派工系統(tǒng)及派工方法
【專利摘要】本申請公開了一種派工系統(tǒng)及派工方法。該派工系統(tǒng)包括用于輸入生產(chǎn)工藝流程數(shù)據(jù)、歷史生產(chǎn)數(shù)據(jù)和實(shí)時(shí)生產(chǎn)數(shù)據(jù)的輸入模塊；用于生產(chǎn)曲線計(jì)算和在制品產(chǎn)量權(quán)重值計(jì)算的計(jì)算模塊；生產(chǎn)曲線為在給定設(shè)備組可用率的條件下產(chǎn)出速率和等待在制品數(shù)量的關(guān)系曲線，產(chǎn)量權(quán)重值為對下游設(shè)備組的生產(chǎn)曲線進(jìn)行對相應(yīng)等待在制品的數(shù)量求導(dǎo)計(jì)算后的導(dǎo)數(shù)值，并將同一設(shè)備組前的各個(gè)等待在制品的產(chǎn)量權(quán)重值由大到小進(jìn)行排序以得到派工單，以及用于輸出各個(gè)設(shè)備組的派工單的輸出模塊。本申請的技術(shù)方案從生產(chǎn)的全局性出發(fā)，實(shí)現(xiàn)了全局性生產(chǎn)優(yōu)化策略的派工系統(tǒng)及其方法，繼而使得生產(chǎn)的產(chǎn)量達(dá)到了最大化。
【專利說明】
派工系統(tǒng)及派工方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001] 本申請涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種派工系統(tǒng)及派工方法。
【背景技術(shù)】
[0002] 半導(dǎo)體制造是當(dāng)今最復(fù)雜的制造過程之一，具有不確定性、可重入流、混合加工、 設(shè)備負(fù)載不均衡等明顯區(qū)別于其它制造業(yè)的顯著特點(diǎn)，是一典型的離散事件動(dòng)態(tài)系統(tǒng)，因 而給半導(dǎo)體生產(chǎn)線建模和優(yōu)化調(diào)度帶來極大的復(fù)雜性。
[0003] 目前廣泛采用的局部優(yōu)化派工策略側(cè)重點(diǎn)在于當(dāng)站，通常使用的策略為先進(jìn)先 出，這樣的派工策略僅僅局限在"本設(shè)備組"范圍內(nèi)，缺乏全局性考慮，對整個(gè)生產(chǎn)設(shè)備組的 利用率并沒有得到根本性的優(yōu)化，從而使得派工單的派工滯后和產(chǎn)量下降，并出現(xiàn)大量設(shè) 備組"窩工"的現(xiàn)象。針對上述問題，目前還沒有有效的解決方法。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004] 本申請旨在提供一種派工系統(tǒng)及派工方法，以解決現(xiàn)有派工系統(tǒng)中派工單的輸出 只局限與單個(gè)設(shè)備組而缺乏全局化觀念的技術(shù)問題。
[0005] 為了實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)本申請的一方面，本申請?zhí)峁┝艘环N派工系統(tǒng)，包括：輸 入模塊，用于輸入生產(chǎn)工藝流程數(shù)據(jù)、歷史生產(chǎn)數(shù)據(jù)和實(shí)時(shí)生產(chǎn)數(shù)據(jù)；計(jì)算模塊，包括生產(chǎn) 曲線計(jì)算模塊和在制品產(chǎn)量權(quán)重值計(jì)算模塊；生產(chǎn)曲線計(jì)算模塊根據(jù)歷史生產(chǎn)數(shù)據(jù)計(jì)算生 產(chǎn)系統(tǒng)中各個(gè)設(shè)備組的生產(chǎn)曲線，生產(chǎn)曲線為在給定設(shè)備組可用率的條件下產(chǎn)出速率和等 待在制品數(shù)量的關(guān)系曲線；在制品產(chǎn)量權(quán)重值計(jì)算模塊根據(jù)生產(chǎn)工藝流程數(shù)據(jù)和實(shí)時(shí)生產(chǎn) 數(shù)據(jù)計(jì)算每個(gè)等待在制品對應(yīng)于下游設(shè)備組的產(chǎn)量權(quán)重值，產(chǎn)量權(quán)重值為對下游設(shè)備組的 生產(chǎn)曲線進(jìn)行對相應(yīng)等待在制品的數(shù)量求導(dǎo)計(jì)算后的導(dǎo)數(shù)值，并將同一設(shè)備組前的各個(gè)等 待在制品的產(chǎn)量權(quán)重值由大到小進(jìn)行排序以得到派工單；輸出模塊，用于輸出各個(gè)設(shè)備組 的派工單。
