制造和使用質(zhì)量流量設(shè)備的系統(tǒng)和方法【專利摘要】本發(fā)明提供一種制造質(zhì)量流量設(shè)備(21)的系統(tǒng)和方法，所述設(shè)備與一種或多種流體一起使用。所述方法包括，為給定限流器(114)獲取要計(jì)算的流體的流體特性。獲取在設(shè)備(21)中使用的部件參數(shù)，該部件例如為處理器(130)、限流器(114)和一個或多個傳感器(46、48)，以確定用于計(jì)算的任何所需校正。用流體特性數(shù)據(jù)處理限流器(114)和部件參數(shù)，以確定用于設(shè)備(21)的操作參數(shù)。將操作數(shù)據(jù)下載到設(shè)備(21)中，使處理器(130)能夠監(jiān)視和控制流體流量。可以執(zhí)行驗(yàn)證測試以確保設(shè)備(21)正確運(yùn)行?！緦＠f明】制造和使用質(zhì)量流量設(shè)備的系統(tǒng)和方法[0001]交叉引用[0002]本申請要求2001年10月12日提交的、申請?zhí)枮镹0.60/329031的美國臨時專利申請和2002年8月28日提交的、申請?zhí)枮镹0.60/406511的美國臨時專利申請的優(yōu)先權(quán)，并且是2000年9月20日提交的、申請?zhí)枮镹0.09/666039的美國專利申請的部分延續(xù)?！?br>技術(shù)領(lǐng)域：
】[0003]本公開一般涉及流量系統(tǒng)，更具體地涉及制造和使用質(zhì)量流量設(shè)備的方法?！?br>背景技術(shù)：
】[0004]人們已經(jīng)努力發(fā)展精確流體質(zhì)量流量控制器，尤其是用于控制諸如半導(dǎo)體器件制造中使用的類型的有毒和高活性氣體的流體的質(zhì)量流速的流量控制器。在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域中，在蝕刻和氣相沉積工藝中使用各種氣體。當(dāng)暴露到環(huán)境大氣條件下時，這些氣體可能對人體有害，并且可能是高活性的。已經(jīng)開發(fā)了測量和控制上述類型流體的流速的質(zhì)量流量控制器，其中測量是基于流體熱性質(zhì)。還已經(jīng)開發(fā)了基于測量跨越流量限流器或管口(orifice)的壓差的其它流體質(zhì)量流量控制器。這里所討論類型的現(xiàn)有技術(shù)質(zhì)量流量控制器的精度不適合于流量控制器的許多應(yīng)用。[0005]半導(dǎo)體制造工藝可能要求將非常精確量的流體(主要是氣體)排入加工室。例如，可能要求流速范圍從高達(dá)20升/分鐘到低達(dá)幾十分之一立方厘米/分鐘(CCM)。而且，在半導(dǎo)體制造中用來控制活性氣體的流量控制器的響應(yīng)時間和穩(wěn)定流速，可能要求控制器能夠在小于I秒鐘內(nèi)(優(yōu)選為比I秒小得多)對“0N”信號起反應(yīng)并且穩(wěn)定在所需流速，。工藝本身在任何地方可能持續(xù)幾秒到幾小時。目前流體質(zhì)量流量控制器以這樣的速度進(jìn)行反應(yīng)和穩(wěn)定的能力是難以實(shí)現(xiàn)的。[0006]與現(xiàn)有技術(shù)壓力傳感器和使用這種壓力傳感器的流體質(zhì)量流量控制器相關(guān)的另一問題是它們設(shè)計(jì)中固有的死區(qū)的量。通常，這種質(zhì)量流量控制器具有開口在與每個壓力變換器相關(guān)的中空室中的單個入口/出口。因此，中空室一些區(qū)域中的流體流量可能受到嚴(yán)重限制，導(dǎo)致大的未掃掠的內(nèi)部體積、長的濕氣干燥時間和差的清潔能力。[0007]與現(xiàn)有技術(shù)流體質(zhì)量流量控制器相關(guān)的另一問題就是對于各種處理流體需要校準(zhǔn)控制器。通常使用惰性或無毒校準(zhǔn)流體對現(xiàn)有技術(shù)流體質(zhì)量流量控制器進(jìn)行校準(zhǔn)，這需要推導(dǎo)轉(zhuǎn)換系數(shù)或轉(zhuǎn)換數(shù)據(jù)集。由于為校準(zhǔn)每個控制器裝置使用有毒或高活性處理流體對于操作人員來說危險并且成本過高，現(xiàn)有技術(shù)流體質(zhì)量流量控制器通常用諸如氮或氬等的惰性流體進(jìn)行校準(zhǔn)，或用性質(zhì)類似于受質(zhì)量流量控制器控制的處理流體性質(zhì)的流體進(jìn)行校準(zhǔn)。使用校準(zhǔn)流體和轉(zhuǎn)換系數(shù)的該處理將誤差帶入質(zhì)量流量控制器操作中，是耗時并昂貴的?，F(xiàn)有技術(shù)流體質(zhì)量流量控制器的不準(zhǔn)確性、初始安裝期間以及更換程序中校準(zhǔn)控制器所要求的費(fèi)用和時間實(shí)質(zhì)上將許多制造工藝(包括半導(dǎo)體器件制作)的成本增加到了已經(jīng)非常希望流體質(zhì)量流量控制器中有某些改進(jìn)的程度。[0008]因此，已經(jīng)確認(rèn)關(guān)于壓力傳感器和包括這樣的壓力傳感器的流體質(zhì)量流量控制器(尤其是如上所述的制造工藝中使用的類型)的一些迫切需要。這樣的迫切需要包括:控制器設(shè)定點(diǎn)(setpoint)的百分之幾(希望小于百分之一)以內(nèi)的控制器精度；在“正常”溫度之上或之下和各種位置或姿態(tài)(也就是，正面朝上、倒向一邊或正面朝下)下運(yùn)行而不喪失精度，例如由基于熱的質(zhì)量流量控制器所經(jīng)歷的；在寬流速范圍內(nèi)精確測量和控制；從打開到實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定流量狀況的快速響應(yīng)時間；制造節(jié)約；以及簡單的模塊機(jī)械結(jié)構(gòu)來便于維護(hù)流量控制器以及便于將流量控制器從用于制造工藝的流體流量分配系統(tǒng)中卸下。