本公開內(nèi)容涉及保護帶（guardband），并且特定而言涉及基板處理系統(tǒng)中的保護帶。

背景技術(shù)：

1、可以通過使用制造設(shè)備執(zhí)行一個或多個制造處理來生產(chǎn)產(chǎn)品。例如，基板處理設(shè)備可用于通過基板處理操作來生產(chǎn)基板。將生產(chǎn)具有特定屬性的產(chǎn)品。與基板制造處理相關(guān)聯(lián)地監(jiān)測傳感器數(shù)據(jù)。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、下文是公開內(nèi)容的簡化概要，以提供對本公開內(nèi)容的一些方面的基本了解。此概要不是本公開內(nèi)容的廣泛概述。此概要既不旨在標(biāo)識本公開內(nèi)容的關(guān)鍵或重要元素，也不旨在描繪本公開內(nèi)容的特定實施方式的任何范圍或權(quán)利要求的任何范圍。此概要的唯一目的是以簡化形式呈現(xiàn)本公開內(nèi)容的一些概念，作為稍后呈現(xiàn)的更詳細描述的序言。

2、在本公開內(nèi)容的一個方面中，一種方法，包含：識別包含多個數(shù)據(jù)點的跟蹤數(shù)據(jù)，跟蹤數(shù)據(jù)與經(jīng)由基板處理系統(tǒng)生產(chǎn)具有滿足閾值的屬性值的基板相關(guān)聯(lián)。方法進一步包含：基于跟蹤數(shù)據(jù)確定保護帶限值（guardband?limit）之外的動態(tài)可接受區(qū)域。方法進一步包含：基于保護帶限值之外的動態(tài)可接受區(qū)域，促使執(zhí)行與基板處理系統(tǒng)相關(guān)聯(lián)的校正動作。

3、在本公開內(nèi)容的一個方面中，一種方法，包含：識別包含多個數(shù)據(jù)點的跟蹤數(shù)據(jù)，跟蹤數(shù)據(jù)與經(jīng)由基板處理系統(tǒng)生產(chǎn)基板相關(guān)聯(lián)。方法進一步包含：比較跟蹤數(shù)據(jù)與保護帶限值之外的可接受區(qū)域。方法進一步包含：響應(yīng)于跟蹤數(shù)據(jù)的一個或多個數(shù)據(jù)點位于可接受區(qū)域之內(nèi)，基于跟蹤數(shù)據(jù)更新保護帶限值之外的可接受區(qū)域。基于跟蹤數(shù)據(jù)的至少一部分在保護帶限值之外的可接受區(qū)域之外來執(zhí)行與基板處理系統(tǒng)相關(guān)聯(lián)的校正動作。

4、在本公開內(nèi)容的一個方面中，一種非暫時性計算機可讀取儲存介質(zhì)，其上儲存指令，指令在被執(zhí)行時導(dǎo)致處理裝置執(zhí)行操作，操作包含：識別包含多個數(shù)據(jù)點的跟蹤數(shù)據(jù)，跟蹤數(shù)據(jù)與經(jīng)由基板處理系統(tǒng)生產(chǎn)具有滿足閾值的屬性值的基板相關(guān)聯(lián)。操作進一步包含：基于跟蹤數(shù)據(jù)確定保護帶限值之外的動態(tài)可接受區(qū)域。操作進一步包含：基于保護帶限值之外的動態(tài)可接受區(qū)域，促使執(zhí)行與基板處理系統(tǒng)相關(guān)聯(lián)的校正動作。

技術(shù)特征：

1.一種方法，包含以下步驟：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述跟蹤數(shù)據(jù)包含第一部分與發(fā)生在所述第一部分之后的第二部分，其中所述動態(tài)可接受區(qū)域與和所述基板處理系統(tǒng)相關(guān)聯(lián)的漂移或噪聲中的一個或多個相關(guān)聯(lián)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中確定所述保護帶限值之外的所述動態(tài)可接收區(qū)域的步驟包含以下步驟：利用包含所述跟蹤數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)輸入訓(xùn)練機器學(xué)習(xí)模型，以生成經(jīng)訓(xùn)練的機器學(xué)習(xí)模型，所述經(jīng)訓(xùn)練的機器學(xué)習(xí)模型指示所述保護帶限值之外的所述動態(tài)可接受區(qū)域。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，所述方法進一步包含以下步驟：基于在所述動態(tài)可接收區(qū)域內(nèi)的輸入數(shù)據(jù)調(diào)整所述保護帶限值。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，所述方法進一步包含以下步驟：對所述跟蹤數(shù)據(jù)的部分進行水平扭曲而不進行垂直扭曲，以忽略異相因子且同時保留垂直噪聲。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，所述方法進一步包含以下步驟：垂直地且水平地縮放所述跟蹤數(shù)據(jù)的部分，以忽略幅度變化和配方終點。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述動態(tài)可接受區(qū)域是在所述保護帶限值的第一部分中的第一值，并且是在所述保護帶限值的第二部分中的第二值。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述跟蹤數(shù)據(jù)包含歷史跟蹤數(shù)據(jù)與模擬跟蹤數(shù)據(jù)，所述模擬跟蹤數(shù)據(jù)是通過將漂移、振蕩、噪聲或尖峰中的一個或多個應(yīng)用至所述歷史跟蹤數(shù)據(jù)來生成的。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中促使執(zhí)行所述校正動作的步驟包含以下步驟：