[0006] 進(jìn)一步地，歷史生產(chǎn)數(shù)據(jù)為從MES取得的各個(gè)設(shè)備組在至少4個(gè)月以上的小時(shí)級 別的等待在制品數(shù)量、產(chǎn)出數(shù)量和設(shè)備組可用率。 ]-?γ
[0007] 進(jìn)一步地，設(shè)備組的生產(chǎn)曲線為：V-QW1PX--+Α，其中，V為產(chǎn)出速率，QWIP為 u 歷史生產(chǎn)數(shù)據(jù)中的所有等待在制品數(shù)量的平均值，U為設(shè)備組的平均利用率，Α為歷史生產(chǎn) 數(shù)據(jù)中的設(shè)備組可用率的平均值。
[0008] 進(jìn)一步地，u = MV/PeakMV，其中，MV為歷史生產(chǎn)數(shù)據(jù)中的產(chǎn)出數(shù)量的平均值， PeakMV為歷史生產(chǎn)數(shù)據(jù)中的產(chǎn)出數(shù)量的1/4分位值。
[0009] 進(jìn)一步地，在制品權(quán)重計(jì)算模塊從MES實(shí)時(shí)查詢獲得實(shí)時(shí)生產(chǎn)數(shù)據(jù)，實(shí)時(shí)生產(chǎn)數(shù) 據(jù)包括每個(gè)設(shè)備組前的各個(gè)等待在制品的數(shù)量，且在制品權(quán)重計(jì)算模塊通過對生產(chǎn)曲線的 相應(yīng)等待在制品的數(shù)量進(jìn)行求導(dǎo)后獲得產(chǎn)量權(quán)重值。
[0010] 根據(jù)本申請的另一方面，本申請?zhí)峁┝艘环N派工方法，包括以下步驟：
[0011] 步驟S1、獲取生產(chǎn)工藝流程數(shù)據(jù)、歷史生產(chǎn)數(shù)據(jù)和實(shí)時(shí)生產(chǎn)數(shù)據(jù)；
[0012] 步驟S2、根據(jù)歷史生產(chǎn)數(shù)據(jù)計(jì)算生產(chǎn)系統(tǒng)中各個(gè)設(shè)備組的生產(chǎn)曲線，生產(chǎn)曲線為 在給定設(shè)備組可用率的條件下產(chǎn)出速率和等待在制品數(shù)量的關(guān)系曲線；
[0013] 步驟S3、根據(jù)生產(chǎn)工藝流程數(shù)據(jù)和實(shí)時(shí)生產(chǎn)數(shù)據(jù)計(jì)算每個(gè)等待在制品對應(yīng)于下游 設(shè)備組的產(chǎn)量權(quán)重值，產(chǎn)量權(quán)重值為對下游設(shè)備組的生產(chǎn)曲線進(jìn)行對相應(yīng)等待在制品的數(shù) 量求導(dǎo)計(jì)算后的導(dǎo)數(shù)值，并將同一設(shè)備組前的各個(gè)等待在制品的產(chǎn)量權(quán)重值由大到小進(jìn)行 排序以得到派工單；
[0014] 步驟S4、根據(jù)各個(gè)設(shè)備組的派工單進(jìn)行派工。
[0015] 進(jìn)一步地，獲取歷史生產(chǎn)數(shù)據(jù)的步驟包括：從MES取得的各個(gè)設(shè)備組在至少4個(gè)月 以上的小時(shí)級別的等待在制品數(shù)量、產(chǎn)出數(shù)量和設(shè)備組可用率，以作為歷史生產(chǎn)數(shù)據(jù)。 1 - II
[0016] 進(jìn)一步地，計(jì)算生產(chǎn)曲線的公式為：I-QWIPX--+A，其中，V為產(chǎn)出速率，QWIP u 為歷史生產(chǎn)數(shù)據(jù)中的所有等待在制品數(shù)量的平均值，U為設(shè)備組的平均利用率，A為歷史生 產(chǎn)數(shù)據(jù)中的設(shè)備組可用率的平均值。
