應(yīng)用于統(tǒng)計過程控制系統(tǒng)中累積和控制圖的數(shù)據(jù)處理方法
【專利摘要】本發(fā)明公開一種應(yīng)用于統(tǒng)計過程控制系統(tǒng)中累積和控制圖的數(shù)據(jù)處理方法，包括以下步驟：步驟1:求出當(dāng)前樣本值與標(biāo)準(zhǔn)值的差值。步驟2：用累積和乘以加權(quán)值。步驟3:將步驟2與步驟3中的結(jié)果相加得到新的累積結(jié)果。步驟4:如果累積和超過邊界值，則進(jìn)行預(yù)警處理，處理之后判斷是否結(jié)束程序，如果此時結(jié)束程序，則退出。否則繼續(xù)新一輪運算。步驟5:如果累積和未超過邊界值，判斷是否結(jié)束程序，如果此時結(jié)束程序，則退出。否則繼續(xù)新一輪運算。本發(fā)明可以實現(xiàn)對生產(chǎn)過程的預(yù)判，提高產(chǎn)品生產(chǎn)良率，減少誤操作和由誤操作引起的誤判斷。
【專利說明】應(yīng)用于統(tǒng)計過程控制系統(tǒng)中累積和控制圖的數(shù)據(jù)處理方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明公開一種應(yīng)用于統(tǒng)計過程控制系統(tǒng)中累積和控制圖的數(shù)據(jù)處理方法，提供 了針對半導(dǎo)體生產(chǎn)線中，用累積和檢測算法根據(jù)生產(chǎn)結(jié)果對生產(chǎn)過程進(jìn)行預(yù)判時，對數(shù)據(jù) 的處理方法。 技術(shù)背景
[0002]目前，隨著市場競爭的日益激烈，很多企業(yè)面臨著全球化的產(chǎn)品競爭，而要想加入 全球產(chǎn)業(yè)鏈之中，就必須按照國際統(tǒng)一的質(zhì)量管理標(biāo)準(zhǔn)和方法進(jìn)行質(zhì)量管理，而SPC(統(tǒng)計 過程控制）正是眾多標(biāo)準(zhǔn)中尤為重要的一項。SPC功能很重要的一點是能夠通過使用累 積和檢測算法根據(jù)生產(chǎn)結(jié)果對生產(chǎn)過程進(jìn)行預(yù)判，避免產(chǎn)品的生產(chǎn)結(jié)果持續(xù)偏離目標(biāo)值過 遠(yuǎn)。本發(fā)明就是針對使用累積和檢測算法時，所采用的數(shù)據(jù)處理方法。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003] 為解決現(xiàn)有技術(shù)中的不足，本發(fā)明的目的是提供一種應(yīng)用于統(tǒng)計過程控制系統(tǒng)中 累積和控制圖的數(shù)據(jù)處理方法。
[0004] 本發(fā)明的是技術(shù)方案是：
[0005] 一種應(yīng)用于統(tǒng)計過程控制系統(tǒng)中累積和控制圖的數(shù)據(jù)處理方法，
[0006] 包括以下步驟：
[0007] 步驟1 :求出當(dāng)前樣本值與標(biāo)準(zhǔn)值的差值；
[0008] 步驟2 :用累積和乘以加權(quán)值；
[0009] 步驟3 :將步驟2與步驟3中的結(jié)果相加得到新的累積結(jié)果；
[0010] 步驟4 :如果累積和超過邊界值，則進(jìn)行預(yù)警處理，處理之后判斷是否結(jié)束程序， 如果此時結(jié)束程序，則退出；否則繼續(xù)新一輪運算；
[0011] 步驟5 :如果累積和未超過邊界值，判斷是否結(jié)束程序，如果此時結(jié)束程序，則退 出；否則繼續(xù)新一輪運算。
[0012] 在所述步驟1中：求出當(dāng)前樣本值與標(biāo)準(zhǔn)值的差值，用以得到樣本值是否在邊界 范圍內(nèi)，是否屬于正常結(jié)果。
[0013] 在所述步驟2中：用累積和乘以加權(quán)值。
[0014] 在所述步驟3中：將步驟3中的結(jié)果與步驟2中結(jié)果相加得到新的累積結(jié)果。
[0015] 在所述步驟4中：如果累積和超過邊界值，則進(jìn)行預(yù)警處理；判斷是否結(jié)束程序， 如果此時結(jié)束程序，則退出；否則繼續(xù)新一輪運算。在所述步驟 5中：如果累積和未超過邊 界值，判斷是否結(jié)束程序，如果此時結(jié)束程序，則退出；否則繼續(xù)新一輪運算。