流體質(zhì)量流量控制器中其它所希望的特征包括:制造時無需校準(zhǔn)每個完整控制器裝置，或維護(hù)后無需重新校準(zhǔn)該裝置；供應(yīng)可靠的容易交換的流量限流器或管口部件；維護(hù)或卸下流量限流器之后，容易驗(yàn)證流量控制器的可操作性和精度；對于多種有毒和/或活性流體，尤其是在半導(dǎo)體制造工藝中使用的數(shù)百種氣態(tài)流體，能夠準(zhǔn)確控制流速的能力；容易為不同氣體或液態(tài)流體的流速修改控制器工作數(shù)據(jù)。[0009]因此，需要用于制造能夠精確測量或控制跨越不同壓強(qiáng)和溫度范圍的一種或多種流體的質(zhì)量流量設(shè)備的系統(tǒng)和方法?！?br/>發(fā)明內(nèi)容】[0010]通過制造與至少一種流體一起使用的質(zhì)量流量設(shè)備的新穎的方法和系統(tǒng)，提供技術(shù)進(jìn)步。在一個實(shí)施例中，該方法包含選擇限流器，其中該限流器與補(bǔ)償參數(shù)相關(guān)。用與該流體相關(guān)的特性數(shù)據(jù)處理補(bǔ)償參數(shù)，以產(chǎn)生設(shè)備參數(shù)。將設(shè)備參數(shù)下載到設(shè)備中，使設(shè)備能夠在環(huán)境條件范圍內(nèi)監(jiān)控流體流量。在另一個實(shí)施例中，一種向質(zhì)量流量設(shè)備提供信息的方法包含，識別與限流器相關(guān)的限流器信息和與至少一個傳感器相關(guān)的傳感器信息。該限流器信息和傳感器信息分別定義限流器特性和傳感器性質(zhì)。識別與流體相關(guān)的特性信息。用特性信息處理所識別的限流器信息和傳感器信息，以產(chǎn)生用于該設(shè)備的操作數(shù)據(jù)，使該設(shè)備能夠控制流體。將操作數(shù)據(jù)保存到設(shè)備可訪問的存儲器中。[0011]在又一個實(shí)施例中，用于控制至少一種流體流量的設(shè)備包含用于限制流體流量的限流器、處理器、用于控制流體流量的該處理器可訪問的閥、至少一個用于產(chǎn)生表示流體流量的流量數(shù)據(jù)的傳感器、和該處理器可訪問的存儲器。該存儲器包括:與該限流器、該傳感器和該流體相關(guān)的設(shè)備數(shù)據(jù)以及用于由處理器處理的指令。該指令用于從傳感器中接收流量數(shù)據(jù)，基于所接收的流量數(shù)據(jù)和設(shè)備數(shù)據(jù)計(jì)算流速，并啟動該閥。啟動程度與所計(jì)算的流速相關(guān)?！緦＠綀D】【附圖說明】[0012]圖1是制造流量控制器的示例方法的流程圖。[0013]圖2-6圖解示例質(zhì)量流量控制器和可以使用圖1方法裝配的各種部件。[0014]圖7是圖解制造圖2-6質(zhì)量流量控制器的方法的另一實(shí)施例的流程圖。[0015]圖8是圖解根據(jù)圖7方法獲得流體特性數(shù)據(jù)的方法的流程圖。[0016]圖9是圖解可以由圖8方法獲得的示例流體特性特征的三維圖。[0017]圖10是圖解根據(jù)圖7方法用于獲得某些部件參數(shù)的特定方法的流程圖。[0018]圖11是圖解根據(jù)圖7方法用于表征傳感器的特定方法的流程圖。[0019]圖12是圖解根據(jù)圖7方法用于表征限流器的特定方法的流程圖。[0020]圖13是圖解可以由圖12方法獲得的示例數(shù)據(jù)點(diǎn)的圖。[0021]圖14是概括圖2-6流量控制器的裝配的流程圖，其用于特定流體和流速?！揪唧w實(shí)施方式】[0022]本公開通常涉及流量系統(tǒng)，尤其涉及制造和使用質(zhì)量流量設(shè)備的方法。然而應(yīng)該理解，下面的公開中提供了許多不同實(shí)施例或示例，以用于實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的不同特征。在下面描述部件和裝置的特定示例以簡化本公開。當(dāng)然，這些只是示例而無意限定。另外，本公開可以在不同示例中重復(fù)附圖標(biāo)記和/或字母。這種重復(fù)是為了簡明和清楚，而本質(zhì)上不是規(guī)定所探討的不同實(shí)施例和/或配置之間的關(guān)系。[0023]參考圖1，圖解了制造流量控制設(shè)備(圖2-6)的方法10。應(yīng)該理解，方法10可以同樣適用于在流體流量系統(tǒng)中使用的其它設(shè)備或部件，例如流量測量設(shè)備。正如稍后更詳細(xì)地描述的，在可以影響流體特性的環(huán)境條件范圍內(nèi)，流量控制設(shè)備可操作來控制一種或多種流體流量。例如，流體壓強(qiáng)和/或溫度變化、以及設(shè)備輸入和輸出壓強(qiáng)可以影響通過該設(shè)備的流體流量。而且，由于流體性質(zhì)的差異，一種流體特性可以不同于另一種流體特性而改變。因此，如果設(shè)備要保持特定流體的期望流速，該設(shè)備應(yīng)該調(diào)節(jié)流體流量來響應(yīng)這些變化。在方法10的步驟12中，通過用實(shí)驗(yàn)方法確定不同壓強(qiáng)和/或溫度下的流體特性，編制流體特性數(shù)據(jù)。例如，隨著壓強(qiáng)從真空(例如，O磅/平方英寸(psi)或O托)增加到一個大氣壓(例如14.7磅/平方英寸或760托)，可以在不同壓強(qiáng)點(diǎn)獲得數(shù)據(jù)。可以在不同溫度點(diǎn)獲得附如數(shù)據(jù)來進(jìn)一步確定流體特性。[0024]在步驟12中編制流體特性數(shù)據(jù)之后，方法10繼續(xù)到步驟14，其中可以為流體控制設(shè)備的例如傳感器和限流器的不同部件獲得參數(shù)。正如稍后更詳細(xì)地描述的，傳感器使流體流量的某些性質(zhì)(例如壓強(qiáng)或溫度)能夠得到檢測，而限流器用來根據(jù)預(yù)定義的限流器性質(zhì)改變流體流量。在本示例中，獲得多個傳感器和限流器的參數(shù)，并將該參數(shù)與特定傳感器或限流器相關(guān)聯(lián)。例如，可以得到指定限流器的一組參數(shù)，然后在數(shù)據(jù)庫中與分配給該限流器的唯一序列號相關(guān)聯(lián)。[0025]在步驟16中，選擇限流器和一個或多個傳感器用于流量控制設(shè)備中。