專利名稱：溫控設備管路切換裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及半導體制造領域，尤其涉及一種溫控設備管路切換裝置。
背景技術：
目前，在半導體制造的光刻領域，由于掃描光刻機上需冷卻對象較多，因此，常使用兩臺溫控設備(即第一溫控設備和第二溫控設備)對上述冷卻對象提供冷卻水，并且兩臺溫控設備的輸出精度要求不同。一臺溫控設備為微動臺或粗動臺的掃描電機、步進電機、垂向電機(概括為高精度溫控對象組)提供高精度冷卻水；另一臺溫控設備為線纜臺及放漂移的步進電機、掃描電機(概括為低精度溫控對象組)提供低精度冷卻水?，F有技術中通常將兩臺溫控設備安裝在一個支架上，各自通過簡單的連接裝置，實現溫控裝置的通斷，連接裝置原理如圖I所示。由圖I可見，第一溫控設備100和第二溫·控設備200分別獨自通過各自的管路和控制閥500向高精度溫控對象組300和低精度溫控對象組400供水，雖然其結構比較簡單，但是當溫控設備需要維護、檢測或者應急調換時，需要將所有管路拆除再重新安裝，耗時耗力。

實用新型內容本實用新型的目的在于提供一種溫控設備管路切換裝置，可以實現在拆裝管路和接頭的情況下，實現對溫控設備的工作狀態(tài)和自測狀態(tài)的切換，以及實現對溫控設備對溫控對象的選擇性供水，切換方便，且省時省力。本實用新型提供的溫控設備管路切換裝置，用于實現對高精度溫控對象組和低精度溫控對象組的供水切換控制，包括第一溫控設備，其輸出口經第一支路和第二支路分別與所述高精度溫控對象組和低精度溫控對象組的輸入口連接，其輸入口經第五支路和第六支路分別與所述高精度溫控對象組和低精度溫控對象組的輸出口連接；第二溫控設備，其輸出口經第三支路和第四支路分別與所述高精度溫控對象組和低精度溫控對象組的輸入口連接，其輸入口經第七支路和第八支路分別與所述高精度溫控對象組和低精度溫控對象組的輸出口連接；八個控制閥，分別設置于第一至第八支路上，用于控制各個支路的通斷。進一步，在上述的溫控設備管路切換裝置中，第一溫控設備的輸出口與第一支路和第二支路之間還設有第一輸送總管；第一溫控設備的輸入口與第五支路和第六支路之間設有第二輸送總管；第二溫控設備的輸出口與第三支路和第四支路之間設有第三輸送總管；第二溫控設備的輸入口與第七支路和第八支路之間設有第四輸送總管；所述第一輸送總管、第二輸送總管、第三輸送總管以及第四輸送總管上分別設置有壓力表。進一步，在上述的溫控設備管路切換裝置中，還包括第一自修管路，連通第一輸送總管與第二輸送總管，所述第一自修管路上設有第九控制閥；[0012]第二自修管路，連通第三輸送總管以及所述第四輸送總管，所述第二自修管路上設有第十控制閥。本實用新型提供的溫控設備管路切換裝置，通過將對上述八個控制閥中的對應的控制閥進行關閉或開啟，可以實現溫控設備即第一溫控設備和第二溫控設備在工作狀態(tài)和休息狀態(tài)間進行切換，以及可以在不拆卸相應管路和接頭的情況下實現溫控設備對不同溫控對象組的選擇性供水即調換供水，相比現有技術中需要在拆卸相應管路和接頭的情況下才能實現調換供水的技術方案使用更加方便，省時省力。另外，通過設置第一自修管路，并在第一自修管路上設置第九控制閥，可以實現第一溫控設備在工作狀態(tài)、自測狀態(tài)和休息狀態(tài)間進行切換。此外，通過設置第二自修管路，并在第二自修管路上設置第十控制閥，可以實現第二溫控設備在工作狀態(tài)、自測狀態(tài)和休息狀態(tài)間進行切換。

