)化處理包括: 提取與所述數(shù)值具有關聯(lián)性的第一級參數(shù)和第三級參數(shù)； 判斷提取的所述第三級參數(shù)是否位于對應的初始閾值范圍內(nèi)； 當是時，增大所述數(shù)值的初始閾值范圍；當否時，縮小與所述數(shù)值相關的其它第二級參數(shù)的初始閾值范圍； 判斷提取的所述第一級參數(shù)是否位于對應的初始閾值范圍內(nèi)； 當否時，如果增大所述數(shù)值的初始閾值范圍，則增大或維持所述第一級參數(shù)的初始閾值范圍；如果減小或維持所述數(shù)值的初始閾值范圍，則縮小或維持所述第一級參數(shù)的初始閾值范圍。
11.如權利要求4所述的參數(shù)控制方法，其特征在于，當相互關聯(lián)的所述主要參數(shù)的數(shù)值均位于對應的初始閾值范圍內(nèi)時，還包括:調(diào)整所述主要參數(shù)的初始閾值范圍，使調(diào)整后所述主要參數(shù)的初始閾值范圍之間具有與所述主要參數(shù)相同的關聯(lián)性。
12.如權利要求1所述的參數(shù)控制方法，其特征在于，所述關聯(lián)性包括:正比、反比、和、差、指數(shù)、冪函數(shù)或對數(shù)中的一種或多種。
13.一種參數(shù)控制系統(tǒng)，其特征在于，包括: 設置模塊，用于提供多個待測參數(shù)，建立所述待測參數(shù)之間的關聯(lián)性，且分別為每個所述待測參數(shù)設定初始閾值范圍； 獲取模塊，連接所述設置模塊，用于獲取每個所述待測參數(shù)的數(shù)值； 比較模塊，連接所述獲取模塊和所述設置模塊，用于判斷所述數(shù)值是否位于對應的初始閾值范圍內(nèi)； 優(yōu)化模塊，連接所述設置模塊和所述比較模塊，用于根據(jù)待測參數(shù)之間的關聯(lián)性，調(diào)整所述待測參數(shù)或者與所述待測參數(shù)相關的其它待測參數(shù)的初始閾值范圍，且將新的閾值范圍替換所述設置模塊中對應的初始閾值范圍。
14.如權利要求13所述的參數(shù)控制系統(tǒng)，其特征在于，還包括:確認模塊，連接所述比較模塊和所述優(yōu)化模塊，用于通過重新檢測確認所述數(shù)值是否超出對應的初始閾值范圍，且將確認信息發(fā)送給所述優(yōu)化模塊。
15.如權利要求13或14所述的參數(shù)控制系統(tǒng)，其特征在于，還包括:報警模塊，連接所述比較模塊，用于當發(fā)生所述數(shù)值超出對應的初始閾值范圍時，進行報警。
16.如權利要求13所述的參數(shù)控制系統(tǒng)，其特征在于，還包括:分類模塊，連接所述設置模塊，用于對所述待測參數(shù)進行分類，將與其它待測參數(shù)存在關聯(lián)性的待測參數(shù)設置為主要參數(shù)，剩余待測參數(shù)設置為一般參數(shù)； 所述優(yōu)化模塊包括: 判斷單元，連接所述比較模塊和所述分類模塊，用于判斷超出范圍的所述數(shù)值是主要參數(shù)還是一般參數(shù)； 調(diào)整單元，連接所述判斷單元和所述設置模塊，當所述數(shù)值是一般參數(shù)時，增大所述數(shù)值對應的初始閾值范圍，使所述數(shù)值位于新的閾值范圍內(nèi)；當所述數(shù)值是主要參數(shù)時，根據(jù)所述待測參數(shù)的關聯(lián)性，調(diào)整所述數(shù)值或者與所述數(shù)值相關的其它待測參數(shù)的初始閾值范圍； 替換單元，連接所述設置單元和所述調(diào)整單元，用于將新的閾值范圍替換所述設置模塊中對應的初始閾值范圍。