因?yàn)槊總€傳感器和限流器與一組參數(shù)相關(guān)聯(lián)，所以所選部件的特性是已知的，當(dāng)做選擇時無需特別關(guān)注。繼續(xù)到步驟18，用流體特性數(shù)據(jù)處理限流器參數(shù)。在其它實(shí)施例中，也可以用流體特性數(shù)據(jù)處理傳感器參數(shù)。在本示例中，流量控制設(shè)備意為用于單一流體，但是應(yīng)該理解可以處理多個流體的流體特性數(shù)據(jù)。該處理產(chǎn)生定義關(guān)于流體的設(shè)備特性的設(shè)備參數(shù)。在步驟20中可以將設(shè)備參數(shù)下載到設(shè)備(例如下載到該設(shè)備可訪問的存儲器)。因此，使用一個或多個閥，設(shè)備可以使用傳感器、限流器和流體之間的已知關(guān)系來控制流體流量。只要傳感器/限流器參數(shù)和流體特性數(shù)據(jù)是已知的，方法10就能夠使用不同傳感器/限流器組合來建立設(shè)備，并使該設(shè)備能夠與許多不同流體一起運(yùn)行。[0026]現(xiàn)在參考圖2，圖解了例如可以使用圖1方法創(chuàng)建的流體質(zhì)量流量控制器21。質(zhì)量流量控制器21包括兩部分的模塊化機(jī)身(body)22，該模塊化機(jī)身22通常包含矩形塊狀的第一機(jī)身部分24和第二機(jī)身部分26，其通過分別位于協(xié)作平面24a和26a上的常規(guī)機(jī)械緊固件(未圖示)合適地相互連接在一起。機(jī)身部分24和26分別提供有合適的連接器25和27，用于與流體供應(yīng)系統(tǒng)的合適導(dǎo)管進(jìn)行連接，該流體供應(yīng)系統(tǒng)例如尤其用于以氣態(tài)形式供應(yīng)例如在半導(dǎo)體制造中使用的有毒或活性流體的半導(dǎo)體制造系統(tǒng)29(圖3)。[0027]作為示例以及如圖3中所示，質(zhì)量流量控制器21可以放入半導(dǎo)體制造系統(tǒng)29，該半導(dǎo)體制造系統(tǒng)29包括源壓強(qiáng)容器28，用于在加壓時供應(yīng)例如六氟化鎢、氯、六氟化硫或例如可以用在制造工藝中的超過200種流體的任一種的流體。源壓強(qiáng)容器28經(jīng)由合適導(dǎo)管30連接到流量控制器21。清洗導(dǎo)管32也連接到導(dǎo)管30和未圖示的清洗氣源，以用于在需要時將流量控制器清洗到合適接收器或洗滌器34。然而流量控制器21運(yùn)行期間，控制流體的精確流量以用于通過導(dǎo)管33進(jìn)入半導(dǎo)體制造室或容器36。例如依靠一個或多個真空泵37，室36通常保持在充分降低的壓強(qiáng)下。通過示例以簡化形式圖示流量控制器21所放入的如圖3中所示的系統(tǒng)29，以便圖解流量控制器的一個優(yōu)選應(yīng)用。應(yīng)該理解，流量控制器21可以用在其它系統(tǒng)中。[0028]同樣參考圖3-6，第一機(jī)身部分24支承電控流量控制閥40，其通過常規(guī)機(jī)械緊固件40a可拆除地安裝在第一機(jī)身部分24的表面24b上。流量控制閥40優(yōu)選為預(yù)裝配、模塊化結(jié)構(gòu)，以便其能夠在預(yù)定位置上容易地安裝在第一機(jī)身部分24上，從而一旦安裝上就無需調(diào)節(jié)流量控制閥40。這優(yōu)于現(xiàn)有技術(shù)系統(tǒng)，在現(xiàn)有技術(shù)系統(tǒng)中閥40不是模塊化，因此必須進(jìn)行調(diào)節(jié)，這通常需要相對大量的時間。閥40包括電驅(qū)動關(guān)閉部件41(圖4)，其可操作來節(jié)流第一機(jī)身部分24的從第一內(nèi)通道42到第二內(nèi)通道44的流體流量。第一內(nèi)通道42與導(dǎo)管30進(jìn)行流通，用于從源壓強(qiáng)容器28中接收流體。閥40還包括執(zhí)行器43，其用于在全開和全閉位置之間移動關(guān)閉部件41。執(zhí)行器43優(yōu)選為螺線管或壓電型，用于以高度分辨率在全開和全閉位置之間快速和精確地控制關(guān)閉部件41的位置。第一壓力變換器46也安裝在第一機(jī)身部分24的表面24b上，并與形成在第一機(jī)身部分24中的第二內(nèi)通道44和第三內(nèi)通道47進(jìn)行流通。第二壓力變換器48安裝在第二機(jī)身部分26的表面26b上，并與形成在第二機(jī)身部分26中的第一內(nèi)通道49和第二內(nèi)通道50進(jìn)行流通。第二內(nèi)通道50還流通地連接到通向制造室36的導(dǎo)管33?？梢蕴峁┛刹鹦兜纳w(未圖示)，用于容納流體質(zhì)量流量控制器21的部件。[0029]如圖5中最清楚地圖示的，圓柱形低壓部(depression)52優(yōu)選地形成在每個機(jī)身部分24和26中。每個低壓部52優(yōu)選地具有底壁54和沿圓周延伸的側(cè)壁56，側(cè)壁56從底壁延伸。杯狀隔膜58固定地放在每個低壓部中。每個杯狀隔膜具有下隔膜壁60和環(huán)形側(cè)壁64，下隔膜壁60優(yōu)選地緊靠并平行于底壁54延伸以形成測量間隙62，環(huán)形側(cè)壁64優(yōu)選地靠近并平行于側(cè)壁56延伸以形成環(huán)形流路66。測量間隙62的高度約為0.003-0.020英寸，優(yōu)選地高度約為0.010英寸，而環(huán)形流路66的高度優(yōu)選地更大。隔膜壁60可以是平的或波狀的，優(yōu)選地形成當(dāng)受到流體壓強(qiáng)時顯示出柔性的厚度。隔膜壁60的厚度可以根據(jù)隔膜壁所受到的流體壓強(qiáng)范圍進(jìn)行改變。對于相對小的壓強(qiáng)范圍，隔膜壁可以相對薄，而對于相對大的壓強(qiáng)范圍，隔膜可以相對厚。對于高度腐蝕環(huán)境，隔膜58、尤其是隔膜壁60優(yōu)選地用防腐蝕材料構(gòu)造，例如不銹鋼、藍(lán)寶石、鉻鎳鐵合金、氧化鋁、陶瓷等等。