本實用新型的溫控設備管路切換裝置由以下的實施例及附圖給出。圖I為現有的兩個溫控設備向兩個溫控對象組供水的原理圖?！D2為本實用新型一實施例兩個溫控設備通過溫控設備管路切換裝置控制向兩個溫控對象組供水的原理圖。圖3為本實用新型一實施例第一溫控設備和第二溫控設備分別向高精度溫控對象組和低精度溫控對象組供水的示意圖。圖4為本實用新型一實施例第一溫控設備和第二溫控設備分別向低精度溫控對象組和高精度溫控對象組供水的示意圖。圖5為本實用新型一實施例第一溫控設備處于自測狀態(tài)示意圖。圖6為本實用新型一實施例第二溫控設備處于自測狀態(tài)示意圖。圖中，100-第一溫控設備，200-第二溫控設備，300-高精度溫控對象組，400-低精度溫控對象組，I-第一控制閥，2-第二控制閥，3-第三年控制閥，4-第四控制閥，5-第五控制閥，6-第六控制閥，7-第七控制閥，8-第八控制閥，9-第九控制閥，10-第十控制閥，11-壓力表，12-接頭。
具體實施方式
以下將對本實用新型的溫控設備管路切換裝置作進一步的詳細描述。下面將參照附圖對本實用新型進行更詳細的描述，其中表示了本實用新型的優(yōu)選實施例，應該理解本領域技術人員可以修改在此描述的本實用新型而仍然實現本實用新型的有利效果。因此，下列描述應當被理解為對于本領域技術人員的廣泛知道，而并不作為對本實用新型的限制。為使本實用新型的目的、特征更明顯易懂，
以下結合附圖對本實用新型的具體實施方式
作進一步的說明。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比率，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。請參閱圖2，圖2為本實用新型一實施例兩個溫控設備通過溫控設備管路切換裝置控制向兩個溫控對象組供水的原理圖。本實施例提供的溫控設備管路切換裝置，用于實現對高精度溫控對象組300和低精度溫控對象組400的供水切換控制，包括[0026]第一溫控設備100，所述第一溫控設備100的輸出口分別經第一支路和第二支路與所述高精度溫控對象組300和低精度溫控對象組400的輸入口連接，;所述第一溫控設備100的輸入口分別經第五支路和第六支路與所述高精度溫控對象組300和低精度溫控對象組400的輸出口連接；所述第二溫控設備200，所述第二溫控設備200的輸出口分別經第三支路和第四支路與所述高精度溫控對象組300和低精度溫控對象組400的輸入口連接；所述第二溫控設備200的輸入口分別經第七支路和第八支路與所述高精度溫控對象組300和低精度溫控對象組400的輸出口連接。八個控制閥，即第一控制閥I、第二控制閥2、第三控制閥3、第四控制閥4、第五控制閥5、第六控制閥6、第七控制閥7以及第八控制閥8，所述八個控制閥分別設置于第一至第八支路上，用于控制各個支路的通斷。一方面，通過設置上述八個控制閥其中一部分或者全部關閉或者開啟，可以實現第一溫控設備100或第二溫控設備200是否向高精度溫控對象組300或低精度溫控對象組 400供水，以及實現第一溫控設備100或第二溫控設備200對高精度溫控對象組300和低精度溫控對象組400的選擇性供水。另一方面，通過將對上述八個控制閥中的對應的控制閥進行關閉或開啟，可以實現溫控設備即第一溫控設備100和第二溫控200在工作狀態(tài)和休息狀態(tài)間進行切換，即選擇第一溫控設備100或第二溫控設備200是否向高精度溫控對象組300或低精度溫控對象組400供水；同時，可以在不拆卸相應管路和接頭的情況下實現溫控設備對不同溫控對象組的調換供水，即實現第一溫控設備100或第二溫控設備200對高精度溫控對象組300和低精度溫控對象組400的選擇性供水，其相比現有技術中需要在拆卸相應管路和接頭的情況下才能實現調換供水的技術方案操作更加方便，省時省力。