本技術涉及光刻，尤其涉及一種防降溫保護裝置。

背景技術：

1、刻蝕工藝過程中腔體溫度通常需保持在150℃左右，受限于工藝條件，當刻蝕機臺下電超過5分鐘，腔體溫度就會降低至140℃以下，此時腔體微環(huán)境會發(fā)生變化，需要額外對腔體進行開腔清掃維護。

2、現(xiàn)目前，有些刻蝕機臺(如tel刻蝕機臺)各系統(tǒng)的控制信號均由腔體控制總板統(tǒng)一給予指令，所以更換任何硬件時都需要在控制端先將腔體切換為獨立狀態(tài)，并關閉控制電源，同時此操作也會關閉所有加熱系統(tǒng)，由此導致腔體溫度在短時間內(nèi)急劇下降，影響生產(chǎn)效率。

技術實現(xiàn)思路

1、本實用新型的目的在于提供一種防降溫保護裝置，能夠臨時代替控制總板發(fā)送指令以使原有加熱系統(tǒng)進行工作，進而對腔體進行供電保溫，從而防止腔體溫度在短時間內(nèi)急劇下降，以避免影響生產(chǎn)效率。

2、為了達到上述目的，本實用新型提供了一種防降溫保護裝置，包括控制器主體，所述控制器主體包括操作部件及控制部件，所述操作部件與所述控制部件的輸入端連接，所述控制部件設置有溫度信號輸出端口，所述溫度信號輸出端口與一刻蝕機臺控制總板上的溫度控制電路板的溫度信號輸入端口可拆卸地連接，通過所述操作部件能夠驅使所述控制部件向所述溫度控制電路板發(fā)送溫度控制信號。

3、可選的，所述防降溫保護裝置還包括供電電源，所述供電電源用于向所述控制器主體供電。

4、可選的，所述操作部件上設置有開關按鈕，所述開關按鈕用于控制所述供電電源的啟停。

5、可選的，所述操作部件上還設置有溫度調節(jié)按鈕，通過所述溫度調節(jié)按鈕能夠驅使所述控制部件向所述溫度控制電路板發(fā)送溫度調節(jié)信號。

6、可選的，所述操作部件上還設置有顯示屏，所述顯示屏用于顯示調控溫度。

7、可選的，所述控制器主體還包括壓力信號輸出端口，所述壓力信號輸出端口與所述刻蝕機臺控制總板上的壓力控制電路板的壓力信號輸入端口可拆卸地連接，通過所述操作部件能夠驅使所述控制部件向所述壓力控制電路板發(fā)送壓力控制信號。

8、可選的，所述操作部件上設置有壓力調節(jié)按鈕，通過所述壓力調節(jié)按鈕能夠驅使所述控制部件向所述壓力控制電路板發(fā)送壓力調節(jié)信號。

9、可選的，所述溫度信號輸出端口與所述溫度信號輸入端口插接連接，所述壓力信號輸出端口與所述壓力信號輸入端口插接連接。

10、可選的，所述操作部件上設置有人機交互界面。

11、可選的，所述控制器主體還包括盒體，所述操作部件設置在所述盒體的外表面，所述控制部件設置在所述盒體內(nèi)。

12、在本實用新型提供的防降溫保護裝置中，當刻蝕機臺突發(fā)故障需下電更換硬件時，在控制端將腔體切換為獨立狀態(tài)，并關閉控制電源后，可將控制總板與溫度控制電路板上的溫度信號輸入端口斷開連接，然后將所述溫度信號輸出端口與所述溫度控制電路板的溫度信號輸入端口進行連接，此時所述溫度控制電路板切換至由所述控制器主體進行控制，然后通過所述操作部件驅使所述控制部件及時向所述溫度控制電路板發(fā)送溫度控制信號，使得所述控制器主體能夠臨時代替控制總板發(fā)送指令以使所述刻蝕機臺的原有加熱系統(tǒng)進行工作，進而對所述腔體進行供電保溫，從而防止腔體溫度在短時間內(nèi)急劇下降，以避免影響生產(chǎn)效率。在硬件更換完成后再切換回控制總板進行控制即可，使整機控制信號不受影響。