壓力變換器46和48可以是電阻性應(yīng)變計(jì)(resistivestraingage)或電容型，用于測量隔膜壁60中的彎曲量，并由此測量質(zhì)量流量控制器21內(nèi)的流體壓強(qiáng)。[0030]使用上述布置，當(dāng)穿過測量間隙62的流體流量受到限制時，穿過環(huán)形流路66的流體流量實(shí)質(zhì)未受阻，由此抑制了可能出現(xiàn)在環(huán)形流路66中的湍流流量，并降低現(xiàn)有技術(shù)解決方案中普遍存在的噪聲。測量間隙62和環(huán)形流路66也保證通過這些容積的流體被清理干凈。因此，消除了這些容積內(nèi)的死區(qū)，導(dǎo)致更好的清潔能力和更快的干燥時間。優(yōu)選地，因?yàn)橛捎诘谝粰C(jī)身部分中通常較高的流體壓強(qiáng)，第一機(jī)身部分中的流體流速通常低于第二機(jī)身部分中的流體壓強(qiáng)，所以第一機(jī)身部分24的環(huán)形流路66的寬度小于第二機(jī)身部分26的環(huán)形流路66的寬度。如此，可以減少關(guān)閉或啟動流體流量的延遲時間。[0031]機(jī)身部分24、26優(yōu)選地用導(dǎo)熱材料構(gòu)造，例如不銹鋼、鋁等等，因此用來加熱或冷卻流經(jīng)它們的流體。由于隔膜壁60的位置相對靠近其各個機(jī)身部分24或26，隔膜壁60的溫度較少受到流體溫度影響，由此使測量精度高于現(xiàn)有技術(shù)系統(tǒng)。[0032]現(xiàn)在參考圖6A，圖解了根據(jù)本發(fā)明又一實(shí)施例的壓力傳感器70，其中前述實(shí)施例中的相同部件用相同附圖標(biāo)記表示。除了主內(nèi)通道72之外，壓力傳感器70的結(jié)構(gòu)類似于前述機(jī)身部分24和26，主內(nèi)通道72穿過機(jī)身部分74在第一導(dǎo)管連接器76和第二導(dǎo)管連接器78之間延伸。主內(nèi)通道72流通地連接到第一內(nèi)通道75和第二內(nèi)通道77。如前述實(shí)施例，第一內(nèi)通道75和第二內(nèi)通道77依次與測量間隙62和環(huán)形流路66流通。這個實(shí)施例特別有利于測量以相對高的流速前進(jìn)的流體壓強(qiáng)，這里一些流體繞過壓強(qiáng)測量室，因此減少了可能否則可能出現(xiàn)的湍流。[0033]應(yīng)該理解，可以用類似方式改造質(zhì)量流量控制器21的機(jī)身部分24和26，以便包括用于測量和控制相對高流速的主內(nèi)通道72。[0034]現(xiàn)在參考圖6B，圖解了根據(jù)本發(fā)明再一實(shí)施例的壓力傳感器80，其中與前述實(shí)施例中相同的部件用相同附圖標(biāo)記表示。除了用與第二內(nèi)通道84流通的第一內(nèi)通道82和與第三內(nèi)通道88流通的第四內(nèi)通道86替代主內(nèi)通道72之外，壓力傳感器80的結(jié)構(gòu)類似于壓力傳感器70。如前述實(shí)施例，第二內(nèi)通道84和第三內(nèi)通道88還與測量間隙62和環(huán)形流路66流通。這個實(shí)施例優(yōu)選地用于測量以比前述實(shí)施例更低的流速移動的流體的壓強(qiáng)。[0035]再次參考圖4、5A和5B,第一機(jī)身部分24優(yōu)選地包括第一圓柱形沉孔(counterbore)110,其與第一機(jī)身部分24的第三內(nèi)通道47同心,而第二機(jī)身部分26優(yōu)選地包括第二圓柱形沉孔112，其面對第一沉孔110并與第二機(jī)身部分26的第一內(nèi)通道49同心。流量限流器114優(yōu)選地位于第一沉孔110和第二沉孔112中。流量限流器114優(yōu)選地包含可以支承在管狀套筒116中的材料的盤118。套筒116可以安裝在合適的管狀適配器中，并支承在密封環(huán)113a和113b之間的沉孔110、112中。因此，通過分離機(jī)身部分24和26，拆除流量限流器114，并用具有相同流量特性或不同流量特性的適當(dāng)替代限流器取代該限流器，可以容易地從機(jī)身22中拆除流量限流器114。盤118優(yōu)選地包含具有預(yù)定孔隙率的燒結(jié)金屬材料，以通過限制足以產(chǎn)生跨越該材料的壓差(可以由壓力變換器46和48檢測)的流量，允許流體流經(jīng)其中。例如，流量限流器114可以用適當(dāng)壓縮和燒結(jié)的不銹鋼或鎳顆粒來制造，以便提供期望孔隙率和流量限制性質(zhì)。流量限流器114最好放置在控制閥40下游的流量控制器21中。應(yīng)該理解，流量限流器114可以用其它材料構(gòu)造和/或具體化為螺旋毛細(xì)管、管口或其它限流器設(shè)備。[0036]根據(jù)本發(fā)明，可以布置流量限流器114用作限流器和流體過濾器，以便除去單獨(dú)的上游或下游流體過濾器。對于典型限流器，指定受控壓降而不考慮過濾性質(zhì)。對于典型過濾器，指定過濾性質(zhì)而不考慮受控壓降。因此，對于將流經(jīng)的特殊流體，本發(fā)明的流量限流器114可以構(gòu)造成具有受控壓降和指定的過濾性質(zhì)兩者。[0037]在2002年8月28日提交的、申請?zhí)枮镹0.60/406511的美國臨時專利申請中，描述了可以與流量控制器21—起使用的流量限流器的其它實(shí)施例，因此在此引入其公開全文作為參考。[0038]槽(未圖示)可以位于第一機(jī)身部分24中，以允許溫度探測器136(圖3)插入靠近沉孔Iio的空間以便檢測流量限流器114的溫度。從溫度探測器136中獲取的溫度信號可以用在控制電路(圖3)中，以便允許根據(jù)實(shí)際流體溫度使用限流器特性信息。[0039]再次參考圖2和3，優(yōu)選地，流量控制器21還包含安裝在一對隔開的印刷電路板(PCB)120、122上的控制電路或系統(tǒng)，它們固定到伸出機(jī)身22的安裝支架124上?？刂齐娐钒ㄌ卣鳛閿?shù)字信號處理器(DSP)130的微控制器或微處理器和數(shù)據(jù)輸入設(shè)備134，該數(shù)字信號處理器130可操作地連接到非易失性存儲器132，例如EEPR0M。