晶圓存放記錄方法、設(shè)備和系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種晶圓存放記錄方法、設(shè)備和系統(tǒng)，該方法包括：接收?qǐng)?zhí)行晶圓存放操作的操作請(qǐng)求，其中，該操作請(qǐng)求中攜帶有執(zhí)行晶圓存放操作的操作人員的標(biāo)識(shí)信息；判斷該標(biāo)識(shí)信息是否屬于預(yù)設(shè)人員標(biāo)識(shí)集合，其中，該預(yù)設(shè)人員標(biāo)識(shí)集合包括預(yù)先設(shè)置的允許執(zhí)行該晶圓存放操作的操作人員的標(biāo)識(shí)信息；若判斷出該標(biāo)識(shí)信息屬于該預(yù)設(shè)人員標(biāo)識(shí)集合，則允許該操作人員執(zhí)行該晶圓存放操作，并在該操作人員完成該晶圓存放操作后，記錄該操作人員執(zhí)行該晶圓存放操作的操作信息；若判斷出該標(biāo)識(shí)信息不屬于該預(yù)設(shè)人員標(biāo)識(shí)集合，則禁止該操作人員執(zhí)行該晶圓存放操作。以準(zhǔn)確記錄執(zhí)行晶圓存放的操作人員的操作信息。
【專利說明】
晶圓存放記錄方法、設(shè)備和系統(tǒng)
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及晶圓加工領(lǐng)域，具體而言，涉及一種晶圓存放記錄方法、設(shè)備和系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，在半導(dǎo)體領(lǐng)域的晶圓生產(chǎn)廠，為了避免晶圓在搬運(yùn)和制造過程中遭受污染，操作人員需要在高等級(jí)潔凈度的無塵環(huán)境下，將一定數(shù)量的晶圓片放置于一個(gè)名為“Lot”(即批次)的盒子中，并將“Lot”安裝于晶圓加工設(shè)備的SMIF(Standard MechanicalInterface，標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械化接口)中。但是，不管是在200毫米還是300毫米晶圓廠，在不知道是誰從儲(chǔ)藏架、儲(chǔ)存箱或搬運(yùn)小車上搬運(yùn)“Lot”并安裝至晶圓加工設(shè)備時(shí)，操作人員的工作量和工作質(zhì)量是很難界定的，甚至可能會(huì)發(fā)生不合格的操作人員將“Lot”搬運(yùn)安裝至晶圓加工設(shè)備中這樣的工作隱患。因此，為了提高操作人員的工作量并改進(jìn)工作質(zhì)量，準(zhǔn)確記錄并得到OSM(Operator Step Move)的工作指示消息對(duì)于操作人員和管理人員都是非常重要的。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中是通過操作人員登陸設(shè)備中的EAP (Equipment Automat1nProgramming，設(shè)備自動(dòng)化編程)自動(dòng)模式來解決上述問題的。首先，操作人員需要登陸系統(tǒng)，然后系統(tǒng)會(huì)記錄并存儲(chǔ)某一時(shí)間段被安裝至晶圓加工設(shè)備中的“Lot”的數(shù)量等信息，并將該信息與該操作人員的員工標(biāo)識(shí)信息相對(duì)應(yīng)，最終所有信息可在MES (ManufacturingExecut1n System，制造執(zhí)行系統(tǒng))的歷史數(shù)據(jù)庫信息中查詢。但是實(shí)際上，當(dāng)晶圓加工設(shè)備處于被某一操作人員預(yù)先登陸的情況下，任何操作人員都可以搬運(yùn)Lot并將其安裝于晶圓加工設(shè)備的SMIF中，這樣就存在EAP自動(dòng)模式下的數(shù)據(jù)記錄不準(zhǔn)確的問題。
[0004]針對(duì)上述的問題，目前尚未提出有效的解決方案。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明實(shí)施例提供了一種晶圓存放記錄方法、設(shè)備和系統(tǒng)，以準(zhǔn)確記錄執(zhí)行晶圓存放的操作人員的操作信息。
[0006]根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供了一種晶圓存放記錄方法，該方法包括:
[0007]接收?qǐng)?zhí)行晶圓存放操作的操作請(qǐng)求，其中，所述操作請(qǐng)求中攜帶有執(zhí)行晶圓存放操作的操作人員的標(biāo)識(shí)信息；判斷所述標(biāo)識(shí)信息是否屬于預(yù)設(shè)人員標(biāo)識(shí)集合，其中，所述預(yù)設(shè)人員標(biāo)識(shí)集合包括預(yù)先設(shè)置的允許執(zhí)行所述晶圓存放操作的操作人員的標(biāo)識(shí)信息；若判斷出所述標(biāo)識(shí)信息屬于所述預(yù)設(shè)人員標(biāo)識(shí)集合，則允許所述操作人員執(zhí)行所述晶圓存放操作，并在所述操作人員完成所述晶圓存放操作后，記錄所述操作人員執(zhí)行所述晶圓存放操作的操作信息；若判斷出所述標(biāo)識(shí)信息不屬于所述預(yù)設(shè)人員標(biāo)識(shí)集合，則禁止所述操作人員執(zhí)行所述晶圓存放操作。
