腔體智能壓力控制系統(tǒng)及其壓力控制方法
【專利摘要】一種腔體智能壓力控制系統(tǒng)，包括：腔體，為工藝制程腔室；氮氣進氣管路，通過第一閥門與腔體連接；排氣管路，一端與腔體連接，另一端與外界排氣閥門連接；壓力傳感器，設(shè)置在排氣管路之臨近外界排氣閥門的一端，并用于檢測外界排氣閥門之排氣壓力；智能調(diào)節(jié)閥，設(shè)置在所述排氣管路之介于腔體和壓力傳感器之間的過壓管路段處；控制單元，接收來自壓力傳感器的壓力檢測信號，并控制智能調(diào)壓閥之開度，以在設(shè)定時間范圍內(nèi)獲得腔體的壓力為760Torr。本發(fā)明通過在排氣管路之臨近外界排氣閥門處設(shè)置壓力傳感器，并在排氣管路之過壓管路段處設(shè)置由控制單元控制的智能調(diào)壓閥，使得腔體構(gòu)成壓力的閉環(huán)控制系統(tǒng)，進而可快速、精確的控制腔體之壓力。
【專利說明】腔體智能壓力控制系統(tǒng)及其壓力控制方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種腔體智能壓力控制系統(tǒng)及其壓力控制方法。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，為保證產(chǎn)品質(zhì)量，延長設(shè)備使用壽命，通常的在所述真空腔室完成一定工作周期后均需要進行例行保養(yǎng)維護。在進行保養(yǎng)維護時，需要破真空打開所述真空腔室；在完成保養(yǎng)維護后，需要關(guān)閉所述真空腔室，開啟所述泵抽單元，并對設(shè)備進行漏率檢查。
[0003]在進行所述漏率檢查時，所述主機臺軟件會自動執(zhí)行漏率檢查的工藝條件。所述工藝條件完成后，對所述真空腔室進行十次循環(huán)吹掃，隨后通入5000slm的氮氣，并同時開啟所述過壓管路之閥門，將所述腔室的壓力控制在760ΤΟΠ.。
[0004]但是，由于通入腔室并用于漏率檢查的所述氮氣流量較小，所述過壓管路之閥門僅為全開方式，且外圍的排氣壓力易于受到系統(tǒng)整體的壓力升降而波動等因素的影響，導(dǎo)致所述過壓管路的抽氣量大于通入所述腔室的氮氣流量，從而造成所述腔室壓力在設(shè)定的時間內(nèi)無法達到760ΤΟrr，進而引起所述機臺報警，終止所述漏率檢查作業(yè)。為了繼續(xù)完成所述漏率檢查作業(yè)，通常采用人工調(diào)整外圍排氣閥門，使得所述外圍的排氣壓力減小，以保證通入所述腔室的氮氣流量大于所述過壓管路的抽氣量，并控制所述腔室維持在760ΤΟrr，完成所述漏率檢查作業(yè)。
[0005]明顯地，采用人工方式通過調(diào)整外圍排氣閥門進而調(diào)整所述外圍的排氣壓力，以維持腔室760ΤΟrr的漏率檢查條件，不僅操作繁瑣，而且因人的個體差異，對所述排氣閥門的調(diào)整存在一定偏差，精準度不夠，耗時費力。
[0006]故針對現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，本案設(shè)計人憑借從事此行業(yè)多年的經(jīng)驗，積極研究改良，于是有了本發(fā)明一種腔體智能壓力控制系統(tǒng)及其壓力控制方法。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明是針對現(xiàn)有技術(shù)中，傳統(tǒng)的漏率檢查作業(yè)采用人工方式通過調(diào)整外圍排氣閥門進而調(diào)整所述外圍的排氣壓力，以維持腔室760ΤΟrr的漏率檢查條件，不僅操作繁瑣，而且因人的個體差異，對所述排氣閥門的調(diào)整存在一定偏差，精準度不夠，耗時費力等缺陷提供一種腔體智能壓力控制系統(tǒng)。