[0017] 進(jìn)一步地，u = MV/PeakMV，其中，MV為歷史生產(chǎn)數(shù)據(jù)中的產(chǎn)出數(shù)量的平均值， PeakMV為歷史生產(chǎn)數(shù)據(jù)中的產(chǎn)出數(shù)量的1/4分位值。
[0018] 進(jìn)一步地，獲得產(chǎn)量權(quán)重值的步驟包括：從MES實(shí)時(shí)查詢獲得實(shí)時(shí)生產(chǎn)數(shù)據(jù)，實(shí)時(shí) 生產(chǎn)數(shù)據(jù)包括每個(gè)設(shè)備組前的各個(gè)等待在制品的數(shù)量，且通過對生產(chǎn)曲線的相應(yīng)等待在制 品的數(shù)量進(jìn)行求導(dǎo)后獲得產(chǎn)量權(quán)重值。
[0019] 進(jìn)一步地，周期性執(zhí)行步驟S1、步驟S2、步驟S3和步驟S4。
[0020] 應(yīng)用本申請的技術(shù)方案，本申請通過對輸入模塊中的生產(chǎn)工藝流程數(shù)據(jù)、歷史生 產(chǎn)數(shù)據(jù)和實(shí)時(shí)生產(chǎn)數(shù)據(jù)的處理，再通過計(jì)算模塊計(jì)算出相應(yīng)的生產(chǎn)曲線并對其求導(dǎo)數(shù)賦權(quán) 重繼而生成派工單并由輸出模塊輸出，從而在當(dāng)前設(shè)備組有兩個(gè)或者兩個(gè)以上下游設(shè)備組 的時(shí)候，根據(jù)下游設(shè)備組目前所處的其生產(chǎn)曲線的位置來判斷當(dāng)前設(shè)備組到底是生產(chǎn)去哪 個(gè)下游的產(chǎn)品，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)了全局性生產(chǎn)優(yōu)化策略的派工系統(tǒng)及其方法，繼而使得生產(chǎn)的產(chǎn) 量達(dá)到了最大化。
【附圖說明】
[0021] 構(gòu)成本申請的一部分的說明書附圖用來提供對本申請的進(jìn)一步理解，本申請的示 意性實(shí)施例及其說明用于解釋本申請，并不構(gòu)成對本申請的不當(dāng)限定。在附圖中：
[0022] 圖1示出了本申請的派工系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；以及
[0023] 圖2示出了本申請的派工方法的流程示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0024] 需要說明的是，在不沖突的情況下，本申請中的實(shí)施例及實(shí)施例中的特征可以相 互組合。下面將參考附圖并結(jié)合實(shí)施例來詳細(xì)說明本申請。
[0025] 正如【背景技術(shù)】所述的現(xiàn)有技術(shù)中的派工方式缺乏全局優(yōu)化策略的考慮，為了克服 現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題和實(shí)現(xiàn)全局優(yōu)化派工并在相同時(shí)限內(nèi)使得生產(chǎn)產(chǎn)量大幅上升 的目的，根據(jù)本申請的一方面，提供了一種派工系統(tǒng)。如圖1所示，該派工系統(tǒng)包括輸入模 塊，用于輸入生產(chǎn)工藝流程數(shù)據(jù)、歷史生產(chǎn)數(shù)據(jù)和實(shí)時(shí)生產(chǎn)數(shù)據(jù)；計(jì)算模塊，包括生產(chǎn)曲線 計(jì)算模塊和在制品產(chǎn)量權(quán)重值計(jì)算模塊；生產(chǎn)曲線計(jì)算模塊根據(jù)歷史生產(chǎn)數(shù)據(jù)計(jì)算生產(chǎn)系 統(tǒng)中各個(gè)設(shè)備組的生產(chǎn)曲線，生產(chǎn)曲線為在給定設(shè)備組可用率的條件下產(chǎn)出速率和等待在 