處理器130可操作地連接到閥40，用于實(shí)現(xiàn)關(guān)閉部件41(圖3)在關(guān)閉和打開位置之間的移動。處理器130還經(jīng)由信號放大器138和140分別可操作地連接到壓力變換器46和48，并且可操作地連接到溫度傳感器136，可以定位溫度傳感器136以便在預(yù)定位置檢測流經(jīng)控制器21的流體溫度。微控制器130還可操作地連接到適當(dāng)接口，例如插接連接器142(圖1)，用于從各種源中接收命令信號、數(shù)據(jù)集和程序修改?？梢蕴峁┲甘酒靼l(fā)光二極管(LED)144，當(dāng)流量控制器21運(yùn)行時其用于顯示。[0040]處理器130優(yōu)選為TexasInstrumentsIncorporated公司現(xiàn)有的TMS320LF2406定點(diǎn)微控制器。然而應(yīng)該理解，可以使用其它定點(diǎn)或浮點(diǎn)處理器而不脫離本發(fā)明的本質(zhì)和范圍。壓力傳感器46和48優(yōu)選地運(yùn)行在正/負(fù)0.5V范圍內(nèi)，用14-16位分辨率作為處理器130的模擬輸入,處理器130攜帶自己的A/D和D/A轉(zhuǎn)換器。其它模擬輸入將用于溫度傳感器136，并且將是具有12位分辨率的O到5V設(shè)定點(diǎn)命令信號輸入(未圖示)。處理器130也可以提供模擬輸出信號，用于通過閥驅(qū)動器(未圖示)控制閥40的運(yùn)行。盡管可以使用其它通信方式，與處理器130的通信可以通過RS485四線制通信鏈路和/或CAN(控制器區(qū)域網(wǎng))進(jìn)行。優(yōu)選地，處理器130還能夠支持用于仿真和調(diào)試的聯(lián)合測試行動小組(JTAG)接口和用于編程的加電引導(dǎo)裝入過程功能。優(yōu)選地，存儲器132包含至少32Kb的串行電可擦除可編程只讀存儲器(EEPROM)。[0041]優(yōu)選地，處理器130運(yùn)行閉環(huán)控制函數(shù)，以每秒約200次的速度在壓力傳感器46、48的輸入和用于控制閥40的輸出信號之間執(zhí)行此函數(shù)。雖然未保持控制環(huán)更新時可以提供新數(shù)據(jù)傳遞或傳遞到存儲器132，但是當(dāng)控制環(huán)運(yùn)行時，執(zhí)行通過接口142的通信。[0042]流量控制器21的每個部件可以包括諸如序列號的識別碼。例如，流量控制器21可以具有唯一序列號，閥40、變換器46、48、限流器114、PCB120、122、DSP130、存儲器132和溫度傳感器136也可以具有唯一序列號。這些序列號可以輸入數(shù)據(jù)庫或其它存儲設(shè)備，以便能夠容易識別與具體流量控制器21相關(guān)的部件。正如稍后更詳細(xì)地描述的，數(shù)據(jù)庫還可以包括關(guān)于每個部件的信息，例如在2001年10月12日提交的、申請?zhí)枮镹0.60/329031的美國臨時專利申請中所述，在此引入其公開全文以作參考。[0043]現(xiàn)在參考圖7，圖解了制造圖2-6流量控制器21的方法200。使用步驟210-228，方法200可操作用來將各種流量控制器部件從未裝配狀態(tài)變?yōu)檠b配狀態(tài)，步驟210-228分成預(yù)裝配、裝配和后裝配階段。預(yù)裝配、裝配和后裝配階段只是說明性的，并用來闡明一種裝配方法?？梢岳斫?，下述步驟的順序可以改變，并且可以自動操作一些步驟。而且，某些步驟可以利用批處理模式來處理多個同類型部件。[0044]在步驟210-218中，方法200中的預(yù)裝配包括獲取編程流量控制器21所需的各種信息并將該信息保存在一個或多個數(shù)據(jù)庫中。這些步驟包括確定流體特性(步驟210)和用在流量控制器21中(步驟212-216)的物理部件的參數(shù)。[0045]現(xiàn)在參考圖7的步驟210并附帶參考圖8，用實(shí)驗(yàn)方法為多種流體確定流體特性數(shù)據(jù)。通過壓強(qiáng)和溫度變化可以改變流體特性。一般，在某些質(zhì)量流速/壓差比的情況下，保持在恒溫并流經(jīng)管口(例如限流器)的流體可表現(xiàn)出質(zhì)量流速和壓差(例如下游壓強(qiáng)/上游壓強(qiáng))間之間的相對線性關(guān)系。該線性區(qū)稱為“扼流”區(qū)，例如，當(dāng)質(zhì)量流速與壓差之比在1.6:I之上時，該線性區(qū)可以出現(xiàn)。扼流期間，流體速度達(dá)到聲速(例如音速)，以及進(jìn)一步增加上游壓強(qiáng)不會造成穿過管口的流體速度相應(yīng)增加。然而，隨著上游壓強(qiáng)增加，質(zhì)量流速可以繼續(xù)線性增加。這是因?yàn)樵黾拥纳嫌螇簭?qiáng)導(dǎo)致更大的流體密度，而這直接影響質(zhì)量流速。因?yàn)榫€性關(guān)系，與控制非扼流區(qū)(例如，當(dāng)質(zhì)量流速與壓差之比在1.6:I之下時)流體相比，可以相對容易地設(shè)計(jì)和使用流量控制器來控制扼流區(qū)流體的質(zhì)量流速。[0046]在非扼流區(qū)，流速和壓差之間的關(guān)系可能是非線性的，因此更難控制。然而，在某些工業(yè)中，例如半導(dǎo)體加工工業(yè)中，可能對非扼流區(qū)中的流量控制特別感興趣。而且，在某些應(yīng)用中，一些流體可能只能用在非扼流區(qū)中，因此扼流區(qū)中的控制可能很不相關(guān)。例如，流體可能從非扼流區(qū)中的氣態(tài)改變?yōu)槎罅鲄^(qū)中的液態(tài)，因此使用氣態(tài)的流體可能需要非扼流區(qū)操作。因此，非扼流區(qū)流體的精確測量和控制是所希望的，如圖8中所示，應(yīng)該收集數(shù)據(jù)給各種各樣的流體特性建模。在識別壓強(qiáng)和溫度變化如何影響穿過給定尺寸限流器(以SCCM測量)的流體流量中，該數(shù)據(jù)是重要的。由于不同流體具有不同性質(zhì)，所以應(yīng)該確定可以由流量控制器21使用的每個流體的特性。[0047]現(xiàn)在只參考圖8，收集流體特性數(shù)據(jù)的工藝229從選擇和安裝一定數(shù)量(例如12個)限流器的步驟230開始。