[0008]可選地，還包括:在所述記錄所述操作人員執(zhí)行所述晶圓存放操作的操作信息后，所述方法還包括:記錄所述操作人員的標(biāo)識(shí)信息與所述操作信息之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系。
[0009]可選地，在記錄所述操作人員的標(biāo)識(shí)信息與所述操作信息之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系后，所述方法還包括:通過所述操作人員的標(biāo)識(shí)信息和所述對(duì)應(yīng)關(guān)系查詢所述操作人員執(zhí)行的所述晶圓存放操作的操作信息。
[0010]可選地，所述通過所述操作人員的標(biāo)識(shí)信息和所述對(duì)應(yīng)關(guān)系查詢所述操作人員執(zhí)行的所述晶圓存放操作的操作信息包括:接收查詢指令，其中，所述查詢指令包括所述操作人員的標(biāo)識(shí)信息；根據(jù)所述操作人員的標(biāo)識(shí)信息通過所述對(duì)應(yīng)關(guān)系得到所述操作人員執(zhí)行的所述晶圓存放操作的操作信息，并展示所述操作信息。
[0011]根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供了一種晶圓存放記錄設(shè)備，該設(shè)備包括:接收單元，用于接收?qǐng)?zhí)行晶圓存放操作的操作請(qǐng)求，其中，所述操作請(qǐng)求中攜帶有執(zhí)行晶圓存放操作的操作人員的標(biāo)識(shí)信息；判斷單元，用于判斷所述接收單元接收的所述標(biāo)識(shí)信息是否屬于預(yù)設(shè)人員標(biāo)識(shí)集合，其中，所述預(yù)設(shè)人員標(biāo)識(shí)集合包括預(yù)先設(shè)置的允許執(zhí)行所述晶圓存放操作的操作人員的標(biāo)識(shí)信息；第一處理單元，用于若所述判斷單元判斷出所述標(biāo)識(shí)信息屬于所述預(yù)設(shè)人員標(biāo)識(shí)集合，則允許所述操作人員執(zhí)行所述晶圓存放操作，并在所述操作人員完成所述晶圓存放操作后，記錄所述操作人員執(zhí)行所述晶圓存放操作的操作信息；第二處理單元，用于若所述判斷單元判斷出所述標(biāo)識(shí)信息不屬于所述預(yù)設(shè)人員標(biāo)識(shí)集合，則禁止所述操作人員執(zhí)行所述晶圓存放操作。
[0012]可選地，該設(shè)備還包括:記錄單元，用于在所述第一處理單元記錄所述操作人員執(zhí)行所述晶圓存放操作的操作信息后，記錄所述操作人員的標(biāo)識(shí)信息與所述操作信息之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系。
[0013]可選地，該設(shè)備還包括:查詢單元，用于在所述記錄單元記錄所述操作人員的標(biāo)識(shí)信息與所述操作信息之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系后，通過所述操作人員的標(biāo)識(shí)信息和所述對(duì)應(yīng)關(guān)系查詢所述操作人員執(zhí)行的所述晶圓存放操作的操作信息。
[0014]可選地，所述查詢單元包括:接收子單元，用于接收查詢指令，其中，所述查詢指令包括所述操作人員的標(biāo)識(shí)信息；處理子單元，用于根據(jù)所述接收子單元接收的操作人員的標(biāo)識(shí)信息通過所述對(duì)應(yīng)關(guān)系得到所述操作人員執(zhí)行的所述晶圓存放操作的操作信息，并展示所述操作信息。
[0015]根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供了一種晶圓存放記錄系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括:射頻電子標(biāo)簽，用于發(fā)出執(zhí)行晶圓存放操作的操作請(qǐng)求；晶圓存放記錄設(shè)備，與所述射頻電子標(biāo)簽射頻連接，包括上述晶圓存放記錄設(shè)備。
[0016]可選地，所述電子標(biāo)簽為腕帶式電子標(biāo)簽，所述腕帶式電子標(biāo)簽佩戴在操作人員的肢體上。
[0017]在本發(fā)明實(shí)施例中，通過接收?qǐng)?zhí)行晶圓存放操作的操作請(qǐng)求，并判斷該操作請(qǐng)求中的標(biāo)識(shí)信息是否屬于預(yù)設(shè)人員標(biāo)識(shí)集合，若判斷出該標(biāo)識(shí)信息屬于該預(yù)設(shè)人員標(biāo)識(shí)集合，則允許該操作人員執(zhí)行該晶圓存放操作，并在該操作人員完成該晶圓存放操作后，記錄該操作人員執(zhí)行該晶圓存放操作的操作信息；若判斷出該操作人員信息不屬于該預(yù)設(shè)人員標(biāo)識(shí)集合，則禁止所述操作人員執(zhí)行所述晶圓存放操作，這樣，由于操作人員在進(jìn)行晶圓存放的過程中需要先進(jìn)行標(biāo)識(shí)信息的判斷，并在判斷通過后才允許執(zhí)行晶圓存放操作，并記錄操作信息，因此，能夠準(zhǔn)確獲得執(zhí)行晶圓操作的操作人員的操作信息，從而保證操作信息的準(zhǔn)確性。
【附圖說明】
[0018]此處所說明的附圖用來提供對(duì)本發(fā)明的進(jìn)一步理解，構(gòu)成本申請(qǐng)的一部分，本發(fā)明的示意性實(shí)施例及其說明用于解釋本發(fā)明，并不構(gòu)成對(duì)本發(fā)明的不當(dāng)限定。在附圖中:
[0019]圖1是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的一種晶圓存放記錄方法的流程示意圖；
[0020]圖2是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的另一種晶圓存放記錄方法的流程示意圖；
[0021]圖3是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的一種晶圓存放記錄設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0022]圖4是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的另一種晶圓存放記錄設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖5是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的第三種晶圓存放記錄設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖6是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的第四種晶圓存放記錄設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖7是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的一種晶圓存放記錄系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0026]為了使本技術(shù)領(lǐng)域的人員更好地理解本發(fā)明方案，下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分的實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都應(yīng)當(dāng)屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0027]需要說明的是，本發(fā)明的說明書和權(quán)利要求書及上述附圖中的術(shù)語“第一”、“第二”等是用于區(qū)別類似的對(duì)象，而不必用于描述特定的順序或先后次序。應(yīng)該理解這樣使用的數(shù)據(jù)在適當(dāng)情況下可以互換，以便這里描述的本發(fā)明的實(shí)施例能夠以除了在這里圖示或描述的那些以外的順序?qū)嵤?。此外，術(shù)語“包括”和“具有”以及他們的任何變形，意圖在于覆蓋不排他的包含，例如，包含了一系列步驟或單元的過程、方法、系統(tǒng)、產(chǎn)品或設(shè)備不必限于清楚地列出的那些步驟或單元，而是可包括沒有清楚地列出的或?qū)τ谶@些過程、方法、產(chǎn)品或設(shè)備固有的其它步驟或單元。
[0028]根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例，提供了一種晶圓存放記錄方法，如圖1所示，本發(fā)明實(shí)施例的執(zhí)行主體可以是晶圓存放記錄設(shè)備，該方法可以包括如下步驟:
[0029]步驟S102，接收?qǐng)?zhí)行晶圓存放操作的操作請(qǐng)求。
[0030]其中，該操作請(qǐng)求中攜帶有執(zhí)行晶圓存放操作的操作人員的標(biāo)識(shí)信息。
[0031]在本發(fā)明一種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，操作人員可以佩戴射頻電子標(biāo)簽(例如佩戴在手腕上)，當(dāng)操作人員進(jìn)行晶圓存放操作時(shí)，接收該射頻電子標(biāo)簽發(fā)送的操作請(qǐng)求，由于該操作請(qǐng)求中攜帶有執(zhí)行晶圓存放操作的操作人員的標(biāo)識(shí)信息，因此，可以獲知當(dāng)前執(zhí)行晶圓存放操作的操作人員的身份。
[0032]需要說明的是，該標(biāo)識(shí)信息可以是操作人員的標(biāo)識(shí)信息(如操作人員的員工號(hào)等)，本發(fā)明對(duì)此不作限定，其他能夠唯一識(shí)別該操作人員的標(biāo)識(shí)信息也應(yīng)落入本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
[0033]步驟S104，判斷該標(biāo)識(shí)信息是否屬于預(yù)設(shè)人員標(biāo)識(shí)集合。
[0034]其中，該預(yù)設(shè)人員標(biāo)識(shí)集合包括預(yù)先設(shè)置的允許執(zhí)行該晶圓存放操作的操作人員的標(biāo)識(shí)信息。
[0035]需要說明的是，該預(yù)設(shè)人員標(biāo)識(shí)集合可以在不同的時(shí)間段設(shè)置不同的操作人員標(biāo)識(shí)信息，例如，在早上8點(diǎn)至12點(diǎn)和下午2點(diǎn)至6點(diǎn)設(shè)置的預(yù)設(shè)人員標(biāo)識(shí)集合可以不同，從而方便了晶圓制造流程中對(duì)操作人員的管理。