制品數(shù)量的關(guān)系曲線；在制品產(chǎn)量權(quán)重值計(jì)算模塊根據(jù)生產(chǎn)工藝流程數(shù)據(jù)和實(shí)時(shí)生產(chǎn)數(shù)據(jù) 計(jì)算每個(gè)等待在制品對應(yīng)于下游設(shè)備組的產(chǎn)量權(quán)重值，產(chǎn)量權(quán)重值為對下游設(shè)備組的生產(chǎn) 曲線進(jìn)行對相應(yīng)等待在制品的數(shù)量求導(dǎo)計(jì)算后的導(dǎo)數(shù)值，并將同一設(shè)備組前的各個(gè)等待在 制品的產(chǎn)量權(quán)重值由大到小進(jìn)行排序以得到派工單；輸出模塊，用于輸出各個(gè)設(shè)備組的派 工單。
[0026] 本申請通過對輸入模塊中的生產(chǎn)工藝流程數(shù)據(jù)、歷史生產(chǎn)數(shù)據(jù)和實(shí)時(shí)生產(chǎn)數(shù)據(jù)的 處理，再通過計(jì)算模塊計(jì)算出相應(yīng)的生產(chǎn)曲線并對其求導(dǎo)數(shù)賦權(quán)重繼而生成派工單并由輸 出模塊輸出，從而在當(dāng)前設(shè)備組有兩個(gè)或者兩個(gè)以上下游設(shè)備組的時(shí)候，根據(jù)下游設(shè)備組 目前所處的其生產(chǎn)曲線的位置來判斷當(dāng)前設(shè)備組到底是生產(chǎn)去哪個(gè)下游的產(chǎn)品，進(jìn)而實(shí)現(xiàn) 了全局性生產(chǎn)優(yōu)化策略的派工系統(tǒng)及其方法，繼而使得生產(chǎn)的產(chǎn)量達(dá)到了最大化。
[0027] 在本申請中的一種優(yōu)選實(shí)施例中，歷史生產(chǎn)數(shù)據(jù)為從MES取得的各個(gè)設(shè)備組在至 少4個(gè)月以上的小時(shí)級別的等待在制品數(shù)量、產(chǎn)出數(shù)量和設(shè)備組可用率。
[0028] 在本申請中的數(shù)據(jù)采集中，如果是對于沒有4個(gè)月的的歷史數(shù)據(jù)也可以采用所具 有的基本數(shù)據(jù)進(jìn)行采集。對于所采集的數(shù)據(jù)越真實(shí)、時(shí)限越久和越精確，則得到的上產(chǎn)曲線 越趨于合理，時(shí)限可以以分鐘計(jì)也可以小時(shí)計(jì)。 1 - n
[0029] 本申請中的設(shè)備組的生產(chǎn)曲線為：V-QWIPX --+A，其中，V為產(chǎn)出速率，QWIP u 為歷史生產(chǎn)數(shù)據(jù)中的所有等待在制品數(shù)量的平均值，U為設(shè)備組的平均利用率，A為歷史生 產(chǎn)數(shù)據(jù)中的設(shè)備組可用率的平均值。
[0030] 本申請中的設(shè)備組的平均利用率u = MV/PeakMV，其中，MV為歷史生產(chǎn)數(shù)據(jù)中的產(chǎn) 出數(shù)量的平均值，PeakMV為歷史生產(chǎn)數(shù)據(jù)中的產(chǎn)出數(shù)量的1/4分位值。
[0031 ] 在制品權(quán)重計(jì)算模塊從MES實(shí)時(shí)查詢獲得實(shí)時(shí)生產(chǎn)數(shù)據(jù)，實(shí)時(shí)生產(chǎn)數(shù)據(jù)包括每個(gè) 設(shè)備組前的各個(gè)等待在制品的數(shù)量，且在制品權(quán)重計(jì)算模塊通過對生產(chǎn)曲線的相應(yīng)等待在 制品的數(shù)量進(jìn)行求導(dǎo)后獲得產(chǎn)量權(quán)重值。
[0032] 本申請還提供了一種自動(dòng)化生產(chǎn)系統(tǒng)，包含上游生產(chǎn)模塊，第一下游生產(chǎn)模塊，第 二下游生產(chǎn)模塊，控制模塊，控制模塊根據(jù)第一下游生產(chǎn)模塊和第二下游生產(chǎn)模塊的當(dāng)前 生產(chǎn)數(shù)據(jù)，確定所述上游生產(chǎn)模塊按照第一上游運(yùn)行參數(shù)或第二上游運(yùn)行參數(shù)運(yùn)行，所述 第一上游運(yùn)行參數(shù)用于生產(chǎn)向所述第一下游生產(chǎn)模塊輸送的第一在制品，所述第二上游運(yùn) 行參數(shù)用于生產(chǎn)向所述第二下游生產(chǎn)模塊輸送的第二在制品。