10.一種方法，包含以下步驟：

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其中所述跟蹤數(shù)據(jù)包含第一部分與發(fā)生在所述第一部分之后的第二部分，其中所述可接受區(qū)域的所述更新是基于與所述基板處理系統(tǒng)相關(guān)聯(lián)的漂移或噪聲中的一個或多個。

12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其中在所述保護帶限值之外的所述可接受區(qū)域與經(jīng)訓(xùn)練的機器學(xué)習(xí)模型相關(guān)聯(lián)，所述經(jīng)訓(xùn)練機器學(xué)習(xí)模型是利用包含一段時間內(nèi)的歷史跟蹤數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)輸入來訓(xùn)練的。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的方法，其中所述數(shù)據(jù)輸入進一步包含模擬跟蹤數(shù)據(jù)，所述模擬跟蹤數(shù)據(jù)是通過將漂移、振蕩、噪聲或尖峰中的一個或多個應(yīng)用至所述歷史跟蹤數(shù)據(jù)來生成的。

14.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，所述方法進一步包含以下步驟：對所述跟蹤數(shù)據(jù)的部分進行水平扭曲而不進行垂直扭曲，以忽略異相因子且同時保留垂直噪聲。

15.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，所述方法進一步包含以下步驟：垂直地且水平地縮放所述跟蹤數(shù)據(jù)的部分，以忽略幅度變化和配方終點。

16.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其中所述可接受區(qū)域是在所述保護帶限值的第一部分中的第一值，并且是在所述保護帶限值的第二部分中的第二值。

17.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其中比較所述跟蹤數(shù)據(jù)與所述保護帶限值之外的所述可接受區(qū)域的步驟包含以下步驟：

18.一種非暫時性計算機可讀取儲存介質(zhì)，其上儲存指令，所述指令在由處理裝置執(zhí)行時使所述處理裝置執(zhí)行操作，所述操作包含：

19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的非暫時性計算機可讀取儲存介質(zhì)，其中所述跟蹤數(shù)據(jù)包含第一部分與發(fā)生在所述第一部分之后的第二部分，其中所述動態(tài)可接受區(qū)域與和所述基板處理系統(tǒng)相關(guān)聯(lián)的漂移或噪聲中的一個或多個相關(guān)聯(lián)。

20.根據(jù)權(quán)利要求18所述的非暫時性計算機可讀取儲存介質(zhì)，其中確定所述保護帶限值之外的所述動態(tài)可接收區(qū)域的步驟包含以下步驟：利用包含所述跟蹤數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)輸入訓(xùn)練機器學(xué)習(xí)模型，以生成經(jīng)訓(xùn)練的機器學(xué)習(xí)模型，所述經(jīng)訓(xùn)練機器學(xué)習(xí)模型指示所述保護帶限值之外的所述動態(tài)可接受區(qū)域。

技術(shù)總結(jié)
一種方法，包含：識別包含多個數(shù)據(jù)點的跟蹤數(shù)據(jù)，該跟蹤數(shù)據(jù)與經(jīng)由基板處理系統(tǒng)生產(chǎn)具有滿足閾值的屬性值的基板相關(guān)聯(lián)。方法進一步包含：基于跟蹤數(shù)據(jù)確定保護帶限值之外的動態(tài)可接受區(qū)域。方法進一步包含：基于保護帶限值之外的動態(tài)可接受區(qū)域促使執(zhí)行與基板處理系統(tǒng)相關(guān)聯(lián)的校正動作。

技術(shù)研發(fā)人員：吉米·伊斯坎達爾,李飛,詹姆斯·R·莫因
受保護的技術(shù)使用者：應(yīng)用材料公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/19