[0036]步驟S106，若判斷出該標(biāo)識(shí)信息屬于該預(yù)設(shè)人員標(biāo)識(shí)集合，則允許該操作人員執(zhí)行該晶圓存放操作，并在該操作人員完成該晶圓存放操作后，記錄該操作人員執(zhí)行該晶圓存放操作的操作信息。
[0037]其中，在確定該標(biāo)識(shí)信息屬于該預(yù)設(shè)人員標(biāo)識(shí)集合時(shí)，則表示當(dāng)前允許該操作人員執(zhí)行晶圓存放操作，在本發(fā)明一種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，該晶圓加工設(shè)備用來存放Lot的腔體的入口包括活動(dòng)閘門，操作人員的手腕上可以佩戴射頻電子標(biāo)簽(如腕帶式電子標(biāo)簽)，當(dāng)操作人員通過雙手將裝有晶圓的Lot移動(dòng)至活動(dòng)閘門達(dá)到第一預(yù)設(shè)距離時(shí)，則可以接收到該射頻電子標(biāo)簽發(fā)送的操作請(qǐng)求，在確定該操作請(qǐng)求攜帶的標(biāo)識(shí)信息屬于該預(yù)設(shè)人員標(biāo)識(shí)集合時(shí)，該活動(dòng)閘門開啟，此時(shí)，操作人員將裝有晶圓的Lot通過腔體的入口放入晶圓加工設(shè)備中，當(dāng)檢測(cè)(如通過傳感器檢測(cè))到Lot已經(jīng)放置在該晶圓加工設(shè)備對(duì)應(yīng)的位置上時(shí)，則確定該操作人員完成該晶圓存放操作，并記錄該操作人員執(zhí)行該晶圓存放操作的操作信息，當(dāng)然，上述只是舉例說明，本發(fā)明不作限定。
[0038]需要說明的是，上述操作信息可以包括操作人員開始執(zhí)行晶圓存放操作的時(shí)間，也可以包括預(yù)設(shè)時(shí)間段內(nèi)操作人員存放的Lot的數(shù)量(如在三小時(shí)內(nèi)存放的Lot的數(shù)量或者一個(gè)班次存放的Lot的數(shù)量)，還可以包括該操作人員執(zhí)行晶圓存放操作的其他信息，本發(fā)明對(duì)此不作限定。
[0039]另外，當(dāng)該操作人員完成該晶圓存放操作后，該活動(dòng)閘門則會(huì)關(guān)閉，以防止其他被禁止執(zhí)行晶圓存放操作的操作人員執(zhí)行晶圓存放操作，一種可能的實(shí)現(xiàn)方式，該活動(dòng)閘門可以在該操作人員完成該晶圓存放操作并達(dá)到第二預(yù)設(shè)時(shí)間后關(guān)閉，以防止關(guān)閉過快對(duì)操作人員造成誤傷，另一種可能的實(shí)現(xiàn)方式，也可以在無法接收到當(dāng)前操作人員佩戴的射頻電子標(biāo)簽的操作請(qǐng)求(如操作人員遠(yuǎn)離該活動(dòng)閘門至預(yù)設(shè)距離)后關(guān)閉，以防止在操作人員長時(shí)間執(zhí)行晶圓存放操作的過程中，由于活動(dòng)閘門的頻繁開啟和關(guān)閉對(duì)活動(dòng)閘門的損耗。上述只是舉例說明，不作限定。
[0040]步驟S108，若判斷出該標(biāo)識(shí)信息不屬于該預(yù)設(shè)人員標(biāo)識(shí)集合，則禁止該操作人員執(zhí)行該晶圓存放操作。
[0041]其中，在確定該標(biāo)識(shí)信息不屬于該預(yù)設(shè)人員標(biāo)識(shí)集合時(shí)，則該活動(dòng)閘門不會(huì)開啟，從而禁止該操作人員執(zhí)行晶圓存放操作，在一種優(yōu)選的實(shí)現(xiàn)方式中，若禁止該操作人員執(zhí)行該晶圓存放操作，則發(fā)出提示信息，如通過報(bào)警器發(fā)出報(bào)警聲或者通過報(bào)警燈的常亮或閃爍進(jìn)行提示。
[0042]在本發(fā)明實(shí)施例中，通過接收?qǐng)?zhí)行晶圓存放操作的操作請(qǐng)求，并判斷該操作請(qǐng)求中的標(biāo)識(shí)信息是否屬于預(yù)設(shè)人員標(biāo)識(shí)集合，若判斷出該標(biāo)識(shí)信息屬于該預(yù)設(shè)人員標(biāo)識(shí)集合，則允許該操作人員執(zhí)行該晶圓存放操作，并在該操作人員完成該晶圓存放操作后，記錄該操作人員執(zhí)行該晶圓存放操作的操作信息；若判斷出該操作人員信息不屬于該預(yù)設(shè)人員標(biāo)識(shí)集合，則禁止該操作人員執(zhí)行該晶圓存放操作，這樣，由于操作人員在進(jìn)行晶圓存放的過程中需要先進(jìn)行標(biāo)識(shí)信息的判斷，并在判斷通過后才允許執(zhí)行晶圓存放操作，并記錄操作信息，因此，能夠準(zhǔn)確獲得執(zhí)行晶圓操作的操作人員的操作信息，從而保證操作信息的準(zhǔn)確性。
[0043]可選地，在記錄該操作人員執(zhí)行該晶圓存放操作的操作信息后，記錄該操作人員的標(biāo)識(shí)信息與該操作信息之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系，這樣，通過建立對(duì)應(yīng)關(guān)系，從而將操作信息與操作人員相關(guān)聯(lián)，進(jìn)而更加準(zhǔn)確的獲取到操作人員的操作信息，更加方便對(duì)操作人員的管理。