在步驟232中，一種或多種流體流經(jīng)限流器，以便得到表示對于壓差、下游壓強(qiáng)和溫度的某些組合的流體特性的數(shù)據(jù)點(diǎn)。為了說明的目的，測試流體可以包括使流體經(jīng)受從真空變化到一個大氣壓的壓強(qiáng)，并在指定壓強(qiáng)點(diǎn)收集數(shù)據(jù)(例如，本示例中的14個點(diǎn))。應(yīng)該注意，因?yàn)樵诙罅鲄^(qū)可以使用較少的數(shù)據(jù)點(diǎn)預(yù)測流體特性，這些數(shù)據(jù)點(diǎn)大部分可位于非扼流區(qū)。通過改變流體溫度可以得到附加數(shù)據(jù)?？梢栽诟鞣N限流器上執(zhí)行這些改變，以便確定關(guān)于特定限流器設(shè)計(jì)的流體特性。因此，如果3個溫度和12個限流器用于14次壓強(qiáng)測量，可以采樣總共14x3x12=504個數(shù)據(jù)點(diǎn)，以確定單種流體特性。然后可以類似方式確定另外流體的特性。在本示例中，用數(shù)千個數(shù)據(jù)點(diǎn)如此確定總共32種流體。這些數(shù)據(jù)點(diǎn)可以用來確定穿過給定限流器的流體在扼流區(qū)和非扼流區(qū)的流量。[0048]繼續(xù)圖8的方法，在步驟234中，記錄用測試方法獲取的數(shù)據(jù)。然后在步驟236中分析所記錄數(shù)據(jù)，以產(chǎn)生最佳擬合和插值方程，以便在三維圖(圖9)上確定附加點(diǎn)。這些分析為每種流體產(chǎn)生多項(xiàng)式系數(shù)，多項(xiàng)式系數(shù)可以插值來給特定氣體特性提供特定限流器。在步驟238中，多項(xiàng)式系數(shù)保存在數(shù)據(jù)庫中。[0049]本發(fā)明一方面在于，在質(zhì)量流量控制器21的正常操作范圍內(nèi)，發(fā)現(xiàn)流體流速不但是跨越流量限流器114的壓差的函數(shù)，而且是實(shí)質(zhì)與制造室36中壓強(qiáng)對應(yīng)的絕對下游壓強(qiáng)的函數(shù)。在2000年9月20日提交的、申請?zhí)枮镹0.09/666039的美國專利申請中詳細(xì)討論了該關(guān)系，其公開全文在此引入以作參考。[0050]現(xiàn)在參考圖9，通過曲線圖239圖解了流速和絕對下游壓強(qiáng)之間的關(guān)系，表示流速(用z軸242表示，以SCCM為單位)與下游壓強(qiáng)(用y軸244表示，以托為單位)和壓差(用X軸240表示，以托為單位)之間的相關(guān)性。曲線圖239還包括三個曲面246、248、250，每個曲面表示不同流體溫度。[0051]當(dāng)跨越流量限流器的質(zhì)量流速隨著壓差、絕對下游壓強(qiáng)和溫度改變時，應(yīng)該注意，上游壓強(qiáng)、下游壓強(qiáng)和流速之間的關(guān)系不是線性關(guān)系。例如，如果下游壓強(qiáng)約為0.0托并且跨越流量限流器的壓差約為1575.0托，則測試的特定限流器的流速約為280SCCM(由數(shù)據(jù)點(diǎn)252表示)。然而，如果下游壓強(qiáng)為760.0托，那么對于跨越流量限流器的相同壓差(例如1575.0托)，流速約為500SCCM(由數(shù)據(jù)點(diǎn)254表示)。[0052]現(xiàn)在參考圖7的步驟212并附帶參考圖1OA和10B，獲得了用于PCB120、122和DSP130的參數(shù)。例如，可以使用“釘床”(bedofnails)(BON)測試來確定與DSP相關(guān)的放大器增益值SP1、SP2。類似地，BON測試可以用來確定PCB120、122的電壓，例如與+5伏(V)、+3.3V和/或+3.0V(它們是DSP參考電壓)的理想值的偏差。該偏差影響流量控制器21的性能，因此為了實(shí)現(xiàn)所希望的程度的流體控制應(yīng)該考慮該偏差。正如下文中所述，這些參數(shù)使得能夠進(jìn)行對于理想部件值和實(shí)際部件值之間的變化的校正。[0053]現(xiàn)在專門參考圖10A，使用下述方法259可以測試模擬或數(shù)字輸入/輸出(I/O)板。在步驟260中，選擇和安裝板進(jìn)行測試。在步驟262中使用通過/故障標(biāo)準(zhǔn)來測量與該板相關(guān)的電壓，并記錄結(jié)果。在步驟264中，使用通過/故障標(biāo)準(zhǔn)來測試數(shù)字通信通道，并記錄結(jié)果。在步驟266中同樣測試閥驅(qū)動信號(例如，用來驅(qū)動圖2閥40的信號)作為通過/故障。然后在步驟268中將每個測試結(jié)果和與測試板相關(guān)的序列號一起保存在數(shù)據(jù)庫中。[0054]現(xiàn)在專門參考圖10B，使用下述方法269可以測試DSP板。在步驟270中，選擇和安裝板進(jìn)行測試。在步驟272中測量3V模擬-數(shù)字參考電壓并記錄。在步驟274中，測量并記錄與每個放大器A1、A2(圖3)相關(guān)的增益SP1、SP2作為與溫度傳感器136(圖3)相關(guān)的增益。然后在步驟276中給DSP編程，在步驟278中測試模擬輸入電路。在步驟280中測試與DSP板相關(guān)的流量電路。然后在步驟282中將每個測試結(jié)果和與測試板相關(guān)的序列號一起保存在數(shù)據(jù)庫中。現(xiàn)在參考圖7步驟214，并具體參考圖11方法283，下面表征這些變換器46、48的特征。在步驟284中，選擇變換器和相關(guān)塊，并將其安裝在固定設(shè)備上。然后分別在步驟286和在步驟288中使每個變換器以25%增量逐步承受從0%到100%的范圍的壓強(qiáng)以及接著逐步承受從100%降回0%的壓強(qiáng)，以便獲得響應(yīng)曲線和滯后值。例如，每個變換器可以受到從O到50磅/平方英寸絕對值(psia)范圍內(nèi)的壓強(qiáng)(使用12.5磅/平方英寸絕對值增量)，然后從50降回O磅/平方英寸絕對值。