本公開(kāi)內(nèi)容涉及保護(hù)帶（guardband），并且特定而言涉及基板處理系統(tǒng)中的保護(hù)帶。

背景技術(shù)：

1、可以通過(guò)使用制造設(shè)備執(zhí)行一個(gè)或多個(gè)制造處理來(lái)生產(chǎn)產(chǎn)品。例如，基板處理設(shè)備可用于通過(guò)基板處理操作來(lái)生產(chǎn)基板。將生產(chǎn)具有特定屬性的產(chǎn)品。與基板制造處理相關(guān)聯(lián)地監(jiān)測(cè)傳感器數(shù)據(jù)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、下文是公開(kāi)內(nèi)容的簡(jiǎn)化概要，以提供對(duì)本公開(kāi)內(nèi)容的一些方面的基本了解。此概要不是本公開(kāi)內(nèi)容的廣泛概述。此概要既不旨在標(biāo)識(shí)本公開(kāi)內(nèi)容的關(guān)鍵或重要元素，也不旨在描繪本公開(kāi)內(nèi)容的特定實(shí)施方式的任何范圍或權(quán)利要求的任何范圍。此概要的唯一目的是以簡(jiǎn)化形式呈現(xiàn)本公開(kāi)內(nèi)容的一些概念，作為稍后呈現(xiàn)的更詳細(xì)描述的序言。

2、在本公開(kāi)內(nèi)容的一個(gè)方面中，一種方法，包含：識(shí)別包含多個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)的跟蹤數(shù)據(jù)，跟蹤數(shù)據(jù)與經(jīng)由基板處理系統(tǒng)生產(chǎn)具有滿足閾值的屬性值的基板相關(guān)聯(lián)。方法進(jìn)一步包含：基于跟蹤數(shù)據(jù)與變化的多個(gè)可允許類型生成保護(hù)帶，保護(hù)帶包含用于故障檢測(cè)的上限與下限。方法進(jìn)一步包含：基于保護(hù)帶促使執(zhí)行相關(guān)聯(lián)于基板處理系統(tǒng)的校正動(dòng)作。

3、在本公開(kāi)內(nèi)容的一個(gè)方面中，一種方法，包含：識(shí)別包含多個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)的跟蹤數(shù)據(jù)，跟蹤數(shù)據(jù)與經(jīng)由基板處理系統(tǒng)的基板的生產(chǎn)相關(guān)聯(lián)。方法進(jìn)一步包含：比較跟蹤數(shù)據(jù)與保護(hù)帶，保護(hù)帶是基于歷史跟蹤數(shù)據(jù)以及與歷史跟蹤數(shù)據(jù)相關(guān)聯(lián)的變化的多個(gè)可允許類型而生成的，歷史跟蹤數(shù)據(jù)與經(jīng)由基板處理系統(tǒng)對(duì)具有滿足閾值的歷史屬性值的歷史基板的歷史生產(chǎn)相關(guān)聯(lián)，保護(hù)帶包含用于故障檢測(cè)的上限與下限。方法進(jìn)一步包含：響應(yīng)于跟蹤數(shù)據(jù)的一個(gè)或多個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)不在保護(hù)帶之內(nèi)，促使執(zhí)行與基板處理系統(tǒng)相關(guān)聯(lián)的校正動(dòng)作。

4、在本公開(kāi)內(nèi)容的一個(gè)方面中，一種非暫時(shí)性計(jì)算機(jī)可讀取儲(chǔ)存介質(zhì)，其上儲(chǔ)存指令，指令在被執(zhí)行時(shí)促使處理裝置執(zhí)行操作，操作包含：識(shí)別包含多個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)的跟蹤數(shù)據(jù)，跟蹤數(shù)據(jù)與經(jīng)由基板處理系統(tǒng)生產(chǎn)具有滿足閾值的屬性值的基板相關(guān)聯(lián)。操作進(jìn)一步包含：基于跟蹤數(shù)據(jù)與變化的多個(gè)可允許類型的變化生成保護(hù)帶，保護(hù)帶包含用于故障檢測(cè)的上限與下限。操作進(jìn)一步包含：基于保護(hù)帶促使執(zhí)行相關(guān)聯(lián)于基板處理系統(tǒng)的校正動(dòng)作。

技術(shù)特征：

1.一種方法，包含以下步驟：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述跟蹤數(shù)據(jù)包含來(lái)自基板處理操作的多次運(yùn)行的傳感器數(shù)據(jù)，其中所述變化的多個(gè)可允許類型包含時(shí)間偏移的跟蹤間變異性。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中生成所述保護(hù)帶的步驟包含以下步驟：確定變換的第一可允許類型以形成所述上限，以及確定變化的第二可允許類型以形成所述下限，所述變化的第一可允許類型的變化不同于所述變化的第二可允許類型。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述跟蹤數(shù)據(jù)包含來(lái)自不同類型的傳感器的傳感器數(shù)據(jù)，其中生成所述保護(hù)帶的步驟是經(jīng)由多變量分析。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中生成所述保護(hù)帶的步驟包含以下步驟：利用包含所述跟蹤數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)輸入訓(xùn)練機(jī)器學(xué)習(xí)模型，以生成包含所述保護(hù)帶的經(jīng)訓(xùn)練的機(jī)器學(xué)習(xí)模型。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，所述方法進(jìn)一步包含以下步驟：