[0044]可選地，在記錄該操作人員的標(biāo)識(shí)信息與該操作信息之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系后，通過該操作人員的標(biāo)識(shí)信息和該對(duì)應(yīng)關(guān)系查詢?cè)摬僮魅藛T執(zhí)行的該晶圓存放操作的操作信息，這樣，能夠方便查詢操作人員對(duì)應(yīng)的操作信息，提高了用戶的體驗(yàn)。
[0045]在本發(fā)明一種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，上述通過該操作人員的標(biāo)識(shí)信息和該對(duì)應(yīng)關(guān)系查詢?cè)摬僮魅藛T執(zhí)行的該晶圓存放操作的操作信息包括以下實(shí)現(xiàn)方式:接收查詢指令，其中，該查詢指令包括該操作人員的標(biāo)識(shí)信息，并根據(jù)該操作人員的標(biāo)識(shí)信息通過該對(duì)應(yīng)關(guān)系得到該操作人員執(zhí)行的該晶圓存放操作的操作信息，并展示該操作信息。
[0046]其中，可以通過設(shè)置的人機(jī)交互界面將操作信息展示給查詢?nèi)藛T，以方便查詢?nèi)藛T了解相關(guān)操作人員的操作信息。
[0047]在本發(fā)明實(shí)施例中，通過接收?qǐng)?zhí)行晶圓存放操作的操作請(qǐng)求，并判斷該操作請(qǐng)求中的標(biāo)識(shí)信息是否屬于預(yù)設(shè)人員標(biāo)識(shí)集合，若判斷出該標(biāo)識(shí)信息屬于該預(yù)設(shè)人員標(biāo)識(shí)集合，則允許該操作人員執(zhí)行該晶圓存放操作，并在該操作人員完成該晶圓存放操作后，記錄該操作人員執(zhí)行該晶圓存放操作的操作信息；若判斷出該操作人員信息不屬于該預(yù)設(shè)人員標(biāo)識(shí)集合，則禁止該操作人員執(zhí)行該晶圓存放操作，這樣，由于操作人員在進(jìn)行晶圓存放的過程中需要先進(jìn)行標(biāo)識(shí)信息的判斷，并在判斷通過后才允許執(zhí)行晶圓存放操作，并記錄操作信息，因此，能夠準(zhǔn)確獲得執(zhí)行晶圓操作的操作人員的操作信息，從而保證操作信息的準(zhǔn)確性。
[0048]根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例，提供了一種晶圓存放記錄方法，如圖2所示，該方法包括:
[0049]步驟S201，晶圓存放記錄設(shè)備接收射頻電子標(biāo)簽發(fā)送的操作請(qǐng)求。
[0050]其中，該操作請(qǐng)求中攜帶有執(zhí)行晶圓存放操作的操作人員的標(biāo)識(shí)信息。
[0051]在本發(fā)明一種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，操作人員可以佩戴射頻電子標(biāo)簽(例如佩戴在手腕上)，當(dāng)操作人員進(jìn)行晶圓存放操作時(shí)，晶圓存放設(shè)備接收該射頻電子標(biāo)簽發(fā)送的操作請(qǐng)求，由于該操作請(qǐng)求中攜帶有執(zhí)行晶圓存放操作的操作人員的標(biāo)識(shí)信息，因此，可以獲知當(dāng)前執(zhí)行晶圓存放操作的操作人員的身份。
[0052]需要說明的是，該標(biāo)識(shí)信息可以是操作人員的標(biāo)識(shí)信息(如操作人員的員工號(hào)等)，本發(fā)明對(duì)此不作限定，其他能夠唯一識(shí)別該操作人員的標(biāo)識(shí)信息也應(yīng)落入本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
[0053]步驟S202，晶圓存放記錄設(shè)備判斷該操作請(qǐng)求中攜帶的操作人員的標(biāo)識(shí)信息是否屬于預(yù)設(shè)人員標(biāo)識(shí)集合。
[0054]其中，該預(yù)設(shè)人員標(biāo)識(shí)集合包括預(yù)先設(shè)置的允許執(zhí)行該晶圓存放操作的操作人員的標(biāo)識(shí)信息。
[0055]需要說明的是，該預(yù)設(shè)人員標(biāo)識(shí)集合可以在不同的時(shí)間段設(shè)置不同的操作人員標(biāo)識(shí)信息，例如，在早上8點(diǎn)至12點(diǎn)和下午2點(diǎn)至6點(diǎn)設(shè)置的預(yù)設(shè)人員標(biāo)識(shí)集合可以不同，從而方便了晶圓制造流程中對(duì)操作人員的管理。
[0056]在判斷結(jié)果為是時(shí)，執(zhí)行步驟S203至步驟S207 ;在判斷結(jié)果為否時(shí)，執(zhí)行步驟S208o
[0057]步驟S203，晶圓存放記錄設(shè)備允許操作人員執(zhí)行晶圓存放操作。
[0058]步驟S204，在確定該操作人員完成該晶圓存放操作后，晶圓存放記錄設(shè)備記錄該操作人員執(zhí)行該晶圓存放操作的操作信息。