技術特征：

1.一種防降溫保護裝置，其特征在于，包括控制器主體，所述控制器主體包括操作部件及控制部件，所述操作部件與所述控制部件的輸入端連接，所述控制部件設置有溫度信號輸出端口，所述溫度信號輸出端口與一刻蝕機臺控制總板上的溫度控制電路板的溫度信號輸入端口可拆卸地連接，通過所述操作部件能夠驅使所述控制部件向所述溫度控制電路板發(fā)送溫度控制信號。

2.根據(jù)權利要求1所述的防降溫保護裝置，其特征在于，所述防降溫保護裝置還包括供電電源，所述供電電源用于向所述控制器主體供電。

3.根據(jù)權利要求2所述的防降溫保護裝置，其特征在于，所述操作部件上設置有開關按鈕，所述開關按鈕用于控制所述供電電源的啟停。

4.根據(jù)權利要求3所述的防降溫保護裝置，其特征在于，所述操作部件上還設置有溫度調節(jié)按鈕，通過所述溫度調節(jié)按鈕能夠驅使所述控制部件向所述溫度控制電路板發(fā)送溫度調節(jié)信號。

5.根據(jù)權利要求4所述的防降溫保護裝置，其特征在于，所述操作部件上還設置有顯示屏，所述顯示屏用于顯示調控溫度。

6.根據(jù)權利要求1所述的防降溫保護裝置，其特征在于，所述控制器主體還包括壓力信號輸出端口，所述壓力信號輸出端口與所述刻蝕機臺控制總板上的壓力控制電路板的壓力信號輸入端口可拆卸地連接，通過所述操作部件能夠驅使所述控制部件向所述壓力控制電路板發(fā)送壓力控制信號。

7.根據(jù)權利要求6所述的防降溫保護裝置，其特征在于，所述操作部件上設置有壓力調節(jié)按鈕，通過所述壓力調節(jié)按鈕能夠驅使所述控制部件向所述壓力控制電路板發(fā)送壓力調節(jié)信號。

8.根據(jù)權利要求6所述的防降溫保護裝置，其特征在于，所述溫度信號輸出端口與所述溫度信號輸入端口插接連接，所述壓力信號輸出端口與所述壓力信號輸入端口插接連接。

9.根據(jù)權利要求1所述的防降溫保護裝置，其特征在于，所述操作部件上設置有人機交互界面。

10.根據(jù)權利要求1所述的防降溫保護裝置，其特征在于，所述控制器主體還包括盒體，所述操作部件設置在所述盒體的外表面，所述控制部件設置在所述盒體內(nèi)。

技術總結
本技術涉及光刻技術領域，尤其涉及一種防降溫保護裝置，包括控制器主體，所述控制器主體包括操作部件及控制部件，所述操作部件與所述控制部件的輸入端連接，所述控制部件設置有溫度信號輸出端口，所述溫度信號輸出端口與一刻蝕機臺控制總板上的溫度控制電路板的溫度信號輸入端口可拆卸地連接，通過所述操作部件能夠驅使所述控制部件向所述溫度控制電路板發(fā)送溫度控制信號。當刻蝕機臺突發(fā)故障需下電更換硬件時，可利用控制器主體臨時代替控制總板發(fā)送指令以使原有加熱系統(tǒng)進行工作，進而對腔體進行供電保溫，從而防止腔體溫度在短時間內(nèi)急劇下降，以避免影響生產(chǎn)效率。在硬件更換完成后再切換回控制總板進行控制，使整機控制信號不受影響。

技術研發(fā)人員：葉璘珂,陳誠,湯介峰,荊泉
受保護的技術使用者：上海華力微電子有限公司
技術研發(fā)日：20240130
技術公布日：2024/12/17