[0033] 根據(jù)本申請的另一方面，為了能夠很好的實(shí)現(xiàn)全局化優(yōu)化派工的策略，本申請?zhí)?供了一種派工方法，具體派工流程如圖2所示，包括以下步驟：步驟S1 :獲取生產(chǎn)工藝流程 數(shù)據(jù)、歷史生產(chǎn)數(shù)據(jù)和實(shí)時(shí)生產(chǎn)數(shù)據(jù)；步驟S2 :根據(jù)歷史生產(chǎn)數(shù)據(jù)計(jì)算生產(chǎn)系統(tǒng)中各個(gè)設(shè) 備組的生產(chǎn)曲線，生產(chǎn)曲線為在給定設(shè)備組可用率的條件下產(chǎn)出速率和等待在制品數(shù)量的 關(guān)系曲線；步驟S3 :根據(jù)生產(chǎn)工藝流程數(shù)據(jù)和實(shí)時(shí)生產(chǎn)數(shù)據(jù)計(jì)算每個(gè)等待在制品對應(yīng)于下 游設(shè)備組的產(chǎn)量權(quán)重值，產(chǎn)量權(quán)重值為對下游設(shè)備組的生產(chǎn)曲線進(jìn)行對相應(yīng)等待在制品的 數(shù)量進(jìn)行求導(dǎo)計(jì)算后的導(dǎo)數(shù)值，并將同一設(shè)備組前的各個(gè)等待在制品的產(chǎn)量權(quán)重值由大到 小進(jìn)行排序以得到派工單；步驟S4 :根據(jù)各個(gè)設(shè)備組的派工單進(jìn)行派工。
[0034] 上述派工方法通過對輸入模塊中的生產(chǎn)工藝流程數(shù)據(jù)、歷史生產(chǎn)數(shù)據(jù)和實(shí)時(shí)生產(chǎn) 數(shù)據(jù)的處理，再通過計(jì)算模塊計(jì)算出相應(yīng)的生產(chǎn)曲線并對其求導(dǎo)數(shù)賦權(quán)重繼而生成派工單 并由輸出模塊輸出，從而在當(dāng)前設(shè)備組有兩個(gè)或者兩個(gè)以上下游設(shè)備組的時(shí)候，根據(jù)下游 設(shè)備組目前所處的其生產(chǎn)曲線的位置來判斷當(dāng)前設(shè)備組到底是生產(chǎn)去哪個(gè)下游的產(chǎn)品，進(jìn) 而實(shí)現(xiàn)了全局性生產(chǎn)優(yōu)化策略的派工系統(tǒng)及其方法，繼而使得生產(chǎn)的產(chǎn)量達(dá)到了最大化。
[0035] 下面將更詳細(xì)地描述根據(jù)本申請?zhí)峁┑呐晒し椒ǖ氖纠詫?shí)施方式。然而，這些 示例性實(shí)施方式可以由多種不同的形式來實(shí)施，并且不應(yīng)當(dāng)被解釋為只限于這里所闡述的 實(shí)施方式。應(yīng)當(dāng)理解的是，提供這些實(shí)施方式是為了使得本申請的公開徹底且完整，并且將 這些示例性實(shí)施方式的構(gòu)思充分傳達(dá)給本領(lǐng)域普通技術(shù)人員，在附圖中，為了清楚起見，擴(kuò) 大了層和區(qū)域的厚度，并且使用相同的附圖標(biāo)記表示相同的器件，因而將省略對它們的描 述。
[0036] 首先，執(zhí)行步驟S1，即獲取生產(chǎn)工藝流程數(shù)據(jù)、歷史生產(chǎn)數(shù)據(jù)和實(shí)時(shí)生產(chǎn)數(shù)據(jù)。在 本申請中的一種優(yōu)選實(shí)施例中，獲取歷史生產(chǎn)數(shù)據(jù)的步驟包括：從MES取得的各個(gè)設(shè)備組 在至少4個(gè)月以上的小時(shí)級別的等待在制品數(shù)量、產(chǎn)出數(shù)量和設(shè)備組可用率，以作為歷史 生產(chǎn)數(shù)據(jù)。