然后在步驟290中，該響應(yīng)可以曲線擬合為多項(xiàng)式系數(shù)&、A1和A2，可以將與有關(guān)變換器相關(guān)的序列號和該多項(xiàng)式系數(shù)一起保存。然后DSP130可以使用該系數(shù)計(jì)算由每個變換器46、48檢測的絕對壓強(qiáng)。如上所述該，這個方法有助于識別變換器偏差，并且使流量控制器21在確定絕對壓強(qiáng)時能夠說明(accountfor)該偏差。[0055]現(xiàn)在參考圖7的步驟216并附帶參考圖12的方法291，對于多個不同尺寸限流器(例如步驟210中使用的12個限流器)中的每一個可以進(jìn)行“短路測試(shorttest)”。短路測試至少用于兩個目的，即對“標(biāo)準(zhǔn)”限流器確定特性和建立基準(zhǔn)，依照該基準(zhǔn)可以測量其它限流器(例如，各個制造商在不同時期生產(chǎn)的成批限流器)。[0056]在本示例中，為了確定限流器特性，可以識別限流器的12個不同尺寸(用SCCM)。對于每個尺寸，可以選擇一定數(shù)量的限流器(例如100個)并進(jìn)行測試，以確定平均流速。在本示例中，收集兩個數(shù)據(jù)點(diǎn)用于三種流體的集合，該三種流體的集合是在步驟210中進(jìn)行特性表征的流體的子集。例如，第一測試可以測量限流器在額定流量時的壓降。這確定了系數(shù)Q1，它的值為0-99(理想值為50)。然后進(jìn)行第二測試來測量限流器在部分額定流量(例如一半)時的壓降。使用Q1、零截距和第二測試結(jié)果可以確定系數(shù)Q2，該系數(shù)Q2值也為0-99(理想值為50)。因此，Ql和Q2表征了限流器特性。一旦已經(jīng)確定限流器特性，則可以識別容許范圍，例如+10%或-10%。該容許范圍可以識別可由裝配的流量控制器校正的流量范圍。裝配流量控制器21中使用的任何限流器將進(jìn)行短路測試，并且將或者落入可接受范圍(例如具有0-99范圍內(nèi)的Ql和Q2值)或者被否決。[0057]現(xiàn)在專門參考圖12，在步驟292中選擇并安裝限流器進(jìn)行測試。在步驟294中，流體(例如氮)以額定流量(例如100SCCM)流經(jīng)該限流器。在步驟296中測量并記錄上游壓強(qiáng)和下游壓強(qiáng)。在步驟298中，將壓強(qiáng)降低到部分上游壓強(qiáng)(例如一半)，再次測量并記錄上游壓強(qiáng)和下游壓強(qiáng)。使用前面獲取(圖7的步驟210)的流體特性數(shù)據(jù)，在步驟300中為該限流器確立Ql和Q2值。應(yīng)該注意，如果Ql和Q2值位于容許范圍之外，則該限流器被否決。在限流器上進(jìn)行短路測試之后，限流器可以表示為二維陣列中的數(shù)據(jù)點(diǎn)，該陣列具有壓強(qiáng)和線性的坐標(biāo)軸(圖13)。[0058]現(xiàn)在參考圖13，曲線圖302包括圖解信息的106個數(shù)據(jù)點(diǎn)304，在測量一組典型的100SCCM限流器的壓強(qiáng)和非線性特性的過程中可以標(biāo)繪這些點(diǎn)。曲線圖302包括表示壓降的X軸306(其范圍為1140-1380托)和表示非線性的y軸308(其范圍為10.5-13.5)。因此，每個數(shù)據(jù)點(diǎn)表示具有壓降和非線性特殊組合的限流器。該數(shù)據(jù)可以用來為每個限流器確定Ql和Q2值。例如，在圖302中，具有值Q1=50、Q2=50的限流器的壓強(qiáng)值將為1273托，非線性將為滿刻度的12.1%。[0059]現(xiàn)在單獨(dú)參考圖7并繼續(xù)到步驟218，在步驟210-216中獲取的數(shù)據(jù)可以被輸入到一個或多個數(shù)據(jù)庫中。應(yīng)該理解，一些數(shù)據(jù)可能只獲得一次。例如，用于給定流體的流體特性數(shù)據(jù)只需要獲得一次，并保存在數(shù)據(jù)庫中。然后流體特性數(shù)據(jù)可用于未來的使用。類似地，雖然可能在給定的測試循環(huán)期間測試多個部件，但每個部件(例如，PCB、DSP、變換器、限流器等)可能只測試一次。表示部件的數(shù)據(jù)可以通過諸如序列號的唯一標(biāo)識符與具體部件相關(guān)聯(lián)。應(yīng)該注意，制造期間或之后可以標(biāo)識一些部件參數(shù)，然后與該部件裝載在一起。這使得能夠獲取具有預(yù)定參數(shù)的部件，因此在裝配流量控制器21期間消除了確定參數(shù)的必要性。[0060]在步驟220中，為流量控制器21選擇PCB、DSP、變換器、限流器、閥等。因?yàn)槊總€部件和預(yù)定參數(shù)相關(guān)聯(lián)，所以不必要選擇滿足非常特殊的標(biāo)準(zhǔn)的部件。例如，如果使用特定流體，只要每個選定部件的參數(shù)落入預(yù)定容許值范圍內(nèi)，就不必要選擇滿足窄限制的部件。這使得能夠通過尺寸來選擇限流器，而不是試圖找到具有特定Ql和Q2值的限流器。[0061]在步驟222中，用流體特性數(shù)據(jù)處理限流器和變換器參數(shù)，以產(chǎn)生設(shè)備參數(shù)。該處理編譯在前述步驟中獲取的信息，使得處理器能夠說明(accountfor)電壓偏差、限流器特性、變換器參數(shù)和特定流體的流態(tài)類型(behaviorpattern)。使用Atl、A1、A2、Bbaekjffessure、截距(Intercept)和類似信息，產(chǎn)生最佳擬合。由于對于具體流量控制器來說，該信息依照流體可能不同，因此可以對每種受到流量控制器控制的流體進(jìn)行該處理。[0062]在步驟224(其可以與圖7中圖解的步驟222并行)中，如上所述在物理上裝配該設(shè)備，在步驟226中，將設(shè)備參數(shù)下載到該設(shè)備中。在步驟228的后裝配階段中，在該設(shè)備上進(jìn)行驗(yàn)證測試以確保正確操作?，F(xiàn)在參考圖14，方法309概述了圖7步驟220-228中所述的關(guān)于圖2-6流量控制器21的裝配過程。