上下位機通訊監(jiān)控方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及半導體設備監(jiān)控技術，公開了一上下位機通訊監(jiān)控方法，步驟包括：S1、上位機向下位機發(fā)送置位信號，啟動監(jiān)控；S2、下位機收到所述置位信號后向上位機發(fā)送反饋信號，并在第一預設延時后進行復位，同時進行復位計時；S3、上位機根據(jù)所述反饋信號向下位機發(fā)送置位信號，并在第二預設延時后進行復位，同時進行復位計時；S4、判斷是否有任一復位計時時間超過預設閾值，若無則返回執(zhí)行步驟S2，若有任一復位計時時間超過預設閾值時，則相應上位機或下位機發(fā)出報警信號。
【專利說明】上下位機通訊監(jiān)控方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及半導體生產(chǎn)設備的監(jiān)測【技術領域】，特別涉及上下位機通訊監(jiān)控技術?！颈尘凹夹g】
[0002]立式氧化爐設備在半導體生產(chǎn)行業(yè)不可或缺，對其可靠性和穩(wěn)定性要求較高。因設備原因?qū)е碌墓に囀虞m損失數(shù)百萬上千萬，有一些工藝氣體的泄漏還可能威脅到生命財產(chǎn)安全。所以設備任何可能不穩(wěn)定的細節(jié)都應當引起重視，其中對于因為上位機和下位機通訊上產(chǎn)生的問題而導致的工藝中斷，如果發(fā)現(xiàn)及時處理得當，有可能會挽救數(shù)百萬計的經(jīng)濟損失和生命財產(chǎn)安全。
[0003]目前部分國產(chǎn)設備采用單純的上位機向下位機某繼電器進行置位的方法，并由下位機以大于置位周期的時間間隔進行復位，如果復位成功，則認為通訊中斷。通訊中斷發(fā)生時，僅針對下位機進行相應的處理，而上位機無法獲得通訊中斷的信息，從而不會采取任何緊急措施，也沒有任何信息反饋給整個半導體生產(chǎn)線的總調(diào)度。
[0004]例如中國專利CN200620022731.7公開了一種傳感器通訊狀態(tài)監(jiān)測裝置，具有單片機、信號輸出電路、檢測電路、控制電路和顯示電路。該裝置能夠?qū)崟r監(jiān)視通訊線路的通訊狀態(tài)，在現(xiàn)場將通訊電纜的正常、斷路、短路等工作狀態(tài)通過指示燈顯示出來，以便現(xiàn)場工作人員能即時了解傳感器與監(jiān)控站之間的通訊狀態(tài)。通訊中斷發(fā)生時，該裝置僅針對通訊電纜進行相應的處理，而監(jiān)控站無法獲得通訊中斷的信息，從而不會采取任何緊急措施。
[0005]而在文獻《一種檢測PLC網(wǎng)絡通訊正常與否的簡單方法》(2012)中所表述的通訊監(jiān)測方法雖然比較簡便，但是只是針對上下位機中一方才能檢測出通訊異常，當然對異常進行處理和響應也只是其中一方。
[0006]因此，在半導體生產(chǎn)設備中，需要一種新的上下位機通訊監(jiān)控方法，能夠使上下位機在通訊監(jiān)測中互動，且上下位機對通訊異常都有響應。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明的目的在于，提供一上下位機通訊監(jiān)控方法，增加上下位機在通訊監(jiān)測中的互動，同時上下位機對通訊異常都有響應，能夠解決現(xiàn)有通訊監(jiān)控中僅針對上下位機其中一方進行檢測，對異常進行處理和響應也只針對其中一方的問題。
[0008]為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一上下位機通訊監(jiān)控方法，包括步驟:S1、上位機向下位機發(fā)送置位信號，啟動監(jiān)控；S2、下位機收到所述置位信號后向上位機發(fā)送反饋信號，并在第一預設延時后進行復位，同時進行復位計時；S3、上位機根據(jù)所述反饋信號向下位機發(fā)送置位信號，并在第二預設延時后進行復位，同時進行復位計時；S4、判斷是否有任一復位計時時間超過預設閾值，若有則相應上位機或下位機發(fā)出報警信號，若無則返回執(zhí)行步驟S2。
