穩(wěn)流裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體設(shè)備中的零部件領(lǐng)域，尤其涉及一種維持液體輸出穩(wěn)定的穩(wěn)流
目-Ο
【背景技術(shù)】
[0002]在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)中，多數(shù)要求液體輸出形貌穩(wěn)定。然而，現(xiàn)有供液裝置由于缺乏相應(yīng)設(shè)計(jì)，很難保證這一點(diǎn)。如圖1所示，圖1示例了現(xiàn)有供液裝置的結(jié)構(gòu)?，F(xiàn)有供液裝置包括緩沖腔101、輸出端部102及供液泵103。緩沖腔101的進(jìn)液端通過L形管道與供液泵103的輸出端連接，緩沖腔101的出液端與輸出端部102連接。液體由供液泵103抽出，通過管道流進(jìn)緩沖腔101，然后從輸出端部102流出。由于緩沖腔101的進(jìn)液端通過L形管道與供液泵103的輸出端連接，強(qiáng)大的管阻導(dǎo)致從輸出端部102輸出的液體形貌為“ Λ ”形，如圖3(a)所示，而我們期望的液體輸出形貌為如圖3(d)所示的形貌。此外，供液泵103通常選用的是氣動隔膜泵，此種泵輸出的液體是脈沖式的，圖3(b)示出了脈沖波峰時(shí)從輸出端部102輸出的液體形貌，圖3(c)示出了脈沖波谷時(shí)從輸出端部102輸出的液體形貌。顯然，脈沖波峰與脈沖波谷時(shí)從輸出端部102輸出的液體形貌不同。因此，現(xiàn)有的供液裝置難以使液體輸出形貌穩(wěn)定。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的是針對上述技術(shù)問題提出一種穩(wěn)流裝置，該穩(wěn)流裝置能夠使液體輸出形貌穩(wěn)定。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提出的穩(wěn)流裝置，包括:緩沖部、輸出端部及彈性連接件。緩沖部具有緩沖腔、開設(shè)有進(jìn)液口的進(jìn)液端及開設(shè)有出液口的出液端。輸出端部位于緩沖部的出液端的一側(cè)，輸出端部具有輸出口。彈性連接件連接輸出端部與緩沖部的出液端。輸出端部與緩沖部的出液端之間具有一間隙，該間隙的大小通過彈性連接件的伸縮調(diào)節(jié)，緩沖腔中的液體一部分從輸出端部的輸出口輸出，另一部分從該間隙溢出。
[0005]在一個(gè)實(shí)施例中，該穩(wěn)流裝置還包括擋板及連接架，擋板設(shè)置在緩沖部的緩沖腔內(nèi)，擋板正對著緩沖部的進(jìn)液口，擋板與輸出端部之間通過連接架連接。
[0006]在一個(gè)實(shí)施例中，緩沖部的進(jìn)液口與一回形供液管的出液端連接。
[0007]在一個(gè)實(shí)施例中，當(dāng)輸出端部受到液體擠壓時(shí)，彈性連接件拉伸，輸出端部與緩沖部的出液端之間的間隙變大，液體通過該間隙溢出的量增大，當(dāng)輸出端部受到的液體擠壓力變小時(shí)，彈性連接件收縮，輸出端部與緩沖部的出液端之間的間隙變小，液體通過該間隙溢出的量變小。
[0008]在一個(gè)實(shí)施例中，輸出端部的輸出口的直徑小于緩沖部的出液口的直徑。
[0009]本發(fā)明通過在供液管路上設(shè)置能夠自我調(diào)節(jié)的穩(wěn)流裝置，從而能夠使液體輸出的形貌穩(wěn)定。
【附圖說明】
[0010]圖1示例了現(xiàn)有供液裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011]圖2示例了現(xiàn)有供液裝置的緩沖腔與輸出端部組合后的剖視圖。
[0012]圖3(a)至圖3(c)示例了現(xiàn)有供液裝置從輸出端部輸出的液體形貌圖，圖3 (d)為理想的液體輸出形貌圖。
[0013]圖4揭示了本發(fā)明的穩(wěn)流裝置的一實(shí)施例的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。
[0014]圖5揭示了本發(fā)明的穩(wěn)流裝置應(yīng)用的一實(shí)施例的示意圖。
[0015]圖6揭示了本發(fā)明的穩(wěn)流裝置的又一實(shí)施例的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]圖7揭示了擋板與連接架組合后的頂視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0017]為詳細(xì)說明本發(fā)明的技術(shù)內(nèi)容、構(gòu)造特征、所達(dá)成目的及效果，下面將結(jié)合實(shí)施例并配合圖式予以詳細(xì)說明。
[0018]參考圖4所示，圖4揭示了本發(fā)明的穩(wěn)流裝置的一實(shí)施例的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。如圖4所示，該穩(wěn)流裝置包括緩沖部41、輸出端部42及彈性連接件43。緩沖部41具有緩沖腔411、開設(shè)有進(jìn)液口的進(jìn)液端412及開設(shè)有出液口的出液端413，其中，緩沖部41的進(jìn)液口的直徑小于出液口的直徑。輸出端部42位于緩沖部41的出液端413的一側(cè)，輸出端部42與緩沖部41的出液端413通過彈性連接件43連接，彈性連接件43還起到隔離作用，因此，輸出端部42與緩沖部41的出液端413之間還具有一間隙。輸出端部42具有輸出口 421，輸出口 421的直徑小于緩沖部41的出液口的直徑。