[0016] 針對半導(dǎo)體生產(chǎn)線中，用累積和檢測算法根據(jù)生產(chǎn)結(jié)果對生產(chǎn)過程進(jìn)行預(yù)判時， 對數(shù)據(jù)的處理方法。
[0017] 針對半導(dǎo)體生產(chǎn)線特征，設(shè)計累積和檢測算法如下：
[0018]

【權(quán)利要求】
1. 一種應(yīng)用于統(tǒng)計過程控制系統(tǒng)中累積和控制圖的數(shù)據(jù)處理方法，其特征在于， 包括以下步驟： 步驟1 :求出當(dāng)前樣本值與標(biāo)準(zhǔn)值的差值； 步驟2 :用累積和乘以加權(quán)值； 步驟3 :將步驟2與步驟3中的結(jié)果相加得到新的累積結(jié)果； 步驟4 :如果累積和超過邊界值，則進(jìn)行預(yù)警處理，處理之后判斷是否結(jié)束程序，如果 此時結(jié)束程序，則退出；否則繼續(xù)新一輪運算； 步驟5 :如果累積和未超過邊界值，判斷是否結(jié)束程序，如果此時結(jié)束程序，則退出；否 則繼續(xù)新一輪運算。
2. 按照權(quán)利要求1所述的一種應(yīng)用于統(tǒng)計過程控制系統(tǒng)中累積和控制圖的數(shù)據(jù)處理 方法，其特征在于： 在所述步驟1中：求出當(dāng)前樣本值與標(biāo)準(zhǔn)值的差值，用以得到樣本值是否在邊界范圍 內(nèi)，是否屬于正常結(jié)果。
3. 按照權(quán)利要求1所述的一種應(yīng)用于統(tǒng)計過程控制系統(tǒng)中累積和控制圖的數(shù)據(jù)處理 方法，其特征在于： 在所述步驟2中：用累積和乘以加權(quán)值。
4. 按照權(quán)利要求1所述的一種應(yīng)用于統(tǒng)計過程控制系統(tǒng)中累積和控制圖的數(shù)據(jù)處理 方法，其特征在于： 在所述步驟3中：將步驟3中的結(jié)果與步驟2中結(jié)果相加得到新的累積結(jié)果。
5. 按照權(quán)利要求1所述的一種應(yīng)用于統(tǒng)計過程控制系統(tǒng)中累積和控制圖的數(shù)據(jù)處理 方法，其特征在于： 在所述步驟4中：如果累積和超過邊界值，則進(jìn)行預(yù)警處理；判斷是否結(jié)束程序，如果 此時結(jié)束程序，則退出；否則繼續(xù)新一輪運算。
6. 按照權(quán)利要求1所述的一種應(yīng)用于統(tǒng)計過程控制系統(tǒng)中累積和控制圖的數(shù)據(jù)處理 方法，其特征在于： 在所述步驟5中：如果累積和未超過邊界值，判斷是否結(jié)束程序，如果此時結(jié)束程序， 則退出；否則繼續(xù)新一輪運算。
7. 按照權(quán)利要求1所述的一種應(yīng)用于統(tǒng)計過程控制系統(tǒng)中累積和控制圖的數(shù)據(jù)處理 方法，其特征在于： 針對半導(dǎo)體生產(chǎn)線中，用累積和檢測算法根據(jù)生產(chǎn)結(jié)果對生產(chǎn)過程進(jìn)行預(yù)判時，對數(shù) 據(jù)的處理方法。 針對半導(dǎo)體生產(chǎn)線特征，設(shè)計累積和檢測算法如下： A ;=.之(I，.- "〇、= :.(? .-..M。）+ Ci-ιΜ. J=l 其中，質(zhì)量特性X服從正態(tài)分布Ν(μ。，〇2),依次取大小為η的樣本均值為 &，j二1,2，…i,兄服從正態(tài)分布Ν( μ。，σ 2/η);要求監(jiān)控過程的均值μ的變 化，μ穩(wěn)定在目標(biāo)值μ。附近；用Q表示第i個樣本均值對目標(biāo)值偏差的累積和 G = 1]? - A)) = % - "。）+ d Μ為加權(quán)值，其作用為避免由于誤操作引起的報 i = l 警需要長時間運行才會回歸正常范圍內(nèi)。
【文檔編號】G05B23/02GK104216400SQ201410462752
【公開日】2014年12月17日 申請日期:2014年9月11日 優(yōu)先權(quán)日:2014年9月11日
【發(fā)明者】康凱, 馬鑫, 敖鵬蛟, 馬秀麗, 胡守一, 暢嘉 申請人:沈陽中科博微自動化技術(shù)有限公司