專利名稱：排廢液槽防溢液報(bào)警裝置以及排廢液槽控制裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，更具體地說，本實(shí)用新型涉及一種排廢液槽防溢液報(bào)警裝置，并且，本實(shí)用新型還涉及一種采用了該排廢液槽防溢液報(bào)警裝置的排廢液槽控制裝置。
技術(shù)背景在半導(dǎo)體工藝過程中，排廢液槽被用于排除制造過程用過的諸如化學(xué)溶劑之類的液體。圖I示意性地示出了根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的排廢液槽控制裝置(自動(dòng)排液系統(tǒng))的框圖。如圖I所示，根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的排廢液槽控制裝置包括依次連接的用于提供電能的電源I、自動(dòng)變頻的變壓器2、用于感測(cè)排廢液槽的液位高度的液位傳感器3、繼電器5、交流接觸器6、以及用于吸引排廢液槽中的廢液的泵7。并且排廢液槽控制裝置還包括與液位傳感器3相連的液位報(bào)警裝置9、與泵7相連接的泵報(bào)警裝置8、以及與積液盤10相連接的漏液報(bào)警裝置11。液位報(bào)警裝置9、泵報(bào)警裝置8、以及漏液報(bào)警裝置11均連接至提醒裝置13。提醒裝置13例如是蜂鳴器或者閃爍燈等。例如，液位報(bào)警裝置9在排廢液槽的液位高度高于預(yù)定高度時(shí)發(fā)生報(bào)警；泵報(bào)警裝置8在泵7連續(xù)工作超過預(yù)定時(shí)間段時(shí)發(fā)生報(bào)警；漏液報(bào)警裝置11在積液盤10中存在液體時(shí)發(fā)生報(bào)警。當(dāng)諸如蜂鳴器或者閃爍燈之類的提醒裝置13從液位報(bào)警裝置9、泵報(bào)警裝置8、以及漏液報(bào)警裝置11中的任何一個(gè)接收到報(bào)警信號(hào)時(shí)，提醒裝置13向操作人員發(fā)出諸如蜂鳴聲或者閃爍光之類的警告信息。進(jìn)一步說，如圖I所示，現(xiàn)有技術(shù)的排廢液槽的自動(dòng)排液系統(tǒng)基本都是先通過液位傳感器3感應(yīng)排廢液槽中的液位高低,然后由單一繼電器5 ( 一般是KA繼電器)閉合或者斷開吸磁開關(guān)，從而由觸發(fā)交流接觸器啟動(dòng)或停止泵7工作。因此，對(duì)于根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的整個(gè)電路結(jié)構(gòu)，如果繼電器5發(fā)生故障，會(huì)導(dǎo)致泵7無法正常工作，如不及時(shí)進(jìn)行處置泵7停止工作的情況，排廢液槽內(nèi)廢液就會(huì)從排廢液槽的頂部溢出。由此污染工作環(huán)境，并可能造成工藝失效。因此，希望能夠提供一種能夠有效防止排廢液槽內(nèi)廢液從排廢液槽的頂部溢出的排廢液槽防溢液報(bào)警裝置。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中存在上述缺陷，提供一種能夠有效防止排廢液槽內(nèi)廢液從排廢液槽的頂部溢出的排廢液槽防溢液報(bào)警裝置，并且，本實(shí)用新型還提供一種采用了該排廢液槽防溢液報(bào)警裝置的排廢液槽控制裝置以。根據(jù)本實(shí)用新型的第一方面，提供了一種排廢液槽防溢液報(bào)警裝置，其包括繼電器、延時(shí)繼電器、以及與延時(shí)繼電器相連的邏輯信號(hào)處理裝置；其中，繼電器和延時(shí)繼電器接收相同的輸入信號(hào)，延時(shí)繼電器將延時(shí)后的輸入信號(hào)傳遞給邏輯信號(hào)處理裝置，并且繼電器將輸出信號(hào)輸入至邏輯信號(hào)處理裝置；邏輯信號(hào)處理裝置在接收到輸入信號(hào)和輸出信號(hào)之后，判斷輸入信號(hào)和輸出信號(hào)是否一致；如果輸入信號(hào)和輸出信號(hào)不一致，則判斷繼電器發(fā)生了故障，由此觸發(fā)報(bào)警。