[0008]本發(fā)明之又一目的是針對現(xiàn)有技術(shù)中，傳統(tǒng)的漏率檢查作業(yè)采用人工方式通過調(diào)整外圍排氣閥門進而調(diào)整所述外圍的排氣壓力，以維持腔室760ΤΟrr的漏率檢查條件，不僅操作繁瑣，而且因人的個體差異，對所述排氣閥門的調(diào)整存在一定偏差，精準度不夠，耗時費力等缺陷提供一種腔體智能壓力控制系統(tǒng)的壓力控制方法。
[0009]為了解決上述問題，本發(fā)明提供一種腔體智能壓力控制系統(tǒng)，所述腔體智能壓力控制系統(tǒng)包括:腔體，所述腔體為工藝制程腔室；氮氣進氣管路，所述氮氣進氣管路通過所述第一閥門與所述腔體連接，并在漏率檢查時通過所述氮氣進氣管路向所述腔體內(nèi)輸入氮氣；排氣管路，所述排氣管路之一端與所述腔體連接，所述排氣管路之另一端與所述外界排氣閥門連接；壓力傳感器，所述壓力傳感器設(shè)置在所述排氣管路之臨近所述外界排氣閥門的一端，并用于檢測所述外界排氣閥門之排氣壓力；智能調(diào)節(jié)閥，所述智能調(diào)節(jié)閥設(shè)置在所述排氣管路之介于所述腔體和所述壓力傳感器之間的過壓管路段處；控制單元，所述控制單元實時接收來自所述壓力傳感器的壓力檢測信號，并根據(jù)所述壓力檢測信號控制所述智能調(diào)壓閥之開度，以在設(shè)定時間范圍內(nèi)獲得所述腔體的壓力為760ΤΟΠ.。
[0010]可選地，所述氮氣進氣管路進入所述腔體的氮氣流量為500slm。
[0011]可選地，所述排氣管路之過壓管路段在當所述腔體內(nèi)之壓力大于大氣壓時，所述過壓管路段之泄壓閥自動開啟，并對所述腔體進行泄壓。
[0012]可選地，所述漏率檢查作業(yè)，并通入氮氣時，所述過壓管路段之泄壓閥自動開啟，獲得所述腔體的壓力為760TO1T。
[0013]為實現(xiàn)本發(fā)明之又一目的，本發(fā)明提供一種腔體智能壓力控制系統(tǒng)的壓力控制方法，所述腔體智能壓力控制系統(tǒng)的壓力控制方法包括:
[0014]執(zhí)行步驟S1:通過所述氮氣進氣管路向所述腔體內(nèi)輸入與氮氣，所述氮氣的流量為 500slm ；
[0015]執(zhí)行步驟S2:所述排氣管路之過壓管路段的泄壓閥開啟，并通過所述壓力傳感器實時檢測所述外界排氣閥門處的排氣壓力，當所述外界排氣閥門的排氣壓力增加時，所述壓力傳感器將所述檢測信號反饋至所述控制單元；
[0016]執(zhí)行步驟S3:所述控制單元控制所述智能調(diào)壓閥之開度，使得所述排氣的抽速減小，以保證流入所述腔體的氮氣量大于所述排氣的抽氣量，從而在設(shè)定的時間內(nèi)獲得腔體壓力為760Torr。
[0017]綜上所述，本發(fā)明所述腔體智能壓力控制系統(tǒng)通過在所述排氣管路之臨近所述外界排氣閥門處設(shè)置所述壓力傳感器，并在所述排氣管路之過壓管路段處設(shè)置由控制單元控制的所述智能調(diào)壓閥，使得所述腔體構(gòu)成壓力的閉環(huán)控制系統(tǒng)，進而可快速、精確的控制所述腔體之壓力。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0018]圖1所示為本發(fā)明腔體智能壓力控制系統(tǒng)的框架結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0019]為詳細說明本發(fā)明創(chuàng)造的技術(shù)內(nèi)容、構(gòu)造特征、所達成目的及功效，下面將結(jié)合實施例并配合附圖予以詳細說明。