在步驟310中，確定流量控制器21的必要條件(例如BC13滿刻度流量為500SCCM，其中入口壓強(qiáng)為25磅/平方英寸，進(jìn)入處理室的出口工作在100毫托)。在步驟312中，為限流器114確定限流器尺寸(例如1000SCCM氮)。應(yīng)該注意，一旦記錄了Ql和Q2參數(shù)，就可以使用任何1000SCCM單元。選擇具有能夠流動流體的管口的閥40，但是除了該參數(shù)以外不需要再表征該閥。在步驟314中，選擇要使用的變換器46、48和基塊。如果所需流速低于250SCCM氮當(dāng)量，還為低流量模型選擇入口塊。對于高于3SLM氮當(dāng)量的流速，入口和出口模塊都應(yīng)該具有高流量改造。這些選擇不影響焊接到這些模塊的變換器特性。應(yīng)該為流量控制器21記錄每個變換器的曲線擬合系數(shù)。[0063]在步驟316中，選擇PCB(例如I/O板和DSP板)，并記錄電壓和增益值用于流量控制器21。在步驟318中，將記錄數(shù)據(jù)保存在與流量控制器21相關(guān)聯(lián)的設(shè)備數(shù)據(jù)庫文件中。在步驟320中，從限流器數(shù)據(jù)庫中獲取多項(xiàng)式數(shù)據(jù)用于所選氣體和限流器尺寸。在步驟322中，處理程序取出記錄在設(shè)備數(shù)據(jù)庫文件中的收集數(shù)據(jù)，并從限流器數(shù)據(jù)庫中取出多項(xiàng)式數(shù)據(jù)，產(chǎn)生數(shù)據(jù)文件以便設(shè)定用于操作流量控制器21的參數(shù)。然后將數(shù)據(jù)文件下載到存儲器132中，以允許DSP控制流量控制器21的流量。在步驟324中，用于氮流量控制的參數(shù)也可以下載到流量控制器21的氣體表(gastable)中。在步驟326中，使用最終的流量控制器21來流動氮以檢驗(yàn)流量控制器21的操作，從而保證設(shè)備的響應(yīng)和精度。[0064]雖然已經(jīng)參考本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例具體示出和描述了本發(fā)明，但是本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠理解，可以在本發(fā)明中進(jìn)行各種形式和細(xì)節(jié)的修改而不脫離其本質(zhì)和范圍。因此，應(yīng)該以符合本發(fā)明的較寬方式來解釋權(quán)利要求書?！緳?quán)利要求】1.一種構(gòu)造與至少一種流體一起使用的質(zhì)量流量設(shè)備的方法，所述方法包括:獲得所述至少一種流體的流體特性數(shù)據(jù)；獲得限流器參數(shù)；選擇與所獲限流器參數(shù)對應(yīng)的限流器；通過用所述流體特性數(shù)據(jù)處理所述限流器參數(shù)來生成設(shè)備參數(shù)，所述設(shè)備參數(shù)定義所述質(zhì)量流量設(shè)備關(guān)于所述至少一種流體的特性；和將所述設(shè)備參數(shù)下載到所述質(zhì)量流量設(shè)備中，其中所述設(shè)備參數(shù)使所述質(zhì)量流量設(shè)備能夠在環(huán)境條件范圍內(nèi)監(jiān)控所述至少一種流體的流量。2.如權(quán)利要求1所述的方法進(jìn)一步包括:通過用實(shí)驗(yàn)方法確定在多個絕對下游壓力、壓差和溫度下的流體特性來獲取特性數(shù)據(jù)。3.如權(quán)利要求1所述的方法，其中從多個限流器中依照尺寸選擇所述限流器。4.如權(quán)利要求1所述的方法，進(jìn)一步包括:執(zhí)行限流器測試以確定所選限流器的限流器特性。5.如權(quán)利要求4所述的方法，其中執(zhí)行限流器測試包括:通過在額定流量下測試限流器獲得第一值；以及通過在部分額定流量下測試限流器獲得第二值，其中該第一值和第二值能夠表征限流器特性。6.如權(quán)利要求1所述的方法，其中進(jìn)行流體特性數(shù)據(jù)的最佳擬合以產(chǎn)生插值方程的多項(xiàng)式系數(shù)。7.如權(quán)利要求1所述的方法，其中環(huán)境條件范圍包括多個絕對下游壓力。8.如權(quán)利要求1所述的方法，其中環(huán)境條件范圍包括多個壓差。9.如權(quán)利要求1所述的方法，其中環(huán)境條件范圍包括多個溫度。10.一種把用于控制流體的信息提供給質(zhì)量流量設(shè)備的方法，所述方法包括:獲得所述流體的流體特性數(shù)據(jù)；獲得限流器參數(shù)；選擇與所獲限流器參數(shù)對應(yīng)的限流器；識別與至少一個傳感器相關(guān)聯(lián)的傳感器參數(shù)，其中所述限流器參數(shù)和傳感器參數(shù)分別定義限流器特性和傳感器特性；識別與所述流體相關(guān)聯(lián)的特性信息；用所述特性信息處理所述限流器參數(shù)和所述傳感器參數(shù)，以產(chǎn)生所述質(zhì)量流量設(shè)備的設(shè)備參數(shù)，其中所述設(shè)備參數(shù)與所述流體和待測試的限流器關(guān)聯(lián)并且使所述質(zhì)量流量設(shè)備能夠控制所述流體；并且將所述設(shè)備參數(shù)保存到所述質(zhì)量流量設(shè)備可訪問的存儲器中。11.如權(quán)利要求10所述的方法，進(jìn)一步包括:從至少一個數(shù)據(jù)庫中檢索所述限流器、傳感器和特性信息。12.如權(quán)利要求10所述的方法，其中所述特性信息包括在絕對下游壓力、壓差和溫度范圍內(nèi)表示流體特性的數(shù)據(jù)。13.如權(quán)利要求12所述的方法，其中所述流體的質(zhì)量流速和所述設(shè)備的壓差之間的關(guān)系是非線性的。【文檔編號】G05D7/00GK103838261SQ201310717913【公開日】2014年6月4日申請日期:2002年10月11日優(yōu)先權(quán)日:2001年10月12日【發(fā)明者】W.W.惠特,W.H.惠特,D.T.穆德,C.B.達(dá)維斯,B.馮泰恩申請人:霍里巴斯特克公司