[0037] 完成執(zhí)行步驟S1之后，執(zhí)行步驟S2,即根據(jù)歷史生產(chǎn)數(shù)據(jù)計(jì)算生產(chǎn)系統(tǒng)中各個(gè)設(shè) 備組的生產(chǎn)曲線，生產(chǎn)曲線為在給定設(shè)備組可用率的條件下產(chǎn)出速率和等待在制品數(shù)量的 ]-y 關(guān)系曲線。其中，優(yōu)選地，計(jì)算生產(chǎn)曲線的公式為：V-QWIPX ^^_+Α，其中，V為產(chǎn)出速率， u QWIP為歷史生產(chǎn)數(shù)據(jù)中的所有等待在制品數(shù)量的平均值，u為設(shè)備組的平均利用率，Α為歷 史生產(chǎn)數(shù)據(jù)中的設(shè)備組可用率的平均值。
[0038] 上述生產(chǎn)曲線中，優(yōu)選地，u = MV/PeakMV，其中，MV為歷史生產(chǎn)數(shù)據(jù)中的產(chǎn)出數(shù)量 的平均值，PeakMV為歷史生產(chǎn)數(shù)據(jù)中的產(chǎn)出數(shù)量的1/4分位值。在本申請中所選取的歷史 生產(chǎn)數(shù)據(jù)中的產(chǎn)出數(shù)量分位值可以根據(jù)具體情況選取所需要的具體數(shù)值。
[0039] 完成執(zhí)行步驟S2之后，執(zhí)行步驟S3,即根據(jù)生產(chǎn)工藝流程數(shù)據(jù)和實(shí)時(shí)生產(chǎn)數(shù)據(jù)計(jì) 算每個(gè)等待在制品對應(yīng)于下游設(shè)備組的產(chǎn)量權(quán)重值，產(chǎn)量權(quán)重值為對下游設(shè)備組的生產(chǎn)曲 線進(jìn)行對相應(yīng)等待在制品的數(shù)量進(jìn)行求導(dǎo)計(jì)算后的導(dǎo)數(shù)值，并將同一設(shè)備組前的各個(gè)等待 在制品的產(chǎn)量權(quán)重值由大到小進(jìn)行排序以得到派工單。
[0040] 優(yōu)選地，獲得產(chǎn)量權(quán)重值的步驟包括：從MES實(shí)時(shí)查詢獲得實(shí)時(shí)生產(chǎn)數(shù)據(jù)，實(shí)時(shí)生 產(chǎn)數(shù)據(jù)包括每個(gè)設(shè)備組前的各個(gè)等待在制品的數(shù)量，且通過對生產(chǎn)曲線的相應(yīng)等待在制品 的數(shù)量進(jìn)行求導(dǎo)后獲得產(chǎn)量權(quán)重值。
[0041] 完成執(zhí)行步驟S3之后，執(zhí)行步驟S4,即根據(jù)各個(gè)設(shè)備組的派工單進(jìn)行派工。在本 申請?zhí)峁┑呐晒し椒ㄖ?，可以周期性?zhí)行步驟S1、步驟S2、步驟S3和步驟S4,從而實(shí)現(xiàn)設(shè)備 組高效的工作，從而達(dá)到提高設(shè)備組的利用率和增加產(chǎn)量的目的。
[0042] 從以上的描述中，可以看出，本申請上述的實(shí)施例實(shí)現(xiàn)了如下技術(shù)效果：
[0043] (1)本申請的技術(shù)方案從生產(chǎn)的全局性出發(fā)，實(shí)現(xiàn)了生產(chǎn)全局性優(yōu)化的派工系統(tǒng) 及其方法，使得各設(shè)備組的工作效率都得到極大的提高，從而實(shí)現(xiàn)了即使是在生產(chǎn)最復(fù)雜 的半導(dǎo)體領(lǐng)域也能高效地、實(shí)時(shí)地實(shí)現(xiàn)派工單的輸出及派工，從而達(dá)到了物盡其用、節(jié)約資 源及一體化的生產(chǎn)模式。
[0044] (2)本申請從全局視覺入手，將各個(gè)設(shè)備組相互關(guān)聯(lián)，設(shè)備組根據(jù)實(shí)時(shí)更新的數(shù)據(jù) 進(jìn)行產(chǎn)品的生產(chǎn)，生產(chǎn)的過程隨著各設(shè)備組生產(chǎn)曲線的周期性變化而做出相應(yīng)的周期性的 變化。