[0059]其中，在確定該標(biāo)識(shí)信息屬于該預(yù)設(shè)人員標(biāo)識(shí)集合時(shí)，則表示當(dāng)前允許該操作人員執(zhí)行晶圓存放操作，在本發(fā)明一種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，該晶圓加工設(shè)備用來存放Lot的腔體的入口包括活動(dòng)閘門，操作人員的手腕上可以佩戴射頻電子標(biāo)簽(如腕帶式電子標(biāo)簽)，當(dāng)操作人員通過雙手將裝有晶圓的Lot移動(dòng)至活動(dòng)閘門達(dá)到第一預(yù)設(shè)距離時(shí)，則晶圓存放記錄設(shè)備可以接收到該射頻電子標(biāo)簽發(fā)送的操作請(qǐng)求，在確定該操作請(qǐng)求攜帶的標(biāo)識(shí)信息屬于該預(yù)設(shè)人員標(biāo)識(shí)集合時(shí)，該晶圓存放記錄設(shè)備控制該活動(dòng)閘門開啟，此時(shí)，操作人員將裝有晶圓的Lot通過腔體的入口放入晶圓加工設(shè)備中，當(dāng)檢測(cè)(如通過傳感器檢測(cè))到Lot已經(jīng)放置在該晶圓加工設(shè)備對(duì)應(yīng)的位置上時(shí)，則晶圓存放記錄設(shè)備確定該操作人員完成該晶圓存放操作，并記錄該操作人員執(zhí)行該晶圓存放操作的操作信息，當(dāng)然，上述只是舉例說明，本發(fā)明不作限定。
[0060]需要說明的是，上述操作信息可以包括操作人員開始執(zhí)行晶圓存放操作的時(shí)間，也可以包括預(yù)設(shè)時(shí)間段內(nèi)操作人員存放的Lot的數(shù)量(如在三小時(shí)內(nèi)存放的Lot的數(shù)量或者一個(gè)班次存放的Lot的數(shù)量)，還可以包括該操作人員執(zhí)行晶圓存放操作的其他信息，本發(fā)明對(duì)此不作限定。
[0061]另外，當(dāng)該操作人員完成該晶圓存放操作后，該晶圓存放記錄設(shè)備控制該活動(dòng)閘門關(guān)閉，以防止其他被禁止執(zhí)行晶圓存放操作的操作人員執(zhí)行晶圓存放操作，一種可能的實(shí)現(xiàn)方式，該活動(dòng)閘門可以在該操作人員完成該晶圓存放操作并達(dá)到第二預(yù)設(shè)時(shí)間后關(guān)閉，以防止關(guān)閉過快對(duì)操作人員造成誤傷，另一種可能的實(shí)現(xiàn)方式，也可以在無法接收到當(dāng)前操作人員佩戴的射頻電子標(biāo)簽的操作請(qǐng)求(如操作人員遠(yuǎn)離該活動(dòng)閘門至預(yù)設(shè)距離)后關(guān)閉，以防止在操作人員長時(shí)間執(zhí)行晶圓存放操作的過程中，由于活動(dòng)閘門的頻繁開啟和關(guān)閉對(duì)活動(dòng)閘門的損耗。上述只是舉例說明，不作限定。
[0062]步驟S205，該晶圓存放記錄設(shè)備記錄該操作人員的標(biāo)識(shí)信息與該操作信息之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系。
[0063]步驟S206，晶圓存放記錄設(shè)備接收查詢指令。
[0064]其中，可以通過設(shè)置的人機(jī)交互界面將操作信息展示給查詢?nèi)藛T，以方便查詢?nèi)藛T了解相關(guān)操作人員的操作信息。
[0065]步驟S207，晶圓存放記錄設(shè)備根據(jù)該查詢指令中的操作人員的標(biāo)識(shí)信息通過該對(duì)應(yīng)關(guān)系得到該操作人員執(zhí)行的該晶圓存放操作的操作信息，并展示該操作信息。
[0066]其中，可以通過設(shè)置的人機(jī)交互界面將操作信息展示給查詢?nèi)藛T，以方便查詢?nèi)藛T了解相關(guān)操作人員的操作信息。
[0067]步驟S208，晶圓存放記錄設(shè)備禁止該操作人員執(zhí)行該晶圓存放操作。
[0068]其中，在確定該標(biāo)識(shí)信息不屬于該預(yù)設(shè)人員標(biāo)識(shí)集合時(shí)，則該活動(dòng)閘門不會(huì)開啟，從而禁止該操作人員執(zhí)行晶圓存放操作，在一種優(yōu)選的實(shí)現(xiàn)方式中，若禁止該操作人員執(zhí)行該晶圓存放操作，則發(fā)出提示信息，如通過報(bào)警器發(fā)出報(bào)警聲或者通過報(bào)警燈的常亮或閃爍進(jìn)行提示。
[0069]在本發(fā)明實(shí)施例中，通過接收?qǐng)?zhí)行晶圓存放操作的操作請(qǐng)求，并判斷該操作請(qǐng)求中的標(biāo)識(shí)信息是否屬于預(yù)設(shè)人員標(biāo)識(shí)集合，若判斷出該標(biāo)識(shí)信息屬于該預(yù)設(shè)人員標(biāo)識(shí)集合，則允許該操作人員執(zhí)行該晶圓存放操作，并在該操作人員完成該晶圓存放操作后，記錄該操作人員執(zhí)行該晶圓存放操作的操作信息；若判斷出該操作人員信息不屬于該預(yù)設(shè)人員標(biāo)識(shí)集合，則禁止該操作人員執(zhí)行該晶圓存放操作，這樣，由于操作人員在進(jìn)行晶圓存放的過程中需要先進(jìn)行標(biāo)識(shí)信息的判斷，并在判斷通過后才允許執(zhí)行晶圓存放操作，并記錄操作信息，因此，能夠準(zhǔn)確獲得執(zhí)行晶圓操作的操作人員的操作信息，從而保證操作信息的準(zhǔn)確性。
[0070]需要說明的是，對(duì)于上述方法實(shí)施例，為了簡單描述，故將其都表述為一系列的動(dòng)作組合，但是本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該知悉，本發(fā)明并不受所描述的動(dòng)作順序的限制，因?yàn)橐罁?jù)本發(fā)明，某些步驟可以采用其他順序或者同時(shí)進(jìn)行。其次，本領(lǐng)域技術(shù)人員也應(yīng)該知悉，說明書中所描述的實(shí)施例均屬于優(yōu)選實(shí)施例，所涉及的動(dòng)作和模塊并不一定是本發(fā)明所必須的。