17.如權利要求16所述的參數(shù)控制系統(tǒng)，其特征在于，所述設置模塊中至少包括具有關聯(lián)性的第一級參數(shù)和第二級參數(shù)，所述分類模塊將所述第一級參數(shù)和所述第二級參數(shù)設置為主要參數(shù)，所述獲取模塊獲取所述第二級參數(shù)數(shù)值的時間晚于獲取所述第一級參數(shù)數(shù)值的時間，所述比較模塊判斷得知所述第一級參數(shù)數(shù)值超出對應的初始閾值范圍；所述優(yōu)化模塊還包括: 提取單元，連接所述設置模塊和所述比較模塊，用于從設置模塊中提取與超出范圍的所述數(shù)值具有關聯(lián)性的第二級參數(shù)的數(shù)值； 所述判斷單元連接所述提取單元，還用于判斷提取的所述第二級參數(shù)的數(shù)值是否位于對應的初始閾值范圍內(nèi)； 當是時，所述調(diào)整單元增大所述數(shù)值對應的初始閾值范圍； 當否時，所述調(diào)整單元縮小與所述數(shù)值相關聯(lián)的其它未超出范圍的主要參數(shù)對應的初始閾值范圍。
18.如權利要求16所述的參數(shù)控制系統(tǒng)，其特征在于，所述調(diào)整單元在縮小與所述數(shù)值相關聯(lián)得到其它未超出范圍的主要參數(shù)對應的初始閾值范圍的同時，還調(diào)整所述數(shù)值對應的初始閾值范圍。
19.如權利要求16所述的參數(shù)控制系統(tǒng)，其特征在于，所述設置模塊中至少包括具有關聯(lián)性的第一級參數(shù)和第二級參數(shù)，所述分類模塊將所述第一級參數(shù)和所述第二級參數(shù)設置為主要參數(shù)，所述獲取模塊獲取所述第二級參數(shù)數(shù)值的時間晚于獲取所述第一級參數(shù)數(shù)值的時間，所述比較模塊判斷得知所述第二級參數(shù)數(shù)值超出對應的初始閾值范圍；所述優(yōu)化模塊還包括: 提取單元，連接所述設置模塊和所述比較模塊，用于從設置模塊中提取與超出范圍的所述數(shù)值具有關聯(lián)性的第一級參數(shù)的數(shù)值； 所述調(diào)整單元連接所述提取單元，還用于縮小提取的所述第一級參數(shù)對應的初始閾值范圍。
20.如權利要求15所述的參數(shù)控制系統(tǒng)，其特征在于，所述設置模塊中至少包括具有關聯(lián)性的第一級參數(shù)、第二級參數(shù)和第三級參數(shù)，所述分類模塊將所述第一級參數(shù)、所述第二級參數(shù)和所述第三級參數(shù)設置為主要參數(shù)，所述獲取模塊依次獲取第一級參數(shù)的數(shù)值、第二級參數(shù)的數(shù)值和第三級參數(shù)的數(shù)值，所述比較模塊判斷得知所述第二級參數(shù)數(shù)值超出對應的初始閾值范圍；所述優(yōu)化模塊還包括: 提取單元，連接所述設置模塊和所述比較模塊，用于從設置模塊中提取與超出范圍的所述數(shù)值具有關聯(lián)性的第一級參數(shù)和第三級參數(shù)； 所述判斷單元連接所述提取單元，還用于判斷提取的所述第三級參數(shù)是否位于對應的初始閾值范圍內(nèi)； 當是時，所述調(diào)整單元增大所述數(shù)值的初始閾值范圍；當否時，所述調(diào)整單元縮小與所述數(shù)值相關的其它第二級參數(shù)的初始閾值范圍； 所述判斷單元還用于判斷提取的所述第一級參數(shù)是否位于對應的初始閾值范圍內(nèi)；當否時，所述調(diào)整單元如果增大所述數(shù)值的初始閾值范圍，則所述調(diào)整單元增大或維持所述第一級參數(shù)的初始閾值范圍；所述調(diào)整單元如果減小或維持所述數(shù)值的初始閾值范圍，所述調(diào)整單元則縮小或維持所述第一級參數(shù)的初始閾值范圍。
21.如權利要求13所述的參數(shù)控制系統(tǒng)，其特征在于，當相互關聯(lián)的所述主要參數(shù)的數(shù)值均位于對應的初始閾值范圍內(nèi)時，所述優(yōu)化模塊還調(diào)整所述主要參數(shù)的初始閾值范圍，使調(diào)整后所述主要參數(shù)的初始閾值范圍之間具有與所述主要參數(shù)相同的關聯(lián)性。
【文檔編號】G05B19/418GK103838202SQ201210492770
【公開日】2014年6月4日 申請日期:2012年11月27日 優(yōu)先權日:2012年11月27日
【發(fā)明者】簡維廷, 張啟華 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司