[0045] 以上所述僅為本申請的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本申請，對于本領(lǐng)域的技 術(shù)人員來說，本申請可以有各種更改和變化。凡在本申請的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修 改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本申請的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種派工系統(tǒng)，其特征在于，所述派工系統(tǒng)包括： 輸入模塊，用于輸入生產(chǎn)工藝流程數(shù)據(jù)、歷史生產(chǎn)數(shù)據(jù)和實(shí)時(shí)生產(chǎn)數(shù)據(jù)； 計(jì)算模塊，包括生產(chǎn)曲線計(jì)算模塊和在制品產(chǎn)量權(quán)重值計(jì)算模塊； 所述生產(chǎn)曲線計(jì)算模塊根據(jù)所述歷史生產(chǎn)數(shù)據(jù)計(jì)算生產(chǎn)系統(tǒng)中各個(gè)設(shè)備組的生產(chǎn)曲 線，所述生產(chǎn)曲線為在給定設(shè)備組可用率的條件下產(chǎn)出速率和等待在制品數(shù)量的關(guān)系曲 線； 所述在制品產(chǎn)量權(quán)重值計(jì)算模塊根據(jù)所述生產(chǎn)工藝流程數(shù)據(jù)和所述實(shí)時(shí)生產(chǎn)數(shù)據(jù)計(jì) 算每個(gè)等待在制品對應(yīng)于下游設(shè)備組的產(chǎn)量權(quán)重值，所述產(chǎn)量權(quán)重值為對所述下游設(shè)備組 的所述生產(chǎn)曲線進(jìn)行對相應(yīng)所述等待在制品的數(shù)量求導(dǎo)計(jì)算后的導(dǎo)數(shù)值，并將同一所述設(shè) 備組前的各個(gè)所述等待在制品的所述產(chǎn)量權(quán)重值由大到小進(jìn)行排序W得到派工單； 輸出模塊，用于輸出各個(gè)所述設(shè)備組的所述派工單。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的派工系統(tǒng)，其特征在于，所述歷史生產(chǎn)數(shù)據(jù)為從MES取得的 各個(gè)所述設(shè)備組在至少4個(gè)月W上的小時(shí)級別的等待在制品數(shù)量、產(chǎn)出數(shù)量和設(shè)備組可用 率。3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的派工系統(tǒng)，其特征在于，所述設(shè)備組的所述生產(chǎn)曲線為：其中，V為所述產(chǎn)出速率，QWIP為所述歷史生產(chǎn)數(shù)據(jù)中的所有所述等 待在制品數(shù)量的平均值，U為所述設(shè)備組的平均利用率，A為所述歷史生產(chǎn)數(shù)據(jù)中的所述設(shè) 備組可用率的平均值。4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的派工系統(tǒng)，其特征在于，U = MV/PeakMV，其中，MV為所述歷 史生產(chǎn)數(shù)據(jù)中的所述產(chǎn)出數(shù)量的平均值，PeakMV為所述歷史生產(chǎn)數(shù)據(jù)中的所述產(chǎn)出數(shù)量的 1/4分位值。5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的派工系統(tǒng)，其特征在于，所述在制品權(quán)重計(jì)算模塊從MES實(shí)時(shí) 查詢獲得所述實(shí)時(shí)生產(chǎn)數(shù)據(jù)，所述實(shí)時(shí)生產(chǎn)數(shù)據(jù)包括每個(gè)所述設(shè)備組前的各個(gè)等待在制品 的數(shù)量，且所述在制品權(quán)重計(jì)算模塊通過對所述生產(chǎn)曲線的相應(yīng)所述等待在制品的數(shù)量進(jìn) 行求導(dǎo)后獲得所述產(chǎn)量權(quán)重值。