根據(jù)本實(shí)用新型的第二方面，提供了一種排廢液槽控制裝置，其包括依次連接的用于提供電能的電源、自動(dòng)變頻的變壓器、用于感測(cè)排廢液槽的液位高度的液位傳感器、繼電器、交流接觸器、以及用于吸引排廢液槽中的廢液的泵；所述排廢液槽控制裝置還包括延時(shí)繼電器、以及與延時(shí)繼電器相連的邏輯信號(hào)處理裝置；其中，繼電器和延時(shí)繼電器接收相同的輸入信號(hào)，延時(shí)繼電器將延時(shí)后的輸入信號(hào)傳遞給邏輯信號(hào)處理裝置，并且繼電器將輸出信號(hào)輸入至邏輯信號(hào)處理裝置；邏輯信號(hào)處理裝置在接收到輸入信號(hào)和輸出信號(hào)之后，判斷輸入信號(hào)和輸出信號(hào)是否一致；如果輸入信號(hào)和輸出信號(hào)不一致，則判斷繼電器發(fā)生了故障，由此觸發(fā)報(bào)警。優(yōu)選地，所述排廢液槽控制裝置還包括用于報(bào)警的提醒裝置，提醒裝置是蜂鳴器和/或閃爍燈。 優(yōu)選地，所述排廢液槽控制裝置還包括與液位傳感器相連的液位報(bào)警裝置，液位報(bào)警裝置在排廢液槽的液位高度高于預(yù)定高度時(shí)發(fā)生報(bào)警。優(yōu)選地，所述排廢液槽控制裝置還包括與泵相連接的泵報(bào)警裝置，泵報(bào)警裝置在泵連續(xù)工作超過預(yù)定時(shí)間段時(shí)發(fā)生報(bào)警。優(yōu)選地，所述排廢液槽控制裝置還包括與積液盤相連接的漏液報(bào)警裝置，漏液報(bào)警裝置在積液盤中存在液體時(shí)發(fā)生報(bào)警。在本實(shí)用新型中，在現(xiàn)有排廢液槽的排廢液控制電路結(jié)構(gòu)中，增加了一個(gè)邏輯信號(hào)處理裝置，其分別收集繼電器兩端的輸入信號(hào)和輸出信號(hào)，如果輸入信號(hào)和輸出信號(hào)不一致，即可確認(rèn)為繼電器發(fā)生了故障，由此觸發(fā)報(bào)警。由此，可以確保在繼電器發(fā)生故障后，能及時(shí)提醒諸如實(shí)驗(yàn)室人員之類的操作人員，避免因槽溢液而造成不利影響。

結(jié)合附圖，并通過參考下面的詳細(xì)描述，將會(huì)更容易地對(duì)本實(shí)用新型有更完整的理解并且更容易地理解其伴隨的優(yōu)點(diǎn)和特征，其中圖I示意性地示出了根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的排廢液槽控制裝置的框圖。圖2示意性地示出了根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的排廢液槽控制裝置的框圖。需要說明的是，附圖用于說明本實(shí)用新型，而非限制本實(shí)用新型。注意，表示結(jié)構(gòu)的附圖可能并非按比例繪制。并且，附圖中，相同或者類似的元件標(biāo)有相同或者類似的標(biāo)號(hào)。
具體實(shí)施方式
為了使本實(shí)用新型的內(nèi)容更加清楚和易懂，下面結(jié)合具體實(shí)施例和附圖對(duì)本實(shí)用新型的內(nèi)容進(jìn)行詳細(xì)描述。圖2示意性地示出了根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的排廢液槽控制裝置的框圖。與圖I所示的現(xiàn)有技術(shù)相同的是，根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的排廢液槽控制裝置包括依次連接的用于提供電能的電源I、自動(dòng)變頻的變壓器2、用于感測(cè)排廢液槽的液位高度的液位傳感器3、繼電器5、交流接觸器6、以及用于吸引排廢液槽中的廢液的泵7。并且排廢液槽控制裝置還包括與液位傳感器3相連的液位報(bào)警裝置9、與泵7相連接的泵報(bào)警裝置8、以及與積液盤10相連接的漏液報(bào)警裝置11。液位報(bào)警裝置9、泵報(bào)警裝置8、以及漏液報(bào)警裝置11均連接至提醒裝置13。提醒裝置13例如是蜂鳴器或者閃爍燈等。與圖I所示的現(xiàn)有技術(shù)不同的是，根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的排廢液槽控制裝置進(jìn)一步包括與液位傳感器3相連的延時(shí)繼電器21、與延時(shí)繼電器21相連的邏輯信號(hào)處理裝置22、與邏輯信號(hào)處理裝置22相連的附加繼電器23、以及與附加繼電器23相連的故障報(bào)警裝置101 ;故障報(bào)警裝置101連接至提醒裝置13。