較佳的，在本是實施例中，第一溫控設備100的輸出口與第一支路和第二支路之間還設有第一輸送總管，即所述第一溫控設備100的輸出口經第一輸送總管后分出所述第一支路和第二支路；第一溫控設備100的輸入口與第五支路和第六支路之間設有第二輸送總管，即所述第一溫控設備100的輸入口經第二輸送總管后分出所述第七支路和第八支路；第二溫控設備200的輸出口與第三支路和第四支路之間設有第三輸送總管，即所述第二溫控設備200的輸出口經第三輸送總管后分出所述第三支路和第四支路；第二溫控設備的輸入口與第七支路和第八支路之間設有第四輸送總管，即所述第二溫控設備200的輸入口經第四輸送總管后分出所述第七支路和第八支路輸入口經第四輸送總管后分出所述第七支路和第八支路，所述第一輸送總管、第二輸送總管、第三輸送總管以及第四輸送總管上分別設置有壓力表。通過設置所述壓力11，便于實現對相應溫控設備運行狀態(tài)的檢測，使得設備運行更加可靠。較佳地，本實施例中，還包括第一自修管路，所述第一自修管路連通所述第一輸送總管與所述第二輸送總管，所述第一自修管路上設有第九控制閥9。通過設置第一自修管路，并在第一自修管路上設置第九控制閥9，可以實現第一溫控設備100在工作狀態(tài)、自測狀態(tài)和休息狀態(tài)間進行切換。較佳地，還包括第二自修管路，所述第二自修管路連通所述第三輸送總管以及所述第四輸送總管，所述第二自修管路上設有第十控制閥10。通過設置第二 200在工作狀態(tài)、自測狀態(tài)和休息狀態(tài)間進行切換。較佳地，所述第一控制閥I、第二控制閥2、第三控制閥3、第四控制閥4、第五控制閥5、第六控制閥6、第七控制閥7、第八控制閥8、第九控制閥9以及第十控制閥10均是球閥。所述球閥具有結構簡單，使用方便的優(yōu)點。較佳地，所述第一溫控設備100的輸出口、第一溫控設備100的輸入口、第二溫控設備200的輸出口、第二溫控設備200的輸入口、高精度溫控對象組300的輸入口、高精度溫控對象組300的輸出口、低精度溫控對象組300的輸入口以及低精度溫控對象組400的輸出口分別設置有接頭12。通過設置接頭12，以便于實現對相關部件之間的連接，提高安裝效率和連接的密封性。以下對本實施例的溫控設備管路切換裝置的幾種典型工況進行說明一、請參閱圖3，圖3為本實施例第一溫控設備100和第二溫控設備200分別向高精度溫控對象組300和低精度溫控對象組400供水的示意圖。此時，打開第一控制閥I、第·四控制閥4、第五控制閥5以及第八控制閥8，并關閉第二控制閥2、第三控制閥3、第六控制閥6、第七控制閥7、第九控制閥9以及第十控制閥10，此時第一溫控設備100為高精度溫控對象組300提供冷卻水，第二溫控設備200為低精度溫控對象組400提供冷卻水。二、當第一溫控設備100運行出現異?；蚩販鼐冗_不到要求時，需要將兩個溫控設備的供水對象進行互換。請參閱圖4，圖4為本實施例第一溫控設備100和第二溫控設備200分別向低精度溫控對象組400和高精度溫控對象組供水300的示意圖。此時，打開第二控制閥2、第三控制閥3、第六控制閥6以及第七控制閥7，并關閉第一控制閥I、第四控制閥4、第五控制閥5、第八控制閥8、第九控制閥9以及第十控制閥10，此時第一溫控設備100為低精度溫控對象組400提供冷卻水供水，第二溫控設備200為高精度溫控對象組300提供冷卻水，從而實現兩臺溫控設備供水對象的切換。三、請參閱圖5，圖5為實施例第一溫控設備100處于自測狀態(tài)的示意圖。