[0071 ] 根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例，提供一種晶圓存放記錄設(shè)備30，如圖3所示，該設(shè)備30可以包括:
[0072]接收單元31，用于接收?qǐng)?zhí)行晶圓存放操作的操作請(qǐng)求，其中，該操作請(qǐng)求中攜帶有執(zhí)行晶圓存放操作的操作人員的標(biāo)識(shí)信息；
[0073]判斷單元32，用于判斷該接收單元31接收的標(biāo)識(shí)信息是否屬于預(yù)設(shè)人員標(biāo)識(shí)集合，其中，該預(yù)設(shè)人員標(biāo)識(shí)集合包括預(yù)先設(shè)置的允許執(zhí)行該晶圓存放操作的操作人員的標(biāo)識(shí)信息；
[0074]第一處理單元33，用于若該判斷單元32判斷出該標(biāo)識(shí)信息屬于該預(yù)設(shè)人員標(biāo)識(shí)集合，則允許該操作人員執(zhí)行該晶圓存放操作，并在該操作人員完成該晶圓存放操作后，記錄該操作人員執(zhí)行該晶圓存放操作的操作信息；
[0075]第二處理單元34，用于若該判斷單元32判斷出該標(biāo)識(shí)信息不屬于該預(yù)設(shè)人員標(biāo)識(shí)集合，則禁止該操作人員執(zhí)行該晶圓存放操作。
[0076]可選地，如圖4所示，該設(shè)備30還可以包括:
[0077]記錄單元35，用于在該第一處理單元33記錄該操作人員執(zhí)行該晶圓存放操作的操作信息后，記錄該操作人員的標(biāo)識(shí)信息與該操作信息之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系。
[0078]可選地，如圖5所示，該設(shè)備30還可以包括:
[0079]查詢單元36，用于在該記錄單元35記錄該操作人員的標(biāo)識(shí)信息與該操作信息之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系后，通過該操作人員的標(biāo)識(shí)信息和該對(duì)應(yīng)關(guān)系查詢?cè)摬僮魅藛T執(zhí)行的該晶圓存放操作的操作信息。
[0080]可選地，如圖6所示，該查詢單元36可以包括:
[0081]接收子單元361，用于接收查詢指令，其中，該查詢指令包括該操作人員的標(biāo)識(shí)信息;
[0082]處理子單元362，用于根據(jù)該接收子單元361接收的操作人員的標(biāo)識(shí)信息通過該對(duì)應(yīng)關(guān)系得到該操作人員執(zhí)行的該晶圓存放操作的操作信息，并展示該操作信息。
[0083]需要說明的是，所屬本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以清楚地了解到，為描述的方便和簡潔，上述描述的晶圓存放記錄設(shè)備的具體工作過程和描述，可以參考前述方法實(shí)施例中的對(duì)應(yīng)過程，在此不再贅述。
[0084]根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例，提供一種晶圓存放記錄系統(tǒng)，如圖7所示，該系統(tǒng)包括:
[0085]射頻電子標(biāo)簽71，用于發(fā)出執(zhí)行晶圓存放操作的操作請(qǐng)求；
[0086]晶圓存放記錄設(shè)備72，與該射頻電子標(biāo)簽射頻71連接，包括上述圖3至圖6中任一描述的晶圓存放記錄設(shè)備。
[0087]可選地，該電子標(biāo)簽為腕帶式電子標(biāo)簽，該腕帶式電子標(biāo)簽佩戴在操作人員的肢體上。
[0088]采用上述晶圓存放記錄系統(tǒng)，通過晶圓存放記錄設(shè)備接收?qǐng)?zhí)行晶圓存放操作的操作請(qǐng)求，并判斷該操作請(qǐng)求中的標(biāo)識(shí)信息是否屬于預(yù)設(shè)人員標(biāo)識(shí)集合，若判斷出該標(biāo)識(shí)信息屬于該預(yù)設(shè)人員標(biāo)識(shí)集合，則允許該操作人員執(zhí)行該晶圓存放操作，并在該操作人員完成該晶圓存放操作后，記錄該操作人員執(zhí)行該晶圓存放操作的操作信息；若判斷出該操作人員信息不屬于該預(yù)設(shè)人員標(biāo)識(shí)集合，則禁止該操作人員執(zhí)行該晶圓存放操作，這樣，由于操作人員在進(jìn)行晶圓存放的過程中需要先進(jìn)行標(biāo)識(shí)信息的判斷，并在判斷通過后才允許執(zhí)行晶圓存放操作，并記錄操作信息，因此，能夠準(zhǔn)確獲得執(zhí)行晶圓操作的操作人員的操作信息，從而保證操作信息的準(zhǔn)確性。