[0009]作為可選擇的技術方案，所述預設閾值為上位機發(fā)出相鄰兩次置位信號的時間，或下位機發(fā)出相鄰兩次反饋信號的時間；上位機發(fā)出相鄰兩次置位信號的時間與下位機發(fā)出相鄰兩次反饋信號的時間相同。
[0010]作為可選擇的技術方案，所述第一預設延時大于上位機發(fā)出相鄰兩次置位信號的時間，所述第二預設延時大于下位機發(fā)出相鄰兩次反饋信號的時間。進一步地，所述第一預設延時時間與所述第二預設延時時間相同。
[0011]作為可選擇的技術方案，所述上位機向下位機的某一繼電器發(fā)送置位信號，所述繼電器接收到置位信號后在第一預設延時后進行復位，同時進行復位計時。進一步地，所述繼電器復位時間超過所述預設閾值時，下位機發(fā)出報警信號。
[0012]作為可選擇的技術方案，所述下位機向上位機的某一通道發(fā)送反饋信號，所述通道接收到反饋信號后在第二預設延時后進行復位，同時進行復位計時。進一步地，所述通道復位時間超過所述預設閾值時，上位機發(fā)出報警信號。
[0013]作為可選擇的技術方案，所述下位機收到所述置位信號后以向上位機的所述通道寫入數(shù)據(jù)的方式發(fā)送反饋信號。
[0014]本發(fā)明的優(yōu)點在于，通過上下位機周期性的置位、復位，為上下位機提供一種“半雙工”的通訊監(jiān)測，簡化上下位機的信息交互方法，增加上下位機在通訊監(jiān)測中的互動，增加監(jiān)測的可靠性，提高通訊故障報警的可靠性；同時上下位機對通訊異常都有響應，可以在通訊故障發(fā)生后區(qū)分上下位機進行處理，有利于完善設備系統(tǒng)對通訊異常的處理方法。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0015]圖1為本發(fā)明提供的上下位機通訊監(jiān)控方法步驟流程圖；
[0016]圖2為本發(fā)明提供的上下位機通訊監(jiān)控方法中通訊監(jiān)控示意圖。
【具體實施方式】
[0017]為使本發(fā)明的目的、技術方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結合附圖對本發(fā)明的實施方式作進一步地詳細描述。本領域技術人員可由本說明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本發(fā)明的其他優(yōu)點與功效。本發(fā)明還可以通過另外不同的【具體實施方式】加以實施或應用，本說明書中的各項細節(jié)也可以基于不同觀點與應用，在沒有背離本發(fā)明的精神下進行各種修飾或改變。
[0018]圖1為本發(fā)明提供的上下位機通訊監(jiān)控方法步驟流程圖。
[0019]如圖1所示，本【具體實施方式】提供的上下位機通訊監(jiān)控方法包括步驟:
[0020]步驟S1:上位機向下位機發(fā)送置位信號，啟動監(jiān)控。
[0021]該步驟中，在半導體生產(chǎn)設備上電開始工作后，上位機首先向下位機發(fā)送置位信號，啟動監(jiān)控。
[0022]作為最佳實施方式，上位機向下位機的某一繼電器發(fā)送置位信號。之后便以下位機反饋的信號為觸發(fā)條件進行觸發(fā)，從而周期性的向下位機繼電器發(fā)送置位信號。
[0023]步驟S2:下位機收到所述置位信號后向上位機發(fā)送反饋信號，并在第一預設延時后進行復位，同時進行復位計時。
