本申請(qǐng)涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，特別是涉及一種溫控箱。

背景技術(shù)：

1、功能電路制作完成的晶圓，在進(jìn)行封裝前，需要鍍膜和鍵合導(dǎo)電金屬，鍍膜一般采用物理氣相沉積(physical?vapor?deposition，pvd)，在pvd之前，需要放入烘箱烘烤。

2、現(xiàn)有技術(shù)中，烘箱門的門鎖為普通機(jī)械門鎖。因此，烘箱在運(yùn)行過程中，可能出現(xiàn)門因?yàn)闆]有鎖緊而自動(dòng)打開，進(jìn)而影響烘箱內(nèi)晶圓的質(zhì)量，甚至存在導(dǎo)致晶圓產(chǎn)品批量報(bào)廢的風(fēng)險(xiǎn)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、有鑒于此，本申請(qǐng)實(shí)施例為解決背景技術(shù)中存在的至少一個(gè)問題，而提供一種溫控箱。

2、為達(dá)到上述目的，本申請(qǐng)的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的：

3、第一方面，本申請(qǐng)實(shí)施例提供一種溫控箱，包括：

4、箱體，包括有一端開口的腔室，以用于容置工件；

5、溫度控制器，用于調(diào)節(jié)所述腔室內(nèi)的溫度；

6、門，配置為在第一狀態(tài)和第二狀態(tài)之間運(yùn)動(dòng)，所述門處于第一狀態(tài)的情況下，所述門蓋合所述開口，所述腔室被封閉；

7、第一鎖具，配置為鎖定所述門的第一狀態(tài)；

8、鎖具檢測(cè)器，配置為檢測(cè)所述第一鎖具是否上鎖；若所述第一鎖具沒有上鎖，則關(guān)聯(lián)控制所述溫度控制器的上鎖確認(rèn)開關(guān)斷開；所述上鎖確認(rèn)開關(guān)為無法手動(dòng)操作的自動(dòng)開關(guān)。

9、可選地，所述第一鎖具為機(jī)械鎖。

10、可選地，所述鎖具檢測(cè)器包括：

11、感應(yīng)件，設(shè)置于所述箱體和所述門兩者中的其中一個(gè)；

12、觸發(fā)件，設(shè)置于所述箱體和所述門兩者中的另一個(gè)；所述門處于第一狀態(tài)的情況下，所述感應(yīng)件感應(yīng)到所述觸發(fā)件，所述上鎖確認(rèn)開關(guān)被閉合；否則，所述上鎖確認(rèn)開關(guān)斷開。

13、可選地，所述感應(yīng)件為霍爾傳感器，所述觸發(fā)件為磁性件。

14、可選地，所述感應(yīng)件為接觸傳感器，所述觸發(fā)件為能與所述感應(yīng)件接觸的固體部件。

15、可選地，所述溫控箱還包括：

16、第二鎖具，為電子鎖，配置為推動(dòng)所述第一鎖具的上鎖及維持所述第一鎖具的上鎖狀態(tài)，以穩(wěn)定所述門的第一狀態(tài)。

17、可選地，所述電子鎖包括：

18、電磁鐵，設(shè)置于所述箱體和所述門兩者中的其中一個(gè)；

19、銜鐵，設(shè)置于所述箱體和所述門兩者中的另一個(gè)；

20、溫控箱還包括：

21、啟動(dòng)開關(guān)，所述啟動(dòng)開關(guān)閉合后，所述電磁鐵得電并吸合所述銜鐵，推動(dòng)所述第一鎖具的上鎖。

22、可選地，所述溫控箱還包括啟動(dòng)開關(guān)和警示器：

23、警示器，配置為警示所述第一鎖具的上鎖情況，在所述啟動(dòng)開關(guān)閉合的情況下，且所述上鎖確認(rèn)開關(guān)斷開的情況下，所述警示器發(fā)出警示。

24、可選地，所述溫控箱還包括：

25、警示開關(guān)，配置為控制所述警示器的工作；所述警示開關(guān)和所述警示器串聯(lián)，所述警示開關(guān)和所述上鎖確認(rèn)開關(guān)并聯(lián)；所述警示開關(guān)和所述上鎖確認(rèn)開關(guān)反向聯(lián)動(dòng)。