6. -種派工方法，其特征在于，所述派工方法包括W下步驟： 步驟S1、獲取生產(chǎn)工藝流程數(shù)據(jù)、歷史生產(chǎn)數(shù)據(jù)和實(shí)時(shí)生產(chǎn)數(shù)據(jù)； 步驟S2、根據(jù)所述歷史生產(chǎn)數(shù)據(jù)計(jì)算生產(chǎn)系統(tǒng)中各個(gè)設(shè)備組的生產(chǎn)曲線，所述生產(chǎn)曲 線為在給定設(shè)備組可用率的條件下產(chǎn)出速率和等待在制品數(shù)量的關(guān)系曲線； 步驟S3、根據(jù)所述生產(chǎn)工藝流程數(shù)據(jù)和所述實(shí)時(shí)生產(chǎn)數(shù)據(jù)計(jì)算每個(gè)等待在制品對應(yīng)于 下游設(shè)備組的產(chǎn)量權(quán)重值，所述產(chǎn)量權(quán)重值為對下游設(shè)備組的所述生產(chǎn)曲線進(jìn)行對相應(yīng)所 述等待在制品的數(shù)量求導(dǎo)計(jì)算后的導(dǎo)數(shù)值，并將同一所述設(shè)備組前的各個(gè)所述等待在制品 的所述產(chǎn)量權(quán)重值由大到小進(jìn)行排序W得到派工單； 步驟S4、根據(jù)各個(gè)所述設(shè)備組的派工單進(jìn)行派工。7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的派工方法，其特征在于，獲取所述歷史生產(chǎn)數(shù)據(jù)的步驟包括： 從MES取得的各個(gè)所述設(shè)備組在至少4個(gè)月W上的小時(shí)級別的等待在制品數(shù)量、產(chǎn)出數(shù)量 和設(shè)備組可用率，W作為所述歷史生產(chǎn)數(shù)據(jù)。8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的派工方法，其特征在于，計(jì)算所述生產(chǎn)曲線的公式為：其中，V為所述產(chǎn)出速率，QWIP為所述歷史生產(chǎn)數(shù)據(jù)中的所有所述等 待在制品數(shù)量的平均值，U為所述設(shè)備組的平均利用率，A為所述歷史生產(chǎn)數(shù)據(jù)中的所述設(shè) 備組可用率的平均值。9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的派工方法，其特征在于，U = MV/PeakMV，其中，MV為所述歷 史生產(chǎn)數(shù)據(jù)中的所述產(chǎn)出數(shù)量的平均值，PeakMV為所述歷史生產(chǎn)數(shù)據(jù)中的所述產(chǎn)出數(shù)量的 1/4分位值。10. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的派工方法，其特征在于，獲得所述產(chǎn)量權(quán)重值的步驟包括： 從MES實(shí)時(shí)查詢獲得所述實(shí)時(shí)生產(chǎn)數(shù)據(jù)，所述實(shí)時(shí)生產(chǎn)數(shù)據(jù)包括所述每個(gè)所述設(shè)備組前的 各個(gè)等待在制品的數(shù)量，且通過對所述生產(chǎn)曲線的相應(yīng)所述等待在制品的數(shù)量進(jìn)行求導(dǎo)后 獲得所述產(chǎn)量權(quán)重值。11. 根據(jù)權(quán)利要求6至10中任一項(xiàng)所述的派工方法，其特征在于，周期性執(zhí)行所述步驟 Sl、所述步驟S2、所述步驟S3和所述步驟S4。
【文檔編號(hào)】G05B19/418GK106033217SQ201510119534
【公開日】2016年10月19日
【申請日】2015年3月18日
【發(fā)明人】徐磊, 羌志良, 程杰, 楊穎 , 彭及仁
【申請人】中芯國際集成電路制造(上海)有限公司