[0024]該步驟中，下位機接收到上位機發(fā)送的置位信號后，被置位后，并以相同的方式，向上位機發(fā)送反饋信號。作為最佳實施方式，下位機向上位機的某一通道發(fā)送反饋信號，即:下位機向上位機的某一通道寫入數(shù)據(jù)，從而將該通道置位。[0025]此外，該步驟中，在下位機向上位機發(fā)送反饋信號后，經(jīng)過第一預設延時后將被置位的繼電器復位，而該第一預設延時時間大于上位機將下位機繼電器置位周期時間，也即大于上位機發(fā)出相鄰兩次置位信號的時間。繼電器復位同時開始進行復位計時；上下位機通訊正常的情況下，該復位計時在上位機再一次向下位機發(fā)送置位信號、并將相應繼電器置位時中斷，也即，復位計時時間應小于上位機發(fā)出相鄰兩次置位信號的時間；若上下位機通訊發(fā)生異常，例如上位機沒有發(fā)出置位信號或者下位機繼電器無法被置位，則該復位計時一直持續(xù)；若復位計時時間超過預設閾值時，則下位機產(chǎn)生報警信號。所述預設閾值可以為上位機發(fā)出相鄰兩次置位信號的時間。
[0026]步驟S3:上位機根據(jù)所述反饋信號向下位機發(fā)送置位信號，并在第二預設延時后對接收到反饋信號的通道進行復位同時進行復位計時。
[0027]該步驟中，上位機的某一通道收到下位機發(fā)送的反饋信號，該通道被置位，同時觸發(fā)再一次置位信號的發(fā)送。經(jīng)過第二預設延時后上位機將被置位的通道復位，通道復位同時開始進行復位計時，而該第二預設延時時間要大于下位機向該通道寫入數(shù)據(jù)的周期時間，也即大于下位機發(fā)出相鄰兩次反饋信號的時間。與下位機的復位計時類似，在上下位機通訊正常情況下，該復位計時應該在下位機再一次向該通道寫入數(shù)據(jù)時中斷，也即，復位計時時間應小于下位機發(fā)出相鄰兩次反饋信號的時間；若上下位機通訊發(fā)生異常，例如下位機沒有發(fā)出反饋信號或者該通道通訊中斷無法寫入數(shù)據(jù)，則該復位計時一直持續(xù)；若復位計時時間超過預設閾值時，則上位機產(chǎn)生報警信號。所述預設閾值可以為下位機發(fā)出相鄰兩次反饋信號的時間。
[0028]步驟S4:判斷是否有任一復位計時時間超過預設閾值，若無則返回執(zhí)行步驟S2 ；否則執(zhí)行步驟S5。
[0029]該步驟中，上下位機通訊監(jiān)控的過程相當于上下位機在正常工作過程中，上下位機的復位計時一直會被相應的置位信號或反饋信號寫入數(shù)據(jù)操作中斷；如果任何一個復位計時在超過預設閾值后仍在繼續(xù)，則證明無論是因為上位機的原因或者是下位機的原因?qū)е铝送ㄓ嵵袛?。一旦通訊中斷則相應上/下位機將發(fā)出報警信號；同時由于一方中斷，無法向另一方發(fā)送置位信號或反饋信號，則另一方在復位計時時間超過預設閾值后也會發(fā)出報警信號；也即一旦通訊中斷上下位機都會出報警信號。只有在復位計時時間沒有超過預設閾值時，轉(zhuǎn)回執(zhí)行步驟S2，從而周期性的將監(jiān)控過程執(zhí)行下去。
[0030]作為最佳實施方式，上位機發(fā)出相鄰兩次置位信號的時間與下位機發(fā)出相鄰兩次反饋信號的時間相同；所述第一預設延時時間與所述第二預設延時時間相同。
[0031]步驟S5:相應上位機或下位機發(fā)出報警信號。
[0032]該步驟中，當通訊發(fā)生中斷時，相應上/下位機將發(fā)出報警信號，且另一方也會在復位計時時間超過預設閾值后發(fā)出報警信號，有利于完善通訊中斷情況下的處理方法，如發(fā)出警報、反饋信息、斷開工藝氣體、下位機溫度控制、重要數(shù)據(jù)記錄等處理。
[0033]圖2為本發(fā)明提供的上下位機通訊監(jiān)控方法的通訊監(jiān)控示意圖。
[0034]如圖2所示，半導體生產(chǎn)設備上電開始工作后，上位機首先向下位機一繼電器發(fā)送置位信號(以后則以下位機反饋的信號為觸發(fā)條件進行觸發(fā)，周期時間為t);下位機的相應繼電器被置位同時進行定時復位操作，也即經(jīng)過一定延時時間間隔將被置位繼電器復位，而該延時時間間隔大于上位機將下位機繼電器置位周期t ;如果該繼電器被復位超過一定時間(也即圖示“復位成功”)，則下位機產(chǎn)生報警。