26、可選地，所述溫控箱還包括：

27、啟動(dòng)開關(guān)；

28、停止開關(guān)，配置為停止所述溫控箱的工作；所述停止開關(guān)與所述啟動(dòng)開關(guān)和所述上鎖確認(rèn)開關(guān)聯(lián)動(dòng)。

29、本申請(qǐng)實(shí)施例提供的溫控箱，包括：箱體，包括有一端開口的腔室，以用于容置工件；溫度控制器，用于調(diào)節(jié)所述腔室內(nèi)的溫度；門，配置為在第一狀態(tài)和第二狀態(tài)之間運(yùn)動(dòng)，所述門處于第一狀態(tài)的情況下，所述門蓋合所述開口，所述腔室被封閉；第一鎖具，配置為鎖定所述門的第一狀態(tài)；鎖具檢測(cè)器，配置為檢測(cè)所述第一鎖具是否上鎖；若所述第一鎖具沒有上鎖，則關(guān)聯(lián)控制所述溫度控制器的上鎖確認(rèn)開關(guān)斷開；所述上鎖確認(rèn)開關(guān)為無法手動(dòng)操作的自動(dòng)開關(guān)?？梢姡旧暾?qǐng)實(shí)施例的溫控箱，在原有結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上，增加了檢測(cè)所述第一鎖具是否上鎖的鎖具檢測(cè)器，若所述第一鎖具沒有上鎖，則關(guān)聯(lián)控制所述溫度控制器的上鎖確認(rèn)開關(guān)斷開，進(jìn)而溫度控制器無法工作，減少了因?yàn)榈谝绘i具沒有鎖緊引發(fā)的產(chǎn)品質(zhì)量問題。因此，本申請(qǐng)實(shí)施例的溫控箱，能減少溫控箱因?yàn)樯湘i未鎖緊導(dǎo)致的質(zhì)量問題。

30、本申請(qǐng)附加的方面和優(yōu)點(diǎn)將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本申請(qǐng)的實(shí)踐了解到。

技術(shù)特征：

1.一種溫控箱，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的溫控箱，其特征在于，所述第一鎖具為機(jī)械鎖。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的溫控箱，其特征在于，所述鎖具檢測(cè)器包括：

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的溫控箱，其特征在于，所述感應(yīng)件為霍爾傳感器，所述觸發(fā)件為磁性件。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的溫控箱，其特征在于，所述感應(yīng)件為接觸傳感器，所述觸發(fā)件為能與所述感應(yīng)件接觸的固體部件。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的溫控箱，其特征在于，所述溫控箱還包括：

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的溫控箱，其特征在于，所述電子鎖包括：

8.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)所述的溫控箱，其特征在于，所述溫控箱還包括啟動(dòng)開關(guān)和警示器：

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的溫控箱，其特征在于，所述溫控箱還包括：

10.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)所述的溫控箱，其特征在于，所述溫控箱還包括：

技術(shù)總結(jié)
本申請(qǐng)涉及一種溫控箱。包括：箱體，包括有一端開口的腔室，以用于容置工件；溫度控制器，用于調(diào)節(jié)腔室內(nèi)的溫度；門，配置為在第一狀態(tài)和第二狀態(tài)之間運(yùn)動(dòng)，門處于第一狀態(tài)的情況下，門蓋合開口，腔室被封閉；第一鎖具，配置為鎖定門的第一狀態(tài)；鎖具檢測(cè)器，配置為檢測(cè)第一鎖具是否上鎖；若第一鎖具沒有上鎖，則關(guān)聯(lián)控制溫度控制器的上鎖確認(rèn)開關(guān)斷開；上鎖確認(rèn)開關(guān)為無法手動(dòng)操作的自動(dòng)開關(guān)。本申請(qǐng)的技術(shù)方案，能減少溫控箱因?yàn)樯湘i未鎖緊導(dǎo)致的質(zhì)量問題。

技術(shù)研發(fā)人員：陳國(guó)勇
受保護(hù)的技術(shù)使用者：芯聯(lián)集成電路制造股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240306
技術(shù)公布日：2024/10/10