[0020]請參閱圖1，圖1所示為本發(fā)明腔體智能壓力控制系統(tǒng)的框架結(jié)構(gòu)示意圖。所述腔體智能壓力控制系統(tǒng)1，包括:腔體11，所述腔體11為工藝制程腔室；氮氣進氣管路12，所述氮氣進氣管路12通過所述第一閥門121與所述腔體11連接，并在漏率檢查時通過所述氮氣進氣管路12向所述腔體11內(nèi)輸入氮氣；排氣管路13，所述排氣管路13之一端與所述腔體11連接，所述排氣管路13之另一端與所述外界排氣閥門14連接；壓力傳感器15，所述壓力傳感器15設(shè)置在所述排氣管路13之臨近所述外界排氣閥門14的一端，并用于檢測所述外界排氣閥門14之排氣壓力；智能調(diào)節(jié)閥16，所述智能調(diào)節(jié)閥16設(shè)置在所述排氣管路13之介于所述腔體11和所述壓力傳感器15之間的過壓管路段131處；控制單元17，所述控制單元17實時接收來自所述壓力傳感器15的壓力檢測信號，并根據(jù)所述壓力檢測信號控制所述智能調(diào)壓閥16之開度，以在設(shè)定時間范圍內(nèi)獲得所述腔體11的壓力為760ΤΟΠ.。[0021 ] 其中，在進行漏率檢查作業(yè)時，通過所述氮氣進氣管路12進入所述腔體11的氮氣流量為500slm。在本發(fā)明中，獲得所述腔體11的壓力760Torr之設(shè)定時間為本領(lǐng)域技術(shù)人員所掌握的常規(guī)技術(shù)手段，非本專利技術(shù)主張的范圍。所述排氣管路13之過壓管路段131在當所述腔體11內(nèi)之壓力大于大氣壓時，所述過壓管路段131之泄壓閥(未圖示)自動開啟，并對所述腔體11進行泄壓。在進行所述漏率檢查作業(yè)，并通入氮氣時，所述過壓管路段131之泄壓閥自動開啟，獲得所述腔體11的壓力為760ΤΟΠ.。
[0022]為了更直觀的揭露本發(fā)明之技術(shù)方案，凸顯本發(fā)明之有益效果，現(xiàn)結(jié)合具體的實施方式為例進行闡述，【具體實施方式】中所涉及數(shù)值僅為列舉，不應(yīng)視為對本技術(shù)方案的限制。
[0023]請繼續(xù)參閱圖1，本發(fā)明所述腔體智能壓力控制系統(tǒng)I在智能壓力控制時，包括以下步驟:
[0024]執(zhí)行步驟S1:通過所述氮氣進氣管路12向所述腔體11內(nèi)輸入與氮氣，所述氮氣的流量為500slm ；
[0025]執(zhí)行步驟S2:所述排氣管路13之過壓管路段131的泄壓閥開啟，并通過所述壓力傳感器15實時檢測所述外界排氣閥門14處的排氣壓力，當所述外界排氣閥門14的排氣壓力增加時，所述壓力傳感器15將所述檢測信號反饋至所述控制單元17 ；
[0026]執(zhí)行步驟S3:所述控制單元17控制所述智能調(diào)壓閥16之開度，使得所述排氣的抽速減小，以保證流入所述腔體11的氮氣量大于所述排氣的抽氣量，從而在設(shè)定的時間內(nèi)獲得腔體壓力為760Torr。
[0027]作為本領(lǐng)域技術(shù)人員，容易理解地，本發(fā)明所述腔體智能壓力控制系統(tǒng)I通過在所述排氣管路13之臨近所述外界排氣閥門14處設(shè)置所述壓力傳感器15，并在所述排氣管路13之過壓管路段131處設(shè)置由控制單元17控制的所述智能調(diào)壓閥16，使得所述腔體11構(gòu)成壓力的閉環(huán)控制系統(tǒng)，進而可快速、精確的控制所述腔體11之壓力。