[0035]下位機收到上位機的置位信號后會向上位機一通道寫值(也即向上位機發(fā)送反饋信號)，其寫值周期也為t ;上位機的相應通道被寫值(也即被置位)同時進行定時復位操作，也即上位機對該通道不停的以大于置位周期t的時間間隔進行復位；一旦該通道被復位超過一定時間，則上位機產(chǎn)生報警。
[0036]綜上所述，上下位機在正常工作過程中進行周期性的交互，一旦通訊中斷，無論是因為上位機的原因或者是下位機的原因?qū)е铝送ㄓ嵵袛啵瑒t上下位機將都會造成報警，有利于完善通訊中斷情況下的處理方法，如發(fā)出警報，反饋信息，斷開工藝氣體，下位機溫度控制，重要數(shù)據(jù)記錄等處理。
[0037]本【具體實施方式】提供的上下位機監(jiān)控方法，通過上下位機周期性的置位、復位，為上位機和下位機提供一種“半雙工”的通訊監(jiān)測，簡化上下位機的信息交互方法，增加上下位機在通訊監(jiān)測中的互動，增加監(jiān)測的可靠性，提高通訊故障報警的可靠性；同時上下位機對通訊異常都有響應，可以在通訊故障發(fā)生后區(qū)分上下位機進行處理，有利于完善設備系統(tǒng)對通訊異常的處理方法。
[0038]雖然通過參照本發(fā)明的某些優(yōu)選實施方式，已經(jīng)對本發(fā)明進行了圖示和描述，但本領域的普通技術人員應該明白，可以在形式上和細節(jié)上對其作各種改變，而不偏離本發(fā)明的精神和范圍。
【權利要求】
1.一種上下位機通訊監(jiān)控方法，包括步驟: S1:上位機向下位機發(fā)送置位信號，啟動監(jiān)控； S2:下位機收到所述置位信號后向上位機發(fā)送反饋信號，并在第一預設延時后進行復位，同時進行復位計時； S3:上位機根據(jù)所述反饋信號向下位機發(fā)送置位信號，并在第二預設延時后進行復位，同時進行復位計時； S4:判斷是否有任一復位計時時間超過預設閾值，若有則相應上位機或下位機發(fā)出報警信號，若無則返回執(zhí)行步驟S2。
2.根據(jù)權利要求1所述的上下位機通訊監(jiān)控方法，其特征在于，所述預設閾值為上位機發(fā)出相鄰兩次置位信號的時間，或下位機發(fā)出相鄰兩次反饋信號的時間。
3.根據(jù)權利要求1所述的上下位機通訊監(jiān)控方法，其特征在于，所述第一預設延時大于上位機發(fā)出相鄰兩次置位信號的時間，所述第二預設延時大于下位機發(fā)出相鄰兩次反饋信號的時間。
4.根據(jù)權利要求1所述的上下位機通訊監(jiān)控方法，其特征在于，上位機發(fā)出相鄰兩次置位信號的時間與下位機發(fā)出相鄰兩次反饋信號的時間相同。
5.根據(jù)權利要求1或3所述的上下位機通訊監(jiān)控方法，其特征在于，所述第一預設延時時間與所述第二預設延時時間相同。
6.根據(jù)權利要求1所述的上下位機通訊監(jiān)控方法，其特征在于，所述上位機向下位機的某一繼電器發(fā)送置位信號，所述繼電器接收到置位信號后在第一預設延時后進行復位，同時進行復位計時。
7.根據(jù)權利要求6所述的上下位機通訊監(jiān)控方法，其特征在于，所述繼電器復位時間超過所述預設閾值時，下位機發(fā)出報警信號。
8.根據(jù)權利要求1所述的上下位機通訊監(jiān)控方法，其特征在于，所述下位機向上位機的某一通道發(fā)送反饋信號，所述通道接收到反饋信號后在第二預設延時后進行復位，同時進行復位計時。
9.根據(jù)權利要求8所述的上下位機通訊監(jiān)控方法，其特征在于，所述通道復位時間超過所述預設閾值時，上位機發(fā)出報警信號。
10.根據(jù)權利要求1所述的上下位機通訊監(jiān)控方法，其特征在于，所述下位機收到所述置位信號后以向上位機的所述通道寫入數(shù)據(jù)的方式發(fā)送反饋信號。
【文檔編號】G05B19/418GK103777617SQ201410058349
【公開日】2014年5月7日 申請日期:2014年2月20日 優(yōu)先權日:2014年2月20日
【發(fā)明者】周峰, 張芳, 張海輪 申請人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司