[0089]以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤飾，這些改進(jìn)和潤飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種晶圓存放記錄方法，其特征在于，包括: 接收?qǐng)?zhí)行晶圓存放操作的操作請(qǐng)求，其中，所述操作請(qǐng)求中攜帶有執(zhí)行晶圓存放操作的操作人員的標(biāo)識(shí)信息； 判斷所述標(biāo)識(shí)信息是否屬于預(yù)設(shè)人員標(biāo)識(shí)集合，其中，所述預(yù)設(shè)人員標(biāo)識(shí)集合包括預(yù)先設(shè)置的允許執(zhí)行所述晶圓存放操作的操作人員的標(biāo)識(shí)信息； 若判斷出所述標(biāo)識(shí)信息屬于所述預(yù)設(shè)人員標(biāo)識(shí)集合，則允許所述操作人員執(zhí)行所述晶圓存放操作，并在所述操作人員完成所述晶圓存放操作后，記錄所述操作人員執(zhí)行所述晶圓存放操作的操作信息； 若判斷出所述標(biāo)識(shí)信息不屬于所述預(yù)設(shè)人員標(biāo)識(shí)集合，則禁止所述操作人員執(zhí)行所述晶圓存放操作。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，在所述記錄所述操作人員執(zhí)行所述晶圓存放操作的操作信息后，所述方法還包括: 記錄所述操作人員的標(biāo)識(shí)信息與所述操作信息之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，在記錄所述操作人員的標(biāo)識(shí)信息與所述操作信息之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系后，所述方法還包括: 通過所述操作人員的標(biāo)識(shí)信息和所述對(duì)應(yīng)關(guān)系查詢所述操作人員執(zhí)行的所述晶圓存放操作的操作信息。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，所述通過所述操作人員的標(biāo)識(shí)信息和所述對(duì)應(yīng)關(guān)系查詢所述操作人員執(zhí)行的所述晶圓存放操作的操作信息包括: 接收查詢指令，其中，所述查詢指令包括所述操作人員的標(biāo)識(shí)信息； 根據(jù)所述操作人員的標(biāo)識(shí)信息通過所述對(duì)應(yīng)關(guān)系得到所述操作人員執(zhí)行的所述晶圓存放操作的操作信息，并展示所述操作信息。5.一種晶圓存放記錄設(shè)備，其特征在于，包括: 接收單元，用于接收?qǐng)?zhí)行晶圓存放操作的操作請(qǐng)求，其中，所述操作請(qǐng)求中攜帶有執(zhí)行晶圓存放操作的操作人員的標(biāo)識(shí)信息； 判斷單元，用于判斷所述接收單元接收的所述標(biāo)識(shí)信息是否屬于預(yù)設(shè)人員標(biāo)識(shí)集合，其中，所述預(yù)設(shè)人員標(biāo)識(shí)集合包括預(yù)先設(shè)置的允許執(zhí)行所述晶圓存放操作的操作人員的標(biāo)識(shí)信息； 第一處理單元，用于若所述判斷單元判斷出所述標(biāo)識(shí)信息屬于所述預(yù)設(shè)人員標(biāo)識(shí)集合，則允許所述操作人員執(zhí)行所述晶圓存放操作，并在所述操作人員完成所述晶圓存放操作后，記錄所述操作人員執(zhí)行所述晶圓存放操作的操作信息； 第二處理單元，用于若所述判斷單元判斷出所述標(biāo)識(shí)信息不屬于所述預(yù)設(shè)人員標(biāo)識(shí)集合，則禁止所述操作人員執(zhí)行所述晶圓存放操作。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的設(shè)備，其特征在于，所述設(shè)備還包括: 記錄單元，用于在所述第一處理單元記錄所述操作人員執(zhí)行所述晶圓存放操作的操作信息后，記錄所述操作人員的標(biāo)識(shí)信息與所述操作信息之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的設(shè)備，其特征在于，所述設(shè)備還包括: 查詢單元，用于在所述記錄單元記錄所述操作人員的標(biāo)識(shí)信息與所述操作信息之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系后，通過所述操作人員的標(biāo)識(shí)信息和所述對(duì)應(yīng)關(guān)系查詢所述操作人員執(zhí)行的所述晶圓存放操作的操作信息。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的設(shè)備，其特征在于，所述查詢單元包括: 接收子單元，用于接收查詢指令，其中，所述查詢指令包括所述操作人員的標(biāo)識(shí)信息；處理子單元，用于根據(jù)所述接收子單元接收的操作人員的標(biāo)識(shí)信息通過所述對(duì)應(yīng)關(guān)系得到所述操作人員執(zhí)行的所述晶圓存放操作的操作信息，并展示所述操作信息。9.一種晶圓存放記錄系統(tǒng)，其特征在于，包括: 射頻電子標(biāo)簽，用于發(fā)出執(zhí)行晶圓存放操作的操作請(qǐng)求； 晶圓存放記錄設(shè)備，與所述射頻電子標(biāo)簽射頻連接，包括權(quán)利要求5至8中任一項(xiàng)所述的晶圓存放記錄設(shè)備。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述電子標(biāo)簽為腕帶式電子標(biāo)簽，所述腕帶式電子標(biāo)簽佩戴在操作人員的肢體上。
【文檔編號(hào)】G05B19/418GK105988442SQ201510087487
【公開日】2016年10月5日
【申請(qǐng)日】2015年2月25日
【發(fā)明人】羌志良, 楊子健
【申請(qǐng)人】中芯國際集成電路制造(上海)有限公司