需要說明的是，與邏輯信號(hào)處理裝置22相連的附加繼電器23是優(yōu)選的。如圖2中的虛線框所示，繼電器5、延時(shí)繼電器21、邏輯信號(hào)處理裝置22以及附加繼電器23構(gòu)成了一個(gè)排廢液槽防溢液報(bào)警裝置20。 更具體地說，繼電器5和延時(shí)繼電器21接收相同的輸入信號(hào)SI，延時(shí)繼電器21將延時(shí)后的輸入信號(hào)SI傳遞給邏輯信號(hào)處理裝置22，并且繼電器5將輸出信號(hào)S2輸入至邏輯信號(hào)處理裝置22。可以看出，實(shí)際上，邏輯信號(hào)處理裝置22分別收集了繼電器5兩端的輸入信號(hào)(通過延時(shí)繼電器21傳遞的輸入信號(hào)SI)和輸出信號(hào)(輸出信號(hào)S2)。邏輯信號(hào)處理裝置22在接收到輸入信號(hào)SI和輸出信號(hào)S2之后，判斷輸入信號(hào)SI和輸出信號(hào)S2是否一致。如果輸入信號(hào)SI和輸出信號(hào)S2 —致,即可確認(rèn)為繼電器5未發(fā)生故障；相反，如果輸入信號(hào)SI和輸出信號(hào)S2不一致，即可確認(rèn)為繼電器5發(fā)生了故障，由此觸發(fā)警報(bào)，例如通過附加繼電器23和故障報(bào)警裝置101來觸發(fā)提醒裝置13 (例如蜂鳴器和/或閃爍燈)報(bào)警。同樣的，例如，液位報(bào)警裝置9在排廢液槽的液位高度高于預(yù)定高度時(shí)發(fā)生報(bào)警；泵報(bào)警裝置8在泵7連續(xù)工作超過預(yù)定時(shí)間段時(shí)發(fā)生報(bào)警；漏液報(bào)警裝置11在積液盤10中存在液體時(shí)發(fā)生報(bào)警。當(dāng)諸如蜂鳴器或者閃爍燈之類的提醒裝置13從故障報(bào)警裝置101、液位報(bào)警裝置
9、泵報(bào)警裝置8、以及漏液報(bào)警裝置11中的任何一個(gè)接收到報(bào)警信號(hào)時(shí)，提醒裝置13向操作人員發(fā)出諸如蜂鳴聲或者閃爍光之類的警告信息?？梢钥闯觯诟鷵?jù)本實(shí)用新型的上述實(shí)施例中，在現(xiàn)有排廢液槽的排廢液控制電路結(jié)構(gòu)中，增加了一個(gè)邏輯信號(hào)處理裝置22，分別收集繼電器5兩端的輸入信號(hào)和輸出信號(hào)，如果輸入信號(hào)和輸出信號(hào)不一致，即可確認(rèn)為繼電器5發(fā)生了故障，由此通過故障報(bào)警裝置101來觸發(fā)提醒裝置13 (例如蜂鳴器和/或閃爍燈)報(bào)警。由此，可以確保在繼電器5發(fā)生故障后，能及時(shí)提醒實(shí)驗(yàn)室人員，避免因槽溢液而造成不利影響(例如發(fā)生安全事故)。 根據(jù)本實(shí)用新型的另一優(yōu)選實(shí)施例，本實(shí)用新型還提供一種采用了上述排廢液槽防溢液報(bào)警裝置的排廢液槽控制裝置?？梢岳斫獾氖?，雖然本實(shí)用新型已以較佳實(shí)施例披露如上，然而上述實(shí)施例并非用以限定本實(shí)用新型。對(duì)于任何熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員而言，在不脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案范圍情況下，都可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容對(duì)本實(shí)用新型技術(shù)方案作出許多可能的變動(dòng)和修飾，或修改為等同變化的等效實(shí)施例。