[0028]綜上所述，本發(fā)明所述腔體智能壓力控制系統(tǒng)通過在所述排氣管路之臨近所述外界排氣閥門處設(shè)置所述壓力傳感器，并在所述排氣管路之過壓管路段處設(shè)置由控制單元控制的所述智能調(diào)壓閥，使得所述腔體構(gòu)成壓力的閉環(huán)控制系統(tǒng)，進而可快速、精確的控制所述腔體之壓力。
[0029]本領(lǐng)域技術(shù)人員均應(yīng)了解，在不脫離本發(fā)明的精神或范圍的情況下，可以對本發(fā)明進行各種修改和變型。因而，如果任何修改或變型落入所附權(quán)利要求書及等同物的保護范圍內(nèi)時，認為本發(fā)明涵蓋這些修改和變型。
【權(quán)利要求】
1.一種腔體智能壓力控制系統(tǒng)，其特征在于，所述腔體智能壓力控制系統(tǒng)包括: 腔體，所述腔體為工藝制程腔室； 氮氣進氣管路，所述氮氣進氣管路通過所述第一閥門與所述腔體連接，并在漏率檢查時通過所述氮氣進氣管路向所述腔體內(nèi)輸入氮氣； 排氣管路，所述排氣管路之一端與所述腔體連接，所述排氣管路之另一端與所述外界排氣閥門連接； 壓力傳感器，所述壓力傳感器設(shè)置在所述排氣管路之臨近所述外界排氣閥門的一端，并用于檢測所述外界排氣閥門之排氣壓力； 智能調(diào)節(jié)閥，所述智能調(diào)節(jié)閥設(shè)置在所述排氣管路之介于所述腔體和所述壓力傳感器之間的過壓管路段處； 控制單元，所述控制單元實時接收來自所述壓力傳感器的壓力檢測信號，并根據(jù)所述壓力檢測信號控制所述智能調(diào)壓閥之開度，以在設(shè)定時間范圍內(nèi)獲得所述腔體的壓力為760Torro.
2.如權(quán)利要求1所述的腔體智能壓力控制系統(tǒng)，其特征在于，所述氮氣進氣管路進入所述腔體的氮氣流量為500slm。
3.如權(quán)利要求1所述的腔體智能壓力控制系統(tǒng)，其特征在于，所述排氣管路之過壓管路段在當所述腔體內(nèi)之壓力大于大氣壓時，所述過壓管路段之泄壓閥自動開啟，并對所述腔體進行泄壓。
4.如權(quán)利要求1所述的腔體智能壓力控制系統(tǒng)，其特征在于，所述漏率檢查作業(yè)，并通入氮氣時，所述過壓管路段之泄壓閥自動開啟，獲得所述腔體的壓力為760ΤΟrr。
5.一種如權(quán)利要求1所述的腔體智能壓力控制系統(tǒng)的壓力控制方法，其特征在于，所述腔體智能壓力控制方法包括: 執(zhí)行步驟S1:通過所述氮氣進氣管路向所述腔體內(nèi)輸入與氮氣，所述氮氣的流量為500slm ； 執(zhí)行步驟S2:所述排氣管路之過壓管路段的泄壓閥開啟，并通過所述壓力傳感器實時檢測所述外界排氣閥門處的排氣壓力，當所述外界排氣閥門的排氣壓力增加時，所述壓力傳感器將所述檢測信號反饋至所述控制單元。
6.執(zhí)行步驟S3:所述控制單元控制所述智能調(diào)壓閥之開度，使得所述排氣的抽速減小，以保證流入所述腔體的氮氣量大于所述排氣的抽氣量，從而在設(shè)定的時間內(nèi)獲得腔體壓力為760Torr。
【文檔編號】G05D16/20GK103926945SQ201410138285
【公開日】2014年7月16日 申請日期:2014年4月8日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月8日
【發(fā)明者】顧海龍, 裴雷洪, 嚴駿 申請人:上海華力微電子有限公司