當第一溫控設備100運行出現異常或控溫精度達不到要求，需要進行設備檢測時，關閉第一控制閥I、第二控制閥2、第五控制閥5以及第六控制閥6，并打開第九控制閥9，此時第一溫控設備100不對外供水，進行第一溫控設備100的內部循環(huán)，以便設備檢測。四、請參閱圖6，圖6為本實施例第二溫控設備200處于自測狀態(tài)示意圖。當第二溫控設備200運行出現異?；蚩販鼐冗_不到要求，需要進行設備檢測時，關閉第三控制閥3、第四控制閥4、第七控制閥7、第八控制閥8，并打開第十控制閥10，此時，第二溫控設備200不對外供水，進行第二溫控設備200的內部循環(huán)，以便設備檢測。通過以上幾種工況可以看出，本發(fā)明的管路切換裝置能夠實現可以實現溫控設備即第一溫控設備100第二溫控設備200在工作狀態(tài)和休息狀態(tài)間進行切換，以及可以在不拆卸相應管路和接頭的情況下實現溫控設備對不同溫控對象組的選擇性供水即調換供水，省時省力。除了上述的工況，本發(fā)明所述的管路切換裝置還可以針對其他工況進行相應調整。對第一溫控設備和第二溫控設備的各種運行工況及所需的控制閥配合狀態(tài)組合列表，如下表所示
權利要求1.一種溫控設備管路切換裝置，用于實現對高精度溫控對象組和低精度溫控對象組的供水切換控制，其特征在于，包括 第一溫控設備，其輸出口經第一支路和第二支路分別與所述高精度溫控對象組和低精度溫控對象組的輸入口連接，其輸入口經第五支路和第六支路分別與所述高精度溫控對象組和低精度溫控對象組的輸出口連接； 第二溫控設備，其輸出口經第三支路和第四支路分別與所述高精度溫控對象組和低精度溫控對象組的輸入口連接，其輸入口經第七支路和第八支路分別與所述高精度溫控對象組和低精度溫控對象組的輸出口連接； 八個控制閥，分別設置于第一至第八支路上，用于控制各個支路的通斷。
2.根據權利要求I所述的溫控設備管路切換裝置，其特征在于，第一溫控設備的輸出口與第一支路和第二支路之間還設有第一輸送總管；第一溫控設備的輸入口與第五支路和 第六支路之間設有第二輸送總管；第二溫控設備的輸出口與第三支路和第四支路之間設有 第三輸送總管；第二溫控設備的輸入口與第七支路和第八支路之間設有第四輸送總管；所述第一輸送總管、第二輸送總管、第三輸送總管以及第四輸送總管上分別設置有壓力表。
3.根據權利要求2所述的溫控設備管路切換裝置，其特征在于，還包括 第一自修管路，連通第一輸送總管與第二輸送總管，所述第一自修管路上設有第九控制閥； 第二自修管路，連通第三輸送總管以及所述第四輸送總管，所述第二自修管路上設有第十控制閥。
專利摘要本實用新型公開了一種溫控設備管路切換裝置，用于實現對高精度溫控對象組和低精度溫控對象組的供水切換控制，包括第一溫控設備,其輸出口經第一支路和第二支路分別與高精度溫控對象組和低精度溫控對象組的輸入口連接，其輸入口經第五支路和第六支路分別與高精度溫控對象組和低精度溫控對象組的輸出口連接；第二溫控設備，其輸出口經第三支路和第四支路分別與高精度溫控對象組和低精度溫控對象組的輸入口連接，其輸入口經第七支路和第八支路分別與所述高精度溫控對象組和低精度溫控對象組的輸出口連接；以及八個控制閥，分別設置于第一至第八支路上，本實用新型能方便實現溫控設備在工作狀態(tài)和休息狀態(tài)間切換以及對不同溫控對象組進行選擇性供水。
文檔編號G05B19/04GK202710956SQ20122031999
公開日2013年1月30日 申請日期2012年7月3日 優(yōu)先權日2012年7月3日
發(fā)明者張洪博, 金敏 申請人:上海微電子裝備有限公司