因此，凡是未脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本實(shí)用新型的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所做的任何簡(jiǎn)單修改、等同變化及修飾，均仍屬 于本實(shí)用新型技術(shù)方案保護(hù)的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種排廢液槽防溢液報(bào)警裝置，其特征在于包括繼電器、延時(shí)繼電器、以及與延時(shí)繼電器相連的邏輯信號(hào)處理裝置；其中，繼電器和延時(shí)繼電器接收相同的輸入信號(hào)，延時(shí)繼電器將延時(shí)后的輸入信號(hào)傳遞給邏輯信號(hào)處理裝置，并且繼電器將輸出信號(hào)輸入至邏輯信號(hào)處理裝置；邏輯信號(hào)處理裝置在接收到輸入信號(hào)和輸出信號(hào)之后，判斷輸入信號(hào)和輸出信號(hào)是否一致；如果輸入信號(hào)和輸出信號(hào)不一致，則判斷繼電器發(fā)生了故障，由此觸發(fā)報(bào)目O
2.一種排廢液槽控制裝置，其包括依次連接的用于提供電能的電源、自動(dòng)變頻的變壓器、用于感測(cè)排廢液槽的液位高度的液位傳感器、繼電器、交流接觸器、以及用于吸引排廢液槽中的廢液的泵； 其特征在于所述排廢液槽控制裝置還包括延時(shí)繼電器、以及與延時(shí)繼電器相連的邏輯信號(hào)處理裝置；其中，繼電器和延時(shí)繼電器接收相同的輸入信號(hào)，延時(shí)繼電器將延時(shí)后的輸入信號(hào)傳遞給邏輯信號(hào)處理裝置，并且繼電器將輸出信號(hào)輸入至邏輯信號(hào)處理裝置；邏輯信號(hào)處理裝置在接收到輸入信號(hào)和輸出信號(hào)之后，判斷輸入信號(hào)和輸出信號(hào)是否一致；如果輸入信號(hào)和輸出信號(hào)不一致，則判斷繼電器發(fā)生了故障，由此觸發(fā)報(bào)警。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的排廢液槽控制裝置，其特征在于還包括用于報(bào)警的提醒裝置，提醒裝置是蜂鳴器和/或閃爍燈。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的排廢液槽控制裝置，其特征在于還包括與液位傳感器相連的液位報(bào)警裝置，液位報(bào)警裝置在排廢液槽的液位高度高于預(yù)定高度時(shí)發(fā)生報(bào)警。
5.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的排廢液槽控制裝置，其特征在于還包括與泵相連接的泵報(bào)警裝置，泵報(bào)警裝置在泵連續(xù)工作超過預(yù)定時(shí)間段時(shí)發(fā)生報(bào)警。
6.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的排廢液槽控制裝置，其特征在于還包括與積液盤相連接的漏液報(bào)警裝置，漏液報(bào)警裝置在積液盤中存在液體時(shí)發(fā)生報(bào)警。
專利摘要本實(shí)用新型提供了一種排廢液槽防溢液報(bào)警裝置以及排廢液槽控制裝置。根據(jù)本實(shí)用新型的排廢液槽防溢液報(bào)警裝置包括繼電器、延時(shí)繼電器、以及與延時(shí)繼電器相連的邏輯信號(hào)處理裝置；其中，繼電器和延時(shí)繼電器接收相同的輸入信號(hào)，延時(shí)繼電器將延時(shí)后的輸入信號(hào)傳遞給邏輯信號(hào)處理裝置，并且繼電器將輸出信號(hào)輸入至邏輯信號(hào)處理裝置；邏輯信號(hào)處理裝置在接收到輸入信號(hào)和輸出信號(hào)之后，判斷輸入信號(hào)和輸出信號(hào)是否一致；如果輸入信號(hào)和輸出信號(hào)不一致，則判斷繼電器發(fā)生了故障，由此觸發(fā)報(bào)警。根據(jù)本實(shí)用新型，可以確保在繼電器發(fā)生故障后，能及時(shí)提醒諸如實(shí)驗(yàn)室人員之類的操作人員，避免因槽溢液而造成不利影響。
文檔編號(hào)G05D9/12GK202563066SQ201220158848
公開日2012年11月28日 申請(qǐng)日期2012年4月13日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月13日
發(fā)明者高金德, 趙建鋒 申請(qǐng)人:上海華力微電子有限公司