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中生成所述保護(hù)帶的步驟包含以下步驟：

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中生成所述保護(hù)帶的步驟進(jìn)一步基于：

9.一種方法，包含以下步驟：

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中所述歷史跟蹤數(shù)據(jù)包含來(lái)自基板處理操作的多次運(yùn)行的歷史傳感器數(shù)據(jù)，其中所述變化的多個(gè)可允許類型包含時(shí)間偏移的跟蹤間變異性。

11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，所述保護(hù)帶包含變化的第一可允許類型與變化的第二可允許類型，所述變化的第一可允許類型形成所述上限，所述變化的第二可允許類型形成所述下限，所述變化的第一可允許類型不同于所述變化的第二可允許類型。

12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中所述跟蹤數(shù)據(jù)包含來(lái)自不同類型的傳感器的傳感器數(shù)據(jù)，所述保護(hù)帶是經(jīng)由多變量分析生成的。

13.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，所述保護(hù)帶是通過(guò)以下步驟生成的：利用包含所述歷史跟蹤數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)輸入訓(xùn)練機(jī)器學(xué)習(xí)模型，以生成包含所述保護(hù)帶的經(jīng)訓(xùn)練的機(jī)器學(xué)習(xí)模型，其中比較所述跟蹤數(shù)據(jù)與所述保護(hù)帶的步驟包含以下步驟：

14.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，所述保護(hù)帶是通過(guò)以下方式生成：對(duì)與超過(guò)閾值變化的值的變化相關(guān)聯(lián)的所述歷史跟蹤數(shù)據(jù)的部分進(jìn)行分段；以及從所述歷史跟蹤數(shù)據(jù)提取特征。

15.一種非暫時(shí)性計(jì)算機(jī)可讀取儲(chǔ)存介質(zhì)，其上儲(chǔ)存指令，所述指令在由處理裝置執(zhí)行時(shí)使所述處理裝置執(zhí)行操作，所述操作包含以下步驟：

16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的非暫時(shí)性計(jì)算機(jī)可讀取儲(chǔ)存介質(zhì)，其中所述跟蹤數(shù)據(jù)包含來(lái)自基板處理操作的多次運(yùn)行的傳感器數(shù)據(jù)，其中所述變化的多個(gè)可允許類型的變化包含時(shí)間偏移的跟蹤間變異性。

17.根據(jù)權(quán)利要求15所述的非暫時(shí)性計(jì)算機(jī)可讀取儲(chǔ)存介質(zhì)，其中生成所述保護(hù)帶的步驟包含以下步驟：確定變化的第一可允許類型以形成所述上限，以及確定變化的第二可允許類型以形成所述下限，所述變化的第一可允許類型不同于所述變化的第二可允許類型。

18.根據(jù)權(quán)利要求15所述的非暫時(shí)性計(jì)算機(jī)可讀取儲(chǔ)存介質(zhì)，其中所述跟蹤數(shù)據(jù)包含來(lái)自不同類型的傳感器的傳感器數(shù)據(jù)，其中生成所述保護(hù)帶的步驟是經(jīng)由多變量分析。

19.根據(jù)權(quán)利要求15所述的非暫時(shí)性計(jì)算機(jī)可讀取儲(chǔ)存介質(zhì)，其中生成所述保護(hù)帶的步驟包含以下步驟：利用包含所述跟蹤數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)輸入訓(xùn)練機(jī)器學(xué)習(xí)模型，以生成包含所述保護(hù)帶的經(jīng)訓(xùn)練的機(jī)器學(xué)習(xí)模型。

20.根據(jù)權(quán)利要求15所述的非暫時(shí)性計(jì)算機(jī)可讀取儲(chǔ)存介質(zhì)，進(jìn)一步包含：

技術(shù)總結(jié)
一種方法，包含：識(shí)別包含多個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)的跟蹤數(shù)據(jù)，跟蹤數(shù)據(jù)與經(jīng)由基板處理系統(tǒng)生產(chǎn)具有滿足閾值的屬性值的基板相關(guān)聯(lián)。方法進(jìn)一步包含：基于跟蹤數(shù)據(jù)與變化的多個(gè)可允許類型生成保護(hù)帶，保護(hù)帶包含用于故障檢測(cè)的上限與下限。方法進(jìn)一步包含：基于保護(hù)帶促使執(zhí)行與基板處理系統(tǒng)相關(guān)聯(lián)的校正動(dòng)作。

技術(shù)研發(fā)人員：李飛,吉米·伊斯坎達(dá)爾,詹姆斯·R·莫因
受保護(hù)的技術(shù)使用者：應(yīng)用材料公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/19