[0019]參考圖5所示，圖5揭示了本發(fā)明的穩(wěn)流裝置應(yīng)用的一實(shí)施例的示意圖。在本實(shí)施例中，緩沖部41的進(jìn)液口與一回形供液管44的出液端連接，該回形供液管44的進(jìn)液端通過管道與供液泵45連接，該供液泵45通常選用的是氣動隔膜泵。液體由供液泵45抽出，然后流經(jīng)管道進(jìn)入回形供液管44內(nèi)，再由回形供液管44進(jìn)入緩沖部41的緩沖腔411，緩沖腔411中的液體一部分從輸出端部42的輸出口 421輸出，另一部分從輸出端部42與緩沖部41的出液端413之間的間隙溢出。當(dāng)脈沖波峰來臨時(shí)，輸出端部42受到液體擠壓，彈性連接件43拉伸，輸出端部42與緩沖部41的出液端413之間的間隙變大，液體通過該間隙溢出的量增大；當(dāng)脈沖波谷來臨時(shí)，輸出端部42受到的液體擠壓力變小，彈性連接件43收縮，輸出端部42與緩沖部41的出液端413之間的間隙變小，液體通過該間隙溢出的量變小。由此，降低了供液泵45本身的屬性對液體輸出形貌的影響，從而能夠使輸出端部42輸出的液體形貌穩(wěn)定。此外，緩沖部41的進(jìn)液口與回形供液管44連接，能夠抵消水平方向的管阻，從而消除“ Δ ”形的液體輸出形貌。
[0020]參考圖6所示，圖6揭示了本發(fā)明的穩(wěn)流裝置的又一實(shí)施例的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。該穩(wěn)流裝置除了包括緩沖部61、輸出端部62及彈性連接件63外，還包括擋板66及連接架67，擋板66設(shè)置在緩沖部61的緩沖腔611內(nèi)，擋板66正對著緩沖部61的進(jìn)液口，擋板66與輸出端部62之間通過連接架67連接。通過設(shè)置擋板66，能夠進(jìn)一步降低供液泵本身的屬性對液體輸出形貌的影響。
[0021]本發(fā)明通過在供液管路上設(shè)置能夠自我調(diào)節(jié)的穩(wěn)流裝置，從而能夠使液體輸出的形貌穩(wěn)定。
[0022]綜上所述，本發(fā)明通過上述實(shí)施方式及相關(guān)圖式說明，己具體、詳實(shí)的揭露了相關(guān)技術(shù)，使本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以據(jù)以實(shí)施。而以上所述實(shí)施例只是用來說明本發(fā)明，而不是用來限制本發(fā)明的，本發(fā)明的權(quán)利范圍，應(yīng)由本發(fā)明的權(quán)利要求來界定。至于本文中所述元件數(shù)目的改變或等效元件的代替等仍都應(yīng)屬于本發(fā)明的權(quán)利范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種穩(wěn)流裝置，其特征在于，包括: 緩沖部，具有緩沖腔、開設(shè)有進(jìn)液口的進(jìn)液端及開設(shè)有出液口的出液端； 輸出端部，位于緩沖部的出液端的一側(cè)，輸出端部具有輸出口 ；及 彈性連接件，連接輸出端部與緩沖部的出液端； 輸出端部與緩沖部的出液端之間具有一間隙，該間隙的大小通過彈性連接件的伸縮調(diào)節(jié)，緩沖腔中的液體一部分從輸出端部的輸出口輸出，另一部分從該間隙溢出。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的穩(wěn)流裝置，其特征在于，還包括擋板及連接架，擋板設(shè)置在緩沖部的緩沖腔內(nèi)，擋板正對著緩沖部的進(jìn)液口，擋板與輸出端部之間通過連接架連接。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的穩(wěn)流裝置，其特征在于，緩沖部的進(jìn)液口與一回形供液管的出液端連接。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的穩(wěn)流裝置，其特征在于，當(dāng)輸出端部受到液體擠壓時(shí)，彈性連接件拉伸，輸出端部與緩沖部的出液端之間的間隙變大，液體通過該間隙溢出的量增大，當(dāng)輸出端部受到的液體擠壓力變小時(shí)，彈性連接件收縮，輸出端部與緩沖部的出液端之間的間隙變小，液體通過該間隙溢出的量變小。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的穩(wěn)流裝置，其特征在于，輸出端部的輸出口的直徑小于緩沖部的出液口的直徑。
【專利摘要】本發(fā)明揭示了一種穩(wěn)流裝置，包括：緩沖部、輸出端部及彈性連接件。緩沖部具有緩沖腔、開設(shè)有進(jìn)液口的進(jìn)液端及開設(shè)有出液口的出液端。輸出端部位于緩沖部的出液端的一側(cè)，輸出端部具有輸出口。彈性連接件連接輸出端部與緩沖部的出液端。輸出端部與緩沖部的出液端之間具有一間隙，該間隙的大小通過彈性連接件的伸縮調(diào)節(jié)，緩沖腔中的液體一部分從輸出端部的輸出口輸出，另一部分從該間隙溢出。當(dāng)輸出端部受到液體擠壓時(shí)，彈性連接件拉伸，輸出端部與緩沖部的出液端之間的間隙變大，液體通過該間隙溢出的量增大，當(dāng)輸出端部受到液體的擠壓力變小時(shí)，彈性連接件收縮，輸出端部與緩沖部的出液端之間的間隙變小，液體通過該間隙溢出的量變小。
【IPC分類】G05D7/00
【公開號】CN105320158
【申請?zhí)枴緾N201410365759
【發(fā)明人】代迎偉, 金一諾, 王堅(jiān), 王暉
【申請人】盛美半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司
【公開日】2016年2月10日
【申請日】2014年7月29日